特許 5984193 ダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム及び突き上げ動作干渉回避システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5984193

(24)【登録日】2016年8月12日

(45)【発行日】2016年9月6日

(54)【発明の名称】ダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム及び突き上げ動作干渉回避システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20160823BHJP

   H01L 21/67 20060101ALI20160823BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   H01L21/68 E

【請求項の数】6

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-544175(P2014-544175)

(86)(22)【出願日】2012年11月2日

(86)【国際出願番号】JP2012078449

(87)【国際公開番号】WO2014068763

(87)【国際公開日】20140508

【審査請求日】2015年10月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】富士機械製造株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098420

【弁理士】

【氏名又は名称】加古 宗男

(72)【発明者】

【氏名】佐野 孝之

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−２１４４７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２７７２７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５９−１８９２４０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０１２−０９９６８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２３８８４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０１−２２０４５４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハをダイシングして形成した複数のダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートの外周部を内側・外側の両エキスパンドリングで挟み込んで張設したウエハパレットと、前記ウエハパレットを複数段に収容したマガジンと、前記マガジン内のウエハパレットをピックアップ位置へ引き出す引き出し機構と、前記ピックアップ位置の下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、前記引き出し機構により前記マガジン内のウエハパレットをピックアップ位置へ引き出して前記ダイシングシート上のダイを吸着ノズルに吸着してピックアップする際に、前記突き上げ機構により前記突き上げポットをダイシングシートの下面に接触又は近接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システムにおいて、
前記ウエハパレット上の外側のエキスパンドリングを検知対象物とする対物センサを備え、前記引き出し機構により前記マガジン内のウエハパレットを前記ピックアップ位置へ引き出す際に該ウエハパレット上の外側のエキスパンドリングが前記対物センサの検知エリアを通過するように構成され、前記対物センサの検出結果と前記ウエハパレットの移動量との関係に基づいて前記外側のエキスパンドリングの外径を計測する手段と、前記外側のエキスパンドリングの外径計測値と前記内側・外側の両エキスパンドリングの合計幅とに基づいて前記内側のエキスパンドリングの内径を算出する手段とを備えていることを特徴とするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム。

【請求項2】

前記マガジン内には、前記ウエハパレットと、トレイ部品を積載したトレイパレットとが混載され、
前記引き出し機構により前記マガジン内のトレイパレットを前記ピックアップ位置へ引き出す際に前記対物センサの検出結果に基づいて該トレイパレット上のトレイ部品の載置状態の正常／異常を監視する手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム。

【請求項3】

ウエハをダイシングして形成した複数のダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートの外周部を内側・外側の両エキスパンドリングで挟み込んで張設したウエハパレットと、前記ウエハパレットの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のダイを撮像するカメラとを備え、前記ダイシングシート上のダイを吸着ノズルに吸着してピックアップする際に、前記突き上げ機構により前記突き上げポットをダイシングシートの下面に接触又は近接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システムにおいて、
前記内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所を前記カメラで撮像して、それらの撮像画像を処理して前記内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所の位置を認識する画像処理手段と、前記画像処理手段により認識した前記内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所の位置に基づいて該内側のエキスパンドリングの内径を算出する手段とを備えていることを特徴とするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム。

【請求項4】

ウエハをダイシングして形成した複数のダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートの外周部を内側・外側の両エキスパンドリングで挟み込んで張設したウエハパレットと、前記ウエハパレットの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、前記ダイシングシート上のダイを吸着ノズルに吸着してピックアップする際に、前記突き上げ機構により前記突き上げポットをダイシングシートの下面に接触又は近接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システムにおいて、
上方に位置する計測対象点までの高さを計測する高さ計測センサが前記ウエハパレットの下方を水平方向に移動するように設けられ、
前記高さ計測センサで前記ウエハパレットの下端の高さを計測しながら、その計測対象点が前記内側のエキスパンドリングの内周縁を横切るように該高さ計測センサを水平方向に移動させ、該高さ計測センサの計測値が変化する位置を前記内側のエキスパンドリングの内周縁の位置と判定する処理を該内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所で行い、該内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所の位置に基づいて該内側のエキスパンドリングの内径を算出することを特徴とするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム。

【請求項5】

前記高さ計測センサは、前記突き上げポットと一体的に水平方向に移動するように設けられていることを特徴とする請求項３に記載のダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム。

【請求項6】

請求項１乃至５のいずれかに記載のダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システムで計測した前記内側のエキスパンドリングの内径に基づいて前記突き上げポットが該内側のエキスパンドリングの内縁と干渉しないように該突き上げポットの水平方向の移動範囲を設定する手段を備えていることを特徴とするダイ供給装置の突き上げ動作干渉回避システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数のダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったエキスパンドリングの内径を計測する機能を備えたダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム及び突き上げ動作干渉回避システムに関する発明である。

【背景技術】

【0002】

近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でダイを回路基板に実装するようにしたものがある。ダイ供給装置は、ダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを装着したウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、ダイ供給装置の吸着ノズル又は部品実装機の吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、突き上げ機構により突き上げポットをダイシングシートの下面に接触又は近接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させる突き上げ動作を行うことで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。

【0003】

ここで、ウエハパレットは、複数のダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートの外周部を内側・外側の両エキスパンドリングで挟み込んで張設した構成となっており、ダイシングシート上のダイを吸着ノズルで吸着してピックアップする際に、突き上げポットは、ダイシングシートを張ったウエハパレットの内側のエキスパンドリング内に位置して該ダイシングシートの下面に接触又は近接し、且つ、吸引状態で該ダイシングシートの下面に沿ってＸＹ方向に移動するため、突き上げポットがウエハパレットの内側のエキスパンドリングと干渉することを避ける必要がある。このため、ウエハパレットをダイ供給装置にセットする際に、突き上げポットがウエハパレットの内側のエキスパンドリングと干渉しないＸＹ方向の移動可能範囲の情報を作業者がダイ供給装置の制御用コンピュータに入力する必要があり、その入力作業が面倒であった。

【0004】

そこで、特許文献２（特開２０１２−９９６８０号公報）に記載されているように、ダイシングシート上のウエハのサイズ及び／又はピックアップ動作範囲（エキスパンドリングの内径寸法）に関するウエハ情報を書き込んだ情報記録部をウエハパレットに設けると共に、前記情報記録部に記述されたウエハ情報を読み取る情報読取り部（リーダ）と、この情報読取り部で読み取ったウエハ情報に基づいて突き上げポットのＸＹ方向の移動可能範囲を自動設定するようにしたものがある。この構成では、ウエハパレットの情報記録部からウエハ情報を情報読取り部で読み取って突き上げポットのＸＹ方向の移動可能範囲を自動設定するため、突き上げポットがウエハパレットの内側のエキスパンドリングと干渉しないＸＹ方向の移動可能範囲の情報を入力する作業を行う必要がなくなり、生産性を向上できる利点がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１０−１２９９４９号公報

【特許文献2】特開２０１２−９９６８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、特許文献２のように、ウエハパレットに、ウエハ情報を書き込んだ情報記録部を設ける構成では、間違った径のエキスパンドリングがウエハパレットに装着されている場合に、当該ウエハパレットの情報記録部から読み取ったエキスパンドリングの内径寸法が実際の内径寸法と異なるため、ダイシングシート上のダイを吸着ノズルで吸着してピックアップする際に、突き上げポットがエキスパンドリングと干渉して破損する可能性があった。しかも、ウエハパレットに情報記録部が設けられていない場合は、エキスパンドリングの内径寸法のデータを作業者がダイ供給装置の制御用コンピュータに入力する必要があり、その入力作業が面倒であった。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明は、ウエハをダイシングして形成した複数のダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートの外周部を内側・外側の両エキスパンドリングで挟み込んで張設したウエハパレットと、前記ウエハパレットを複数段に収容したマガジンと、前記マガジン内のウエハパレットをピックアップ位置へ引き出す引き出し機構と、前記ピックアップ位置の下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、前記引き出し機構により前記マガジン内のウエハパレットをピックアップ位置へ引き出して前記ダイシングシート上のダイを吸着ノズルに吸着してピックアップする際に、前記突き上げ機構により前記突き上げポットをダイシングシートの下面に接触又は近接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システムにおいて、前記ウエハパレット上の外側のエキスパンドリングを検知対象物とする光センサ等の対物センサを備え、前記引き出し機構により前記マガジン内のウエハパレットを前記ピックアップ位置へ引き出す際に該ウエハパレット上の外側のエキスパンドリングが前記対物センサの検知エリアを通過するように構成され、前記対物センサの検出結果と前記ウエハパレットの移動量との関係に基づいて前記外側のエキスパンドリングの外径を計測する手段と、前記外側のエキスパンドリングの外径計測値と前記内側・外側の両エキスパンドリングの合計幅とに基づいて前記内側のエキスパンドリングの内径を算出する手段とを備えた構成としたものである。

【0008】

この構成では、マガジン内のウエハパレットをピックアップ位置へ引き出す際に、該ウエハパレット上の外側のエキスパンドリングを光センサ等の対物センサで検出して、その対物センサの検出結果とウエハパレットの移動量との関係に基づいて外側のエキスパンドリングの外径を計測できるため、外側のエキスパンドリングの外径計測値と内側・外側の両エキスパンドリングの合計幅とに基づいて内側のエキスパンドリングの内径を算出することができる。これにより、ウエハパレットに、内側のエキスパンドリングの内径等のデータを記録した情報記録部が設けられていなくても、内側のエキスパンドリングの内径を自動的に計測することができ、突き上げ動作時に突き上げポットが内側のエキスパンドリングと干渉して破損することを防止できると共に、内側のエキスパンドリングの内径等のデータを作業者が入力する作業を行う必要がなくなり、生産性を向上できる。

【0009】

この場合、対物センサは、内径計測専用の対物センサを新たに設けても良いが、マガジン内に、ウエハパレットと、トレイ部品を積載したトレイパレットとを混載した部品供給装置に本発明を適用する場合は、トレイパレット上のトレイ部品の載置状態の正常／異常を監視するために設置された光センサ等の対物センサを使用して内側のエキスパンドリングの内径を計測するようにしても良い。

【0010】

一般に、ダイ供給装置には、ダイシングシート上のダイを撮像するカメラが装備されていることを考慮して、本発明は、内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所を前記カメラで撮像して、それらの撮像画像を処理して前記内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所の位置を画像処理手段により認識し、認識した内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所の位置に基づいて該内側のエキスパンドリングの内径を算出するようにしても良い。

【0011】

或は、本願発明は、上方に位置する計測対象点までの高さを計測する高さ計測センサを、ウエハパレットの下方を水平方向に移動するように設け、前記高さ計測センサで前記ウエハパレットの下端の高さを計測しながら、その計測対象点が前記内側のエキスパンドリングの内周縁を横切るように該高さ計測センサを水平方向に移動させ、該高さ計測センサの計測値が変化する位置を前記内側のエキスパンドリングの内周縁の位置と判定する処理を該内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所で行い、該内側のエキスパンドリングの内周縁の少なくとも３箇所の位置に基づいて該内側のエキスパンドリングの内径を算出するようにしても良い。

【0012】

この場合、高さ計測センサは、突き上げポットと一体的に水平方向に移動するように設けるようにすると良い。このようにすれば、突き上げポットを移動させる突き上げ機構を利用して高さ計測センサを水平方向に移動させることができ、高さ計測センサ専用の移動機構を設ける必要がない。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は本発明の実施例１におけるダイ供給装置の外観斜視図である。

【図2】図２は突き上げユニットとその周辺部分の外観斜視図である。

【図3】図３はウエハパレットの外観斜視図である。

【図4】図４は突き上げ動作時に突き上げポットを吸着位置まで上昇させた状態を示す一部破断拡大図である。

【図5】図５は突き上げ動作時に突き上げポットから突き上げピンを突出させた状態を示す一部破断拡大図である。

【図6】図６は光センサとウエハパレットとの位置関係を示す縦断面図である。

【図7】図７は実施例１の内側のエキスパンドリングの内径の計測方法を説明する図である。

【図8】図８は実施例２の内側のエキスパンドリングの内径の計測方法を説明する図である。

【図9】図９は実施例３の内側のエキスパンドリングの内径の計測方法を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明を実施するための形態を具体化した３つの実施例１〜３を説明する。

【実施例1】

【0015】

本発明の実施例１を図１乃至図７に基づいて説明する。
まず、図１を用いてダイ供給装置１１の構成を概略的に説明する。

【0016】

ダイ供給装置１１は、マガジン保持部２２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル２３、ＸＹ移動機構２５、突き上げ機構２８（図２参照）等を備え、パレット引き出しテーブル２３を部品実装機（図示せず）に差し込んだ状態にセットされる。

【0017】

ダイ供給装置１１のマガジン保持部２２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ウエハ張設体３０を装着したウエハパレット３２と、トレイ部品を積載したトレイパレットとが多段に混載され、生産中にマガジンからウエハパレット３２又はトレイパレットがパレット引き出しテーブル２３上のピックアップ位置に引き出されるようになっている。

【0018】

図３に示すように、ウエハ張設体３０は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したダイ３１を貼着した伸縮可能なダイシングシート３４を、円形の開口部を有するダイシングフレーム３３に接着等により固定し、該ダイシングフレーム３３の開口部内で該ダイシングシート３４を内側・外側の両エキスパンドリング４４，４５（図６参照）で挟み込んでエキスパンドしたものであり、該ダイシングフレーム３３がパレット本体３５にねじ止め等により取り付けられている。

【0019】

突き上げ機構２８（図２参照）は、突き上げポット３７をウエハパレット３２のダイシングシート３４下方の空間領域をＸＹ方向に移動させるように構成されている。そして、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９（図４、図５参照）で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。

【0020】

この突き上げ機構２８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げ機構２８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げ機構２８が上昇して突き上げポット３７の上面がウエハパレット３２のダイシングシート３４にほぼ接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げ機構２８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット３７の上面から突き上げピン３９（図４、図５参照）が上方に突出して、ダイシングシート３４のうちのピックアップしようとするダイ３１の貼着部分を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピン３９の突き上げ高さ位置（突き上げ量）を調整できるようになっている。

【0021】

図１に示すように、ＸＹ移動機構２５には、吸着ヘッド４１とカメラ４２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド４１には、ダイシングシート３４上のダイ３１を吸着する吸着ノズル４３（図４、図５参照）が上下動するように設けられている。カメラ４２は、ダイシングシート３４上のダイ３１を上方から撮像してその撮像画像を画像処理することで、吸着ノズル４３で吸着しようとするダイ３１の位置を認識できるようになっている。

【0022】

ダイ供給装置１１の制御コンピュータ（図示せず）は、ダイシングシート３４上のダイ３１のうち、吸着しようとするダイ３１をカメラ４２で撮像して得られた画像を処理して該ダイ３１の位置を認識して、該ダイ３１の突き上げ位置及び吸着位置を決定し、図５に示すように、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせながら、該ダイ３１を吸着ノズル４３に吸着してピックアップする。

【0023】

尚、部品実装機の吸着ノズル（図示せず）でダイシングシート３４上のダイ３１を吸着するようにしても良い。また、マガジンからトレイパレットがパレット引き出しテーブル２３上のピックアップ位置に引き出された場合は、該トレイパレットに積載されたトレイ部品が部品実装機の吸着ノズルで吸着される。

【0024】

図１に示すように、パレット引き出しテーブル２３の両側のうちのマガジン保持部２２に近い位置には、ウエハパレット３２上の外側のエキスパンドリング４５を検知対象物とする対物センサである透過型の光センサ４６，４７（投光素子と受光素子）が、ウエハパレット３２の引き出し方向と直角の方向に対向するように設置され、図７に示すように、引き出し機構によりマガジン内のウエハパレット３２をパレット引き出しテーブル２３上のピックアップ位置へ引き出す際に、該ウエハパレット３２上の外側のエキスパンドリング４５が光センサ４６，４７の検知エリア（光軸）を通過し、その通過の際に光センサ４６，４７の光軸が外側のエキスパンドリング４５で遮られて受光側の光センサ４７（受光素子）の出力がオンからオフに切り替わるように構成されている。この光センサ４６，４７は、パレット引き出しテーブル２３上にトレイパレットが引き出される場合には、該トレイパレット上のトレイ部品の載置状態の正常／異常を監視する光センサとしても用いられる。

【0025】

ダイ供給装置１１の制御コンピュータ（図示せず）は、引き出し機構によりマガジン内のウエハパレット３２をパレット引き出しテーブル２３上のピックアップ位置へ引き出す際に、光センサ４６，４７の検出結果とウエハパレット３２の移動量との関係に基づいて外側のエキスパンドリング４５の外径Ｒout を計測する。具体的には、引き出し機構によりマガジン内のウエハパレット３２をパレット引き出しテーブル２３上のピックアップ位置へ引き出す際に、該ウエハパレット３２上の外側のエキスパンドリング４５が光センサ４６，４７の検知エリア（光軸）を通過し、その通過の際に光センサ４６，４７の光軸が外側のエキスパンドリング４５で遮られて受光側の光センサ４７の出力がオンからオフに切り替わるため、受光側の光センサ４７の出力がオフに切り替わった位置から再びオンに切り替わる位置までのウエハパレット３２の移動量が外側のエキスパンドリング４５の外径Ｒout に相当する（図７参照）。このウエハパレット３２の移動量は、引き出し機構を駆動するモータ等の駆動源の動作量（制御量）等により検出される。

【0026】

外側のエキスパンドリング４５の外径Ｒout の計測値と内側・外側の両エキスパンドリング４４，４５の合計幅Ｗとに基づいて次の（１）式により内側のエキスパンドリング４４の内径Ｒinを算出する。
Ｒin＝Ｒout −Ｗ×２ ……（１）
ここで、内側・外側の両エキスパンドリング４４，４５の合計幅Ｗは、予め定数としてダイ供給装置１１の制御コンピュータの記憶装置（図示せず）に記憶されている。

【0027】

尚、予め、上記（１）式により外側のエキスパンドリング４５の外径Ｒout をパラメータとして内側のエキスパンドリング４４の内径Ｒinを算出するテーブルを作成して、そのテーブルを制御コンピュータの記憶装置に記憶しておき、外側のエキスパンドリング４５の外径Ｒout の計測後に、このテーブルを参照して外側のエキスパンドリング４５の外径Ｒout の計測値に対応する内側のエキスパンドリング４４の内径Ｒinを求めるようにしても良い。この際、必要に応じて補間補正により内側のエキスパンドリング４４の内径Ｒinを算出すれば良い。

【0028】

以上のようにして計測した内側のエキスパンドリング４４の内径Ｒinに基づいて突き上げポット３７が該内側のエキスパンドリング４４の内縁と干渉しないように該突き上げポット３７の水平方向（ＸＹ方向）の移動範囲を設定する。

【0029】

以上説明した本実施例１によれば、マガジン内のウエハパレット３２をピックアップ位置へ引き出す際に、該ウエハパレット３２上の外側のエキスパンドリング４５を光センサ４６，４７で検出して、その光センサ４６，４７の検出結果とウエハパレット３２の移動量との関係に基づいて外側のエキスパンドリング４５の外径を計測するようにしているため、外側のエキスパンドリング４５の外径計測値と内側・外側の両エキスパンドリング４４，４５の合計幅とに基づいて内側のエキスパンドリング４４の内径を算出することができる。これにより、ウエハパレット３２に、内側のエキスパンドリング４４の内径等のデータを記録した情報記録部が設けられていなくても、内側のエキスパンドリング４４の内径を自動的に計測することができ、突き上げ動作時に突き上げポット３７が内側のエキスパンドリング４４と干渉して破損することを防止できると共に、内側のエキスパンドリング４４の内径等のデータを作業者が入力する作業を行う必要がなくなり、生産性を向上できる。

【0030】

尚、本発明は、内径計測専用の光センサを新たに設けても良いが、本実施例１のように、マガジン内に、ウエハパレット３２とトレイパレットとを混載している場合は、トレイパレット上のトレイ部品の載置状態の正常／異常を監視するために光センサ４６，４７が設置されているため、この光センサ４６，４７を使用して内側のエキスパンドリング４４の内径を計測することができ、内径計測専用の光センサを新たに設ける必要がない。

【実施例2】

【0031】

次に、図８を参照して本発明の実施例２を説明する。但し、前記実施例１と実質的に同一の部分については前記実施例１と同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分を説明する。

【0032】

本実施例２では、ダイシングシート３４上のダイ３１を撮像するカメラ４２を使用して、画像処理技術により内側のエキスパンドリング４４の内径を計測するものであり、まず、内側のエキスパンドリング４４の内周縁の３箇所をカメラ４２で撮像して、それらの撮像画像をダイ供給装置１１の制御コンピュータ（画像処理手段）で処理して、内側のエキスパンドリング４４の内周縁の３箇所の位置を画像処理により認識し、認識した内側のエキスパンドリング４４の内周縁の３箇所の位置に基づいて該内側のエキスパンドリング４４の内径を算出するようにしている。

【0033】

図８に示すように、カメラ４２の撮像画像には、内側のエキスパンドリング４４とダイシングシート３４とが部分的に写っているため、ダイ供給装置１１の制御コンピュータで撮像画像を処理して輝度（明暗度）が変化する位置を内側のエキスパンドリング４４の内周縁と認識する。例えば、１つの撮像画像の中に、内側のエキスパンドリング４４の内周縁と交差する１本のシークラインを作成し、このシークライン上の輝度の変化パターンを求めて、輝度がステップ的に変化する位置（点）を内側のエキスパンドリング４４の内周縁と認識し、その位置のＸＹ座標（Ｘ1 ，Ｙ1)を求める。このような画像処理を内側のエキスパンドリング４４の内周縁の３箇所で行うことで、内側のエキスパンドリング４４の内周縁の３箇所（３点）の位置のＸＹ座標（Ｘ1 ，Ｙ1)、（Ｘ2 ，Ｙ2)、（Ｘ3 ，Ｙ3)を求める。これら３点（Ｘ1 ，Ｙ1)、（Ｘ2 ，Ｙ2)、（Ｘ3 ，Ｙ3)を通る円は一義的に決まるため、３点（Ｘ1 ，Ｙ1)、（Ｘ2 ，Ｙ2)、（Ｘ3 ，Ｙ3)を通る円の中心座標と直径を算出し、この円を内側のエキスパンドリング４４の内周縁と認識して、その内径（円の直径）を求める。このような画像処理による内側のエキスパンドリング４４の内径の計測は、ダイ供給装置１１の制御コンピュータによって自動的に行われる。

【0034】

尚、内側のエキスパンドリング４４の内周縁と交差するシークラインの作成は、ダイ供給装置１１の制御コンピュータによって自動的に行っても良いし、作業者が制御コンピュータの表示装置（図示せず）に表示された撮像画像を見ながら手動操作でシークラインの位置を指定するようにしても良い。また、内側のエキスパンドリング４４の内周縁の４箇所以上の点を画像処理により認識し、認識した４箇所以上の点に最も近接する円の中心座標と直径を算出し、この円を内側のエキスパンドリング４４の内周縁と認識して、その内径（円の直径）を求めるようにしても良い。

【0035】

以上説明した本実施例２でも、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。

【実施例3】

【0036】

次に、図９を参照して本発明の実施例３を説明する。但し、前記実施例１と実質的に同一の部分については前記実施例１と同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分を説明する。

【0037】

本実施例３では、上方に位置する計測対象点までの高さを計測するレーザセンサ等の非接触式の高さ計測センサ５１を突き上げ機構２８（又は突き上げポット３７）に設け、高さ計測センサ５１が突き上げポット３７と一体的に水平方向（ＸＹ方向）に移動するように構成している。

【0038】

内側のエキスパンドリング４４の内径を計測する場合は、高さ計測センサ５１でウエハパレット３２の下端の高さを計測しながら、その計測対象点が内側のエキスパンドリング４４の内周縁を横切るように該高さ計測センサ５１を水平方向に移動させ、該高さ計測センサ５１の計測値がステップ的に変化する位置を内側のエキスパンドリング４４の内周縁の位置と判定する処理を該内側のエキスパンドリング４４の内周縁の少なくとも３箇所で行い、該内側のエキスパンドリング４４の内周縁の少なくとも３箇所の位置に基づいて、前記実施例２と同様の手法で、該内側のエキスパンドリング４４の内径を算出する。尚、高さ計測センサ５１の水平方向の位置（ＸＹ座標）の認識は、突き上げポット３７（突き上げピン３９）の水平方向の位置を認識する機能を用いて行われる。

【0039】

以上説明した本実施例３でも、前記実施例１とほぼ同様の効果を得ることができる。
尚、本実施例３では、高さ計測センサ５１を突き上げポット３７と一体的に水平方向に移動するように構成しているため、突き上げポット３７を移動させる突き上げ機構２８を利用して高さ計測センサ５１を水平方向に移動させることができ、高さ計測センサ５１専用の移動機構を設ける必要がない。但し、本発明は、高さ計測センサ５１専用の移動機構を設ける構成としても良い。

【0040】

また、ウエハパレット３２上の外側のエキスパンドリング４５を検出する対物センサは、光センサに限定されず、超音波センサ、赤外線センサ等であっても良い。

【0041】

その他、本発明は、上記各実施例１〜３に限定されず、例えば、ダイ供給装置１１の構成やウエハパレット３２の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0042】

１１…ダイ供給装置、２２…マガジン保持部、２３…パレット引き出しテーブル、２５…ＸＹ移動機構、２８…突き上げ機構、３０…ウエハ張設体、３１…ダイ、３２…ウエハパレット、３３…ダイシングフレーム、３４…ダイシングシート、３７…突き上げポット、３９…突き上げピン、４１…吸着ヘッド、４２…カメラ、４３…吸着ノズル、４４…内側のエキスパンドリング、４５…外側のエキスパンドリング、４６，４７…光センサ（対物センサ）、５１…高さ計測センサ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】