発明の名称 イオンビーム照射装置
出願人 日新イオン機器株式会社 (識別番号 302054866)
特許公開件数ランキング 947 位(8件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1206 位(5件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5974645
公報発行日 2016年8月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5974645
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