特許 5984793 低接合フットプリントを有する可変鏡およびそのような鏡を製造するための工程

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5984793

(24)【登録日】2016年8月12日

(45)【発行日】2016年9月6日

(54)【発明の名称】低接合フットプリントを有する可変鏡およびそのような鏡を製造するための工程

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/06 20060101AFI20160823BHJP

   G02B 5/10 20060101ALI20160823BHJP

【ＦＩ】

   G02B26/06

   G02B5/10 B

【請求項の数】16

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2013-503157(P2013-503157)

(86)(22)【出願日】2011年4月5日

(65)【公表番号】特表2013-524283(P2013-524283A)

(43)【公表日】2013年6月17日

(86)【国際出願番号】FR2011050761

(87)【国際公開番号】WO2011124838

(87)【国際公開日】20111013

【審査請求日】2014年4月3日

(31)【優先権主張番号】1052599

(32)【優先日】2010年4月6日

(33)【優先権主張国】FR

(73)【特許権者】

【識別番号】511038950

【氏名又は名称】アルパオ

(74)【代理人】

【識別番号】110000671

【氏名又は名称】八田国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】カメ，セバスティアン，マリン，ミッシェル

(72)【発明者】

【氏名】キュリス，ジャン−フランソワ，イヴ

(72)【発明者】

【氏名】ロームス，フレデリク，クリスチャン，ロバート

【審査官】 小林 俊久

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許第０５５３５０４３（ＵＳ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１０／０１８３２６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−０２３３６７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ ２６／０６

Ｇ０２Ｂ ２６／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

反射面（３）および反対側の背面（４）を有する変形可能な膜（２）と、
前記膜（２）は、当該膜（２）を変形するように適用された少なくとも一つのアクチュエータ（６）を備えた支持部（５）上に設けられ、
前記アクチュエータ（６）は、接着接合（８）によって前記膜（２）に固定される単一の一体型可動部（７）を少なくとも一つ含み、
前記可動部（７）は、主体（１１）と、能動部（１２）と、を有し、
前記主体（１１）は、前記接着接合（８）の外側に位置し、
前記能動部（１２）は、前記主体（１１）側とは反対側の端部（３３）の頂点部分に、鈍角、平坦、または丸い形状の先端（３２）を形成し、前記主体（１１）の断面（Ｓ_１１）とは断面積が異なる、側壁（１４）によって区切られる断面（Ｓ_１２）を有して、前記接着接合（８）に侵入、または前記接着接合（８）の途中まで埋め込まれ、
前記接着接合（８）は、一方で前記反射面（３）に実質的に平行な背面（４）に接着して広がり、他方で前記可動部（７）および膜（２）間の接合部（１５）を確保するために、前記能動部（１２）の側壁（１４）に少なくとも一部接着することを特徴とする可変鏡。

【請求項2】

前記先端（３２）は、実質的に円錐、載頭円錐、ドーム状に丸い、または双曲面の形状であることを特徴とする請求項１に記載の可変鏡。

【請求項3】

前記先端（３２）は、前記接着接合（８）に部分的に埋め込まれていることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項4】

前記接着接合（８）は、接着剤の一滴から形成され、
当該滴の幅広い基部は、前記反射面（３）に実質的に平行して前記背面（４）に接着し、前記先端（３２）が侵入することを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項5】

前記接着接合（８）の合計高さ（Ｈ_８）は、前記背面（４）と、前記能動部（１２）の一部であって前記接着接合（８）の外側に位置する出現部（２６）と前記接着接合（８）に埋め込まれる前記能動部（１２）の浸漬部（２５）との境界である接着剤‐空気接点（２７）と、の間において計測された場合、実質的に１００μｍおよび３００μｍの間に含まれることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項6】

前記可動部（７）は、その第２端（３４）において、前記能動部（１２）の反対側に、広がった基礎（３５）を有することを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項7】

前記可動部（７）は、前記膜（２）に、直径が実質的に前記基礎（３５）の直径と等しい永久磁石（１０）を吊るすことを特徴とする請求項６に記載の可変鏡。

【請求項8】

前記基礎（３５）は強磁性であることを特徴とする請求項６または７に記載の可変鏡。

【請求項9】

前記可動部（７）は、前記反射面（３）の反対側である前記膜（２）の背面（４）に固定され、炭素繊維／エポキシマトリックス系の複合材料、ガラス繊維または金属製バーから形成される剛性のある物質から単体に形成される棒材により形成されることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項10】

前記可動部（７）は、前記能動部（１２）が前記主体（１１）よりも狭い断面積を有する鋭い形状にされた、一体の永久磁石によって形成されることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項11】

前記可動部（７）は、相互に独立しており、それぞれ相互に分離された複数の前記接着接合（８）によって前記変形可能な膜（２）に接続されることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項12】

前記反射面（３）の二次的粗さ（Ｒｑ）は、前記可動部（７）を有する膜（２）の接着接合後、７ｎｍより低く、または５ｎｍより低く、または４ｎｍより低く、または３ｎｍ以下であることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項13】

前記変形可能な膜（２）は、５０μｍ以下、または１０μｍ以下、または実質的に３μｍおよび５μｍ間に含まれる厚さ（ｅ２）を有し、
前記膜（２）から能動部（１２）を分離する接着接合の厚さ（Ｅ８）は、実質的に５０μｍ以下、または実質的に２０μｍおよび３０μｍ間に含まれることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の可変鏡。

【請求項14】

反射面（３）および反対側の背面（４）を有する変形可能な膜（２）を含む可変鏡（１）を製造する方法であって、
前記膜（２）を局所的に変形するように適用されたアクチュエータ（６）は、前記膜（２）に接着により固定される単一の一体型可動部（７）を含み、
前記アクチュエータ（６）の可動部（７）の主体（１１）の端部において、当該主体（１１）の断面（Ｓ_１１）とは断面積が異なり、当該アクチュエータ（６）の側壁（１４）によって区切られる断面（Ｓ_１２）、を有する能動部（１２）が形成される、前記アクチュエータ（６）の可動部（７）をプロファイリングするステップ（ａ）と、
前記反射面（３）に実質的に平行な前記背面（４）に広がって接着し、かつ、前記能動部（１２）の少なくとも一部の側壁（１４）に前記膜（２）を接続する接着接合（８）を形成することにより、前記可動部（７）が前記膜（２）に接着して固定される組付けステップ（ｂ）と、を有し、
前記主体（１１）は、前記接着接合（８）の外側に位置し、
前記能動部（１２）は、前記主体（１１）側とは反対側の端部（３３）の頂点部分に、鈍角、平坦、または丸い形状の先端（３２）を形成する、ことを特徴とする方法。

【請求項15】

前記組付けステップ（ｂ）は、
毛細管現象によって前記可動部（７）の端部（３３）を接着剤の滴で湿潤するために、前記端部（３３）を接着剤のまとまりに浸漬させて接着剤コーティングするサブステップ（ｂ１）と、
前記可動部（７）の接着剤コーティングされた前記端部（３３）は、前記反射面と反対側の前記膜（２）の背面（４）に対して適用されるサブステップ（ｂ２）と、
を有することを特徴とする請求項１４に記載の方法。

【請求項16】

接着剤コーティングおよび／または接合の前記サブステップ（ｂ１）は、前記可動部（７）のバッチまたは全グループでまとめて実行されることを特徴とする請求項１５に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、天文学、医学特に眼科学、遠隔通信、計測学等にわたる応用のための、応用光学システムに使用される可変鏡の一般分野に関する。

【0002】

本発明は、より詳細には、反射面を有する変形可能な膜に関する。ここで、当該膜は、膜を変形するように適用された少なくとも１つのアクチュエータを備えた支持部上に備えられ、前記アクチュエータは、粘着接合により前記膜に固定された、少なくとも１つの可動部材を含む。

【0003】

本発明はまた、反射面を有する変形可能な膜を製造するための方法に関し、前記膜を局所的に変形するように適用された、アクチュエータの可動部材は、当該膜に接着して固定される。

【背景技術】

【0004】

光線の波面の乱れを補正するために、可変鏡を使用することが知られている。

【0005】

この目的のため、そのような可変鏡には、一般的に膜によって形成された、柔軟性のある反射面が備えられている。その背面には、局所的に膜を前後に動作でき、膜上に反射するビームを構成する様々な光線が進行する光路を調整できるアクチュエータが接続されている。したがって、波面変形の原点において、位相シフトを補償することが可能となる。

【0006】

アクチュエータは、特に、電磁的な種類のものであり、膜に固定された永久磁石の類の可動部を含み、支持部と一体的な固定コイルによって遠隔に制御する。

【0007】

これらは優れた利点を提供するが、既知の可変鏡は、膜へのアクチュエータの可動部の組み付けに特に起因した、いくつかの欠点を有する。

【0008】

実際に、一般的には接着によって実行されるそのような組み付けは、剛性、共鳴周波数、および表面状態の両方について、膜の特性に局所的に影響し、よって鏡の性能を低減する。

【0009】

鏡全体の質に対するアクチュエータ組み付けの影響を抑制するために、特に膜を比較的厚く維持することが考慮されてきた。

【0010】

しかしながら、膜は厚ければ厚い程硬いので、そのような解決法は、一般的に、膜の可変性を制限する。そのような場合、比較的重く、分厚いアクチュエータを実装しなくてはならない。

【0011】

さらに、良好かつ明らかに異なった方法で、相互に極近傍に位置した反射面のいくつかの点の変形を制御することが困難である限り、大きな厚みは、とりわけ、基本的に局所化された態様で、膜が変形する性能を特に制限する傾向がより強い。厚い膜は、したがって、比較的制限された空間分解能を有する。

【0012】

加えて、アクチュエータの可動部が付着する均一な層の接着剤により、膜の隠れた面全体をコーティングすることも考慮されてきた。しかしながら、そのような解決法は、可動膜の質量を増加させたり、その共鳴周波数を低下させたりし、鏡の反応性を代償に、その制御速度を制限するという欠点を有する。さらに、連続した接着層により膜全体をコーティングすることは、バイメタル素子のようなものを生成し、その熱挙動は鏡を不安定性やドリフト現象にさらす。加えて、発明者らは、どのような解決法が選択されたとしても、既知の製造方法により取得された鏡は、反射表面の浮き出しを誘発するアクチュエータの配置により、依然表面の不規則性を有したことを認識した。さらに、「フットプリント」または「プリントスルー」として知られるそのような現象は、鏡が高精度の応用に意図されている場合には、当然問題となることが判明している。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0013】

したがって、本発明に指定された目的は、様々な上記の欠陥を改善して、向上した質、精度および表面状態を備えた新たな可変鏡を提案することである。本発明に指定されたその他の目的は、比較的単純な構造の、新たな可変鏡を提案することである。本発明に指定されたその他の目的は、既存の可変鏡よりも、製造および組み付けするのにより単純かつ安価な、新たな可変鏡を提案することである。本発明に指定されたその他の目的は、特に均質で再生可能、高性能で安定的な動作が可能な新たな可変鏡を提案することである。本発明に指定されたその他の目的は、特に堅牢で長寿命な、新たな可変鏡を提案することである。本発明に指定されたその他の目的は、特に速い制御に耐え、良好な反応性を有する、新たな可変鏡を提案することである。本発明に指定されたその他の目的は、その可動部特に膜が、特に軽量である可変鏡を提案することである。本発明に指定されたその他の目的は、特に実装が容易で、最適化された質を備えた鏡を達成可能であり、特に優れた表面状態を有する可変鏡を製造するための新たな方法を提案することである。本発明に指定されたその他の目的は、実装が比較的容易かつ高速で、使用される接着材の量を最小化する、接着により可変鏡を製造するための新たな方法を提案することである。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明に課された目的は、反射面および反対側の背面を有する変形可能な膜を含む可変鏡により達成される。前記膜は、当該膜を変形するように適用された少なくとも一つのアクチュエータが備えられた支持部上に設けられる。前記アクチュエータは、接着接合により前記膜に固定される単一の一体型可動部を少なくとも一つ含む。前記可動部は、主体と、能動部と、を有し、前記主体は、前記接着接合の外側に位置する。前記能動部は、前記主体側とは反対側の端部の頂点部分に、鈍角、平坦、または丸い形状の先端を形成し、前記主体の断面（Ｓ_１１）とは断面積が異なる、側壁によって区切られる断面（Ｓ_１２）を有して、前記接着接合に侵入、または前記接着接合の途中まで埋め込まれる。前記接着接合は、一方で前記反射面に実質的に平行な背面に接着して広がり、他方で前記可動部および膜間の接合部を確保するために、前記能動部の側壁に少なくとも一部接着することを特徴とする。

【0015】

本発明に課された目的は、反射面および反対側の背面を有する変形可能な膜を含む可変鏡を製造する方法の手段によって達成される。前記膜を局所的に変形するように適用されたアクチュエータは、前記膜に接着により固定される単一の一体型可動部を含む。前記アクチュエータの可動部の主体の端部において、当該主体の断面（Ｓ_１１）とは断面積が異なり、当該アクチュエータの側壁によって区切られる断面（Ｓ_１２）、を有する能動部が形成される、前記アクチュエータの可動部をプロファイリングするステップ（ａ）と、前記反射面に実質的に平行な前記背面に広がって接着し、かつ、前記能動部の少なくとも一部の側壁に前記膜を接続する接着接合を形成することにより、前記可動部が前記膜に接着して固定される組付けステップ（ｂ）と、を有し、前記主体は、前記接着接合の外側に位置し、前記能動部は、前記主体側とは反対側の端部の頂点部分に、鈍角、平坦、または丸い形状の先端を形成する、ことを特徴とする。

【図面の簡単な説明】

【0016】

本発明のその他の目的、特徴および利点は、単に解説的で、限定的ではない例により、添付の図面を参照して以下の記載からより十分に明らかであろう。

【図1】図１は、本発明に係る可変鏡の第１実施形態の断面透視図である。

【図2】図２は、本発明に係る可変鏡の第２実施形態に係る部分的な断面側面図である。

【図3】図３は、本発明に係る可変鏡の第３実施形態に係る部分的な断面側面図である。

【図4】図４は、本発明に係る鏡内の可動部と膜との間における接着点の概略的な断面側面図である。

【図5A】図５Ａは、本発明に係るアクチュエータの可動部の動作部分の様々な実施形態の部分的な断面側面図である。

【図5B】図５Ｂは、本発明に係るアクチュエータの可動部の動作部分の様々な実施形態の部分的な断面側面図である。

【図5C】図５Ｃは、本発明に係るアクチュエータの可動部の動作部分の様々な実施形態の部分的な断面側面図である。

【図5D】図５Ｄは、本発明に係るアクチュエータの可動部の動作部分の様々な実施形態の部分的な断面側面図である。

【図5E】図５Ｅは、本発明に係るアクチュエータの可動部の動作部分の様々な実施形態の部分的な断面側面図である。

【図6】図６は、本発明に係るアクチュエータの可動部の実施形態の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明は、可変鏡１に関し、いくつかの光学的応用またはその他、たとえば天文学、医学特に眼科学、遠隔通信、計測学等の分野において、波面を調整、特に是正するよう意図された可変鏡１に特に関する。

【0018】

その目的のため、可変鏡１は、入射光線を反射するように意図された反射面３と、「背面」４と称される反対面とを有する変形可能な膜２を有する。

【0019】

膜２は、図１に示されるように、前記膜２により覆われる中空の筐体を形成する、好ましくは剛性の支持部５上に設けられている。

【0020】

当然、膜２を構成する物質および厚さｅ２は、共鳴周波数閾値に関した制約を考慮しつつ、必要な柔軟性を備える前記膜２を特に提供するように選択される。

【0021】

そのため、前記膜は、ポリマーフィルムまたは薄いシリコンシートから形成され、５０μｍ以下の厚さ、好ましくは１０μｍ以下、実質的には３μｍから５μｍの厚さを有する。

【0022】

好ましくは、前記膜の厚さｅ２は、反射面３および背面４が実質的に平行なように、実質的に一定である。

【0023】

同様に、反射面３および／または背面４は、いかなる盛り上がりや粗さがなく、好ましくは実質的に規則的で滑らかであるので、特に膜２を容易に作成することを可能にする。

【0024】

当然、前記膜２、特に反射面３の理想的な平均プロファイルＰ_０は、いかなる平均粗さでもよい。

【0025】

例として、可変鏡１の矢状面πの静止状態において好適に考慮される平均プロファイルＰ_０は、図２、３および４に示されるように、反射面が実質的に平面的であるように、実質的に直線的である。

【0026】

反射面３が隆起した好適には凸面のプロファイルを有して、たとえば図１に示されたように、球状のコップ等のコップのように形成されるように、前記平均プロファイルＰ_０は、わずかに好ましくは規則的に湾曲している。

【0027】

図においては、その回転軸を好適に構成する鏡１の中心光軸は、実質的に垂直方向と平行に延びる。

【0028】

加えて、支持部５と同様に、膜２を横方向に区切る外形は、いかなる形状でもよいが、図１に示されるように、好ましくは正多角形または円に対応し、鏡は、実質的に円筒またはディスク形状である。

【0029】

本発明によれば、支持部５は、前記膜２を変形するように適合された少なくとも１つのアクチュエータ６が備えられ、当該アクチュエータは、その目的のため、接着接合８によって膜２に固定される、少なくとも１つの可動部７を含む。

【0030】

好ましくは、鏡１は、構造およびサイズについて好適に実質的に同一の、複数のアクチュエータ６を含み、したがって複数の可動部７は相互に独立であり、全て可変膜２に接続されている。

【0031】

特に好ましい方法において、アクチュエータは、膜の横方向外形内で分布され、たとえば実質的に四角形または六角形の規則的なメッシュ状ネットワークの交点に従って、特に支持部により区切られた筐体内に収容される。

【0032】

ここで、前記アクチュエータ６、特に関連した可動部７は、膜２を四角形に切出し、よって、各セルの移動が個別に制御されるマトリックスに膜を分割するようにしている。

【0033】

例として、約１５ｍｍの直径を有する膜２を有する鏡は、５２個のアクチュエータを有する。

【0034】

特に、図に示されるように、可動部７は、移動されるように配置され、実質的に移動において、反射面の平均プロファイルＰ_０に実質的に直角、特に底部から頂部およびその逆に、そして図１から３および５Ａから５Ｆにおいて実質的に垂直方向に、移動後の位置に膜２を局所的に駆動する。

【0035】

図示されない実施形態において、いくつかの接着接合８、または全ての接着接合８は、広範または全体的に膜２の背面４を覆う、実質的に連続的かつ均一な層を形成するように、相互に接続されうる。

【0036】

しかしながら、特に好ましい方法では、可動部７は、相互に分離される複数の接着接合８によって変形可能な膜２にそれぞれ接続される。

【0037】

有利なことに、各可動部７が一滴に分離された、定量の接着剤により個別に固定されることにより、後述するように、組み付けに必要とされる接着剤量を制限できるだけではなく、作成されたユニットの組み付け精度および軽度を得られ、表面状態を改善することが可能となる。

【0038】

さらに、可動部７および膜２間において個別かつ実質的に点状の接合部１５の作成は、必要であれば、膜を破壊することなく当該膜から可動部７を分離できるので、たとえば１つまたはいくつかの不良な可動部７を容易に取り換えたりすることができる。これは、連続的な接着層により特に強固な接続が形成される場合には、扱いにくく、または不可能ですらある。

【0039】

さらに、接着剤の量を最小限化することは、鏡が低気圧の応用、たとえば特に低温保持装置内の「真空下」において使用される場合に観察される脱ガス効果をかなり制限することが可能となることがわかる。

【0040】

当然、接着剤の特性、特に剛性、粘着性、硬化時間、熱動作等は、意図する適応に応用される。そのため、接着部８は、たとえばシリコンタイプのエラストマー接着剤により好適に形成される。

【0041】

さらに、図に示されるように、アクチュエータ６および膜２の間、特に可動部７および背面４の間において、これら２要素を同時かつ実質的に湿らせることによって、接着部１８は直接的な接合を形成する。

【0042】

加えて、本発明は、特定種のアクチュエータ６にいかようにも限定されず、支持部５の底部５Ａに近づけたり遠ざけたり動かすように可動部７よって膜２の移動を発生させたり制御したりするために、たとえば機械的、電気的、電磁気的、圧電性、空気式、水圧式、熱起源等による移動、変形または拡張を生成するいかなる種類の技術もとりわけ実装できることに留意されるべきである。

【0043】

そのように、アクチュエータ６は、支持部５と共にたとえば固定部９を含み、固定部９とは異なって、固定部９に対して自由に動くように設けられた可動部７を押し出すための部材を形成するように、当該支持部５の底部５Ａにその目的のために提供された筐体に好適に挿入される。

【0044】

したがって、図１に示された第１実施形態によれば、固定部９はコイルタイプの電磁気性インダクタにより形成される一方、可動部７はソレノイドのジェネレータ軸に沿って動くことのできる強磁性の可動な軸芯により形成される。

【0045】

図２に示された第２の実施形態によれば、固定部９は、可動部７に印加される磁界の強度および極性を制御するための電磁石によって形成される。可動部７自身は、強磁性の部材からなり、または、たとえば小球の形態の永久磁石１０と共にその基部に提供される。

【0046】

当然、可動部７が円筒状、空気式、水圧式またはねじ式等の棒材を構成することは、十分に考え得る。

【0047】

反対に、図３に示された第３の実施形態によれば、アクチュエータ６は、スペーサと同様に、支持部５の底部５Ａを膜２に直接接続する調整可能な高さの円柱により形成される。

【0048】

前記円柱は、圧電性部材の本質的な長手方向の拡張または縮小を引き起こすことによって、その高さよって底部５Ａから膜２を離隔する距離が変更および制御されるように、圧電部材に形成される少なくとも一部を含み、または、全体的に圧電性の棒材に形成される。

【0049】

本発明の重要な特性によれば、可動部７は、接着接合８の外側に位置する主体１１を有し、可動部７および部材２間の接合部１５を確保するために、接着剤が能動部１２の側壁１４に接着するように、主体１１は、部分的にまたは全体的に接着接合８に侵入する能動部１２に続く。

【0050】

ここで述べられたように、「側壁」１４は、能動部１２を横方向に区切る外壁要素を示し、主体１１から最も離れている能動部１２の自由端１２Ａに伸長する。前記自由端は、膜２近傍の接着接合８に位置する。

【0051】

換言すると、可動部７特に能動部１２は、主体１１を能動部１２の自由端１２Ａに接続する中心線（ＸＸ’）に実質的に沿って好適に伸長する。当該中心線は、能動部１２が膜２に接近し、接着接合８に侵入する全般的な方向に実質的に対応する一方、側壁１４は、中心線（ＸＸ’）に対して能動部１２の横の境界を示すために、中心線（ＸＸ’）周りで螺旋状に巻かれて閉じる表面に対応する。

【0052】

有利のため、側壁１４の少なくとも一部の接着剤により湿らせることは、能動部１２上の前記接着剤の表面領域および分布を最適化し、良好な接着を保証し、したがって膜１への可動部７の固定を強化することができる。

【0053】

特に、そのような構成は、接合部１５を単なる胴付きに限定しないことを可能とし、接着接合８が、膜２の背面４と能動部の自由端１２Ａを区切る単一上壁との間の空間において、溢れ出すことなく閉じ込められたフィルムを形成する。

【0054】

以下に詳細に説明されるように、とりわけ、膜２の反対側に位置する能動部１２の上壁の表面領域が特に制限されたり、実質的に点在および皆無である場合を含んで、特に堅牢かつ信頼性のある接合部１５を作成することが可能である。

【0055】

好ましくは、中心線（ＸＸ’）は、実質的に鏡１の光軸に平行であり、一層特に、図に示されるように膜２に実質的に直角である。

【0056】

さらに、可動部７および特にその主体１１は、好ましくは実質的に好ましくは円状の基体の円筒形状であり、「ジェネレータ軸」と称される平均線（ＸＸ’）に好ましくは実質的に沿って伸長する棒材により好適に形成される。

【0057】

有利のため、接着接合８は、一方では反射面３に実質的に平行な背面４に接着して広がり、他方では前記背面４を実質的に横断するまたは直角な方向に沿って伸長する、可動部の側壁１４に（少なくとも）接着する。

【0058】

したがって、一方では可動部７の能動部１２と、他方ではそれに沿って膜を移動させる、可動膜のジェネレータ軸（ＸＸ’）に横断的なまたは実質的に垂直な膜２の背面４との間に、（層または単なる点状の）接着接合を配置することによって、可動部７と膜２とを接続することが可能となる。

【0059】

実に、発明者らは、可動部７の能動部１２の側壁１４に属する、第１の特別にプロファイル化された接着コーティング表面１４Ａを含む、少なくとも２つの接着表面４Ａ，１４Ａを、同じ接着接合８により自由に一体的に湿らせることによって、低度の接着フットプリントで、十分に簡潔かつ堅牢な接合部１５を得られることを知得した。こうすることで、後述のように、湿らせる程度と、背面４の一部を形成し、可動部７により横断的に特に実質的に垂直に接近される第２接着コーティング表面４Ａとを制御特に制限することを可能とする。ここで、前記第２接着コーティング表面４Ａは、有利に実質的に「平坦」、平滑および規則正しく、前記可動部の先端に対向し、接合性能が減退または軽減されることなく後者のジェネレータ軸（ＸＸ’）に実質的に垂直でありうる。好ましくは、可動部７特に棒材は、図面上では垂直な、十分な機能的ストロークに沿って膜２を変形するように備えられた試みと比較して、特に十分に硬い部材により単体に形成される。

【0060】

各アクチュエータ６は、よって単一の一体型可動部７と共に有利に備えられる。さらに、前記部材およびより一般的に可動部７は、軽量であり、容易に低コストで機械加工できる。

【0061】

例により、そのような棒材は、炭素繊維／エポキシマトリックス系の複合材料、ガラス繊維または金属製バーから形成される。

【0062】

本発明のその他の重要な特徴によれば、能動部１２は、主体１１の断面Ｓ_１１とは異なる、側壁１４によって区切られる断面積Ｓ_１２を有する。

【0063】

述べられたように、「断面」は、主体１１の可動部７の部分、特に能動部１２の部分をそれぞれ示し、可動部７の延長の平均線に対して横断的に考慮され、当該平均線は、主体から能動部１２の端部に延びる。

【0064】

可動部がジェネレータ軸（ＸＸ’）の棒材により形成される場合、断面は、このジェネレータ軸に実質的に垂直に計測された断面に対応する。ここで、ジェネレータ軸はさらに、好ましくは実質的に可動部７が膜に接近する大まかな方向に対応し、接着接合へ侵入し、移動されるものである。

【0065】

特に有利な方法では、本願発明による可動部７の差別化された構成は、反射面３の表面状態を顕著に改善することを可能とし、前記反射面３の実際の表面が、実質的に−少なくとも論理上では‐後者に望まれる理想的な平均プロファイルＰ_０に近い。

【0066】

実に、発明者らは、既知の可動部により鏡を形成することにより、各可動部７が反射面にプリントスルーを刻み込むという事実により、反射面３に無視できない隆起が生成されたことを知得した。しかし、前記可動部、特に特別に研究された形状を有する能動部分を提供することにより、この現象を軽減できる。特に、発明者らは、接着剤により可動部７の端部を湿らせる間、接着剤が毛細管現象により可動部に沿って上昇する傾向があり、これにより、前記可動部７と接着剤が配置される背面４との間に圧力を生成するという効果を有する凹凸レンズを形成することを知得した。

【0067】

さらに、これらの圧力は、圧縮または縮小現象の源にあり、膜２の局所的湾曲を引き起こす。膜２は、接着剤中に埋め込まれた可動部７端部の近傍において狭くなる傾向がある。

【0068】

既知の可動部の膜への組み付けは、よって、現時点まで、前記部材を局所的に湾曲し、実質的に掻く可動部のちょうど上に隆起２０をそこに刻み込む効果があった。

【0069】

反対に、図４に示されるように、本発明に係る鏡１および可動部７、特に能動部１２の特別なプロファイルの特別な構成は、鏡１の反射面３における接合部１５によって誘発されるプリントスルーを制限し、特に膜２、特に反射面３の表面状態の質を悪化させる隆起２０の大きさを軽減することにより、前記プリントスルー効果を軽減することを有利に可能とする。

【0070】

特に、本発明に係る組み付けに起因する、残留プリントスルーの可能性は、断面が主体１１から接着剤中の端部浸漬まで比較的幅広かつ不変である可動部によって残された場合よりも、ずっと小さいことが知得された。

【0071】

有利には、本発明は、反射面３上に顕著な粗さを生成しないように、可動部７、特に能動部１２の湿潤を微調整することを可能とする。

【0072】

さらに、その配置およびサイズによって能動部１２から主体１１を区別するそのような構成は、プリントスルー現象を反射面３において実質的に回避する一方、比較的重要なサイズおよび特に断面積、したがって張力および圧縮について優秀な硬度および特に良好な剛性を有する、強化された主体１１を維持することを可能とする。

【0073】

例により、主体は、２００μｍ以上の直径を有することができ、好適には実質的に２００μｍから４００μｍの間を含む。

【0074】

より信頼性のある、速く再現性のある動作の伝達は、よって、固定部９特に支持部５と可動部７に接続された膜２との間で取得されうる。

【0075】

鏡１は、よって、不安定性または動的制御エラーに悩まされることなく、信頼性および高速度を取得することができる。

【0076】

以下では、記載の便宜のため、「浸漬部２５」は、接着接合８に埋め込まれた可動部７特に能動部１２の部分を示す。「出現部」２６は、可動部７、特に接着接合８の外側に位置して膜２に実質的に対向し、場合によっては、特に支持部５および膜２によって区切られた筐体内に閉じ込められた空気中にさらされる能動部１２を示す。

【0077】

実際、これはしたがって、能動部１２の前記出現部２６および浸漬部２５間において間隔を形成する接着剤‐空気接点２７である。そのような間隔は、図４および６における点線に示された湿潤線によって側面１４上において実体化される。

【0078】

可能な実施形態において、主体１１および能動部１２間の断面変化は、たとえば図５Ｄ、５Ｅにおける場合のように、全体的でなければ少なくとも部分的に、可動部７の出現部２６において、すなわち接着接合８の外側である。

【0079】

能動部１２の断面Ｓ_１２は、主体１１に対して変更されているが、図５、５Ｅの場合のように、出現部２６から浸漬部２５までを含んで、実質的に一定に連続する。

【0080】

しかしながら、図５Ａ、５Ｂ、５Ｃの例に対応するその他の好ましい実施形態によれば、接着接合８に埋め込まれた能動部１２の浸漬部２５は、その断面Ｓ_１２の少なくとも１つのサイズ変形を示す。

【0081】

換言すると、能動部１２は、特に、その浸漬部２５すなわち接着剤‐空気接点２７および背面４の近傍または実質的に対向して位置する前記能動部１２の自由端との間に含まれる、浸漬部２５に沿った、その断面Ｓ_１２特にその表面領域の少なくとも１変形またはいくつかの一連の変形を好適に示す。

【0082】

当然、能動部１２の断面Ｓ_１２のサイズ変形の本質は、いかようにも限定されず、狭小部分、すなわち側壁１４の外形を形成する点の全てまたは一部からジェネレータ軸（ＸＸ’）までの距離の減少、または反対に、拡大部分、すなわち前記側壁１４からジェネレータ軸（ＸＸ’）までの距離の上昇からなる。

【0083】

また、能動部１２は、前記ジェネレータ軸（ＸＸ’）に沿って段階付けられる、断面Ｓ_１２のいくつかの一連の変形を示す。

【0084】

したがって、図示されない実施形態によれば、側壁１４は、突出するフランジおよび／または反対に実質的にリング形状の後退する溝を形成し、いずれか一方は、接着接合８によって覆われるように好適に意図されるとも解される。

【0085】

加えて、能動部１２の断面Ｓ_１２の変形は、図５Ｅに特に示されるように、肩状の１またはいくつかの急な段階３０により形成されると解される。

【0086】

しかしながら、能動部１２は、推移長さ３１を有し、これに沿ってその断面Ｓ_１２は漸進的に変化する。

【0087】

有利には、前記ジェネレータ軸（ＸＸ’）に沿って非定点的な距離にわたって縦に伸長する、実質的に連続的かつ平滑な当該部分の漸進的変化は、特に、主体１１の側壁に対して、および／またはジェネレータ軸（ＸＸ’）に対して、能動部１２の側壁１４を湾曲および／または傾斜することにより取得される。

【0088】

好ましくは、前記推移長さ３１は、図５Ａ、５Ｂおよび５Ｃに特に示されるように、大部分にわたってまたは能動部１２の全長にわたって伸長する。ここで、前記推移長さ３１は、特有かつ単調であり、すなわち、断面Ｓ_１２の狭小または反対に広大に、排他的に選定される。

【0089】

好ましくは、図５Ａ、５Ｂおよび５Ｃに示されるように、推移長さ３１は、接着剤‐空気接点２７の一側上において拡張する。すなわち、出現部２６に開始する断面Ｓ_１２の変化は、浸漬部２５に、そして後者を通って有利に連続する。推移長さ３１は、出現部２６および浸漬部２５の両方にわたって分布する。

【0090】

当然、そのような構成は、可動部７の配置およびサイズの特徴、特に能動部１２のプロファイル、接着接合を形成するために使用された接着剤の量、前記接着接合内における能動部１２の埋め込みすなわち侵入の程度に依存する。

【0091】

特に好ましくは、能動部１２の断面Ｓ_１２は、全ての図に示されるように、少なくとも１の狭小化を示すように変化する。

【0092】

特に、そのように本発明を構成する好適な実施形態によれば、能動部１２は、可動部７の第１端３３において先端３２を形成するように、漸進的に先細りする。

【0093】

換言すると、能動部１２は、可動部７の端部が、先細り、その断面を特に断面Ｓ_１１を先行する主体の断面Ｓ_１１に対する全般的な減少を維持するように、狭くなる終点を好適に有する。

【0094】

したがって、側壁１４は、接着接合８への能動部１２の侵入方向に漸進的に折りたたみ、ジェネレータ軸（ＸＸ’）に向けて収斂する傾向がある。これは、前記能動部１２が、その断面Ｓ１２が背面４に近づくに連れて減少して、その形状が特にくさびを想起させる形状の、侵入および湿潤のプロファイルされた先端を構成するようである。

【0095】

実質的に全体的なまたは先端部が平面状に切り取られたそのような収斂は、実質的に連続するプロファイルによって形成され、上述したように推移長さ３１を形成する。ここで、前記実質的に連続するプロファイルは、図５Ａ、５Ｂの実線に示されるように特に直線状であり、反対に図５Ｃに示されるように湾曲および特に凸形状すなわち外側に隆起するか、または図５Ｂの点線に示されるように凹形状である。

【0096】

特に、先端３２は、図１、５Ａおよび６に示されるように実質的に円錐形であり、図２、３、４および５Ｂに示されるように実質的に載頭円錐形であり、図５Ｃに示されるように実質的に放射ドーム形状であり、図５Ｂに示されるように仮帽状または双曲線状である。

【0097】

能動部の堅実性を維持しつつ、特に良好な能動部の機械加工を簡略化するために、載頭円錐形状またはドーム形状の先端が好適に好まれる。

【0098】

さらに、先端３２の自由端１２Ａは、たとえば研磨により、鈍角、平坦または丸い。

【0099】

加えて、先端の収斂はまた、その外径がたとえば実質的に載頭円錐または仮帽の仮想包絡線に内接する、半棒型の先端を形成するように、好ましくは相互に同心で段に構成された、１またはいくつかの肩部３０により個別的に取得される。

【0100】

したがって、先端は特にその断面が主体１１よりも実質的に一定かつ狭い円筒形状を有し、減少する直径に整列された、優先的に少なくとも２つの連続する同心円筒を含む。図５Ｅに示されるように、各円筒は、それを先行する円筒の直径よりも小さい。

【0101】

当然、上述のように、先端３２の配置は、１またはいくつかのプロファイルの組合せからなってもよい。

【0102】

鋭い先端を有する可動部の使用は、特に唯一の分離した極小の接着接合８を用いる接合部１５は、背面の非常に低い表面領域のみを占める場合、各可動部７および膜２間において、外見上定点的な接続を取得することを可能とすることに留意すべきである。

【0103】

例により、接合部１５によって占められる、特に分離した接合８を形成する接着を覆われる膜２の表面は、厳格に１ｍｍよりも低い、特に６００μｍ以下の全交差サイズＤ_８を有する。

【0104】

そのような外見上定点的な組立部品は、可動部がほとんど接合部１５およびその近傍における膜２の特性および振る舞いに影響せず、特に、そのプロファイルが平面または曲面であるかに関わらず、プロファイルを変更することなく、実質的に前記膜の静止状態においてプロファイルＰ_０に続くことをさらに可能とする。

【0105】

好適には、先端３２は特有であり、単体であり、実質的にジェネレータ軸（ＸＸ’）上に中心付けられる。前記先端、特に能動部１２および依然一般的に、可動部７全体は、前記ジェネレータ軸（ＸＸ’）周りの回転配置を好適に有する。

【0106】

加えて、特に優先的な方法では、先端３２は、接着接合８に部分的に（だけ）埋め込まれる。

【0107】

換言すると、能動部２３特に先端３２は、接着剤‐空気接点２７が実質的に主体１１に接続される先端の広い基部と、膜２に向けられた前記先端３２の先細りの自由端との間にあるように、接着接合８に完全に埋め込まれない。

【0108】

有利には、そのような構成は、一方では浸漬部２５のサイズ、特に前記浸漬部の能動部１２の断面の直径を制限する。他方、そのような構成は、可動部７への接着接合の良好な接着を保証するために十分な側壁１４の表面領域全体を維持し、したがって、前記可動部７の膜２への良好な固定を維持する。

【0109】

そのような構成は、接合８を形成するために必要とされる接着剤の量を特に制限し、さらに能動部１２に沿って接着剤が上がることを制御特に制限する。したがって、これは、接合部１５によって膜２に与えられる圧力の顕著な低減に、したがってプリントスルー効果の軽減に貢献する。

【0110】

接着剤の外側において先端部分の出現を保障するために、または個別の構造的な構成によって、基部およびその自由端の間で計測される先端３２の長さＬ_３２は、能動部１２の長さに好適に相当し、接着接合８の合計高さ、または背面４および接着剤‐空気接点２７間の「湿潤高さ」Ｈ_８以上である。接着接合８の合計高さＨ_８は、特に１００〜３００μｍを実質的に含み、特に２００μｍ近くであり、先端３２の長さＬ３２の長さは、３００〜５００μｍ間を実質的に含み、特に４００μｍ近くである。

【0111】

したがって、接着剤は、好適には先端３２を半分、特に、側壁１４の高さおよび推移長さ３１の半分の高さまで実質的に湿らせる。

【0112】

したがって、接合は、実質的に砂時計を想起させる形状の双円錐構造を有することができ、その幅広な基部が背面４に接着する接着接合８によって形成された、上部の柔軟性のある円錐を含む。背面４は、上部円錐の頂点を通って上部円錐に実質的に侵入する先端３２によって形成された、下部の硬い円錐に接続される。

【0113】

好ましくは、接着接合８は、（それぞれ）接着剤の一滴により形成され、反射面３に実質的に平行する背面４を、侵入する先端３２の頂点に接着する。

【0114】

加えて、可動部７が一度組み付けられると、能動部すなわち先端３２の自由端１２Ａは、背面４からたとえば背面４から約２０〜４０μｍの距離で有利に奥まっている。

【0115】

したがって、能動部１２特にその自由端１２と膜２との間に含まれ、膜２を分離する接着接合の残留厚さＲ８は、好ましくは５０μｍ以下であり、優先的に実質的に２０〜３０μｍである。

【0116】

加えて、先端３２の頂部角度α、および場合によっては前記先端３２が実質的に内接する想定包絡線は、１５〜４５度を含み、特に２０〜３０度または４０度近くである。

【0117】

特に、優先的な方法では、可動部７を有する膜２の接着接合後における、反射面３の二次的粗さＲｑは、７ｎｍ（ナノメートル）以下であり、または６ｎｍに等しく、好ましくは５ｎｍ以下であり、優先的に４ｎｍ以下であり、３ｎｍ以下でさえある。

【0118】

上述のように、「二乗平均平方根粗さ」を表す「ＲＭＳ粗さ」とも呼ばれる「二次的粗さＲｑ」は、ＩＳＯ４２８７に準拠して実行された粗さ計測を示し、以下の公式に相当する。

【0119】

【数1】

【0120】

優先的な実施形態によれば、上記粗さ値は、少なくとも１５ｍｍのオーダーの基部長さにわたっており、膜２の合計の直径に相当する。

【0121】

比較により、既知の方法によって平面ミラーについて今日まで得られた最良の二次的粗さは、７〜１０ｎｍよりも大きいオーダーであり、これは２〜３倍高い値である。

【0122】

本発明に係る前記鏡１の品質、解像度および精度は、よって大いに改善され、本発明に係る鏡１の反射面３の表面の「列」状態は、可動部の組み付け操作によって追加的にほとんど妨げられない。

【0123】

さらに、発明者らは、既知の鏡によって今日まで得られ、最良の取得可能な結果を反映すると考慮された粗さ値は、全体的に突出したプロファイル特に放射状プロファイルを有する膜２を提供するように、前記既知の鏡内で試行された時、急速に悪化（すなわち上昇）していたことを知得した。

【0124】

そのような悪化は、可動部特に従来技術において使用される磁化ディスクが対向する膜を有し、その直径が１ｍｍ近く、その剛性が前記膜２の本質的な剛性よりも非常に高い、比較的延長された接触表面を有するという事実によって説明される。

【0125】

したがって、硬いディスクに接合された領域が屈曲できないので、膜を突出したプロファイルとなるように湾曲するように試みられた時、前記膜よって反射表面の本来の区分が、比較的広い小平面の連続に分裂する傾向がある。小平面は、実質的に平面的であり、規則的な曲面を維持するのではなく、分断した線に沿って相互に対して傾斜することが観測された。

【0126】

反対に、本発明に係る鏡は、各可動部７および膜２間の外見上の定点的接続を、特に低い直径の接着剤の滴によって覆われた非常に鋭い先端３２によって形成することを可能とする。接着剤の滴は、アクチュエータが実質的に膜プロファイルＰ_０に従うことを可能とし、膜プロファイルＰ_０がどのようなものであっても、それに干渉することなく、特に局所的に「是正」する傾向もない（波面を補正するために必要とされる、制御された自発的変形を除く）。

【0127】

したがって、膜２の変形における平面の発生が、特に実質的に回避されうる。

【0128】

有利には、本発明に係る鏡１の性能および表面状態は、たとえば規則的かつ凹状および特に球状または放射状等、特に膜１に突出する論理的平均プロファイルＰ_０が与えられる場合、比較的に膜２の非平面形状に若干感度を有する。

【0129】

加えて、実質的に柔軟性を維持する膜２は、いかなる点において特に接合部１５のちょうど上部かつ極近傍において、静止状態および本来の柔軟性の限界におけるその正味プロファイルに対して、鏡１の空間分解能を改善する特に微細で正確かつ空間的に差別化された態様で、前記膜２を局所的に変形することを可能とする。

【0130】

当然、本発明は、膜２に接着により固定された少なくとも１つの可動部７を有する可変鏡に関する。膜２の接着接合８および可動部７は、反射面３の２次的粗さが上記値に相当するように、相対的に選択される。

【0131】

加えて、十分な発明を構成する優先的な特徴によれば、図２、３および６に特に示されるように、能動部１２の反対側に、幅広い基礎３５を第２端３４に有する。

【0132】

好ましくは、前記幅広い基礎３５は、幹部３６によって、能動部１２を形成する先端３２に接続される。

【0133】

有利には、図３に示される第３の実施形態の場合のように、基礎３５は、支持部５に対して直接的に接して支えるために、可動部に台座を提供する。基礎３５が、特に好適には実質的にジェネレータ軸（ＸＸ’）に垂直で、十分な平坦度を有する広く拡張した底部を形成するという事実によって、良好な座部という利点を有する。

【0134】

図２に示された第２の実施形態によれば、前記基礎３５は、裏面および底部５Ａから離れて、スペーサを形成する可動部７を介する自由吊持で、永久磁石１０を膜２に持ち上げる特に吊るすことを可能とする、重要な結合表面を提供する。

【0135】

有利には、そのようなスペーサは、膜２から特に接合部１５から磁石を後退させるように、磁石を脇に押しやることを可能とし、よって前記膜の直近の剛性のある要素の範囲を最小化する。前記膜の極近傍において、基本的に柔軟性を維持する接続が形成されうる。

【0136】

特に、比較的大きい接合部１５よりもずっと大きく、よって頑丈で扱いおよび組み付けが容易なアクチュエータ６特に磁石１０を使用する一方で、実質的に定点的な接触が、可動部７および膜２の間で維持されうる。

【0137】

さらに、磁石１０がディスクによって形成される場合、基礎３５の直径は、有利には実質的に前記ディスクの直径と等しく、これは、たとえば基礎３５下等、前記基礎３５に対して磁石１０を固定するように磁石１０を追加する必要がある場合に特に、可動部７特に先端３２に対する磁石の相対的な中心付けを顕著に促す。

【0138】

鏡の構成を除く可動部７および前記可動部と膜２との間の接続の本質または構成の十分な発明を構成する優先的な特徴によれば、基礎３５または可動部７は全体として強磁性である。

【0139】

一実施形態によれば、そのような強磁性基礎３５は、前記基礎３５上において前記磁石１０を保持することが基本的または排他的に磁性接着により保証されるように、有利に受動的に磁石１０に引き寄せられる。

【0140】

基礎３５は、大きい強磁性物質から形成され、または、たとえば基礎３５および／または主体１１の棒材を部分的または全体的に覆うコーティングの形態で、強磁性物質を有する。ここで、前記コーティングは、特にオーバーモールディングまたはリソグラフィーおよび金属付着により形成されうる。

【0141】

有利には、前記磁石が前記基礎の受け取り側表面から最も近くに、特に後者と直接接触して位置する場合、基礎３５上の磁石１０により及ぼされる磁性引力は、第３の手段によって基礎／磁石の接合を強固にする必要がないように、特にこれら２要素を組み合わせるために接合を使用する必要がないように、膜２上のアクチュエータ６によって及ぼされる、最大伸長加力の値より高い値を有するように選択される。

【0142】

そのように、適切な十分に幅広な表面領域は、特に磁石および相互に対向する基礎の横断接触表面について定義される。

【0143】

したがって、アクチュエータ６特にその可動部分の構造および組立を顕著に簡略化すると解される。なぜなら、対応する基礎３５に対して単に載置することによって、単なる磁石の引力によりその固定を同時に得るために、永久磁石１０を追加する必要があるのみだからである。

【0144】

さらに、磁性引力によって、そして、場合によっては基礎３５および磁石１０を適切な寸法に形成することによって、特に後者を等しいまたは実質的に対応する形状およびサイズで提供することによって、前記基礎に対する前記磁石の自動的な中心付けが達成される。これは、組付け作業を簡略化し、バランスの良いアクチュエータを直接的に達成できる。

【0145】

さらに、そのような組付けの可逆性は、アクチュエータ６を簡単にかつ非破壊的に取り除く必要がある場合、たとえば欠陥のあるアクチュエータを取り除いたりバランスを取り直したり、または不適当な組付けを補正する必要がある場合等において、基礎３５から磁石１０を分離することを可能とする。そのように、本発明に係るモジュール式の設計は、必要があれば、欠陥部品のみを取り除くことができ、鏡内で再利用するためにその他の要素のほとんどを良い状態に維持し、製造中またはメンテナンス操作中の不良品発生率を抑制することを可能とする。

【0146】

その他の実施形態によれば、上記において既に考慮されたように、可動部７は、磁化された強磁性物質の単体から直接形成され、発明それ自体を構成する優先的な特徴に従って、膜２の作動に貢献する永久磁石を本質的に形成するように、有利に永久磁性を維持することができる。

【0147】

換言すると、可動部７は、上記構成のうちいずれか一つに従って、一方では主体１１を有し、他方では能動部１２および特に先端３２を有するように、鋭く形成される一体型永久磁石によって形成される。

【0148】

そのような磁気化された可動部は、いかなる適した技術によって形成されてもよく、たとえばモールディングまたは焼結によって形成される。

【0149】

前記永久磁石は、ジェネレータ軸（ＸＸ’）に沿った列状に異なる断面のいくつかの長さを有し、連続的に同一の強磁性物質から形成され、好ましくは図３５に示されるように幅広い基礎３５を形成する下部終端長さは、狭い円筒の幹部を形成する中間長さ３６有し、その直径は基礎３５のそれよりも小さい。基礎３５は、膜２から空間的に離隔するためのスペーサとして作用し、上部終端長さは、前記磁石が前記膜に吊持される固定先端３２を形成する。

【0150】

磁石が棒材上に追加されるか可動部７と一体的であるかについて、可動部７は、直径が好適に実質的に基礎３５に等しい永久磁石を、膜２に特に背面４に吊るすことを可能とする。

【0151】

全ての場合において、考慮されたどの実施形態においても、基礎３５は、アクチュエータ６効率および信頼性、よって膜２の駆動を改善することを可能とする。

【0152】

有利には、好ましくは単体として、幅広い基礎３５および先端３２の両者を含む可動部は、一方では組み付け中の安定性および取扱い性を、他方では堅牢な接触しかし膜２との低干渉を組み合わせることを可能とする。

【0153】

示唆により、基礎３５の直径は、たとえば幹部３６の２から３倍に相当する。

【0154】

たとえば、可動部７の全体的な長さは、１〜３ｍｍの間を実質的に含み、好適には１．５ｍｍである。幹部３６の直径は、２００〜５００μｍを含み、好適には３００μｍ近くである。基礎３５の直径は８００μｍ〜１ｍｍを含む。

【0155】

基礎３５の高さは、幹部３６および前記基礎３５を含む主体１１の合計長さの好ましくは３０％、好ましくは２０％、優先的には１５％〜２０％より低い。

【0156】

当然、当該技術に精通した者は、鏡１および膜２のサイズ、同様に、制御に必要とされる精度または望まれる表面状態の関数として、鏡１特に可動部７および能動部１２の構成を応用することができる。

【0157】

そのように、相互との分離または組合せで、前記先端が全体的または部分的に接着接合８に導入される構成がいかなるものでも、可動部７の端部における先端３２の実装に関して、上記記載のいずれか一つを考慮することは十分に考え得る。

【0158】

当然、本発明はまた、上記に記載のように可変鏡１を製造するための方法に関し、ここで、前記膜２を局所的に変形するように応用された可動部７は、当該膜に接着によって固定される。

【0159】

本発明の特徴によれば、前記方法は、少なくとも、アクチュエータの可動部７の主体１１の端部３３において、側壁１４によって区切られる断面Ｓ_１２を有する能動部１２が形成され、断面Ｓ_１２は主体１１の断面Ｓ_１１とは異なり、能動部１２の側壁１４の少なくとも一部に前記膜２を接続する接着接合８を形成することによって、可動部７は膜２に接着によって固定して、アクチュエータの可動部をプロファイリングするステップ（ａ）と、可動部７が膜２に接着により固定され、可動部１２の側壁１４の少なくとも一部に前記膜２を接続する接着接合８を形成することにより、組付けするステップ（ｂ）とを有する。

【0160】

当然、可動部７のプロファイリングために適用されるいかなる種類の方法、特にモールディング、引き抜き、研磨、機械加工、切断等を実装することが考えられる。

【0161】

当然、このプロファイリングは、接合中の反射面３上において、接合１５特に可動部７によって誘発されるプリントスルーを軽減するように形成され、シミュレーションまたは実験的に計測されうる様々な形状に対応する。

【0162】

好ましくは、ステップ（ａ）のプロファイリングは、可動部７の第１端３３を先細りさせる先端３２の形成の結果となる。

【0163】

特に、十分な発明を構成する特徴によれば、本発明に係る能動部１２の存在または不在に依存することなく、ステップ（ｂ）の組付けは、可動部７の端部３３が粘着性レジストと接触して配置され、特にプロファイルされた能動部１２が実質的に液状粘着性バルクに接触され、または、先端３２は、毛細管現象によって前記端部を湿潤する接着剤の滴を取り込むために、前記接着剤のまとまりにわずかに浸漬される、接着性のコーティングを移行するサブステップ（ｂ１）と、可動部７の接着性にコーティングされた端部は、膜２の背面４に対して適用される、接合のサブステップ（ｂ２）と、を含む。

【0164】

有利には、そのような方法は、膜２に対して膜２に可動部７の適切な固定を確保するのにちょうど必要かつ十分な最小量に、取り込まれ適用された接着剤量を規定し、よってプリントスルー現象を規定することを可能とする。

【0165】

さらにそのような方法は、膜２と共に構成される場合、可動部７の特に正確かつ正規の方法を保障することを可能とする。

【0166】

そのように、接着性コーティングのサブステップ（ｂ１）および／または接合の（ｂ２）は、一度に一可動部だけ個別に操作されるものの、それらは特に優先的に集合的に実行される。全部でなければ複数の鏡可動部は、選択されたネットワーク構成に従って各操作中、可動部を配置および把持することを可能とする適切な把持部により、可動部の部分的なバッチまたは好ましくは全グループ毎に、同時に、処理され、接着性コーティングされて膜の背面に適用される。

【0167】

有利には、接触して接着コーティングが実行されるサブステップ（ｂ１）の移行が実行される接着剤のまとまりは、一表面上に接着コーティングを有するストリップの形態であり、そのサイズは可動部７によって占められる表面領域以上であり、好適には実質的に平面状であり、それに対して前記可動部の全ての突出先端が同時に適用され、好ましくは前記面に実質的に垂直方向の接近動作に従う。前記可動部は、実質的にその確実な構成において適切な支持によりそれ自身相互に横方向に維持される。

【0168】

当然、平面的膜に好適に適応する本方法は、膜を変形するステップ（ｃ）を有する。前記膜２は、たとえば放射状または球状のプロファイル等、平面的ではない平均プロファイルＰ_０が備えられる。

【0169】

有利には、サブステップ（ｂ１）の接着コーティングの移行中、および接合のサブステップ（ｂ２）中、接着剤が能動部１２の側壁１４に沿って、特に先端３２の推移長さ３１に沿って部分的に上昇できるが、前記接着剤が実質的に主体１１から特に先端３２の幅広い基部から後退されて維持されるように、可動部７特にその能動部１２を形成する先端３２の埋め込みが制御される。

【0170】

特に、サブステップ（ｂ２）の接合中、圧縮力がかけられて、背面４に先端３２が近付けられると、取り込まれた接着剤の滴は、前記背面に有利には自由に接着して広がる。一方、それは実質的に押し込まれて、前記先端３２によって押し出され、少なくとも前記先端の一部が接着接合外側に維持されるように確認される。

【0171】

それにより、推移長さ３１の漸進的変化は、接着剤への可動部８の埋め込み程度を調整することが可能となることが留意されるべきである。

【0172】

したがって、いかような調整が選択されたとしても、能動部１２の特定プロファイルにより提供される反プリントスルー機能の利益を維持する間進歩的方法で、膜２および側壁１４上の接着コーティングの実質表面領域、よって接合１５の機械的強度および剛性に対する前記膜の静止状態における位置を微調整することが考慮されうる。

【0173】

当然、本方法は次に、接着接合８が「硬化」される、ポリマー化または「乾燥」のステップを含む。

【0174】

したがって、本発明は、平面的鏡またはドーム状の鏡の両方に適用されうる多目的方法により、優れた仕上がり、高精度、アクチュエータ６によるその膜の構成の動的変更中における良好な速度、すなわち低反応時間と共に、良好な機械的および熱的安定性を有する可変鏡を形成することを可能とする。当該方法は、比較的単純、小型で、比較的組み付け、修正または修理が容易な構造を維持する一方、場合によっては、アクチュエータの空間的密度および鏡の反射表面の調整の空間分解能を上昇する。

【産業上の利用可能性】

【0175】

本発明は、その産業上利用可能性を、特に鏡および適応光学システムの作成に備えられる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図5E】

【図6】