特許 5974645 イオンビーム照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5974645

(24)【登録日】2016年7月29日

(45)【発行日】2016年8月23日

(54)【発明の名称】イオンビーム照射装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/317 20060101AFI20160809BHJP

   H01L 21/265 20060101ALI20160809BHJP

【ＦＩ】

   H01J37/317 B

   H01L21/265 603D

【請求項の数】8

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-127538(P2012-127538)

(22)【出願日】2012年6月4日

(65)【公開番号】特開2013-251240(P2013-251240A)

(43)【公開日】2013年12月12日

【審査請求日】2015年3月3日

(73)【特許権者】

【識別番号】302054866

【氏名又は名称】日新イオン機器株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100113468

【弁理士】

【氏名又は名称】佐藤 明子

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(72)【発明者】

【氏名】中澤 喜之

(72)【発明者】

【氏名】小野田 正敏

【審査官】 植木 隆和

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−２１３８４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０８１３６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−３２４４６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−３７２１５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｊ ３７／３１７

Ｈ０１Ｌ ２１／２６５

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空チャンバ内において基板にイオンビームを照射して処理を施すイオンビーム照射装置であって、
基板を保持しつつ、イオンビームが照射されるイオンビーム照射領域とイオンビームが照射されないイオンビーム退避領域との間を移動可能に設けられた基板保持部材と、
前記基板保持部材を移動させるための駆動装置と、
一端が真空チャンバ側に他端が前記基板保持部材側にそれぞれ接続されて、前記基板保持部材の移動に伴って連動するリンクと、
前記リンクに沿って配線されるとともに、前記駆動装置に電力を供給するケーブルとを備え、
前記リンクの内部には、前記基板保持部材又は前記駆動装置を冷却するための流体を送る流路が設けられて、
前記リンクが、少なくとも１以上の節部と前記節部によって互いに回転可能に連結された複数のリンクメンバーとから成り、
前記ケーブルが、前記節部に巻き付けられていることを特徴とするイオンビーム照射装置。

【請求項2】

前記イオンビーム照射領域において、前記ケーブルが、前記リンクメンバーのイオンビーム照射側の裏側に配線されていることを特徴とする請求項１記載のイオンビーム照射装置。

【請求項3】

前記リンクが、前記リンクメンバーの前記ケーブルが配線される片側を覆うように配置される第１カバーと、前記節部の外周を覆うように配置される第２カバーとを有することを特徴とする請求項１又は２記載のイオンビーム照射装置。

【請求項4】

前記第１カバーと、前記第２カバーとが、カーボン素材からなることを特徴とする請求項３記載のイオンビーム照射装置。

【請求項5】

前記リンクメンバーの前記ケーブルが配線される範囲には、複数の係止部が設けら
れて、
前記ケーブルが、前記係止部に係止されることにより、前記リンクメンバーに沿って湾曲するように配線されていることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のイオンビーム照射装置。

【請求項6】

前記駆動装置が、前記基板保持部材に保持された基板を傾ける駆動機構と、前記駆動機構を内部に収納する筐体とからなり、
前記筐体の内部が、大気圧であることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載のイオンビーム照射装置。

【請求項7】

前記リンクには、複数の前記流路が設けられて、
一部の前記流路が、冷却用の水が流れる通水路であり、
一部の前記流路が、冷却用の空気が流れる通気路であり、
前記通気路が、前記通水路からの漏水を検知する漏水検知装置を有することを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６記載のイオンビーム照射装置。

【請求項8】

真空チャンバ内において基板にイオンビームを照射して処理を施すイオンビーム照射装置であって、
基板を保持しつつ、イオンビームが照射されるイオンビーム照射領域とイオンビームが照射されないイオンビーム退避領域との間を移動可能に設けられた基板保持部材と、
前記基板保持部材を移動させるための駆動装置と、
一端が真空チャンバ側に他端が前記基板保持部材側にそれぞれ接続されて、前記基板保持部材の移動に伴って連動するリンクと、
前記駆動装置に電力を供給するケーブルとを備え、
前記ケーブルが、前記リンクに沿って配線されており、
前記リンクの内部には、前記基板保持部材又は前記駆動装置を冷却するための流体を送る複数の流路が設けられており、
一部の前記流路が、冷却用の水が流れる通水路であり、
一部の前記流路が、冷却用の空気が流れる通気路であり、
前記通気路が、前記通水路からの漏水を検知する漏水検知装置を有していることを特徴とするイオンビーム照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、基板保持部材に保持された基板にイオンビームを照射するイオンビーム照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

イオンビーム照射装置として、例えば特許文献１に示すような小型の基板に用いられるイオンビーム照射装置が知られている。特許文献１におけるイオンビーム照射装置では、イオンビームが照射されるイオンビーム照射領域とイオンビームが照射されないイオンビーム退避領域との間を移動可能に設けられた基板保持部材によって基板が保持される。そして、イオンビーム照射領域において、基板保持部材によって基板を傾斜させることで、基板に照射されるイオンビームの照射角度を変更する。この構成により、特許文献１のイオンビーム照射装置では、基板に対して均一にイオンビームを注入することができる。

【0003】

ところで、特許文献１では、基板を傾斜させるために設けられたチルトモータを真空チャンバ内に配置している。そして、電力を供給するケーブルをチルトモータに繋ぐために、真空チャンバ内にケーブルを配線するための配線専用の中空パイプが形成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８−５９９９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

半導体ウェハのような比較的小型の基板に用いられるイオンビーム照射装置においては、上述した特許文献１の構成でも問題は生じない。しかし、テレビの液晶ディスプレイ等の大型の基板に用いられるイオンビーム照射装置においては、イオンビーム照射装置自体が大型なものとなるため、真空チャンバ内のスペースが制限される。そのため、電力を供給するためのケーブル配線専用の別部材を真空チャンバ内に設けることは難しい。また、大型の装置では、その装置を動かす電力やイオンビームの出力も大きくなり、基板保持部材やモーター（駆動装置）で発生する熱を冷却する必要が生じる。そのため、小型の装置では必要のなかったクーリング配管を別途設けなければならず、さらに真空チャンバ内のスペースが制限されてしまい、ケーブル配線専用の別部材を設けることはより困難なものとなる。

【0006】

一方、真空チャンバ内の非常に限られたスペースの中でケーブルをそのまま配線すると、イオンビーム照射装置が作動する際に、ケーブルが誤ってイオンビーム照射装置に引っ掛かり断線するという問題や、ケーブルにイオンビームが照射されることでケーブルが劣化したり、イオンビームが照射されたケーブルからガスが発生したりするという問題が生じる。

【0007】

本発明は上記問題点を鑑みてなされたものであり、クーリング配管に着目してケーブルを無理なく配線することができ、ケーブルの断線及びケーブルの劣化やケーブルからのガスの発生を防止したイオンビーム照射装置を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

真空チャンバ内において基板にイオンビームを照射して処理を施すイオンビーム照射装置であって、基板を保持しつつ、イオンビームが照射されるイオンビーム照射領域とイオンビームが照射されないイオンビーム退避領域との間を移動可能に設けられた基板保持部材と、前記基板保持部材を移動させるための駆動装置と、一端が真空チャンバ側に他端が前記基板保持部材側にそれぞれ接続されて、前記基板保持部材の移動に伴って連動するリンクと、前記駆動装置に電力を供給するケーブルとを備え、前記リンクの内部は、前記基板保持部材又は前記駆動装置を冷却するための流体を送る流路が設けられて、前記ケーブルが、前記リンクに沿って配線されていることを特徴とする。

【0009】

このようなものであれば、ケーブル配線専用の別部材を設ける必要がないので、無理なくケーブルを配線することができる。また、基板保持部材や駆動装置の冷却のために設けられるリンクに沿ってケーブルが配線されるので、ケーブルがイオンビーム照射装置に引っ掛かって断線することやイオンビームが照射されることによりケーブルが劣化すること及びケーブルからガスが発生することを防止することができる。

【0010】

また本発明では、前記リンクが、少なくとも１以上の節部と前記節部によって互いに回転可能に連結された複数のリンクメンバーとから成り、前記ケーブルが、前記節部に巻かれた状態で配線されている。

【0011】

これにより、ケーブルがリンクから抜け落ちる事を防止することができる。このとき、ケーブルが最大限に引っ張られる位置でリンクメンバーが最大限に傾斜する方向にケーブルを巻いておくことで、基板保持部材に連動してリンクが移動しても、ケーブルが引っ張られることによる断線を防止できる。

【0012】

加えて、節部にケーブルを幾重にも巻いておくことで、ケーブルにたるみが生じた際に、そのたるみ長さを節部に巻かれた複数のケーブルで分散することができる。そのため、１つ１つの節部に巻かれたケーブルのたるみを低減し、ケーブルのたるみ部分がリンクからはみ出ることを防ぐことができる。これにより、リンクから、はみ出たケーブルがイオンビーム照射装置に引っ掛かることで、ケーブルが断線することも防止できる。

【0013】

また本発明では、前記イオンビーム照射領域において、前記ケーブルが、前記リンクメンバーのイオンビーム照射側の裏側に配線されている。

【0014】

これにより、ケーブルにイオンビームが照射されることを防ぎ、ケーブルの劣化及びケーブルからのガスの発生を防止できる。

【0015】

さらに本発明では、前記リンクが、前記リンクメンバーの前記ケーブルが配線される片側を覆うように配置される第１カバーと、前記節部の外周を覆うように配置される第２カバーとを有する。

【0016】

そのため、ケーブルにイオンビームが照射されることを確実に防止することができる。なお、上記カバーはカーボン素材からなることが好ましい。

【0017】

また本発明では、前記リンクメンバーの前記ケーブルが配線される範囲には、複数の係止部が設けられて、前記ケーブルが、前記係止部に係止されることにより、前記リンクメンバーに沿って湾曲するように配線されている。

【0018】

これにより、ケーブルがリンクから抜け落ちることを防止できる。また、係止部の数を増減させることで、係止部に引っ掛けられるケーブルを増減させてリンクメンバーにおけるケーブルの長さを調整することができる。そのため、イオンビーム照射装置においてメンテナンスの際に長さの異なるケーブルを用いたとしても、リンクに沿ってケーブルを配線することができ、メンテナンス性の向上を図ることができる。

【0019】

また本発明では、前記駆動装置が、前記基板保持部材に保持された基板を傾ける駆動機構と、前記駆動機構を内部に収納する筐体とからなり、前記筐体の内部が、大気圧である。

【0020】

これにより、駆動機構を大気中で作動することができるので、例えば従来から使用されているモーターを駆動機構として使用でき、イオンビーム照射装置のコストを下げることができる。

【0021】

また本発明では、前記リンクには、複数の前記流路が設けられて、一部の前記流路が、冷却用の水が流れる通水路であり、一部の前記流路が、冷却用の空気が流れる通気路であり、前記通気路が、前記通水路からの漏水を検知する漏水検知装置を有する。

【0022】

これにより、漏水検知装置が作動した場合には、イオンビーム照射装置を迅速に止めることができ、イオンビーム照射装置の安全性を向上することができる。

【発明の効果】

【0023】

このように構成した本発明によれば、ケーブルの配線のために別部材を設ける必要がないので、無理なくケーブルを配線できる。また、ケーブルがリンクに沿って配線されるので、ケーブルがイオンビーム照射装置に引っ掛かり断線することや、イオンビームが照射されることによるケーブルの劣化やケーブルからのガスの発生を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の一実施形態にかかるイオンビーム照射装置を示す概略図。

【図2】本発明の一実施形態にかかるイオンビーム照射装置を示す斜視図。

【図3】本発明の一実施形態にかかるイオンビーム照射装置を示す平面図。

【図4】本発明の一実施形態にかかるリンクを示す斜視図。

【図5】本発明の一実施形態にかかるカバーを外した際のリンクを示す平面図。

【図6】本発明の一実施形態にかかるリンクのＡＡ端面図。

【図7】本発明の一実施形態にかかるリンクのリンクメンバーを示す斜視図。

【図8】本発明の一実施形態にかかるリンクの節部を示す斜視図。

【図9】本発明の一実施形態にかかるリンクの節部の断面図。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下に本発明に係るイオンビーム照射装置１の一実施形態について図面を参照して説明する。

【0026】

本発明のイオンビーム照射装置１は、真空チャンバ内において、フラットパネルディスプレイ等に用いられる大型の基板に対してイオンビームの照射を行い、処理を施すためのものである。ここで、本実施形態にかかる基板とは、例えば、ガラス基板、配向膜付ガラス基板、半導体基板、その他イオンビームが照射される基板を含むものである。また、基板の形状は本実施形態においては矩形形状の薄板形状をなしているが、円形であってもよい。

【0027】

イオンビーム照射装置１は、図１に示すように、真空チャンバ内部に、イオンビームを基板に照射する処理室１００と、処理室１００に隣接して処理待ちの基板を処理室１００へと搬送する搬送室１０１と、搬送室１０１と大気の間において、基板を搬送及び格納するロードロック室１０２とを備える。各部屋の接続部分は、真空状態を維持するために真空弁（ゲートバルブ）により仕切られている。

【0028】

処理室１０１には、イオン源から発生したイオンが分析磁石を通過して運動量分析された後スリットを介して帯状に射出されるイオンビームが照射されるイオンビーム照射領域と、イオンビームが照射されないイオンビーム退避領域とが設けられている。イオンビーム照射領域とイオンビーム退避領域との間にはレール１８が敷かれており、レール１８には、レール１８に沿って基板を保持しながら移動する基板保持部材２が設置されている。

【0029】

基板保持部材２は、図２に示すように、４本の櫛歯が一定の間隔で並んだ櫛状形状に設けられて、基板を図示しないクランパー等で保持する基板保持部２ａと、基板保持部２ａを水平方向から鉛直方向に傾斜可能に支持する支持部２ｂと、支持部２ｂをレール１８に沿って移動可能に設けるランナー部２ｃとから構成される。基板保持部材２は、例えば、鉄、ステンレス鋼及びアルミニウム等の金属部材あるいはカーボン素材等の板状部材で構成されている。

【0030】

支持部２ｂには、図３に示すように、駆動装置３が設けられている。駆動装置３は、基板保持部２ａを傾斜可能に移動させるためのものであって、本実施形態では駆動装置３は直方体形状の筐体の内部に配置される。そのため、筐体の内部を大気圧にしておくことで大気圧用のモーターを使用することができ、イオンビーム照射装置１のコストを抑えることができる。

【0031】

また、図２及び３に示すように、支持部２ｂには、内部に基板保持部材２および駆動装置３を冷却するための流路１０が設けられたリンク４が配置される。リンク４は、一端が支持部２ｂに他端が処理室の真空チャンバ側にそれぞれ回転可能に支持されており、基板保持部材２に伴って連動する。リンク４の内部に設けられた流路１０は、支持部２ｂを介して基板保持部材２および駆動装置３に繋がっている。また、リンク４には、駆動装置３に電力を供給するためのケーブル５がリンク４に沿って配線されている。ケーブル５はリンク４の一端が支持されている支持部２ｂを介して駆動装置３に繋がれている。

【0032】

本発明のイオンビーム照射装置１では、ロードロック室１０２が真空引きされて真空状態となった後に、イオンビームが未だ照射されていない未処理の基板が、ロードロック室１０２から搬送室１０１へと運ばれる。搬送室１０１では、ロードロック室１０２から搬送されてきた未処理の基板が、水平に寝かされた状態で処理室１００へと運ばれる。処理室１００においては、未処理の基板が、基板保持部材２により保持された後、イオンビーム退避領域で基板保持部材２によって水平に寝かされた状態から鉛直方向に起立させられる。そして、基板は、上述したレール１８に沿ってイオンビーム退避領域からイオンビーム照射領域へと運ばれて、イオンビーム照射領域を通過する間に基板全面にイオンビームが照射される。イオンビームが照射された基板は、基板保持部材２によってイオンビーム退避領域で再度水平に寝かされた状態となって、搬送室１０１及びロードロック室１０２へと運ばれる。

【0033】

ここで、リンク４及びケーブル５の構成について、図４〜図９を参照しながら、以下詳述する。

【0034】

リンク４は、図４に示すように、円柱形状を有する節部４ａと、節部４ａによって互いに回転可能に接続されて細長い形状を有するリンクメンバー４ｂとから構成されている。節部４ａの円柱の軸方向の長さは、リンクメンバー４ｂの該軸方向の長さよりも長くなるように構成されており、節部４ａにおいて、リンクメンバー４ｂは該軸方向に対して互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。

【0035】

リンクメンバー４ｂは、図５及び６に示すように、例えば、鉄、ステンレス鋼及びアルミニウム等の金属部材で構成された細長い板状部材であり、その両端には、節部４ａと連結するための連結部分が設けられている。

【0036】

リンクメンバー４ｂの片面には、その長手方向と平行となる中心線に対して互い違いとなるように、一定の距離を隔てて、ケーブル５を配線するための複数の係止部８が設けられている。係止部８は、その長手方向の片側の辺が円弧を描くように形成された略直方体形状の突起であり、円弧を描く側がケーブル５と隣接するように配置されている。長手方向の辺が円弧を描くように構成されていることで、ケーブル５を係止部８に引っ掛からないように配線することができる。

【0037】

また、リンクメンバー４ｂには、リンクメンバー４ｂの両端と一定の距離を隔ててケーブル５を節部４ａに導くケーブルガイド部９が設けられている。ケーブルガイド部９は、リンクメンバー４ｂの短手方向と平行となる長さが、節部４ａ側に向かって短くなるようにテーパが設けられた突起であり、リンクメンバー４ｂの長手方向と平行となる中心線に対して対称となるように一対設けられている。そのため、一対のケーブルガイド部９は、節部４ａ側に向かって開口が広がるように構成されている。リンクメンバー４ｂに係止部８及びケーブルガイド部９が設けられたことにより、リンクメンバー４ｂに配線されるケーブル５が抜け落ちることを防ぐことができる。

【0038】

リンクメンバー４ｂの内部には、図６に示すように、基板保持部材２及び駆動装置３を冷却するための流路１０が４本設けられている。内側の２つの流路１０は冷却用の水が流れる通水路１０ａであり、外側の２つの流路１０は、冷却用の空気が流れる通気路１０ｂである。通気路１０ｂには、図示しない通水路１０ａからの漏水を検知する漏水検知装置が設けられている。そのため、漏水検知装置が作動した場合には、イオンビーム照射装置１を迅速に止めることができ、イオンビーム照射装置１の安全性を向上することができる。

【0039】

節部４ａは、図８に示すように、略円柱形状を有するものであり、同一の中心軸に対してそれぞれ互いに回転可能に嵌合する第１嵌合部１３ａと、第２嵌合部１３ｂとから構成されている。第１嵌合部１３ａおよび第２嵌合部１３ｂのリンクメンバー４ｂと対向する端面および、第１嵌合部１３ａあるいは第２嵌合部１３ｂと対向するリンクメンバー４ｂの端面には、４本の流路１０（１０ａ、１０ｂ）と、流路１０からの空気または水が漏れることを防止するために４本の流路１０の周囲に配置されるシーリングと、第１嵌合部１３ａあるいは第２嵌合部１３ｂとリンクメンバー４ｂとを連結するためのねじ穴が設けられている。

【0040】

なお、本実施形態においては、リンクメンバー４ｂと第１嵌合部１３ａあるいは第２嵌合部１３ｂとを別々に設けているが、リンクメンバー４ｂと第１嵌合部１３ａあるいは第２嵌合部１３ｂとを一体的に設けても構わない。

【0041】

第１嵌合部１３ａは、図５及び７に示すように、リンクメンバー４ｂの厚みと同じ厚みを有する略円柱形状の軸部分と、リンクメンバー４ｂと連結するために軸部分の一部から突出するように設けられる連結部分と、軸部分から放射線状に突出して、ケーブル５の抜け落ちを防止する棒状形状の５つのガイド部１２とから構成されている。連結部分は、軸部分と同じ厚みを有して、軸部分と連続するように一体的に設けられている。

【0042】

第１嵌合部１３ａの軸部分の片面には、図８に示すように、４本の流路１０を第２嵌合部１３ｂに繋げるために内部に図示しない貫通孔が形成された略円柱形状の凸部が設けられている。凸部には複数のＯリングが設けられて、凸部から水あるいは空気が漏れることを防いでいる。

【0043】

第２嵌合部１３ｂは、図５及び７に示すように、第１嵌合部１３ａの凸部を内部に嵌め込むための凹部が設けられた略円筒形状を有する軸部分と、リンクメンバー４ｂと連結するために、リンクメンバー４ｂと同じ厚みを有して軸部分の一部から突出するように設けられる連結部分と、連結部分の厚み方向の高さと同じ位置の軸部分から放射線状に突出する棒状形状の５つのガイド部１２とから構成されている。連結部分は軸部分と連続するように設けられている。第２嵌合部１３ｂの軸部分の円柱の軸方向の長さは、リンクメンバー４ｂの厚み方向の長さよりも長くなるように構成されている。また、凹部には、４本の流路１０を繋ぐための図示しない貫通孔が形成されている。

【0044】

リンクメンバー４ｂ及び節部４ａには、図４及び８に示すように、カバー６が配置される。
リンクメンバー４ｂには、図４及び８に示すように、ケーブル５が配線される片側を覆うように第１カバー６ａが配置されている。また、節部４ａの外周には、節部４ａ全体を覆うように第２カバー６ｂが配置される。第１カバー６ａ及び第２カバー６ｂは、例えば、鉄、ステンレス鋼及びアルミニウム等の金属部材で構成されている。また、イオンビーム照射側に配置する第１カバー６ａ及び第２カバー６ｂは２重になっており、外側に配置するカバーはカーボンカバー７で構成されている。

【0045】

次に、リンク４に配線されるケーブル５について説明する。
まず、リンクメンバー４ｂに配線されるケーブル５は、図５及び図７に示すように、リンクメンバー４ｂの一端側に配置されるケーブルガイド部９からリンクメンバー４ｂの他端側に配置されるケーブルガイド部９の間を、係止部８に引っ掛かることにより波状形状を描いて湾曲するように配線される。

【0046】

次に節部４ａに配線されるケーブル５は、図９に示すように、リンクメンバー４ｂの間に配置する節部４ａの周囲に螺旋を描くように配線される。より具体的には、一方のリンクメンバー４ｂから導かれたケーブル５が、ケーブル５は第２嵌合部１３ｂの筒部の周囲に螺旋を描くように配線されて、他方のリンクメンバー４ｂに導かれる。ケーブル５は、第１嵌合部１３ａに設けられたガイド部１２と第２嵌合部１３ｂに設けられたガイド部１２との間に配線されるので、節部４ａにおいてケーブル５が抜け落ちることを防ぐことができる。

【0047】

ここで、同一の節部４ａにおいて、第１嵌合部１３ａに連結されるリンクメンバー４ｂと、第２嵌合部１３ｂに連結されるリンクメンバー４ｂとは、係止部８及びケーブルガイド９が設置された面が互いに向き合うように配置される。そのため、第１嵌合部１３ａに連結されたリンクメンバー４ｂに配線されるケーブル５と、第２嵌合部１３ｂに連結されたリンクメンバー４ｂに配線されるケーブル５とは、互いに対向するように配線されている。

【0048】

そのため、図５に示すように、節部４ａの円柱の軸方向から見ると、イオンビーム照射側にケーブル５が配線されるリンクメンバー４ｂと、イオンビーム照射側とは反対側にケーブル５が配線されるリンクメンバー４ｂとが節部４ａを介して交互に配置されることとなる。そこで、イオンビーム照射領域におけるリンクメンバー４ｂのケーブル５が、イオンビーム照射側とは反対側となるように配線を行うことによって、ケーブル５にイオンビームが照射されることにより、ケーブル５が劣化することやケーブル５からガスが発生することを防止することができる。

【0049】

このように構成されたイオンビーム照射装置１においては、基板保持部材２や駆動装置３の冷却のために設けられるリンク４に沿ってケーブル５が配線されるので、ケーブル５配線専用の別部材を設ける必要がない。これにより、無理なくケーブル５を配線でき、ケーブル５がイオンビーム照射装置１に引っ掛かって断線することやケーブル５にイオンビームが照射されることによりケーブル５が劣化することやケーブル５からガスが発生することを防止することができる。

【0050】

また、節部４ａの円柱の軸方向から見て、節部４ａを介したリンクメンバー４ｂが一直線に並んだ状態を基準状態とすると、節部４ａにケーブル５を配線する際に、ケーブル５が節部４ａの第１嵌合部１３ａに連結されたリンクメンバー４ｂと、第２嵌合部１３ｂに連結されたリンクメンバー４ｂとによって最大限に引っ張られる位置で、リンクメンバー４ｂが基準状態から最大限に傾斜する方向にケーブル５を配線しておくことで、基板保持部材２の移動に連動してリンク４が移動しても、ケーブル５が引っ張られることによる断線を防止できる。

【0051】

加えて、節部４ａにケーブル５を幾重にも螺旋状に巻いておくことで、ケーブル５にたるみが生じた際に、そのたるみ長さを節部４ａに巻かれた複数のケーブル５で分散することができる。そのため、１つ１つの節部４ａに巻かれたケーブル５のたるみを低減し、ケーブル５のたるみ部分がリンク４からはみ出ることを防ぐことができる。これにより、リンク４から、はみ出たケーブル５がイオンビーム照射装置１に引っ掛かることで、ケーブル５が断線することも防止できる。

【0052】

また、リンクメンバー４ｂに設置される係止部８の数を増減させることで、係止部８に引っ掛けられるケーブル５を増減させてリンクメンバー４ｂにおけるケーブル５の長さを調整することができる。そのため、イオンビーム照射装置１においてメンテナンスの際に長さの異なるケーブル５を用いたとしても、リンク４に沿ってケーブル５を配線することができ、メンテナンス性の向上を図ることができる。

【0053】

さらに、リンクメンバー４ｂに設置されるケーブルガイド部９が、節部４ａ側に向かって開口が広がるように構成されていることで、ケーブルガイド部９と節部４ａとの間に配置されるケーブル５は動作の自由度が高くなる。そのため、リンクメンバー４ｂと節部４ａとの間おいて、ケーブル５が引っ掛かることを防止して、ケーブル５を無理なく節部４ａの周囲に巻かれるように配線することができる。

【0054】

そして、リンクメンバー４ｂ及び節部４ａにそれぞれ第１カバー６ａ及び第２カバー６ｂが配置されていることにより、ケーブル５にイオンビームが照射されてケーブル５が劣化することを防ぐことができる。また、イオンビーム照射側に配置する第１カバー６ａ及び第２カバー６ｂの外側にカーボンカバー７を配置することによって、金属部材で構成されるカバーにイオンビームが照射されることによって、金属カバーがスパッタリングされることも防ぐことができる。

【0055】

なお、本発明は本実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨に反しない限りにおいて、様々な変形が可能である。

【符号の説明】

【0056】

１・・・イオンビーム照射装置
２・・・基板保持部材
３・・・駆動装置
４・・・リンク
４ａ・・・節部
４ｂ・・・リンクメンバー
５・・・ケーブル
１０（１０ａ、１０ｂ）・・・流路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】