特許 5981230 シート剥離装置及び剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5981230

(24)【登録日】2016年8月5日

(45)【発行日】2016年8月31日

(54)【発明の名称】シート剥離装置及び剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160818BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20160818BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   H01L21/304 622J

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2012-126209(P2012-126209)

(22)【出願日】2012年6月1日

(65)【公開番号】特開2013-251448(P2013-251448A)

(43)【公開日】2013年12月12日

【審査請求日】2015年2月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101188

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 義雄

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 今井 聖和

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−２２８６２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１４２２４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０５６３４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３４０８５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８７

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ３２Ｂ ３８／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

先行する被着体に貼付された接着シートを剥離して剥離済みシートとし、追行する被着体に貼付された接着シートである未剥離シートに前記剥離済みシートを連結し、前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与することで、当該未剥離シートを剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記剥離済みシートを前記未剥離シートに連結する連結手段と、
前記剥離済みシートを保持可能な回収手段と、
前記回収手段と前記支持手段とを相対移動させて前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与する張力付与手段とを備え、
剥離用シートを繰り出す剥離用シート供給手段を更に備え、
前記連結手段は、前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを直接的に連結する直接連結と、前記剥離用シート供給手段から繰り出された前記剥離用シートと前記未剥離シートとを直接的に連結し、前記剥離用シートを介して前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを間接的に連結する間接連結とを選択的に行うことを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

先行する被着体に貼付された接着シートを剥離して剥離済みシートとし、追行する被着体に貼付された接着シートである未剥離シートに前記剥離済みシートを連結し、前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与することで、当該未剥離シートを剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持する工程と、
前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを直接的に連結する工程、若しくは、剥離用シートと前記未剥離シートとを直接的に連結し、前記剥離済みシートと前記未剥離シートとの間に前記剥離用シートを介在させて間接的に連結する工程を選択的に行う工程と、
前記剥離済みシートを回収手段で保持する工程と、
前記回収手段と前記接着シートが貼付された被着体とを相対移動させて前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与する工程とを特徴とするシート剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体から剥離した接着シートを他の被着体に貼付された接着シートに直接的に連結して剥離する態様と、剥離用シートを介在させてそれらを間接的に連結して剥離する態様とを選択的に行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する場合がある）には、回路面を保護するために接着シートが貼付され、このような接着シートは、ウエハの裏面研削等の所定の処理が施された後剥離される。
このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に記載されているように、先行するウエハ（先行する被着体）に貼付された接着シートを剥離して第１シート（剥離済みシート）とし、先行するウエハを追行する別のウエハ（追行する被着体）に貼付されている接着シートである第２シート（未剥離シート）に第１シートを直接的に連結（接着）し、その後に第１シートを引っ張ることで第２シートを被着体から剥離可能とする構成が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−２２８６２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたシート剥離装置によれば、被着体から剥離した接着シートを別の接着シートの剥離に利用するため、剥離用シートを別途用意する必要がなく、ランニングコストを低減させることができるというメリットがある。
しかしながら、特許文献１のシート剥離装置は、剥離の対象となる接着シートの組成、特性、物性、構成等によっては、剥離済みシートと未剥離シートとを直接的に連結できない場合があり、その結果、接着シートの剥離ができなくなる、という不都合を招来する。

【0005】

［発明の目的］
本発明の目的は、剥離済みシートと未剥離シートとが直接的に連結できない場合であっても、剥離用シートを介在してそれらを間接的に連結することで、接着シートの剥離ができなくなることを防止することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するため、本発明は、先行する被着体に貼付された接着シートを剥離して剥離済みシートとし、追行する被着体に貼付された接着シートである未剥離シートに前記剥離済みシートを連結し、前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与することで、当該未剥離シートを剥離するシート剥離装置において、前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記剥離済みシートを前記未剥離シートに連結する連結手段と、前記剥離済みシートを保持可能な回収手段と、前記回収手段と前記支持手段とを相対移動させて前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与する張力付与手段とを備え、剥離用シートを繰り出す剥離用シート供給手段を更に備え、前記連結手段は、前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを直接的に連結する直接連結と、前記剥離用シート供給手段から繰り出された前記剥離用シートと前記未剥離シートとを直接的に連結し、前記剥離用シートを介して前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを間接的に連結する間接連結とを選択的に行う、という構成を採っている。

【0007】

本発明において、前記支持手段は、前記未剥離シートの剥離前端部に対して前記剥離済みシートの剥離終端部を所定の位置に保持可能な保持手段を含む構成を採ることができる。

【0008】

また、本発明は、先行する被着体に貼付された接着シートを剥離して剥離済みシートとし、追行する被着体に貼付された接着シートである未剥離シートに前記剥離済みシートを連結し、前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与することで、当該未剥離シートを剥離するシート剥離方法において、前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持する工程と、前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを直接的に連結する工程、若しくは、剥離用シートと前記未剥離シートとを直接的に連結し、前記剥離済みシートと前記未剥離シートとの間に前記剥離用シートを介在させて間接的に連結する工程を選択的に行う工程と、前記剥離済みシートを回収手段で保持する工程と、前記回収手段と前記接着シートが貼付された被着体とを相対移動させて前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与する工程とを含む手法を採っている。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、剥離済みシートと未剥離シートとの直接連結と、剥離用シートを介在させる間接連結とを選択的に行えるように構成したから、接着シートの組成、特性、物性、構成等に起因して剥離済みシートと未剥離シートとが直接連結できない場合であっても、剥離用シートを介在してそれらを間接的に連結することで、接着シートの剥離ができなくなることを防止することができる。
また、保持手段を備えた構成により、未剥離シートに連結すべき剥離済みシート部分を確実に保持することができ、剥離済みシートと未剥離シートとが接着できなくなることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】シート剥離装置の概略側面図。

【図2】図１のシート剥離装置の動作説明図。

【図3】図２に続く図１のシート剥離装置の動作説明図。

【図4】図３に続く図１のシート剥離装置の動作説明図。

【図5】図３に続く図１のシート剥離装置の別の動作説明図。

【図6】図５に続く図１のシート剥離装置の別の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。

【0012】

図１（図４参照）において、シート剥離装置１０は、先行する被着体としてのウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離して剥離済みシートＡＳ１とし、追行するウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳである未剥離シートＡＳ２に剥離済みシートＡＳ１を連結し、剥離済みシートＡＳ１を介して未剥離シートＡＳ２に張力を付与することで、当該未剥離シートＡＳ２を剥離するものである。
前記シート剥離装置１０は、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを支持する支持手段１１と、剥離済みシートＡＳ１を未剥離シートＡＳ２に連結する連結手段１５と、剥離済みシートＡＳ１を保持可能な回収手段１２と、回収手段１２と支持手段１１とを相対移動させて剥離済みシートＡＳ１を介して未剥離シートＡＳ２に張力を付与する張力付与手段１６と、剥離用シートＰＳを繰出可能な剥離用シート供給手段１７と、剥離用シートＰＳを所定の長さで切断する切断手段１８と、回収手段１２に剥離済みシートＡＳ１が保持されているか否かを検出可能な検出手段１９と、未剥離シートＡＳ２の剥離姿勢を維持する剥離姿勢維持手段としてのローラ４５と、剥離用シートＰＳの残量を検知する残量検知手段５０とを備えて構成されている。なお、本実施形態では、感熱接着性の剥離用シートＰＳが用いられている。

【0013】

前記支持手段１１は、上面が吸着面とされ、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸着手段に接続されることで、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを吸着保持可能な載置面２１Ａと、載置面２１Ａの左側にウエハＷＦと同等の高さに設けられ、未剥離シートＡＳ２の剥離前端部に対して剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部を所定の位置に保持可能な保持手段としてのシート保持面２１Ｂとを備えたテーブル２１を含み、当該テーブル２１は、張力付与手段１６を構成する駆動機器としての直動モータＬＭ１のスライダ２２に支持され、回収手段１２に対して左右方向に相対移動可能となっている。シート保持面２１Ｂは、その右端縁が接着シートＡＳ又はウエハＷＦの外周形状に沿う形状に設けられ、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸着手段に接続されることで、剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部を吸着保持可能に設けられている。

【0014】

前記連結手段１５は、下端部が先尖形状に設けられ、内部に図示しないコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段が内蔵された第１ヒートブロック３０と、当該第１ヒートブロック３０を上下方向に移動させる駆動機器としての直動モータＬＭ４と、第１ヒートブロック３０の左側面に設けられた駆動機器としての第５直動モータＬＭ５と、直動モータＬＭ５のスライダ３２に支持され、内部に図示しないコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段が内蔵された第２ヒートブロック３１とを備えている。なお、第１、第２ヒートブロック３０、３１の下端面形状は、接着シートＡＳの外周形状に沿う形状に設けることが好ましい。

【0015】

前記回収手段１２は、駆動機器としての直動モータＬＭ２のスライダ２５に支持された回動モータＤＭと、この回動モータＤＭの図示しない出力軸に支持された駆動機器としての直動モータＬＭ３と、当該直動モータＬＭ３の一対のスライダ２７にそれぞれ支持されて相互に離間接近可能に設けられた一対のチャック２９により構成されている。チャック２９は、前後方向に延びて接着シートＡＳの直径を超える長さを備えている。

【0016】

前記剥離用シート供給手段１７は、駆動機器としての直動モータＬＭ６と、第６直動モータＬＭ６の図示しないスライダに支持されたフレーム３３に支持されるとともに、剥離用シートＰＳを繰出可能に支持する支持ローラ３５と、コイルばね４０によって常時左方向に付勢されてブッシュ３６及び軸３７を介して左右方向に移動可能に設けられるとともに、上面に凹部３８Ａを有するシート案内板３８と、剥離用シートＰＳのリード端保持装置３９とを備えて構成されている。リード端保持装置３９は、上チャック４０及び下チャック４１を上下方向に離間接近可能な駆動機器としての直動モータＬＭ７と、直動モータＬＭ７を昇降させる駆動機器としての直動モータＬＭ８とにより構成されている。

【0017】

前記切断手段１８は、第１ヒートブロック３０に固定された駆動機器としての直動モータＬＭ９のスライダ４２に固定されたカッター刃４３により構成されている。

【0018】

前記検出手段１９は、一方のチャック２９の内部に取り付けられた光学センサや接触型センサ等のセンサにより構成され、チャック２９間に剥離用シートＰＳ又は剥離済みシートＡＳ１が存在するか否かを判別することで、回収手段１２に剥離済みシートＡＳ１が保持されているか否かを検出することが可能となっている。

【0019】

前記残量検知手段５０は、支持ローラ３５に巻回された剥離用シートＰＳの残量が少なくなったことを検知する光学センサや撮像手段等の第１残量検知手段５０Ａと、剥離用シートＰＳの最終端が通過したことや、剥離用シートＰＳが切断してしまったことを検知する光学センサや撮像手段等の第２残量検知手段５０Ｂとを備えている。

【0020】

次に、本実施形態におけるシート剥離装置１０によるシート剥離方法について説明する。

【0021】

先ず、図１に示されるように剥離用シートＰＳを剥離用シート供給手段１７にセットするとともに、接着シートＡＳがお互いに直接連結可能であることをオペレータが図示しないシーケンサやパーソナルコンピュータ等の制御手段に入力する初期設定が行われる。この初期設定は、図示しないタッチパネルや操作盤の入力釦等によって制御手段に情報が入力され、これにより制御手段は直接連結モードを選択する。直接連結が可能な接着シートＡＳとしては、例えば、樹脂材やゴム材等が接着シートＡＳの基材シートに採用されている場合が例示できるが、このような樹脂材やゴム材等においても、連結手段１５の構成によっては直接連結ができない場合があるので、直接連結が可能か否かは、オペレータの経験値で選定することができる。そして、同図中二点鎖線で示される初期位置で停止しているテーブル２１に対し、図示しない搬送手段で接着シートＡＳ（未剥離シートＡＳ２）が貼付されたウエハＷＦを載置すると、支持手段１１が図示しない吸着手段を駆動し、ウエハＷＦの下面側を吸着面２１Ａで吸着保持する。ウエハＷＦが吸着面２１Ａで吸着保持されると、張力付与手段１６が直動モータＬＭ１を駆動し、テーブル２１を右方向に移動させ、未剥離シートＡＳ２の左上端部を第１ヒートブロック３０の左下端部の真下に位置させる。

【0022】

次に、検出手段１９がセンサを介してチャック２９間に剥離用シートＰＳ又は剥離済みシートＡＳ１が存在するか否かの判別を行う。第１回目の接着シートＡＳの剥離の場合、チャック２９間に剥離済みシートＡＳ１が存在しないので、この情報を受けた回収手段１２が直動モータＬＭ２を駆動し、図２中実線で示されるように、各チャック２９が離間した状態で、下方に位置するチャック２９でシート案内板３８をコイルばね４０の付勢力に抗して移動させ、剥離用シートＰＳの左端領域をチャック２９間に入り込ませる。次いで、回収手段１２が直動モータＬＭ３を駆動し、剥離用シートＰＳをチャック２９間に挟み込んだ後、直動モータＬＭ２を駆動し、チャック２９を左方向に移動させて剥離用シートＰＳを一定量引き出す。次に、連結手段１５が直動モータＬＭ４を駆動し、図２中二転鎖線で示されるように、第１ヒートブロック３０を下降させて剥離用シートＰＳを未剥離シートＡＳ２の左上端部に押圧し、図示しない加熱手段を駆動し、剥離用シートＰＳを加熱して未剥離シートＡＳ２に剥離用シートＰＳを接着する。このとき、カッター刃４３が案内板３８の凹部３８Ａ内に入りこんでいるので、切断手段１８が直動モータＬＭ９を駆動し、カッター刃４３を前後方向に移動して剥離用シートＰＳを切断する。この切断後、切断手段１８が直動モータＬＭ９を駆動し、カッター刃４３を基の位置に戻し、連結手段１５が直動モータＬＭ４を駆動し、第１ヒートブロック３０を上昇させる。

【0023】

その後、張力付与手段１６が直動モータＬＭ１を駆動し、テーブル２１を左方向に移動させ、未剥離シートＡＳ２をウエハＷＦから剥離する。このとき、張力付与手段１６と回収手段１２とが直動モータＬＭ１と回動モータＤＭとを同期駆動し、図３に示されるように、ローラ４５を介して当該ローラ４５の中心から左側に、所定の剥離角度αθを保った状態で、所定長さＬとなる折り返し領域ＳＴを常に維持して未剥離シートＡＳ２の剥離を行う。そして、この剥離が完了すると、ウエハＷＦから剥離された未剥離シートＡＳ２が剥離済みシートＡＳ１として以後の剥離に利用される。その後、張力付与手段１６が図１
中二転鎖線で示される初期位置でテーブル２１を停止させ、未剥離シートＡＳ２が剥離されたウエハＷＦは、図示しない搬送手段で別工程に搬送される。なお、回収手段１２は、図４中二転鎖線で示されるように、回動モータＤＭで剥離済みシートＡＳ１を全て巻き取らないようにしたり、回動モータＤＭを剥離済みシートＡＳ１の巻取方向の反対方向に回転させたりすることで、剥離済みシートＡＳ１がチャック２９から垂れ下がった状態としておく。

【0024】

その後、再度図示しない搬送手段によって接着シートＡＳ（未剥離シートＡＳ２）が貼付されたウエハＷＦがテーブル２１上に載置されると、上記と同様にして未剥離シートＡＳ２の左上端部を第１ヒートブロック３０の左下端部の真下に位置させる。このとき、チャック２９から垂れ下がっていた剥離済みシートＡＳ１は、図４の実線で示させるように、未剥離シートＡＳ２上に位置することとなり、剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部がテーブル２１の上から落下しないように、保持手段が図示しない吸着手段を駆動し、剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部を吸着保持する。そして、制御手段には直接連結モードが選択されているので、今度は、回収手段１２は駆動することはなく、連結手段１５が直動モータＬＭ４を駆動し、図４に示されるように、第１ヒートブロック３０を下降させて剥離済みシートＡＳ１を未剥離シートＡＳ２の外周上面位置に押圧し、図示しない加熱手段を駆動し、剥離済みシートＡＳ１を加熱して当該剥離済みシートＡＳ１を未剥離シートＡＳ２に接着する。この後は上記と同様にして、未剥離シートＡＳ２が剥離され、未剥離シートＡＳ２が剥離されたウエハＷＦは別工程に搬送され、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0025】

ここで、初期設定の段階で接着シートＡＳがお互いに直接連結できないことをオペレータが図示しない制御手段に入力した場合、制御手段は間接連結モードを選択する。直接連結できない接着シートＡＳとしては、例えば、紙や金属箔等が接着シートＡＳの基材シートに採用されている場合が例示できるが、このような紙や金属箔等においても、連結手段１５の構成によってはそれらを直接連結可能な場合があるので、間接連結が可能か否かは、オペレータの経験値で選定することができる。なお、剥離用シートＰＳは、接着シートＡＳに接着できるものが採用されている。このような場合、図２に示されるようにして第１回目の接着シートＡＳが剥離された後、再度図示しない搬送手段によって接着シートＡＳ（未剥離シートＡＳ２）が貼付されたウエハＷＦがテーブル２１上に載置されると、上記と同様にしてチャック２９から垂れ下がっていた剥離済みシートＡＳ１を位置させた状態で、未剥離シートＡＳ２の左上端部を第１ヒートブロック３０の左下端部の真下に位置させる。次に、回収手段１２が回動モータＤＭを駆動し、図５中実線で示されるように、剥離済みシートＡＳ１がシート吸着面２１Ｂの上面に位置し、当該剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部と未剥離シートＡＳ２の剥離前端部とが向かい合った状態となるまで剥離済みシートＡＳ１を巻き上げる。そして、それらが向かい合った状態となったことが図示しないセンサに検知されると、回収手段１２が回動モータＤＭの駆動を停止し、剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部がテーブル２１の上から落下しないように、保持手段が図示しない吸着手段を駆動し、剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部を吸着保持する。

【0026】

その後、制御手段には間接連結モードが選択されているので、今度は、回収手段１２は駆動することはなく、剥離用シート供給手段１７が直動モータＬＭ８を駆動し、図５中二転鎖線で示されるように、上下チャック４０、４１を下降させ、直動モータＬＭ６を駆動し、フレーム３３を左方向へ移動させる。これにより、下チャック４１の右側面にシート案内板３８が突き当たってコイルばね４０が圧縮され、剥離用シートＰＳの左端領域を上下チャック４０、４１間に入り込ませる。次いで、剥離用シート供給手段１７が直動モータＬＭ７を駆動し、上下チャック４０、４１で剥離用シートＰＳを挟み込み、直動モータＬＭ６を駆動し、フレーム３３を右方向へ移動させて剥離用シートＰＳを一定量引き出す。次いで、連結手段１５が直動モータＬＭ４を駆動し、図６に示されるように、第１ヒートブロック３０を下降させて剥離用シートＰＳを未剥離シートＡＳ２の左上端部に押圧し、更に、直動モータＬＭ５を駆動し、第２ヒートブロック３１を下降させて剥離用シートＰＳを剥離済みシートＡＳ１の剥離後端部に押圧し、それぞれに内蔵された図示しない加熱手段を駆動し、剥離用シートＰＳを加熱して未剥離シートＡＳ２及び剥離済みシートＡＳ１に剥離用シートＰＳを接着する。次に、剥離用シートＰＳがカッター刃４３で切断されて上下チャック４０、４１が離間した後、剥離用シート供給手段１７及び連結手段１５がそれぞれ直動モータＬＭ８及びＬＭ４を駆動し、上下チャック４０、４１及び第１ヒートブロック３０を上昇させる。この後は上記と同様にして、未剥離シートＡＳ２が剥離され、未剥離シートＡＳ２が剥離されたウエハＷＦは別工程に搬送され、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0027】

従って、このような実施形態によれば、剥離済みシートＡＳ１と未剥離シートＡＳ２とが直接連結できない場合でも、剥離用シートＰＳを用いて間接連結することができ、接着シートＡＳの剥離ができなくなることを防止することができる。

【0028】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。

【0029】

例えば、前記間接連結は、剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部を未剥離シートＡＳ２の剥離前端部に重ね合わせた状態としておき、剥離用シートＰＳを剥離済みシートＡＳ１と未剥離シートＡＳ２に接着してもよい。

【0030】

また、支持手段１１を移動させることなく回動モータＤＭを回動させてローラ４５を移動させたり、回動モータＤＭを回動させることなくローラ４５と支持手段１１とを移動させたりすることで、剥離済みシートＡＳ１を介して未剥離シートＳ２に張力を付与するようにしてもよい。ローラ４５はなくてもよいし、回動モータＤＭを回動させることなくチャック２９と支持手段１１との少なくとも一方を移動させ、これらチャック２９と支持手段１１とを相対的に離間させて未剥離シートＳ２に張力を付与するようにしてもよい。
また、連結手段１５は、剥離済みシートＡＳ１又は剥離用シートＰＳを未剥離シートＡＳ２に連結できる構成であれば何ら限定されることはなく、例えば、赤外線、マイクロ波、超音波等によってそれらを連結する構成としたり、両面接着シート、液体の接着剤、片面接着シート等によってそれらを連結する構成としたりすることができる。
更に、連結手段１５は、剥離済みシートＡＳ１の接着剤によって未剥離シートＡＳ２に連結できる構成としてもよい。この場合、剥離済みシートＡＳ１の接着剤の接着力が低下していることが考えられるので、当該接着剤を加熱したり、未剥離シートＡＳ２の被着面にプライマを塗布したりすることで、剥離済みシートＡＳ１の接着剤の接着力を向上させるようにしてもよい。
更に、検出手段１９は、回収手段１２に剥離済みシートＡＳ１が保持されているか否かを検出できるものであれば特に限定されるものでなく、チャック２９の両側に設けてもよいし、チャック２９の外側で剥離済み接着シートＡＳ１を検出するようにしたり、剥離済み接着シートＡＳ１の垂れ下がりを検出する光学センサやカメラ等の撮像手段を用いたりしてもよい。
また、保持手段は、剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部を保持できればよく、吸着手段以外にメカチャック等を採用し、剥離済みシートＡＳ１の剥離終端部を把持する構成としてもよい。
更に、支持手段１１は、ウエハＷＦを保持できればよく、吸着手段以外にメカチャック等を採用し、ウエハＷＦを把持する構成としてもよい。
また、前記実施形態では、初期設定のときに直接連結モードと間接連結モードとの選択を行う例を示したが、例えば、直接連結モードでの動作中に間接連結モードを選択してもよいし、間接連結モードでの動作中に直接連結モードを選択してもよい。このような連結モードの変更は、オペレータが図示しない制御手段に入力してもよいし、未剥離接着シートＡＳ２を剥離できているか否かを検出可能な光学センサや撮像手段等の剥離確認手段を設け、直接連結モードと間接連結モードとの一方のモードが選択されていた場合にでも、剥離確認手段によって、未剥離接着シートＡＳ２の剥離ができていないことが検知された場合、直接連結モードと間接連結モードとの他方のモードが選択されるように構成してもよい。

【0031】

更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【0032】

また、剥離用シートＰＳは、帯状の剥離用シートを切断する構成以外に、予め枚葉タイプの剥離用シートを供給する構成でもよい。更に、帯状の剥離用シートＰＳを切断することなく接着シートＡＳを剥離する構成でもよい。また、剥離用シートＰＳは感熱接着性の接着シートや感圧接着性の接着シートを使用することができる。

【0033】

更に、本発明における被着体および接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着シートＡＳは、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、このような両面接着シートとしては、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。更に、被着体が適宜な物品（例えば、食品や樹脂容器等）であって、接着シートＡＳがラベルであってもよく、被着体が半導体ウエハであって、接着シートＡＳが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等が例示でき、このような半導体ウエハに貼付する接着シートＡＳは、それらに限らず、任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

【符号の説明】

【0034】

１０ シート剥離装置
１１ 支持手段
１２ 回収手段
１５ 連結手段
１６ 張力付与手段
１７ 剥離用シート供給手段
１８ 切断手段
２１Ｂ シート保持面（保持手段）
ＡＳ 接着シート
ＡＳ１ 剥離済みシート
ＡＳ２ 未剥離シート
ＰＳ 剥離用シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】