特許5985166基板搬送治具および基板搬送方法

発明の名称　基板搬送治具および基板搬送方法

出願人　株式会社日立国際電気　（識別番号 1122）

　　　　特許公開件数ランキング 467 位（61件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 339 位（81件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5985166

公報発行日　2016年9月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5985166

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