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公報発行日 2016年8月23
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【図1】本発明の第1の実施形態における電力制御システムの構成例を示す図である。
【図2】ファンフィルタユニットの風量と消費電力との関係を示す図である。
【図3】第1の実施形態におけるクリーンルーム内のファンフィルタユニットの配置例と、ファンフィルタユニットについてのグループ分けの例を示す図である。
【図4】第1の実施形態における運転制御結果に応じた空気清浄度とファンフィルタユニットの消費電力の時間経過に応じた変化例を示す図である。
【図5】第1の実施形態における制御装置が実行する処理手順例を示す図である。
【図6】第1の実施形態の変形例1における運転制御結果に応じた空気清浄度とファンフィルタユニットの消費電力の時間経過に応じた変化例を示す図である。
【図7】第1の実施形態の変形例2に対応するクリーンルームのエリア分割例を示す図である。
【図8】本発明の第2の実施形態における電力制御システムの構成例を示す図である。
【図9】第2の実施形態における制御パターンテーブル作成のための手順例を示す図である。
【図10】第2の実施形態における制御装置が実行するファンフィルタユニット運転制御のための処理手順例を示す図である。
【図11】第2の実施形態における制御装置による運転制御結果の一例を示す図である。
【図12】第2の実施形態における制御装置による運転制御結果の一例を示す図である。
【図13】第2の実施形態において、クリーンルーム内での作業のスケジュール変更に応じた空気清浄度とファンフィルタユニットの消費電力の変化例を示す図である。
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