特許 5973302 積層体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5973302

(24)【登録日】2016年7月22日

(45)【発行日】2016年8月23日

(54)【発明の名称】積層体

(51)【国際特許分類】

   B32B 27/00 20060101AFI20160809BHJP

   H01L 21/683 20060101ALN20160809BHJP

【ＦＩ】

   B32B27/00 C

   B32B27/00 L

   B32B27/00 M

   !H01L21/68 N

【請求項の数】2

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2012-214912(P2012-214912)

(22)【出願日】2012年9月27日

(65)【公開番号】特開2014-69344(P2014-69344A)

(43)【公開日】2014年4月21日

【審査請求日】2015年4月23日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 増田 亮子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１８２８１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０３９５１０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ３２Ｂ １／００−４３／００

Ｃ０９Ｊ ７／００−７／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の形状の接着シートと、
前記接着シートの一方の面側に仮着された第１剥離シートと、
前記接着シートの他方の面側に仮着された第２剥離シートと、
前記接着シートの面方向外側に設けられたスペーサ部とを備え、
前記スペーサ部の一方の面側および他方の面側に第１剥離シートおよび第２剥離シートが仮着され、
前記第１剥離シートと前記接着シートとの間には、それらの仮着力が前記第２剥離シートと当該接着シートとの仮着力に比べて大なる仮着力となる第１仮着力増大領域が設けられ、
前記第２剥離シートと前記スペーサ部との間には、それらの仮着力が前記第１剥離シートと当該スペーサ部との仮着力に比べて大なる仮着力となる第２仮着力増大領域が設けられていることを特徴とする積層体。

【請求項2】

所定の形状の接着シートと、
前記接着シートの一方の面側に仮着された第１剥離シートと、
前記接着シートの他方の面側に仮着された第２剥離シートと、
前記接着シートの面方向外側に設けられたスペーサ部とを備え、
スペーサ部の一方の面側および他方の面側に第１剥離シートおよび第２剥離シートが仮着され、
前記第２剥離シートと前記接着シートとの間には、それらの仮着力が前記第１剥離シートと当該接着シートとの仮着力に比べて小なる仮着力となる第１仮着力減少領域が設けられ、
前記第１剥離シートと前記スペーサ部との間には、それらの仮着力が前記第２剥離シートと当該スペーサ部との仮着力に比べて小なる仮着力となる第２仮着力減少領域が設けられ、
前記接着シート、前記第１仮着力減少領域および第２仮着力減少領域は、それらの平面形状が前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートよりも小さく形成されていることを特徴とする積層体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層体に関する。

【背景技術】

【0002】

帯状のダイボンディングシートと、当該ダイボンディングシートの一方の面側に仮着された帯状のベースシートと、当該ダイボンディングシートの他方の面側に仮着された帯状のカバーシートとにより構成されたシート基材を用い、ダイボンディングシートをウェハに貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
剥離シート上の接着シートとは異なる位置に保護材を積層した積層体は、例えば、特許文献２に開示がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−３０６５１６号公報

【特許文献2】特開２００４−３５８３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたシート貼付装置に採用されるシート基材は、先ずカバーシートのみを剥離してから、その後、接着シートをウェハに貼付しなければならないので、接着シートがカバーシートと共に剥離してしまわないように、ベースシートと接着シートとの仮着力をカバーシートと接着シートとの仮着力よりも大きく設定しなければならない。また、特許文献１に記載されたシート貼付装置に、特許文献２に記載のような積層体が採用された場合は、各剥離シートと接着シートとの仮着力のみならず、各剥離シートと保護材との仮着力をも考慮しなければならない。つまり、このような積層体（少なくとも３層構造の積層体）は、当該積層体から一または複数の積層体構成物を剥離したときに、各積層体構成物をどこに仮着させて剥離するかという剥離後の層形態（以後「剥離後層形態」と言う）が明確になっていないためこのような不都合を招来する。

【0005】

本発明の目的は、剥離後層形態を明確にできる積層体を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明の積層体は、所定の形状の接着シートと、前記接着シートの一方の面側に仮着された第１剥離シートと、前記接着シートの他方の面側に仮着された第２剥離シートと、前記接着シートの面方向外側に設けられたスペーサ部とを備え、前記スペーサ部の一方の面側および他方の面側に第１剥離シートおよび第２剥離シートが仮着され、前記第１剥離シートと前記接着シートとの間には、それらの仮着力が前記第２剥離シートと当該接着シートとの仮着力に比べて大なる仮着力となる第１仮着力増大領域が設けられ、前記第２剥離シートと前記スペーサ部との間には、それらの仮着力が前記第１剥離シートと当該スペーサ部との仮着力に比べて大なる仮着力となる第２仮着力増大領域が設けられている、という構成を採用している。

【0008】

一方、本発明の別の積層体は、所定の形状の接着シートと、前記接着シートの一方の面側に仮着された第１剥離シートと、前記接着シートの他方の面側に仮着された第２剥離シートと、前記接着シートの面方向外側に設けられたスペーサ部とを備え、スペーサ部の一方の面側および他方の面側に第１剥離シートおよび第２剥離シートが仮着され、前記第２剥離シートと前記接着シートとの間には、それらの仮着力が前記第１剥離シートと当該接着シートとの仮着力に比べて小なる仮着力となる第１仮着力減少領域が設けられ、前記第１剥離シートと前記スペーサ部との間には、それらの仮着力が前記第２剥離シートと当該スペーサ部との仮着力に比べて小なる仮着力となる第２仮着力減少領域が設けられ、前記接着シート、前記第１仮着力減少領域および第２仮着力減少領域は、それらの平面形状が前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートよりも小さく形成されている、という構成を採用している。

【発明の効果】

【0010】

以上のような本発明の積層体によれば、第１剥離シートと接着シートとの間に第１仮着力増大領域を設け、また、本発明の別の積層体によれば、第２剥離シートと接着シートとの間に第１仮着力減少領域を設けたので、いずれの積層体においても、第２剥離シートを剥離するときに、接着シートが当該第２剥離シートと共に第１剥離シートから剥離してしまうことを防止でき、剥離後層形態を明確にできる。

【0011】

また、本発明の積層体において、第２剥離シートとスペーサ部との間に第２仮着力増大領域を設け、また、本発明の別の積層体において、第１剥離シートとスペーサ部との間に第２仮着力減少領域を設ければ、いずれの積層体においても、第２剥離シートを剥離するときに、スペーサ部が第１剥離シート上に仮着された状態のまま第２剥離シートだけが剥離してしまうことを防止でき、剥離後層形態を明確にできる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る積層体の斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図。

【図2】第１実施形態および第２実施形態に係るシート貼付装置の正面図。

【図3】（Ａ）は本発明の第２実施形態に係る積層体の斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
第１実施形態における積層体ＬＳ１は、図１に示すように、所定の形状の接着シートＡＳと、接着シートＡＳの面方向外側に設けられたスペーサ部ＳＰと、接着シートＡＳの一方の面（図１（Ｂ）中上面）側およびスペーサ部ＳＰの一方の面（図１（Ｂ）中上面）側に仮着された第１剥離シートＲＬ１と、接着シートＡＳの他方の面（図１（Ｂ）中下面）側およびスペーサ部ＳＰの他方の面（図１（Ｂ）中下面）側に仮着された第２剥離シートＲＬ２と、第１剥離シートＲＬ１と接着シートＡＳとの間に設けられ、それらの仮着力が第２剥離シートＲＬ２と接着シートＡＳとの仮着力に比べて大なる仮着力となる第１仮着力増大領域ＰＲ１と、第２剥離シートＲＬ２とスペーサ部ＳＰとの間に設けられ、それらの仮着力が第１剥離シートＲＬ１と当該スペーサ部ＳＰとの仮着力に比べて大なる仮着力となる第２仮着力増大領域ＰＲ２とを備えて構成されている。

【0014】

接着シートＡＳは、単体の接着剤層からなり、１μｍ〜５０００μｍ程度の厚みを有するものが例示でき、それ以上の厚みでもよいしそれ以下の厚みのものでもよく、第１仮着力増大領域ＰＲ１と第２剥離シートＲＬ２との間に所定の間隔で設けられている。
スペーサ部ＳＰは、帯状に構成されるとともに、接着シートＡＳの外周に対応した円弧状の凹部ＳＰＡを備え、第２仮着力増大領域ＰＲ２と第１剥離シートＲＬ１との間に設けられている。スペーサ部ＳＰを構成するものとしては、接着シートＡＳと同じ組成、構成のもの、紙、樹脂、ニス、印刷用インキ等で構成されるもの、また、それらを適宜組み合わせたもの等が例示でき、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風、自然風等の定着化エネルギーによって硬化可能なもの用いてもよい。
第１および第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２は、１μｍ〜５０００μｍ程度の厚みを有するものが例示でき、それ以上の厚みでもよいしそれ以下の厚みのものでもよく、紙、樹脂等で構成されるもの、また、それらを適宜組み合わせたもの等の帯状部材で構成され、少なくとも一方の面（図２（Ｂ）中向き合う双方の面）にシリコン処理等の剥離剤が積層されている。なお、第１または第２仮着力増大領域ＰＲ１、ＰＲ２が積層される部分には剥離剤がなくてもよい。

【0015】

第１および第２仮着力増大領域ＰＲ１、ＰＲ２は、０μｍ〜５０００μｍ程度の厚みを有するものが例示でき、それ以上の厚みでもよい。第１および第２仮着力増大領域ＰＲ１、ＰＲ２は、第１および第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２上に接着剤やプライマを塗布したり、第１および第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の剥離剤の表面に凹凸処理を施したり、接着シートＡＳまたはスペーサ部ＳＰを仮着した部分を加熱処理したりすることで形成でき、それらは同じ組成、構成のものでもよいし、異なる組成、構成のものでもよい。
第１仮着力増大領域ＰＲ１は、第１剥離シートＲＬ１の中央において長手方向に沿って設けられ、当該第１仮着力増大領域ＰＲ１と接着シートＡＳとの仮着力は、被着体としてのウェハＷＦと接着シートＡＳとの接着力よりも小さく設定されている。
第２仮着力増大領域ＰＲ２は、スペーサ部ＳＰに形成された凹部ＳＰＡに対応した凹部ＰＲ２Ａを備え、第２剥離シートＲＬ２の両側において長手方向に沿って設けられている。

【0016】

次に、積層体ＬＳ１の接着シートＡＳを被着体としてのウェハＷＦに貼付するシート貼付装置について説明する。
なお、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図２を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。

【0017】

シート貼付装置１は、積層体ＬＳ１を繰り出す繰出手段２と、積層体ＬＳ１を層間剥離する第１剥離手段３と、第１剥離手段３で層間剥離され、接着シートＡＳが仮着された第１剥離シートＲＬ１上から接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段７と、ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳから第１剥離シートＲＬ１を剥離する第２剥離手段８とを備え、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦを支持する支持面９１を備えたテーブル９２の上方においてその全体が図示しないフレームに支持されている。

【0018】

繰出手段２は、積層体ＬＳ１を支持する支持ローラ２１と、ガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３によって駆動する駆動ローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動され、積層体ＬＳ１から第２剥離シートＲＬ２上に第２仮着力増大領域ＰＲ２を介してスペーサ部ＳＰが仮着された不要積層体ＬＳ８および、接着シートＡＳが剥離された使用済み積層体ＬＳ９を巻き取る駆動ローラ２６と、駆動ローラ２６との間に使用済み積層体ＬＳ９を挟み込むピンチローラ２７と、駆動機器としての回動モータ２８によって駆動され、使用済み積層体ＬＳ９を回収する回収ローラ２９とを備えている。

【0019】

第１剥離手段３は、不要積層体ＬＳ８が巻き掛けられた剥離ローラ３１と、ガイドローラ３２と、駆動機器としての回動モータ３３によって駆動し、不要積層体ＬＳ８を回収する回収ローラ３４とを備えている。

【0020】

押圧手段７は、駆動機器としてのリニアモータ７１の第１スライダ７２に支持された駆動機器としてのリニアモータ７３と、リニアモータ７３のスライダ７４に回転可能に支持された押圧ローラ７５とを備えている。

【0021】

第２剥離手段８は、リニアモータ７１の第２スライダ７６に支持された駆動機器としてのリニアモータ８１と、リニアモータ８１のスライダ８２に駆動機器としての回動モータ８３を介して支持された剥離ローラ８４と、剥離ローラ８４との間に使用済み積層体ＬＳ９を挟み込むピンチローラ８５とを備えている。

【0022】

以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが積層体ＬＳ１を図２に示すようにセットする。その際、剥離ローラ３１を境に積層体ＬＳ１を不要積層体ＬＳ８と接着シートＡＳが仮着された使用済み積層体ＬＳ９とに分けるとき、第１仮着力増大領域ＰＲ１と接着シートＡＳとの仮着力が第２剥離シートＲＬ２と接着シートＡＳとの仮着力よりも大きく、また、第２仮着力増大領域ＰＲ２とスペーサ部ＳＰとの仮着力が第１剥離シートＲＬ１とスペーサ部ＳＰとの仮着力よりも大きいため、接着シートＡＳは、簡単に第２剥離シートＲＬ２から剥離される一方、スペーサ部ＳＰは、簡単に第１剥離シートＲＬ１から剥離され、オペレータに何の技術も強要することなく不要積層体ＬＳ８と、接着シートＡＳが仮着された使用済み積層体ＬＳ９とが形成される。
そして、繰出手段２が各回動モータ２３、２５、２８を駆動し、第２剥離手段８が回動モータ８３を駆動するとともに、第１剥離手段３が回動モータ３３を駆動し、積層体ＬＳ１を繰り出して接着シートＡＳが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２、第２剥離手段８、第１剥離手段３が各回動モータ２３、２５、２８、８３、３３の駆動を停止する。

【0023】

その後、図示しない搬送手段によってテーブル９２の支持面９１上にウェハＷＦが載置されると、図示しない吸引手段が駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。これにより、図２に示すように、接着シートＡＳの直下にウェハＷＦが位置することとなる。
そして、押圧手段７がリニアモータ７３、７１を駆動し、押圧ローラ７５を下降させるとともに、当該押圧ローラ７５を右方向に移動させることで、接着シートＡＳが第１剥離シートＲＬ１上から押圧されてウェハＷＦに貼付される。その後、押圧ローラ７５が図２中二点鎖線で示す位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、押圧手段７がリニアモータ７１の駆動を停止する。

【0024】

次いで、第２剥離手段８がリニアモータ８１を駆動し、剥離ローラ８４およびピンチローラ８５を下降させた後、回動モータ８３を駆動し、剥離ローラ８４を回転させると同時に、押圧手段７がリニアモータ７１を駆動し、各ローラ８４、８５を右方向に移動させる。これにより、第１剥離シートＲＬ１が接着シートＡＳから剥離され、接着シートＡＳがウェハＷＦに貼付される。その後、各ローラ８４、８５が図２中二点鎖線で示す位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、押圧手段７および第２剥離手段８がリニアモータ７１および回動モータ８３の駆動を停止した後、リニアモータ７３、８１を駆動し、押圧ローラ７５および各ローラ８４、８５を上昇させる。
次いで、図示しない吸引手段が停止し、ウェハＷＦの吸着保持を解除した後、図示しない搬送手段が接着シートが貼付されたウェハＷＦを保持して別の工程へと搬送する。

【0025】

そして、第２剥離手段８が回動モータ８３を停止させた状態で、押圧手段７がリニアモータ７１を駆動し、押圧ローラ７５および各ローラ８４、８５を図２中実線で示す位置まで復帰させる。この移動に同期して繰出手段２が各回動モータ２３、２５、２８を駆動し、支持ローラ２１から積層体ＬＳ１を繰り出して回収ローラ２９で使用済み積層体ＬＳ９を巻き取るとともに、第１剥離手段３が回動モータ３３を駆動し、不要積層体ＬＳ８を回収ローラ３４で巻き取る。このとき、積層体ＬＳ１の剥離後層形態が明確にされているので、新たな接着シートＡＳが第２剥離シートＲＬ２に接着した状態で第１剥離シートＲＬ１から剥離されることなく、確実に第１剥離シートＲＬ１に仮着された状態でウェハＷＦに対向可能な位置に搬送される。そして、以降上述と同様の動作が繰り返される。

【0026】

以上のような第１実施形態によれば、第１剥離シートＲＬ１と接着シートＡＳとの間に第１仮着力増大領域ＰＲ１を設けたので、第２剥離シートＲＬ２を剥離するときに、接着シートＡＳが当該第２剥離シートＲＬ２に接着して第１剥離シートＲＬ１から剥離することを防止でき、剥離後層形態を明確にできる積層体ＬＳ１を提供することができる。

【0027】

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
第２実施形態の積層体ＬＳ２は、第１実施形態の積層体ＬＳ１に対し、第１仮着力増大領域ＰＲ１および第２仮着力増大領域ＰＲ２の代わりに、第１仮着力減少領域ＰＬ１および第２仮着力減少領域ＰＬ２を設けた点が相違する。
すなわち、積層体ＬＳ２は、図３に示すように、所定の形状の接着シートＡＳと、接着シートＡＳの面方向外側に設けられたスペーサ部ＳＰと、接着シートＡＳの一方の面（図３（Ｂ）中上面）側およびスペーサ部ＳＰの一方の面（図３（Ｂ）中上面）側に仮着された第１剥離シートＲＬ１と、接着シートＡＳの他方の面（図３（Ｂ）中下面）側およびスペーサ部ＳＰの他方の面（図３（Ｂ）中下面）側に仮着された第２剥離シートＲＬ２と、第２剥離シートＲＬ２と接着シートＡＳとの間に設けられ、それらの仮着力が第１剥離シートＲＬ１と接着シートＡＳとの仮着力に比べて小なる仮着力となる第１仮着力減少領域ＰＬ１と、第１剥離シートＲＬ１とスペーサ部ＳＰとの間に設けられ、それらの仮着力が第２剥離シートＲＬ２と当該スペーサ部ＳＰとの仮着力に比べて小なる仮着力となる第２仮着力減少領域ＰＬ２とを備えて構成されている。

【0028】

第１および仮着力減少領域ＰＬ１、ＰＬ２は、例えば第１および第２仮着力増大領域ＰＲ１、ＰＲ２と同様の厚みおよび形状の帯状に形成することができ、シリコン樹脂、フッ素樹脂、長鎖アルキル樹脂等の剥離剤の種類によってコントロールしたり、剥離剤の重合のさせ方や剥離剤の組成を異ならせることによってコントロールして形成できる。

【0029】

このような積層体ＬＳ２を図２に示すシート貼付装置１に採用した場合にでも、剥離ローラ３１を境にして、積層体ＬＳ２を第２剥離シートＲＬ２上にスペーサ部ＳＰおよび第１仮着力減少領域ＰＬ１が仮着された不要積層体と、接着シートＡＳが仮着され第１剥離シートＲＬ１上に第２仮着力減少領域ＰＬ２が仮着された使用済み積層体とに分けるとき、更には、図２に示すシート貼付装置１の自動運転中において、接着シートＡＳは、簡単に第２剥離シートＲＬ２から剥離され、スペーサ部ＳＰは、簡単に第１剥離シートＲＬ１から剥離され、不要積層体と使用済み積層体とが形成される。

【0030】

以上のような第２実施形態によれば、第２剥離シートＲＬ２と接着シートＡＳとの間に第２仮着力減少領域ＰＬ１を設けたので、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0031】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0032】

積層体ＬＳ１、ＬＳ２において、第１仮着力増大領域ＰＲ１、第１仮着力減少領域ＰＬ１を第１剥離シートＲＬ１の長手方向に沿って帯状に設けたが、接着シートＡＳと同じ形状あるいは接着シートＡＳより若干大きい円形や多角形の枚葉状として、点在させてもよい。
また、第２仮着力増大領域ＰＲ２に形成した凹部ＳＰＡに対応した凹部ＰＲ２Ａや、第２仮着力減少領域ＰＬ２に形成した凹部ＳＰＡに対応した凹部ＰＬ２Ａ（説明省略図示のみ）を備えることなく直線的な帯状に形成してもよい。
さらには、積層体ＬＳ１、ＬＳ２を複数枚の接着シートＡＳが仮着された帯状としたが、１枚の積層体ＬＳ１、ＬＳ２に１枚の接着シートＡＳが仮着された枚葉状としてもよい。
また、上記実施形態では、シート貼付装置１を用いて積層体ＬＳ１、ＬＳ２の接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付したが、オペレータが手作業で接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付してもよい。
さらに、上述の第１実施形態において、第２剥離シートＲＬ２と接着シートＡＳとの間に、それらの仮着力が第１剥離シートＲＬ１と接着シートＡＳとの仮着力に比べて小なる仮着力となる第２実施形態と同等の第１仮着力減少領域ＰＬ１を設けてもよいし、第１剥離シートＲＬ１とスペーサ部ＳＰとの間に、それらの仮着力が第２剥離シートＲＬ２とスペーサ部ＳＰとの仮着力に比べて小なる仮着力となる第２実施形態と同等の第２仮着力減少領域ＰＬ２を設けてもよい。
また、上述の第２実施形態において、第１剥離シートＲＬ１と接着シートＡＳとの間に、それらの仮着力が第２剥離シートＲＬ２と接着シートＡＳとの仮着力に比べて大なる仮着力となる第１実施形態と同等の第１仮着力増大領域ＰＲ１を設けてもよいし、第２剥離シートＲＬ２とスペーサ部ＳＰとの間に、それらの仮着力が第１剥離シートＲＬ１とスペーサ部ＳＰとの仮着力に比べて大なる仮着力となる第１実施形態と同等の第２仮着力増大領域ＰＲ２を設けてもよい。

【0033】

また、本発明における接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、前記実施形態のように、単体の接着剤層からなるもの以外に、基材シートと接着剤層とからなる２層のものや、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。また、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。さらに、ウェハの表面にパターン回路が形成されたものも対象とすることができる。

【0034】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0035】

ＡＳ…接着シート
ＬＳ１、ＬＳ２…積層体
ＰＬ１、ＰＬ２…第１および第２仮着力減少領域
ＰＲ１、ＰＲ２…第１および第２仮着力増大領域
ＲＬ１、ＲＬ２…第１および第２剥離シート
ＳＰ…スペーサ部

【図1】

【図2】

【図3】