特許5987044ブロックコポリマーを含む組成物およびフォトリソグラフィー方法

発明の名称　ブロックコポリマーを含む組成物およびフォトリソグラフィー方法

出願人　ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ，エル．エル．シー．　（識別番号 591016862）

　　　　特許公開件数ランキング 1670 位（14件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1541 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5987044

公報発行日　2016年9月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5987044

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5987044「ブロックコポリマーを含む組成物およびフォトリソグラフィー方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録