特許 5983791 給電ユニット、マルチワイヤ放電加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5983791

(24)【登録日】2016年8月12日

(45)【発行日】2016年9月6日

(54)【発明の名称】給電ユニット、マルチワイヤ放電加工装置

(51)【国際特許分類】

   B23H 7/10 20060101AFI20160823BHJP

   B23H 7/02 20060101ALI20160823BHJP

【ＦＩ】

   B23H7/10 E

   B23H7/02 Q

   B23H7/02 G

【請求項の数】11

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2015-17627(P2015-17627)

(22)【出願日】2015年1月30日

(65)【公開番号】特開2015-221488(P2015-221488A)

(43)【公開日】2015年12月10日

【審査請求日】2015年5月15日

(31)【優先権主張番号】特願2014-94051(P2014-94051)

(32)【優先日】2014年4月30日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】390002761

【氏名又は名称】キヤノンマーケティングジャパン株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000154990

【氏名又は名称】株式会社牧野フライス製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100188938

【弁理士】

【氏名又は名称】榛葉 加奈子

(72)【発明者】

【氏名】栗原 治弥

【審査官】 水野 治彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−１８０３７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−１３５１２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０２−１３９０２５（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２３Ｈ ７／１０

Ｂ２３Ｈ ７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

並設されたワイヤ群と被加工物との間の放電により当該被加工物をスライスするマルチワイヤ放電加工装置において、当該ワイヤ群に一括で接触して当該ワイヤ群に電圧を供給する給電子が装着される給電ユニットであって、
前記ワイヤ群に一括で接触する前記給電子が装着される装着部と、
前記ワイヤ群の走行方向に対して交差する方向の前記装着部の傾きを調整する調整部と、
を備え、
前記給電子は、円筒状の給電子であり、
前記円筒状の給電子の内部の空間に挿入されるシャフトであって、前記給電子の部材よりも電気抵抗の低い部材で構成され、前記給電子の軸方向の長さよりも長いシャフトと、
前記円筒状の給電子の内部の空間に挿入されたシャフトの部位であって、前記給電子の前記内部の前記空間から前記軸方向にはみ出したシャフトの部位を前記装着部側に押し下げて前記給電子を前記装着部に固定する固定部材と、
を更に備えることを特徴とする給電ユニット。

【請求項2】

並設されたワイヤ群と被加工物との間の放電により当該被加工物をスライスするマルチワイヤ放電加工装置において、当該ワイヤ群に一括で接触して当該ワイヤ群に電圧を供給する給電子が装着される給電ユニットであって、
前記ワイヤ群に一括で接触する前記給電子が装着される装着部と、
前記ワイヤ群の走行方向に対して交差する方向の前記装着部の傾きを調整する調整部と、
を備え、
前記給電子は、円柱状の給電子であって、前記円柱状の給電子の内側は前記給電子の外周の部材よりも電気抵抗の低い部材であり、前記円柱状の軸方向の給電子の両端にも当該部材が設けられた給電子であり、
前記円柱状の軸方向の給電子の両端に設けられた当該部材を前記装着部側に押し下げて前記給電子を前記装着部に固定する固定部材を更に備えることを特徴とする給電ユニット。

【請求項3】

前記調整部は、前記ワイヤ群が並設される方向に対する前記装着部の傾きを調整することを特徴とする請求項１又は２に記載の給電ユニット。

【請求項4】

前記調整部は、前記ワイヤ群の走行方向に対して交差する方向に離れた位置の前記装着部に複数設けられていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の給電ユニット。

【請求項5】

前記装着部を支持する支持部と、
前記装着部と前記支持部とを締結する締結部と、
を更に備え、
前記調整部は、前記締結部から、前記ワイヤ群の走行方向に対して交差する方向に離れた位置の前記装着部と前記支持部との間の距離を調整することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の給電ユニット。

【請求項6】

前記調整部により調整された傾きを維持した状態で、前記装着部に装着される給電子を前記ワイヤ群に接触させるべく前記装着部を前記ワイヤ群の方向に移動させる移動部を更に備えることを請求項１乃至５の何れか１項に記載の給電ユニット。

【請求項7】

前記移動部により移動された前記装着部を当該移動された位置に固定する固定部を更に備えることを特徴とする請求項６に記載の給電ユニット。

【請求項8】

前記装着部は、前記給電子の外周が前記ワイヤ群と一括で接触するように装着されることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の給電ユニット。

【請求項9】

前記装着部の給電子が装着される部位の形状は、前記給電子の円の中心点が前記装着部内に位置し、前記給電子の外周のうち半分以上の外周が接する形状であり、
前記給電子を前記装着部に押圧して固定する第１の固定部材を備えることを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の給電ユニット。

【請求項10】

前記電気抵抗の低い部材は、銅、又はステンレスを含む材料を含むことを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の給電ユニット。

【請求項11】

請求項１乃至１０の何れか１項に記載の前記給電ユニットを備える前記マルチワイヤ放電加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、給電ユニット、マルチワイヤ放電加工装置に関し、特に、給電子を装着部に固定し、並設されたワイヤ群に一括で接触する給電子と当該ワイヤ群との接触圧のばらつきを低下させる技術に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、半導体材料や太陽電池材料、硬質材料等の被加工材料を、放電加工により、短時間で同時に複数切り出す方法が開発されている。

【0003】

たとえば、ワイヤ放電加工装置は、当該被加工材料を薄板状に切り出すために、給電子を介してワイヤに電圧を印加しながら走行させ、そのワイヤに当該被加工材料を近づけることで放電現象を発生させ、当該被加工材料を放電加工するものである。

【0004】

特許文献１には、円筒形、又は円柱形の給電子を用い、その外周面部分をワイヤ電極との接触位置として利用することが記載されている。

【0005】

また特許文献２には、銅や黄銅の小電気抵抗の材料で構成し、その表面に硬質材料のメッキ層で構成した給電子が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平０８−１９９２０号公報

【特許文献2】特開平０４−１０５８２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、上記引用文献１、２は、いずれもシングルワイヤの放電加工装置である。

【0008】

そのため、並設されたワイヤ群に一括で接触して当該ワイヤ群に電圧を供給する給電子を用いるマルチワイヤ放電加工装置では、その給電子とワイヤ群とを平行に配置して接触させなければ、給電子とワイヤとの接触圧にばらつきが出来てしまい、安定的にワイヤに給電できないおそれがある。

【0009】

また、安定的にワイヤに給電するために給電子をワイヤに強く押し付けると、給電子の磨耗やワイヤの損傷の度合いが大きくなってしまい、安定した放電加工を長期間行うことは難しくなってしまう。

【0010】

そこで、本発明は、給電子を装着部に固定し、並設されたワイヤ群に一括で接触する給電子と当該ワイヤ群との接触圧のばらつきを低下させるための仕組みを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明は、並設されたワイヤ群と被加工物との間の放電により当該被加工物をスライスするマルチワイヤ放電加工装置において、当該ワイヤ群に一括で接触して当該ワイヤ群に電圧を供給する給電子が装着される給電ユニットであって、前記ワイヤ群に一括で接触する前記給電子が装着される装着部と、前記ワイヤ群の走行方向に対して交差する方向の前記装着部の傾きを調整する調整部と、を備え、前記給電子は、円筒状の給電子であり、前記円筒状の給電子の内部の空間に挿入されるシャフトであって、前記給電子の部材よりも電気抵抗の低い部材で構成され、前記給電子の軸方向の長さよりも長いシャフトと、前記円筒状の給電子の内部の空間に挿入されたシャフトの部位であって、前記給電子の前記内部の前記空間から前記軸方向にはみ出したシャフトの部位を前記装着部側に押し下げて前記給電子を前記装着部に固定する固定部材と、を更に備えることを特徴とする。
また、本発明は、並設されたワイヤ群と被加工物との間の放電により当該被加工物をスライスするマルチワイヤ放電加工装置において、当該ワイヤ群に一括で接触して当該ワイヤ群に電圧を供給する給電子が装着される給電ユニットであって、前記ワイヤ群に一括で接触する前記給電子が装着される装着部と、前記ワイヤ群の走行方向に対して交差する方向の前記装着部の傾きを調整する調整部と、を備え、前記給電子は、円柱状の給電子であって、前記円柱状の給電子の内側は前記給電子の外周の部材よりも電気抵抗の低い部材であり、前記円柱状の軸方向の給電子の両端にも当該部材が設けられた給電子であり、前記円柱状の軸方向の給電子の両端に設けられた当該部材を前記装着部側に押し下げて前記給電子を前記装着部に固定する固定部材を更に備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、給電子を装着部に固定し、並設されたワイヤ群に一括で接触する給電子と当該ワイヤ群との接触圧のばらつきを低下させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】マルチワイヤ放電加工システムを前方から見た外観図である。

【図2】図１に示した給電子１１の外形を示す図である。

【図3】図１に示した給電子１１が装着された給電ユニット１０が備える給電子固定ブロック３０１の側面図である。

【図4】図１に示した給電子１１が装着された給電ユニット１０が備える給電子固定ブロック３０１、及び給電子固定ブロック支持部４０２の側面図である。

【図5】図１に示した給電子１１が装着された給電ユニット１０が備える給電子固定ブロック３０１、及び給電子固定ブロック支持部４０２の側面図であって、給電子固定ブロック支持部４０２が、給電子１１とワイヤ群７との平行を維持したまま、鉛直方向に移動した図である。

【図6】給電子１１が装着された給電ユニット１０を上部から見た図である。

【図7】給電子１１が装着された給電ユニット１０を右側から見た図である。

【図8】給電子１１が装着された給電ユニット１０を右側から見た図であって、ワイヤ群７と給電子１１とが平行になっていない様子を示す図である。

【図9】給電子１１が装着された給電ユニット１０を右側から見た図であって、後側の高さ調整用ねじ６０３をしめることで、後方の給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との間の距離を長くし、ワイヤ群７と給電子１１とを平行にした図である。

【図10】複数の形態の給電子１１の側面図である。

【図11】給電子１１の内部を銅１００２やステンレスなどの部材で構成し、外周を超硬合金１００１で構成した給電子１１の斜視図（ａ）、側面図（ｂ）、平面図（Ｃ）である。

【図12】給電子１１の内部を空（中空１００３）にし、外周を超硬合金１００１で構成した給電子１１の斜視図（ａ）、側面図（ｂ）、平面図（Ｃ）である。

【図13】給電子１１の中空にシャフト１３０１を挿入した図である。

【図14】給電子１１が装着された給電ユニット１０を右側から見た図である。

【図15】給電子１１が装着された給電ユニット１０を上部から見た図である。

【図16】側面にマークが付されている各給電子１１の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、添付図面を参照して、本発明を好適な実施形態に従って詳細に説明する。

【0015】

図１は、本発明の実施の形態に係るマルチワイヤ放電加工装置１を前方から見た外観図である。尚、図１に示す各機構（各手段）の構成は一例であり、目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。

【0016】

本発明の実施の形態に係るマルチワイヤ放電加工システムは、マルチワイヤ放電加工装置１、電源ユニット（電源装置）１５、加工液供給装置１８から構成されている。

【0017】

マルチワイヤ放電加工システムは、放電により、並設された複数本のワイヤの間隔で被加工物５（シリコンインゴットなど）を薄片にスライスすることができる。

【0018】

マルチワイヤ放電加工装置１は、電源ユニット１５と電線（電圧印加線）を介して接続されており、電源ユニット１５から供給される電力により作動する。

【0019】

マルチワイヤ放電加工装置１は、不図示のサーボモータにより駆動される被加工物の送り装置３が上下方向に移動することにより、被加工物の送り装置３に接着部４（たとえば、導電性接着剤）により接着されている被加工物５を上下方向に移動することができる。

【0020】

また、マルチワイヤ放電加工装置１は、本発明に係るマルチワイヤ放電加工装置の適用例であり、ワイヤ群７と被加工物５との間で発生する放電により被加工物５をスライスして加工する。

【0021】

本発明の実施の形態では、被加工物５が下方向に移動することで、被加工物５とワイヤ群７とが接近し、被加工物５とワイヤ群７との間で放電が発生し、被加工物５の放電加工を行う。このとき、被加工物５とワイヤ群７との間の間隙には加工液が満たされており、この加工液が所定幅の電気抵抗値を有していることから、被加工物５とワイヤ群７との間で放電が発生し、被加工物５の放電加工を行うことができる。

【0022】

また、被加工物の送り装置３をワイヤ群７よりも下部へ設け、被加工物５を上方向へ移動させることにより、被加工物５とワイヤ群７との間で放電加工を行わせるようにすることも可能である。

【0023】

本実施の形態では、被加工物５の一例としてシリコンインゴットを用いて説明するが、ＳＩＣ（炭化シリコン）などの、絶縁体ではない他の材料（導体又は半導体）を用いることもできる。

【0024】

マルチワイヤ放電加工装置１は、図１に示すように、マルチワイヤ放電加工装置１の土台として機能するブロック１９と、ブロック１９の上部に設置されている、ブロック２と、被加工物の送り装置３と、接着部４と、被加工物５と、加工液供給口７０１を備えた加工液槽６と、メインローラ８と、ワイヤ群７と、メインローラ９と、給電ユニット１０と、給電子１１とを備えている。

【0025】

１５は、電源ユニット（電源装置）であり、３は、サーボモータを制御する放電サーボ制御回路が放電の状態に応じて効率よく放電を発生させるために放電ギャップを一定の隙間に保つように制御し、また被加工物５の位置決めを行い、放電加工を進行させる。

【0026】

被加工物の送り装置３は、接着部４により接着（接合）されている被加工物５を上下方向に移動する機構を備えた装置であり、被加工物の送り装置３が下方向に移動することにより、被加工物５をワイヤ群７に近づけることが可能となる。

【0027】

１８は、加工液供給装置であり、ワイヤ群７と被加工物５との間で放電が発生する放電加工部の冷却、加工チップ（屑）の除去に必要な加工液をポンプにより加工液槽６に加工液供給口７０１を介して供給すると共に、加工液中の加工チップの除去、イオン交換樹脂による比抵抗または電導度（１μＳ〜２５０μＳ）の管理及び調整、液温（２０℃付近）の管理及び調整を行う。加工液には、主に水が使用されるが、放電加工油を用いることもできる。本実施の形態では、加工液の例として水を用いるが、放電加工油でもよい。

【0028】

８，９はメインローラであり、メインローラには、所望する厚さで加工出来るようにあらかじめ決められたピッチ、数の溝が形成されており、不図示のワイヤ供給ボビンからの張力制御された１本のワイヤ８０１が２つのメインローラに必要数巻きつけられ、巻き取りボビンへ送られる。そして、１本のワイヤ８０１が並設されたワイヤ群７の走行速度は１００ｍ／ｍｉｎから９００ｍ／ｍｉｎ程度が用いられる。

【0029】

メインローラ９が回転することによりメインローラ９に巻きつけられたワイヤ群７を走行させる。

【0030】

２つのメインローラが同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、不図示のワイヤ繰出し部から送られた１本のワイヤ８０１がメインローラ（２つ）の外周を周回し、並設されている複数本のワイヤ群７を同一方向に走行させることができる。

【0031】

ワイヤ群７は、１本の繋がったワイヤ８０１であり、図示しないボビンから繰り出され、メインローラ８、９の外周面のガイド溝（図示しない）に嵌め込まれながら、当該メインローラの外側に多数回（最大で２０００回程度）螺旋状に巻回された後、図示しないボビンに巻き取られる。

【0032】

加工液槽６は、所定の範囲の比抵抗（電気伝導度）に管理及び調整された水を、並設されたワイヤ群７（ワイヤ８０１のことをワイヤ電極とも言う）と被加工物５とが近接する放電ギャップの位置（放電点）に加工液として供給している。

【0033】

加工液槽６は、被加工物５とワイヤ群７との間の放電に用いられる加工液が貯留される加工液槽であって、被加工物５とワイヤ群７との間に加工液槽６内の加工液が位置するように設けられている。

【0034】

加工液槽６内への加工液の供給は、加工液槽６の下部に備えられた加工液供給口７０１（加工液供給部とも言う。）から行われる。

【0035】

給電ユニット１０は、電源ユニット１５から電線を介して給電子１１に対して電圧を印加し、当該電圧が印加される給電子１１を装着して固定する給電装置である。

【0036】

すなわち、給電ユニット１０は、本発明の給電ユニットであり、並設されたワイヤ群７に一括で接触してワイヤ群７に電圧を供給する給電子１１が装着される給電ユニット１０である。

【0037】

給電ユニット１０は、円柱の形状、又は円筒の形状（中空を有する形状）の給電子を装着し、ワイヤ群７の走行方向に対して垂直方向（ワイヤ群が並んでいる幅方向）と平行になるように、給電子１１の（円柱又は円筒の）軸の傾きを調整する軸方向調整機構（調整部）と、ワイヤ群の走行方向に対して垂直に給電子を押し当てるために、給電子（円柱又は円筒の）をワイヤ群に対して平行に移動させる機構（移動部）とを備えている。

【0038】

給電子１１の表面のみ、又は給電子１１の内部を含む全ては、機械的摩耗に強く、導電性がある超硬合金が使用されている。

【0039】

メインローラ８，９の間の中央部の上部に、被加工物５が配置され、被加工物５は被加工物の送り装置３に取付けられており、被加工物の送り装置３が上下方向に移動することにより、被加工物５が上下方向に移動し、被加工物５の加工を行う。

【0040】

また、メインローラ８，９間の中央部に加工液槽６を設け、ワイヤ群７および被加工物５を加工液槽６内の加工液に浸漬し、放電加工部の冷却、加工チップの除去を行う。

【0041】

また、ワイヤ８０１は、電気伝導体であり、電源ユニット１５から電圧が供給された給電ユニット１０の給電子１１と、ワイヤ群７とが接触することにより、当該供給された電圧が給電子１１からワイヤ群７に印加される。（給電子１１を介してワイヤ群７に電圧を印加している。）

【0042】

そして、各ワイヤ８０１と、被加工物５との間で放電が起き、被加工物５を加工し（放電加工を行い）、薄板状の加工物（例えばシリコンウエハ）を作成することが可能となる。
次に、図２について、説明する。
図２は、図１に示した給電子１１の外形を示す図である。

【0043】

図２の（ａ）は、給電子１１の斜視図であり、図２の（ｂ）は、給電子１１の側面図であり、図２の（ｃ）は、給電子１１の平面図である。
図２に示すように、給電子１１は、円柱の形状である。

【0044】

このように、給電子を円柱状にすることで、ワイヤ群７にまとめて（一括で）給電することが可能となり、給電子１１とワイヤ群７とが接触することによるワイヤ群のダメージを低減すると共に、給電子の円の全ての外周を、ワイヤ群と接触する部分として利用することが可能となるため、給電子の交換頻度を少なくし、給電子を長く使用することが可能となる。
次に、図３について、説明する。

【0045】

図３は、図１に示した給電子１１が装着された給電ユニット１０が備える給電子固定ブロック３０１の側面図である。

【0046】

すなわち、図３は、マルチワイヤ放電加工装置１を前方から見た場合の給電子１１が装着された給電ユニット１０が備える給電子固定ブロック３０１の図である。

【0047】

図３に示すように、給電子１１の円柱の外周に、複数のワイヤ群７が接触している。

【0048】

給電子固定ブロック３０１は、本発明の装着部の適用例であり、給電子の外周がワイヤ群７に一括で接触する給電子が装着される。

【0049】

また、給電子固定ブロック３０１は、給電子を固定するためのブロックであり、給電子１１を装着できるように、給電子１１の円柱の円と同じ形状の凹みが形成されている。

【0050】

この凹み（装着部の給電子が装着される部位の形状）は、円柱状、又は円筒状の給電子の円の中心点が装着部内に位置し、円柱状、又は円筒状の給電子の外周のうち半分以上の外周が接する形状である。

【0051】

また、図３に示すように、給電子１１の円の中心点が、給電子固定ブロック３０１の内部に位置するように、給電子固定ブロック３０１に彫り（凹み）が形成されており、給電子１１を、給電子１１の円柱の軸方向にスライドさせて給電子固定ブロック３０１に装着することが可能となる。

【0052】

ただ、単に、給電子１１の円柱の軸方向にスライドさせて給電子固定ブロック３０１に装着しただけでは、走行するワイヤ群７に接触することで給電子１１が回転することも考えられる。そのため、給電子１１の回転を防止するために、給電子を固定するための固定ねじ３０２を設けている。

【0053】

この固定ねじ３０２は、給電子固定ブロック３０１に設けられたねじ穴から挿入され、給電子１１に接触させることで、給電子１１を固定する。

【0054】

この固定ねじ３０２は、本発明の第１の固定部材の適用例であり、給電子を装着部の方向に押圧して固定する部材である。

【0055】

次に、図４、図５、図６、図７を用いて、図１に示した給電子１１が装着された給電ユニット１０が備える給電子固定ブロック３０１、及び給電子固定ブロック支持部４０２について説明する。

【0056】

図４は、図１に示した給電子１１が装着された給電ユニット１０が備える給電子固定ブロック３０１、及び給電子固定ブロック支持部４０２の側面図である。

【0057】

図５は、図１に示した給電子１１が装着された給電ユニット１０が備える給電子固定ブロック３０１、及び給電子固定ブロック支持部４０２の側面図であって、給電子固定ブロック支持部４０２が、給電子１１とワイヤ群７との平行を維持したまま、鉛直方向に移動した図である。
図６は、給電子１１が装着された給電ユニット１０を上部から見た図である。
図７は、給電子１１が装着された給電ユニット１０を右側から見た図である。

【0058】

図４に示すように、給電ユニット１０は、給電子固定ブロック３０１、及び給電子固定ブロック支持部４０２を備えている。

【0059】

給電子固定ブロック３０１は、給電子１１を固定する固定ねじ３０２と、高さ調整用ねじ６０３と、締結用ねじ６０２と、それぞれのねじのねじ穴を備えている。

【0060】

また、給電子固定ブロック支持部４０２は、絶縁プレート４０３と、プレート６０１と、固定ねじ４０５と、シャフト固定部４０９を備えるレバー４０４と、シャフト４０６と、固定ねじ４０７と、カム４０８と、締結用ねじ６０２のねじ穴を備えるプレート５０１と、固定ねじ４０１と、シャフト６０４と、シャフト４０６とを備えている。

【0061】

給電子固定ブロック３０１を本発明の装着部として説明するが、給電子固定ブロック３０１と給電子固定ブロック支持部４０２とをあわせたものを本発明の装着部としてもよい。

【0062】

給電子固定ブロック支持部４０２は、電源ユニット１５から電線を介して給電子に供給される電圧が、給電ユニット１０の土台であるブロック１９に漏電させないための絶縁プレート４０３を更に備えている。絶縁プレート４０３は、絶縁体の部材を備えるプレートである。

【0063】

また、図６に示すように、給電子固定ブロック３０１と給電子固定ブロック支持部４０２は、締結用ねじ６０２により締結されている。

【0064】

本実施例では、給電子固定ブロック３０１と給電子固定ブロック支持部４０２とが別体でねじ等により締結されている給電ユニット１０の例を示しているが、給電子固定ブロック３０１と給電子固定ブロック支持部４０２とが一体となり、一体になったものを給電ユニット１０とすることもできる。

【0065】

固定ねじ４０１は、図４〜７に示すように、プレート６０１とプレート５０１とを締結し、プレート５０１を重力方向上部又は下部に回転移動させるための支持部（回転軸）となる。

【0066】

また、レバー４０４は、楕円の形状のカム４０８と締結（結合）しているシャフト４０６と、固定ねじ４０７により締結されている。

【0067】

レバー４０４が備えているシャフト固定部４０９（レバー４０４とシャフト固定部４０９とは一体である）、及びシャフト４０６には、固定ねじ４０７のねじ穴があり、固定ねじ４０７により、シャフト４０６とレバー４０４が締結されている。

【0068】

また、固定ねじ４０５は、プレート５０１が、固定ねじ４０１を軸として回転した状態を維持するために設けられており、固定ねじ４０５を締めることで、レバー４０４を固定するためのねじである。

【0069】

この固定ねじ４０５は、本発明の固定部の適用例であり、移動部により移動された装着部を当該移動された位置に固定する。

【0070】

シャフト４０６は、前後方向のプレート６０１の穴（シャフト４０６を通す穴）に装着されている。そして、シャフト４０６は、楕円の形状のカム４０８と結合している。

【0071】

そのため、図５に示すように、レバー４０４を、シャフト４０６を軸に、左回転させると、カム４０８がプレート５０１に接触して、プレート５０１を固定ねじ４０１からシャフト６０４の直線を軸にして、プレート５０１を左回転させることで、給電子１１を重力方向上部に移動させることが可能となる。

【0072】

シャフト４０６を中心にカム４０８を回転させる際に、固定ねじ４０５も、図５の通り、左回転する。この固定ねじ４０５が移動するためにプレート６０１には円弧状の溝が設けられている。

【0073】

レバー４０４、シャフト４０６、カム４０８、プレート５０１、固定ねじ４０７は、本発明の移動部の適用例である。

【0074】

上述の通り、本発明の移動部は、後述する調整部により調整された傾きを維持した状態で、装着部に装着される給電子１１をワイヤ群７に接触させる位置に装着部移動させる（装着部をワイヤ群７の方向に移動させる）。

【0075】

プレート５０１は、給電子固定ブロック３０１と締結用ねじ６０２により締結されている。

【0076】

プレート５０１は、本発明の支持部の適用例であり、締結用ねじは、本発明の締結部の適用例である。

【0077】

締結用ねじ６０２（締結部）は、給電子固定ブロック３０１（装着部）と、給電子固定ブロック３０１を支持するプレート５０１（支持部）とを締めて締結する。

【0078】

締結用ねじ６０２は、給電子固定ブロック３０１とプレート５０１とを完全には固定はしないものの、給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との締結を維持し、緩みを有するねじである。そのため、高さ調整用ねじのプレート５０１への押し付けにより、給電子固定ブロック３０１とプレート５０１と間の距離を長くしたり、短くしたりすることができる。

【0079】

また、締結用ねじ６０２は、給電子固定ブロック３０１とプレート５０１とを締結するねじであり、その締結用ねじ６０２が、給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との間で、少なくとも１箇所締結されており、その締結用ねじ６０２から、ワイヤ群７の走行方向に対して交差する方向に離れた位置の、給電子固定ブロック３０１又はプレート５０１に、少なくとも１箇所締結されている構成でもよい。

【0080】

プレート６０１は、給電子固定ブロック支持部４０２の前側（前方）、及び後側（後方）に、それぞれ設けられており、それぞれ固定ねじ４０１とシャフト６０４によりプレート５０１と締結されている。

【0081】

また、高さ調整用ねじ６０３は、給電子固定ブロック３０１を、ワイヤ群７の走行方向に対して垂直方向（ワイヤ群が並んでいる幅方向）と平行になるように、プレート５０１と給電子固定ブロック３０１との間の高さを調整するものである。ここで、高さ調整用ねじ６０３は、本発明の調整部（軸方向調整機構）の適用例である。

【0082】

本発明の調整部は、ワイヤ群７の走行方向に対して交差する方向の装着部の傾きを調整する。すなわち、調整部は、ワイヤ群７が並設される方向に対する装着部の傾きを調整するものである。

【0083】

高さ調整用ねじ６０３（調整部）は、図６などに示している通り、ワイヤ群７の走行方向に対して交差する方向に離れた位置の給電子固定ブロック３０１（装着部）に複数設けられている。

【0084】

高さ調整用ねじ６０３がねじ穴にかみ合い締められることによる当該高さ調整用ねじ６０３の移動方向に位置するプレート５０１の部位には、高さ調整用ねじ６０３のねじ穴が無いプレートの部材が有るため、高さ調整用ねじ６０３が締められることにより高さ調整用ねじ６０３が当該部材を押し出し、給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との間の距離を広げて調整することができる。

【0085】

そのため、高さ調整用ねじ６０３は、図８、９などに示している通り、締結用ねじ６０２から、ワイヤ群７の走行方向に対して交差する方向に離れた位置の給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との間の距離を調整することができる。

【0086】

図８は、給電子１１が装着された給電ユニット１０を左側から見た図であって、ワイヤ群７と給電子１１とが平行になっていない様子を示す図である。

【0087】

図８では、前方のワイヤ８０１と給電子１１との間の距離（Ｌ１）よりも、後方のワイヤ８０１と給電子１１との間の距離（Ｌ２）の方が短くなっている。

【0088】

そのため、後側の高さ調整用ねじ６０３を締めることで、後方の給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との間の距離を長くし、ワイヤ群７と給電子１１とを平行にすることが出来るようになる。

【0089】

後側の高さ調整用ねじ６０３を締めることで、後方の給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との間の距離を長くし、ワイヤ群７と給電子１１とを平行にした状態を示す図が図９である。

【0090】

図９は、給電子１１が装着された給電ユニット１０を右側から見た図であって、後側の高さ調整用ねじ６０３を締めることで、後方の給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との間の距離を長くし、ワイヤ群７と給電子１１とを平行にした図である。

【0091】

このように、ワイヤ群と給電子１１とを平行にして、図５に示すように、レバー４０４を左回転させることで、給電子１１とワイヤ群７とを平行に接触させることが可能となる。
次に、給電子１１の変形例について説明する。

【0092】

これまで説明した給電子１１は、図１０の（ａ）に示すように、超硬合金１００１から構成されていることを前提に説明したが、給電子１１の内部を、図１０の（ｂ）に示すように、銅１００２やステンレスなどの部材で構成するようにすることもできる。

【0093】

また、図１０の（ｃ）に示すように、給電子１１の内部を空（中空１００３）にすることもできる。
図１０は、複数の形態の給電子１１の側面図である。

【0094】

図１０の（ｂ）に示したように、給電子１１の内部を銅１００２やステンレスなどの部材で構成し、外周を超硬合金１００１で構成した給電子１１の斜視図（図１１の（ａ））、側面図（図１１の（ｂ））、平面図（図１１の（Ｃ））を図１１に示す。

【0095】

図１１に示すように、超硬合金１００１の内部は銅１００２が充填されており、給電子の超硬合金１００１の軸方向の距離よりも長めに、銅１００２が設けられている。

【0096】

このように、給電子１１の内部を、超硬合金１００１より安価で電気抵抗の低い銅１００２やステンレスなどの部材で構成し、外周を超硬合金１００１で構成することにより、安価に給電子を製作することができる。

【0097】

図１１に示す給電子は、図１１に示すように、円柱状の給電子であって、円柱状の給電子の内側は給電子の外周の部材（超硬合金１００１）よりも電気的に低抵抗の部材（銅１００２やステンレスなどの部材）であり、円柱状の軸方向の給電子の両端にも当該低抵抗の部材が設けられた給電子である。

【0098】

本実施形態に記載された電気的に低抵抗の部材は、銅、又はステンレスを含む材料を含む。

【0099】

次に、図１０の（ｃ）に示したように、給電子１１の内部を空（中空１００３）にし、外周を超硬合金１００１で構成した給電子１１の斜視図（図１２の（ａ））、側面図（図１２の（ｂ））、平面図（図１２の（Ｃ））を図１２に示す。
図１２の給電子は、円筒状の給電子である。

【0100】

このように中空１００３を有する給電子１１を用いる場合には、超硬合金１００１より安価で電気抵抗の低い銅１００２やステンレスなどの部材であるシャフト１３０１を、図１３に示すように、円筒状の給電子の内部の空間に挿入することで、給電子１１の中心部の部材（シャフト１３０１）を再利用することが可能となる。

【0101】

また、この場合も、図１１で説明したように、給電子の超硬合金１００１の軸方向の距離よりも長いシャフト１３０１が用いられる。

【0102】

すなわち、シャフト１３０１は、円筒状の給電子の内側に挿入されるシャフトであって、外周の給電子の部材（超硬合金１００１）よりも電気的に低抵抗の部材（銅１００２やステンレスなどの部材）で構成され、給電子の軸方向の長さよりも長いシャフトである。

【0103】

次に、このような給電子を給電子固定ブロック３０１に固定する方法について、説明する。

【0104】

図１４、図１５に示すように、給電子固定ブロック３０１と、銅１００２、又はシャフト１３０１とを給電子固定用ねじ１４０１で締結する。

【0105】

給電子固定用ねじ１４０１は、本発明の第２の固定部材の適用例であり、円柱状の軸方向の給電子の両端に設けられた当該低抵抗の部材を装着部の方向に押圧して固定する。

【0106】

給電子固定用ねじ１４０１は、本発明の第３の固定部材の適用例であり、円筒状の給電子に挿入されたシャフトの両端、又はいずれか一方を装着部の方向に押圧して固定する。

【0107】

これにより、給電子１１を固定し、ワイヤが走行することにより給電子が回転することを防ぐことができる。また、図３で示した固定ねじ３０２を用いる必要がなくなり、給電子の外周表面を固定ねじ３０２で傷つけるおそれも低減できる。
図１６は、給電子１１の側面にマークを付した給電子の一例を示す図である。

【0108】

図１６に示すように、給電子の側面にマークを付けることにより、給電子を回転した距離を容易に把握することが可能となる。

【0109】

本実施形態では、例えば、図８に示すように、高さ調整用ねじ６０３が給電子固定ブロック３０１に設けられている例を説明したが、その代わりに、高さ調整用ねじ６０３がプレート５０１に設けられていても良い。この場合、プレート５０１に高さ調整用ねじ６０３のねじ穴があり、給電子固定ブロック３０１に当該ねじ穴が無い構成となる。

【0110】

この場合、高さ調整用ねじ６０３が当該ねじ穴にかみ合い締められることによる当該高さ調整用ねじ６０３の移動方向に位置する給電子固定ブロック３０１の部位には、高さ調整用ねじ６０３のねじ穴が無く給電子固定ブロック３０１の部材が有るため、高さ調整用ねじ６０３が締められることにより高さ調整用ねじ６０３が当該部材を押し出して、給電子固定ブロック３０１とプレート５０１との間の距離を広げて調整することができる。この場合も、高さ調整用ねじ６０３は、ワイヤ群の走行方向に対して交差する方向に離れた位置のプレート５０１に設けられている。そして、高さ調整用ねじ６０３は、ワイヤ群が並設される方向に対する装着部の傾きを調整することができる。

【0111】

以上、本実施例によれば、マルチワイヤ放電加工装置に用いられる給電ユニットが、並設されたワイヤ群に一括で接触する給電子が装着される装着部と、当該ワイヤ群の走行方向に対して交差する方向の装着部の傾きを調整する調整部と、を備えるので、給電子と並設されたワイヤ群とを平行に配置することが容易に調整でき、並設されたワイヤ群に一括で接触する給電子と当該ワイヤ群との接触圧のばらつきを低下させることが可能となる。

【0112】

また、本発明は、例えば、システム、装置、方法としての実施形態も可能であり、具体的には、一又は複数の機器からなる装置に適用してもよい。
〔他の実施形態〕

【0113】

本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。

【符号の説明】

【0114】

１ マルチワイヤ放電加工装置
２ ブロック
３ 被加工物の送り装置
４ 接着部
５ 被加工物
６ 加工液槽
７０１ 加工液供給口
８ メインローラ
９ メインローラ
１０ 給電ユニット
１１ 給電子
１５ 電源ユニット（電源装置）
１８ 加工液供給装置
１９ ブロック

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】