特許5975263IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

電力制御システム

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

例えば、半導体集積回路などの精密装置や非常に高い衛生的品質が求められる食品などを製造する工場などでは、所要の空気清浄度が確保されたクリーンルーム内で製品の製造を行う。
このようなクリーンルームは、その室内の空気清浄度を維持するためにファンフィルタユニットを備える。ファンフィルタユニットは、フィルタとファンが一体化された空調機器である。ファンフィルタユニットは、ファンを回転させることによりクリーンルームから一旦排気された空気をクリーンルーム内に排気させる。この際に、空気中に浮遊している塵がフィルタにより濾過されることで、クリーンルーム内の空気が清浄化される。 ファンフィルタユニットは、細かい粒子の塵埃を濾過する必要がある必要から、そのフィルタの目も相当に細かい。このために、フィルタに空気を通過させる際の圧力損失が大きい。そこで、吸排気量を確保するためには、ファンの回転を高くしたり、ファンフィルタユニットの設置数を増加させたりする必要がある。これにより、ファンフィルタユニット全体としての消費電力は相当に高くなってしまっている。 クリーンルームにおける消費電力の低減のためには、ファンフィルタユニットの運転強度を制御することが有効である。しかし、現状においては、空気清浄度の確保を優先しているために、ファンフィルタユニットは、許容限度の空気清浄度を確実に満足するように予め定められた運転強度によって定常的に運転されているというのが実情である。
また、特許文献1は、あくまでもオフィスにおける冷暖房、換気などの空調機器を、空調電力量の目標値以下とするように電力制御を行うものであるために、空気清浄度の厳密な管理が要求されるクリーンルームに適用することは難しい。 本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、クリーンルームの空調機器に適した空調制御が行える電力制御システムを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

上述した課題を解決するために、本発明の一態様としての電力制御システムは、クリーンルームに備えられる複数のファンフィルタユニットと、前記クリーンルームにおける空気清浄度を検出する清浄度センサと、検出された前記空気清浄度に基づいて前記複数のファンフィルタユニットにおける少なくとも一部の運転強度変更対象のファンフィルタユニットの運転強度を変更するように制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、消費・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、クリーンルームの空調機器に適した電力制御が可能な電力制御システムを提供できるという効果が得られる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の第1の実施形態における電力制御システムの構成例を示す図である。

【図2】ファンフィルタユニットの風量と消費電力との関係を示す図である。

【図3】第1の実施形態におけるクリーンルーム内のファンフィルタユニットの配置例と、ファンフィルタユニットについてのグループ分けの例を示す図である。

【図4】第1の実施形態における運転制御結果に応じた空気清浄度とファンフィルタユニットの消費電力の時間経過に応じた変化例を示す図である。

【図5】第1の実施形態における制御装置が実行する処理手順例を示す図である。

【図6】第1の実施形態の変形例1における運転制御結果に応じた空気清浄度とファンフィルタユニットの消費電力の時間経過に応じた変化例を示す図である。

【図7】第1の実施形態の変形例2に対応するクリーンルームのエリア分割例を示す図である。

【図8】本発明の第2の実施形態における電力制御システムの構成例を示す図である。

【図9】第2の実施形態における制御パターンテーブル作成のための手順例を示す図である。

【図10】第2の実施形態における制御装置が実行するファンフィルタユニット運転制御のための処理手順例を示す図である。

【図11】第2の実施形態における制御装置による運転制御結果の一例を示す図である。

【図12】第2の実施形態における制御装置による運転制御結果の一例を示す図である。

【図13】第2の実施形態において、クリーンルーム内での作業のスケジュール変更に応じた空気清浄度とファンフィルタユニットの消費電力の変化例を示す図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

100 建屋   101 プレナム   110 ドライコイル   200 クリーンルーム   201 エリア   210 生産装置   220 ファンフィルタユニット   230 清浄度センサ   240 人センサ   300 制御装置   400 中央監視装置

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