特許 5981764 シート形成装置およびシート形成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5981764

(24)【登録日】2016年8月5日

(45)【発行日】2016年8月31日

(54)【発明の名称】シート形成装置およびシート形成方法

(51)【国際特許分類】

   B26F 3/02 20060101AFI20160818BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20160818BHJP

【ＦＩ】

   B26F3/02

   H01L21/68 N

【請求項の数】4

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2012-107789(P2012-107789)

(22)【出願日】2012年5月9日

(65)【公開番号】特開2013-233620(P2013-233620A)

(43)【公開日】2013年11月21日

【審査請求日】2015年2月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】長尾 昌哉

【審査官】 矢澤 周一郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６０−０９０７００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０６２００４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０５５９３５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２６Ｆ ３／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成装置であって、
前記一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートが貼付された前記板状部材を当該原接着シート側から支持する支持手段と、
前記板状部材の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分を除去する除去手段とを備え、
前記除去手段は、前記板状部材の他方の面側から前記はみ出し部分を引き剥がして除去することで前記接着シートを形成することを特徴とするシート形成装置。

【請求項2】

前記除去手段で除去した前記はみ出し部分を回収する回収手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のシート形成装置。

【請求項3】

前記除去手段は、前記はみ出し部分の一部を保持する保持手段と、前記保持手段と前記支持手段とを互いに接離する方向に相対移動させる第１移動手段と、前記保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の外縁に沿って相対移動させる第２移動手段とを備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート形成装置。

【請求項4】

板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成方法であって、
前記一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートが貼付された前記板状部材を当該原接着シート側から支持する工程と、
前記板状部材の外縁からはみ出したはみ出し部分を前記板状部材の他方の面側から引き剥がして除去することで前記接着シートを形成する工程とを有することを特徴とするシート形成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート形成装置およびシート形成方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、板状部材に接着シートを貼り付けて、この接着シートを板状部材の形状に沿って切断する貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１の構成では、ウェハの外縁にカッタ刃を当接させて、接着シートを切断している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６−５５９３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１のような構成では、板状部材とカッタ刃とを直接当接させるため、板状部材の外縁やカッタ刃が欠けてしまうおそれがある。

【0005】

本発明の目的は、板状部材の欠損を抑制しつつ、板状部材に貼付した当該板状部材の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、板状部材と略等しい形状の接着シートを形成可能なシート形成装置およびシート形成方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明のシート形成装置は、板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成装置であって、前記一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートが貼付された前記板状部材を当該原接着シート側から支持する支持手段と、前記板状部材の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分を除去する除去手段とを備え、前記除去手段は、前記板状部材の他方の面側から前記はみ出し部分を引き剥がして除去することで前記接着シートを形成する、という構成を採用している。

【0007】

この際、本発明のシート形成装置では、前記除去手段で除去した前記はみ出し部分を回収する回収手段を備える、ことが好ましい。
また、本発明のシート形成装置では、前記除去手段は、前記はみ出し部分の一部を保持する保持手段と、前記保持手段と前記支持手段とを互いに接離する方向に相対移動させる第１移動手段と、前記保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の外縁に沿って相対移動させる第２移動手段とを備える、ことが好ましい。

【0008】

一方、本発明のシート形成方法は、板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成方法であって、前記一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートが貼付された前記板状部材を当該原接着シート側から支持する工程と、前記板状部材の外縁からはみ出したはみ出し部分を前記板状部材の他方の面側から引き剥がして除去することで前記接着シートを形成する工程とを有する、という構成を採用している。

【発明の効果】

【0009】

以上のような本発明によれば、板状部材の一方の面に貼付された原接着シートのはみ出し部分を、板状部材の他方の面側から引っ張ることで、はみ出し部分を板状部材の外縁に沿って切断して除去することができる。このため、板状部材に直接的に部品を当接させることなく、はみ出し部分を除去することができ、板状部材の欠損を抑制できる。また、接着シートが板状部材の外縁よりもはみ出した状態で後工程に流すことがなくなるため、接着シートの意図しない剥離や糸状の異物の発生を抑制できる。

【0010】

この際、回収手段を設ければ、除去手段を交換することなく繰り返し使用することができる。
また、保持手段によりはみ出し部分の一部を保持し、第１移動手段および第２移動手段により保持手段と支持手段とを互いに接離する方向および板状部材の外縁に沿って相対移動させることで、板状部材の外縁に沿ったはみ出し部分の全部を一度に除去する構成と比べて、円滑にはみ出し部分を除去することができ、板状部材に与えるストレスを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート形成装置の断面図。

【図2】前記シート形成装置の一部を表す平面図。

【図3】本発明の変形例に係るシート形成装置の一部を表す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。

【0013】

図１において、シート形成装置１は、板状部材としてのウェハＷＦの一方の面としての裏面ＷＦ２（下面）に貼付され、当該ウェハＷＦにおける少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートＡＳ１から、ウェハＷＦの裏面ＷＦ２からはみ出すことのない接着シートＡＳ２を形成するシート形成装置であって、接着剤層のみで構成され、裏面ＷＦ２における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートＡＳ１が貼付されたウェハＷＦを原接着シートＡＳ１側から支持する支持手段１０と、原接着シートＡＳ１におけるウェハＷＦの裏面ＷＦ２の外縁からはみ出したはみ出し部分ＡＳ３を除去する除去手段２０と、除去手段２０で除去したはみ出し部分ＡＳ３を回収する回収手段４０とを備えている。

【0014】

支持手段１０は、上面が保持面１２とされ、ウェハＷＦの裏面ＷＦ２と略同形状のポーラス体等で形成された吸引部１１が形成されるとともに、内部にチャンバ部１３が形成された支持テーブル１４と、配管１５を介してチャンバ部１３に連通し、吸引部１１に吸引力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段１６とを備えている。保持面１２には、面粗処理やフッ素樹脂コーティング等の非粘着処理が施されている。

【0015】

除去手段２０は、図２に示すように、円弧２１Ａ、円弧２１Ｂおよび円弧２１Ａ，２１Ｂの端を結ぶ直線２１Ｃ、直線２１Ｄによって平面形状が略扇状に形成されるとともに、はみ出し部分ＡＳ３の一部であるはみ出し片ＡＳ４を保持する面に粘着層が形成された保持手段としての粘着板２１と、出力軸２２で粘着板２１を支持し、当該粘着板２１と前記支持手段とを互いに接離する方向に相対移動させる第１移動手段であって、駆動機器としての直動モータ２３と、直動モータ２３を支持するスライダ２４を左右に移動させる駆動機器としてのリニアモータ２５と、回転軸２６の先端に支持テーブル１４が取り付けられ、当該粘着板２１と前記支持手段とをウェハＷＦの外縁に沿って相対移動させる第２移動手段であって、駆動機器としての回動モータ２７とを備えている。なお、円弧２１Ａは、ウェハＷＦの外縁の曲率と同じ曲率に形成されている。

【0016】

回収手段４０は、粘着板２１で回収されたはみ出し片ＡＳ４を当該粘着板２１から剥ぎ取るスキージ部４１と、このスキージ部４１で剥ぎ取られたはみ出し片ＡＳ４を収容する箱部４２とを備えている。

【0017】

以上のシート形成装置１において、ウェハＷＦに貼付した原接着シートＡＳ１からウェハＷＦと略等しい形状の接着シートＡＳ２を形成する手順としては、まず、図示しない搬送手段によって、少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートＡＳ１が裏面ＷＦ２貼付されたウェハＷＦが、当該原接着シートＡＳ１が下方となるように支持テーブル１４の保持面１２上に載置されると、支持手段１０が吸引手段１６を駆動し、ウェハＷＦを吸着保持する。このとき、ウェハＷＦは、裏面ＷＦ２と吸引部１１とが一致するように載置される。次に、除去手段２０が直動モータ２３を駆動し、粘着板２１を下降させて粘着板２１の粘着層をはみ出し部分ＡＳ３に接触させた後、粘着板２１を上昇させる。このとき、保持面１２には非粘着処理が施されているため、図２にも示すように、粘着板２１の上昇に伴いはみ出し部分ＡＳ３の一部がウェハＷＦの外縁であって、ウェハＷＦの裏面ＷＦ２と表面ＷＦ１とをつなぐ側面との境界の角部ＷＦ３に沿って切断されるとともに、粘着板２１の直線２１Ｃ，２１Ｄの対応する部分が引き剥がされ、はみ出し片ＡＳ４として除去される。

【0018】

この後、除去手段２０がリニアモータ２５を駆動し、粘着板２１を右方向に移動させ、除去したはみ出し片ＡＳ４をスキージ部４１によって剥ぎ取らせて箱部４２に収容する。これにより、粘着板２１を交換することなく繰り返し使用することができる。

【0019】

そして、除去手段２０がリニアモータ２５を駆動し、粘着板２１を図１中実線で示す位置に移動させ、回動モータ２７を駆動し、支持テーブル１４を粘着板２１の略扇状の中心角と略等しい角度だけ回転させる。支持テーブル１４が回転したことが図示しないセンサ等の検知手段で検知されると、除去手段２０が上記の動作を再度行い、原接着シートＡＳ１からはみ出し部分ＡＳ３をはみ出し片ＡＳ４として順次除去して、最終的にはみ出し部分ＡＳ３の全てが除去された接着シートＡＳ２が形成される。接着シートＡＳ２が形成されると、支持手段１０が吸引手段１６を停止し、図示しない搬送手段がウェハＷＦを次の工程に搬送する。そして、以降上述と同様の動作が繰り返される。
このように、はみ出し部分ＡＳ３の一部をはみ出し片ＡＳ４として順次除去することで、はみ出し部分ＡＳ３の全部を一度に除去する構成と比べて、除去するときにウェハＷＦに加わる力を低減することができ、ウェハＷＦの破損を抑制できる。

【0020】

以上のような実施形態によれば、ウェハＷＦの裏面ＷＦ２に貼付された原接着シートＡＳ１のはみ出し部分ＡＳ３を表面ＷＦ１側から引っ張ることで、はみ出し部分ＡＳ３をウェハＷＦの外縁に沿って切断して除去し、接着シートＡＳ２を形成することができる。このため、ウェハＷＦに直接的に部品を当接させることなく、はみ出し部分ＡＳ３を除去することができ、ウェハＷＦの欠損を抑制できる。

【0021】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0022】

例えば、図１の符号ＡＡで示すように、回収手段４０の代わりに表面に設けられた図示しない粘着層によってはみ出し片ＡＳ４を回収する帯状の粘着シート４１Ａと、この粘着シート４１Ａを巻回して支持する支持ローラ４２Ａと、粘着シート４１Ａを折り返すとともに粘着板２１との間ではみ出し片ＡＳ４を挟み込む受け板４３Ａと、駆動機器としての回動モータ４４Ａによって駆動し、はみ出し片ＡＳ４が付着した粘着シート４１Ａを巻回して回収する巻取ローラ４５Ａとを備えた回収手段４０Ａを適用してもよい。
そして、除去手段２０が直動モータ２３を駆動し、粘着板２１を下降させてはみ出し片ＡＳ４を粘着板２１と受け板４３Ａとの間に挟み込んで粘着シート４１Ａに転着させる。

【0023】

また、粘着によりはみ出し片ＡＳ４を保持する粘着板２１や、はみ出し片ＡＳ４を回収するスキージ部４１および箱部４２の代わりに、吸引してはみ出し片ＡＳ４を保持する保持手段や回収手段を設けてもよい。
また、保持手段に、加圧ポンプやタービン等の加圧手段を並設し、気体を噴出して、はみ出し片ＡＳ４を箱部４２に吹き飛ばして除去してもよいし、粘着シート４１Ａに転着させてもよい。
さらに、本発明の第１移動手段としては、支持テーブル１４を昇降させる構成を設け、粘着板２１を停止させた状態で支持テーブル１４を離間させてはみ出し片ＡＳ４を除去するようにしてもよいし、粘着板２１と支持テーブル１４との両方を相互に離間させてはみ出し片ＡＳ４を除去するようにしてもよい。また、第１移動手段は、粘着板２１と支持テーブル１４とを離間できればよく、例えば、直動モータ２３をウェハＷＦの中心軸に対して斜めに取り付けてもよい。また、粘着板２１をはみ出し部分ＡＳ３に接触させた後、除去手段２０が直動モータ２３とリニアモータ２５とを同時に駆動し、粘着板２１を上昇させるとともに、左または右方向に移動させて、ウェハＷＦの中心に近づく方向、または、ウェハＷＦの中心から離れる方向に向かってはみ出し部分ＡＳ３を引っ張って除去してもよい。
また、本発明の第２移動手段としては、粘着板２１をウェハＷＦの外縁に沿って旋回させる構成を設け、支持テーブル１４を停止させた状態で粘着板２１を旋回させてもよいし、支持テーブル１４と粘着板２１との両方を相互に旋回させてもよい。さらに、保持手段および回収手段を複数設けてもよい。
また、粘着板２１の形状としては、中心角が直角や鈍角の略円弧板状であってもよいし、略円環板状さらには略多角形板状であってもよい。
さらには、角部ＷＦ３は、９０°よりも小さい形状であってもよいし、大きい形状であってもよし、Ｒ面取りされていてもよい。
また、支持テーブル１４が回転する角度は、粘着板２１の略円弧状の中心角と略等しい角度以下でもよい。
さらに、吸引部１１は、ウェハＷＦが保持可能な限り、他のもので構成することができ、例えば、保持面１２に吸引孔を複数形成してもよい。
また、図１の二点鎖線で示すように、駆動機器としての直動モータ５１と、直動モータの出力軸５２に支持された押え板５３とで構成された表面ＷＦ１側からウェハＷＦを押える押え手段５０を設けてもよい。これにより、ウェハＷＦの位置ずれを抑制するとともに、ウェハＷＦをはみ出し部分ＡＳ３と共に引き上げて破損してしまうことを防止することができる。
さらに、図３に示すように、裏面ＷＦ２が上面となるようウェハＷＦを支持テーブル１４で支持し、支持テーブル１４の下方に除去手段２０を配置し、除去手段２０が支持テーブル１４の下方からはみ出し部分ＡＳ３を除去してもよい。
また、保持手段は、はみ出し部分ＡＳ３の全部に接触するものであってもよく、この場合、除去手段は、一括ではみ出し部分ＡＳ３を除去してもよい。
また、原接着シートＡＳ１は、ウェハＷＦからはみ出す長さを有するものであれば、ウェハＷＦの外形よりも小さい幅のものであってもよい。

【0024】

また、本発明における原接着シートＡＳ１の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着剤層と基材シートから構成されるものや、基材シートと接着剤層との間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付するシートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

【0025】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0026】

１，１Ａ…シート形成装置
１４…支持テーブル（支持手段）
２０…除去手段
２１…粘着板（保持手段）
２３…直動モータ（第１移動手段）
２７…回動モータ（第２移動手段）
４０，４０Ａ…回収手段
ＡＳ１…原接着シート
ＡＳ２…接着シート
ＡＳ３…はみ出し部分
ＡＳ４…はみ出し片
ＷＦ…ウェハ（板状部材）
ＷＦ３…角部

【図1】

【図2】

【図3】