特許 5987510 光走査装置及び光走査制御装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5987510

(24)【登録日】2016年8月19日

(45)【発行日】2016年9月7日

(54)【発明の名称】光走査装置及び光走査制御装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20160825BHJP

   G02B 26/08 20060101ALI20160825BHJP

   B81B 3/00 20060101ALI20160825BHJP

【ＦＩ】

   G02B26/10 104Z

   G02B26/08 E

   B81B3/00

【請求項の数】11

【全頁数】30

(21)【出願番号】特願2012-152834(P2012-152834)

(22)【出願日】2012年7月6日

(65)【公開番号】特開2013-92750(P2013-92750A)

(43)【公開日】2013年5月16日

【審査請求日】2014年7月3日

(31)【優先権主張番号】特願2011-219255(P2011-219255)

(32)【優先日】2011年10月3日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006220

【氏名又は名称】ミツミ電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】田中 豊樹

(72)【発明者】

【氏名】高橋 宗明

(72)【発明者】

【氏名】関根 久通

(72)【発明者】

【氏名】阿賀 寿典

(72)【発明者】

【氏名】日比谷 利一郎

【審査官】 山本 貴一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−１７０５６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００９／０２８１５２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１０／１２２７５１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００９−２４４６０２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ ２６／０８，２６／１０

Ｂ８１Ｂ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ミラーを支持するミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、前記捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸回り方向に揺動させる光走査装置であって、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を前記軸回り方向と垂直な軸回り方向に揺動させる垂直駆動源と、
前記ミラーが前記垂直な軸回り方向に揺動される際の変位を検出する圧電センサと、
前記圧電センサに接続されたセンサ配線と、
グランド端子に接続され、前記垂直駆動源と前記センサ配線との間に設けられたガードパターンと、を有する光走査装置。

【請求項2】

ミラーを支持するミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、前記捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸回り方向に揺動させる光走査装置であって、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を前記軸回り方向と垂直な軸回り方向に揺動させる垂直駆動源と、
前記ミラーが前記軸回り方向に揺動される際の変位を検出する圧電センサと、
前記圧電センサに接続されたセンサ配線と、
グランド端子に接続され、前記垂直駆動源と前記センサ配線との間に設けられたガードパターンと、を有する光走査装置。

【請求項3】

ミラーを支持するミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、前記捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸回り方向に揺動させる光走査装置であって、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を前記軸回り方向に揺動させる水平駆動源と、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を前記軸回り方向と垂直な軸回り方向に揺動させる垂直駆動源と、
前記ミラーが前記軸回り方向に揺動される際の変位を検出する第１の圧電センサと、
前記ミラーが前記垂直な軸回り方向に揺動される際の変位を検出する第２の圧電センサと、
前記第１の圧電センサに接続された第１のセンサ配線と、
前記第２の圧電センサに接続された第２のセンサ配線と、
グランド端子に接続され、前記垂直駆動源と前記第１及び第２のセンサ配線との間に設けられたガードパターンと、を有する光走査装置。

【請求項4】

前記ガードパターンは、
前記センサ配線のうち、前記圧電センサの上部電極から引き出された上部電極配線と、前記垂直駆動源に駆動電圧を供給する駆動配線との間と、
前記センサ配線のうち、前記圧電センサの下部電極から引き出された下部電極配線と、前記垂直駆動源に駆動電圧を供給する駆動配線との間と、に形成される請求項１又は２に記載の光走査装置。

【請求項5】

前記ガードパターンは、
前記第１の圧電センサの下部電極から引き出された下部電極配線及び前記第２の圧電センサの下部電極から引き出された下部電極配線と、前記垂直駆動源に駆動電圧を供給する駆動配線との間と、
前記第１の圧電センサの上部電極から引き出された上部電極配線及び前記第２の圧電センサの上部電極から引き出された上部電極配線と、前記垂直駆動源に駆動電圧を供給する駆動配線との間と、に形成される請求項３記載の光走査装置。

【請求項6】

請求項３又は５に記載の光走査装置を備えた光走査制御装置であって、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む一方の第１の駆動梁に印加される第１の駆動電圧と、前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む他方の第１の駆動梁に印加される第２の駆動電圧と、に基づき、第１の所定成分信号及び第２の所定成分信号を生成し、
前記第１の所定成分信号と前記第２の所定成分信号とに基づき前記第１の圧電センサから出力される出力信号のノイズ成分を除去するノイズ除去部を有する光走査制御装置。

【請求項7】

前記ノイズ除去部は、
前記第１の駆動電圧及び前記第２の駆動電圧のそれぞれに対応した第１及び第２のゲイン・位相調整部を有し、
前記第１の所定成分信号は、前記第１のゲイン・位相調整部により前記第１の駆動電圧の振幅と位相とを所定の値とする調整により生成され、
前記第２の所定成分信号は、前記第２のゲイン・位相調整部により前記第２の駆動電圧の振幅と位相とを所定の値とする調整により生成される請求項６記載の光走査制御装置。

【請求項8】

前記第１の所定成分信号の振幅と位相は、
前記第１の駆動梁において前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む一方に設けられた駆動源に、前記ミラーが揺動しない周波数の前記第１の駆動電圧を供給した際に、前記第１の圧電センサから出力される信号の振幅と位相と等しく、
前記第２の所定成分信号の振幅と位相は、
前記第１の駆動梁において前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む他方に設けられた駆動源に、前記ミラーが揺動しない周波数の前記第２の駆動電圧を供給した際に、前記第１の圧電センサから出力される信号の振幅と位相と等しい請求項７記載の光走査制御装置。

【請求項9】

前記ノイズ除去部は、
前記第１の所定成分信号と前記第２の所定成分信号とを加算する加算回路と、
前記第１の圧電センサから出力される出力信号から、前記第１の所定成分信号と前記第２の所定成分信号との加算結果を減算する減算回路と、を有する請求項７又は８に記載の光走査制御装置。

【請求項10】

前記ノイズ除去部は、
前記第１及び第２のゲイン・位相調整部を制御して前記第１の駆動電圧及び前記第２の駆動電圧から前記第１の所定成分信号と前記第２の所定成分信号とを生成する制御部を有する請求項６ないし９の何れか一項に記載の光走査制御装置。

【請求項11】

ミラーを支持するミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、前記捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸回り方向に揺動させる光走査装置であって、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第１の駆動梁と、
前記第１の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、
前記連結梁上に形成されており、前記捻れ梁の軸周りの揺動による前記連結梁の変位を検出する第１の圧電センサと第２の圧電センサと、を有し、
前記第１の圧電センサと前記第２の圧電センサとは、
それぞれの上部電極配線及び下部電極配線が、前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む一方の前記第１の駆動梁側に引き回され、
前記第１の駆動梁において前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む一方に設けられた第１の駆動源に第１の駆動電圧を供給する第１の駆動配線と、前記第１の駆動梁において前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む他方に設けられた第２の駆動源に第２の駆動電圧を供給する第２の駆動配線とは、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む他方の前記第１の駆動梁側に引き回される光走査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ミラーを支持するミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、前記捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸回り方向及び前記軸回りと直交する方向とに揺動させる光走査装置及び光走査制御装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、圧電素子の上面に上部電極、下面に下部電極を形成したアクチュエータを用いて入射光を反射させるミラー部を回転軸回りに回転させ、反射光を走査させる光走査装置が知られている。このアクチュエータでは、上部電極と下部電極とに駆動電圧を印加することによって、ミラー部を反射面に対して垂直及び水平に揺動させる。

【0003】

このようなアクチュエータでは、ミラー部が駆動され遥動している状態で圧電素子に発生する電圧を検出する検出用の圧電センサが設けられており、この圧電センサの出力に基づきミラー部の傾きが検出され、アクチュエータの動作が制御される。

【0004】

ところで、ミラー部が駆動され遥動している状態において圧電センサが発生する電圧は微弱な電圧であり、ノイズに埋もれる場合がある。そこで従来では、駆動電圧が印加されていない状態の圧電センサの出力を検出するために、様々な工夫がなされている。

【0005】

例えば特許文献１には、駆動電圧を印加していない圧電センサの発生電圧を検出する場合に、駆動電圧との電圧差による接地電位のノイズの干渉を避けることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００９−１６９１９５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

従来の検出用の圧電センサでは、出力が微弱であるために他の信号線からのノイズ（クロストーク）を受けやすく、このクロストークによりミラーの傾きの検出精度が低下する虞がある。

【0008】

本発明は、上記事情を鑑みてこれを解決すべくなされたものであり、センサ配線のノイズを低減し、ミラー部の傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、上記目的を達成すべく、以下の如き構成を採用した。

【0010】

本発明は、ミラー（１１０）を支持するミラー支持部（１２０）を軸方向両側から捻れ梁（１３０Ａ，１３０Ｂ）により支持し、前記捻れ梁（１３０Ａ，１３０Ｂ）の捻れにより前記ミラー支持部（１２０）を軸回り方向に揺動させる光走査装置（１００）であって、
前記ミラー（１１０）及び前記ミラー支持部（１２０）を前記軸回り方向と垂直な軸回り方向に揺動させる垂直駆動源と、
前記ミラー（１１０）が前記垂直な軸回り方向に揺動される際の変位を検出する圧電センサと、
前記圧電センサに接続されたセンサ配線と、
グランド端子に接続され、前記垂直駆動源と前記センサ配線との間に設けられたガードパターンと、を有する。

【0011】

なお、上記括弧内の参照符号は、理解を容易にするために付したものであり、一例にすぎず、図示の態様に限定されるものではない。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】第一の実施形態の光走査装置を説明する図である。

【図2】図１の部分Ａを拡大した図である。

【図3】図１の部分Ｂを拡大した図である。

【図4】第二の実施形態の光走査装置を説明する図である。

【図5】第二の実施形態のガードパターンについて説明する図である。

【図6】図４の部分Ａ１を拡大した図である。

【図7】図４の部分Ｂ１を拡大した図である。

【図8】第三の実施形態の光走査装置を説明する図である。

【図9】図８の部分Ｂ２を拡大した図である。

【図10】第四の実施形態の光走査装置を説明する図である。

【図11】ゲイン・位相調整部を説明する図である。

【図12】第四の実施形態のノイズ除去部の回路構成を説明する図である。

【図13】第四の実施形態におけるノイズ除去の手順を説明する図である。

【図14】ノイズ除去前の圧電センサの出力波形を示す図である。

【図15】ノイズ同等成分を説明する図である。

【図16】ノイズ除去後の圧電センサの出力波形を示す図である。

【図17】第四の実施形態のノイズ除去部の回路構成の別の例を説明する図である。

【図18】第五の実施形態の光走査装置を説明する図である。

【図19】第五の実施形態におけるノイズ除去の処理を説明するフローチャートである。

【図20】第五の実施形態の光走査装置のミラー部分を拡大した図である。

【図21】第五の実施形態における圧電センサの出力の例を示す図である。

【図22】第五の実施形態において圧電センサの出力信号の差信号の例を示す図である。

【図23】第七の実施形態の光走査装置を説明する図である。

【図24】第七の実施形態の光走査モジュールを説明する第一の図である。

【図25】第七の実施形態の光走査モジュールを説明する第二の図である。

【図26】光学センサを説明する図である。

【図27】光学センサの配置位置を説明する図である。

【図28】ミラーの垂直方向の傾きの測定について説明する図である。

【図29】実測値と光学センサの出力との比較結果を示す第一の図である。

【図30】実測値と光学センサの出力との比較結果を示す第二の図である。

【図31】実測値と光学センサの出力との比較結果を示す第三の図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

（第一の実施形態）
以下に図面を参照して本発明の第一の実施形態について説明する。図１は第一の実施形態の光走査装置を説明する図である。

【0015】

本実施形態の光走査装置１００は、ミラー１１０と、ミラー支持部１２０と、捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂと、連結梁１４０Ａ、１４０Ｂと、第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂと、可動枠１６０と、第２の駆動梁１７０Ａ、１７０Ｂと、固定枠１８０と、を備えている。また本実施形態の第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂは、それぞれ駆動源１５１Ａ、１５１Ｂを備える。第２の駆動梁１７０Ａ、１７０Ｂは、それぞれ駆動源１７１Ａ、１７１Ｂを備える。

【0016】

本実施形態のミラー支持部１２０には、ミラー１１０の円周に沿うようにスリット１２２が形成されている。このスリット１２２により、ミラー支持部１２０を軽量化しつつ捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂによる捻れをミラー１１０へ伝達することができる。

【0017】

本実施形態に係る光走査装置１００において、ミラー支持部１２０の表面にミラー１１０が支持され、ミラー支持部１２０は、両側にある捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂの端部に連結されている。捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂは、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部１２０を軸方向両側から支持している。捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂが捻れることにより、ミラー支持部１２０に支持されたミラー１１０が揺動し、ミラー１１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行う。捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂは、それぞれが連結梁１４０Ａ、１４０Ｂに連結支持され、第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂに連結されている。

【0018】

第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂ、連結梁１４０Ａ、１４０Ｂ、捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂ、ミラー支持部１２０及びミラー１１０は、可動枠１６０に取り囲まれている。第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂは、可動枠１６０にそれぞれの片側が支持されている。第１の駆動梁１５０Ａのもう片側は内周側に延びて連結梁１４０Ａ、１４０Ｂと連結している。第１の駆動梁１５０Ｂのもう片側も同様に、内周側に延びて連結梁１４０Ａ、１４０Ｂと連結している。

【0019】

第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂは、捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂと直交する方向に、ミラー１１０及びミラー支持部１２０を挟むように、対をなして設けられている。

【0020】

第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂの表面には、駆動源１５１Ａ、１５１Ｂがそれぞれ形成されている。駆動源１５１Ａ、１５１Ｂは、第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂの表面上の圧電素子の薄膜の上面に形成された上部電極と、圧電素子の下面に形成された下部電極とにより構成される。駆動源１５１Ａ、１５１Ｂでは、上部電極と下部電極に印加する駆動電圧の極性に応じて伸長したり縮小したりする。このため第１の駆動梁１５０Ａと第１の駆動梁１５０Ｂとで異なる位相の駆動電圧を交互に印加すれば、ミラー１１０の左側と右側で第１の駆動梁１５０Ａと第１の駆動梁１５０Ｂとが上下反対側に交互に振動し、捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂを揺動軸又は回転軸として、ミラー１１０を軸周りに揺動させることができる。ミラー１１０が捻れ梁１３０Ａ、１３０Ｂの軸周りに揺動する方向を、以後、水平方向と呼ぶ。例えば第１の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂによる水平駆動には、共振振動が用いられ、高速にミラー１１０を揺動駆動してよい。

【0021】

また可動枠１６０の外部には、第２の駆動梁１７０Ａ、１７０Ｂの一端が連結されている。第２の駆動梁１７０Ａ、１７０Ｂは、可動枠１６０を左右両側から挟むように、対をなして設けられている。第２の駆動梁１７０Ａは、第１の駆動梁１５０Ａと平行に延在する梁が、隣接する梁と端部で連結され、全体としてジグザグ状の形状を有する。そして第２の駆動梁１７０Ａの他端は、固定枠１８０の内側に連結されている。第２の駆動梁１７０Ｂも同様に、第１の駆動梁１５０Ｂと平行に延在する梁が、隣接する梁と端部で連結され、全体としてジグザグ状の形状を有する。そして第２の駆動梁１７０Ｂの他端は、固定枠１８０の内側に連結されている。

【0022】

第２の駆動梁１７０Ａ、１７０Ｂの表面には、それぞれ曲線部を含まない矩形単位毎に駆動源１７１Ａ、１７１Ｂが形成されている。駆動源１７１Ａは、第２の駆動梁１７０Ａの表面上の圧電素子の薄膜の上面に形成された上部電極と、圧電素子の下面に形成された下部電極とにより構成される。駆動源１７１Ｂは、第２の駆動梁１７０Ｂの表面上の圧電素子の薄膜の上面に形成された上部電極と、圧電素子の下面に形成された下部電極とにより構成される。

【0023】

第２の駆動梁１７０Ａ、１７０Ｂでは、矩形単位毎に隣接している駆動源１７１Ａ、１７１Ｂ同士で、異なる極性の駆動電圧を印加することにより、隣接する矩形梁を上下反対方向に反らせ、各矩形梁の上下動の蓄積を可動枠１６０に伝達する。第２の駆動梁１７０Ａ、１７０Ｂは、この動作により、平方向と直交する方向である垂直方向にミラー１１０を揺動させる。例えば第２の駆動梁１７０Ａ、１７０Ｂによる垂直駆動には、非共振振動が用いられてもよい。

【0024】

例えば駆動源１７１Ｂを左側から可動枠１６０に向かって並ぶ駆動源を駆動源１７１ＤＬ、１７１ＣＬ、１７１ＢＬ、１７１ＡＬを含むものとし、右側の駆動源１７１Ａを可動枠１６０から右側に向かって並ぶ駆動源１７１ＡＲ、１７１ＢＲ、１７１ＣＲ、１７１ＤＲを含むものとした場合、駆動源１７１Ａｘと駆動源１７１Ｃｘ（４本）を同波形、駆動源１７１Ｂｘ、駆動源１７１Ｄｘ（４本）を前者と位相の異なる同波形で駆動することで垂直方向へ遥動することができる。

【0025】

また本実施形態の光走査装置１００は、駆動源１５１Ａ、１５１Ｂに駆動電圧が印加されてミラーが水平方向に遥動している状態におけるミラー１１０の水平方向の傾き具合を検出する圧電センサ１９１、１９２、１９３、１９４を有する。圧電センサ１９１、１９２は、連結梁１４０Ｂに設けられており、圧電センサ１９３、１９４は連結梁１４０Ａに設けられている。

【0026】

また本実施形態の光走査装置１００は、駆動源１７１Ａ、１７１Ｂに駆動電圧が印加されてミラーが垂直方向に遥動している状態におけるミラー１１０の垂直方向の傾き具合を検出する圧電センサ１９５、１９６を有する。圧電センサ１９５は第２の駆動梁１７０Ａの有する矩形梁の一つに設けられており、圧電センサ１９６は第２の駆動梁１７０Ｂの有する矩形梁の一つに設けられている。

【0027】

本実施形態の圧電センサ１９１、１９２は、ミラー１１０の水平方向の傾き具合に伴い、捻れ梁１３０Ｂから伝達される連結梁１４０Ｂの変位に対応する電流値を出力する。また本実施形態の圧電センサ１９３、１９４は、ミラー１１０の水平方向の傾き具合に伴い、捻れ梁１３０Ａから伝達される連結梁１４０Ａの変位に対応する電流値を出力する。

【0028】

本実施形態の圧電センサ１９５は、ミラー１１０の垂直方向の傾き具合に伴い、第２の駆動梁１７０Ａのうち圧電センサ１９５が設けられた矩形梁の変位に対応する電流値を出力する。本実施形態の圧電センサ１９６は、ミラー１１０の垂直方向の傾き具合に伴い、第２の駆動梁１７０Ｂのうち圧電センサ１９６が設けられた矩形梁の変位に対応する電流値を出力する。

【0029】

本実施形態では、圧電センサ１９１〜１９４のうち何れか一つからの出力を用いてミラー１１０の水平方向の傾き具合を検出する。また本実施形態では、圧電センサ１９５、１９６を用いてミラー１１０の垂直方向の傾き具合を検出する。尚本実施形態では、各圧電センサから出力される電流値からミラー１１０の傾き具合の検出を行う傾き検出部が光走査装置１００の外部に設けられていても良い。また本実施形態では、傾き検出部の検出結果に基づき駆動源１５１Ａ、１５１Ｂ、駆動源１７１Ａ、１７１Ｂに供給する駆動電圧を制御する駆動制御部が光走査装置１００の外部に設けられていても良い。

【0030】

圧電センサ１９１〜１９６は、圧電素子の薄膜の上面に形成された上部電極と、圧電素子の下面に形成された下部電極とにより構成される。本実施形態では、圧電センサ１９１〜１９６の出力は、上部電極と下部電極とに接続されたセンサ配線の電流値となる。

【0031】

図１では、ミラー１１０の水平方向の傾き具合の検出に際し、圧電センサ１９１を用いた例を示している。以下に図２を参照して圧電センサ１９１について説明する。図２は、図１の部分Ａを拡大した図である。

【0032】

圧電センサ１９１は、連結梁１４０Ｂにおける連結梁１４０Ｂと捻れ梁１３０Ｂとの連結部１３１の駆動源１５１Ｂ側に配置されている。圧電センサ１９２は、連結部１３１の駆動源１５１Ａ側に配置されている。圧電センサ１９３は、連結梁１４０Ａにおける連結梁１４０Ａと捻れ梁１３０Ａとの連結部１３２の駆動源１５１Ｂ側に配置されている。圧電センサ１９４は、連結部１３２の駆動源１５１Ａ側に配置されている。

【0033】

圧電センサ１９１、１９２は、連結梁１４０Ｂの表面上の圧電素子の薄膜の上面に形成された上部電極と、圧電素子の下面に形成された下部電極とにより構成される。また圧電センサ１９３、１９４は、連結梁１４０Ａの表面上の圧電素子の薄膜の上面に形成された上部電極と、圧電素子の下面に形成された下部電極とにより構成される。

【0034】

また本実施形態では、圧電センサ１９１の出力のみを用いるため、圧電センサ１９１にのみセンサ配線２０１、２０２が形成されている。この場合、圧電センサ１９２〜１９４は、連結梁１４０Ａ、１４０Ｂの重量のバランスをとるためのダミーセンサとなる。

【0035】

センサ配線２０１は、圧電センサ１９１の下部電極から引き出された下部電極配線であり、センサ配線２０２は、圧電センサ１９１の上部電極から引き出された上部電極配線である。

【0036】

センサ配線２０１は圧電センサ１９１から第１の駆動梁１５０Ａ側に引き出され、センサ配線２０２は圧電センサ１９１から第１の駆動梁１５０Ｂ側に引き出されている。すなわち本実施形態では、センサ配線２０１とセンサ配線２０２のそれぞれが、圧電センサ１９１から反対方向に引き出されるように、圧電センサ１９１の左右に別れて形成されている。

【0037】

本実施形態のセンサ配線２０１は、駆動源１５１Ａの下部電極に駆動電圧を印加する駆動配線２０３及び駆動源１５１Ａの上部電極に駆動電圧を印加する駆動配線２０４と、併走するように引き回され、固定枠１８０に設けられた端子群ＴＡに含まれる所定の端子と接続される。

【0038】

本実施形態のセンサ配線２０２は、駆動源１５１Ｂの下部電極に駆動電圧を印加する駆動配線２０５及び駆動源１５１Ｂの上部電極に駆動電圧を印加する駆動配線２０６と、併走するように引き回され、固定枠１８０に設けられた端子群ＴＢに含まれる所定の端子と接続される。

【0039】

本実施形態では、端子群ＴＡにおいてセンサ配線２０１が接続された端子と、端子群ＴＢにおいてセンサ配線２０２が接続された端子とに水平方向の傾き検出部が接続されていても良い。また本実施形態では、端子群ＴＡにおいて駆動配線２０３及び２０４がそれぞれ接続された端子と、端子群ＴＢにおいて駆動配線２０５及び２０６それぞれが接続された端子とに駆動制御部が接続されていても良い。

【0040】

また本実施形態では、センサ配線２０１が駆動配線２０３及び２０４と併走する長さと、センサ配線２０２が駆動配線２０５及び２０６と併走する長さとが等しくなるようにした。

【0041】

本実施形態では、このようにセンサ配線２０１、２０２を形成することにより、位相が反転した駆動信号で動作する駆動源１５１Ａと駆動源１５１Ｂから干渉するノイズを相殺し、圧電センサ１９１の出力の検出精度を向上させることができる。よって本実施形態では、圧電センサ１９１の出力から検出されるミラー１１０の水平方向の傾きを高精度に検出することができる。

【0042】

次に図３を参照して圧電センサ１９５について説明する。図３は、図１の部分Ｂを拡大した図である。

【0043】

圧電センサ１９５は、第２の駆動梁１７０Ａの有する矩形梁の上端部に設けられている。圧電センサ１９５は、第２の駆動梁１７０Ａの表面上の圧電素子の薄膜の上面に形成された上部電極と、圧電素子の下面に形成された下部電極とにより構成される。

【0044】

圧電センサ１９５の出力は、センサ配線２０７Ａとセンサ配線２０８Ａとにより出力される。センサ配線２０７Ａは、圧電センサ１９５の下部電極から引き出された下部電極配線であり、センサ配線２０８Ａは、圧電センサ１９５の上部電極から引き出された上部電極配線である。センサ配線２０７Ａ及びセンサ配線２０８Ａは、端子群ＴＡの所定の端子に接続される。

【0045】

また本実施形態のセンサ配線２０７Ａ及びセンサ配線２０８Ａは、駆動源１７１Ａの下部電極に駆動電圧を印加する駆動配線２０３及び駆動源１７１Ａの上部電極に駆動電圧を印加する駆動配線２１０と、併走するように引き回される。尚駆動源１５１の下部電極と駆動源１７１の下部電極とには、共通の駆動電圧が印加されるため、駆動源１５１と下部電極と駆動源１７１の下部電極では駆動配線２０３が共通で使用される。

【0046】

本実施形態では、このようにセンサ配線２０７Ａ及び２０８Ａを形成することで、圧電センサ１９５の出力から検出されるミラー１１０の垂直方向の傾きを高精度に検出することができる。

【0047】

尚図３では、圧電センサ１９５のみについて説明したが、圧電センサ１９６も圧電センサ１９５と同様に構成により、第２の駆動梁１７０Ｂの有する矩形梁の上端部に設けられている。

【0048】

本実施形態では、以上の構成から、駆動配線からのクロストークを低減させ、ミラー１１０の傾きを高精度に検出することができる。

【0049】

（第二の実施形態）
以下に図面を参照して本発明の第二の実施形態について説明する。本発明の第二の実施形態は、センサ配線と駆動配線との間にガードパターンを設けた点が第一の実施形態と相違する。よって以下の本発明の第二の実施形態では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号を付与し、その説明を省略する。

【0050】

図４は、第二の実施形態の光走査装置を説明する図である。本実施形態の光走査装置１００Ａは、センサ配線２０１と駆動配線２０３との間にガードパターン２２０が形成されている。また本実施形態の光走査装置１００Ａは、センサ配線２０２と駆動配線２０５との間にガードパターン２２１が形成されている
以下に図５を参照して本実施形態のガードパターン２２０、２２１について説明する。図５は、第二の実施形態のガードパターンについて説明する図である。図５は、例えば端子群ＴＡと端子群ＴＢに接続される配線が示されている。

【0051】

端子群ＴＡには、圧電センサ１９１の上部電極から引き出されたセンサ配線２０１、
圧電センサ１９５の下部電極から引き出されたセンサ配線２０７Ａ、上部電極から引き出されたセンサ配線２０８Ａが接続される。また端子群ＴＡには、駆動源１５１Ａの下部電極と、駆動源１７１Ａの下部電極とから引き出された駆動配線２０３と、駆動源１５１Ａの上部電極から引き出された駆動配線２０４と、駆動源１７１Ａの上部電極から引き出された駆動配線２１０Ａと、が接続される。さらに端子群ＴＡには、ガードパターン２２０が接続される。

【0052】

端子群ＴＢには、圧電センサ１９１の下部電極から引き出されたセンサ配線２０２、圧電センサ１９６の下部電極から引き出されたセンサ配線２０７Ｂ、上部電極から引き出されたセンサ配線２０８Ｂが接続される。また端子群ＴＢには、駆動源１５１Ｂの下部電極と、駆動源１７１Ｂの下部電極とから引き出された駆動配線２０５と、駆動源１５１Ｂの上部電極から引き出された駆動配線２０６と、駆動源１７１Ｂの上部電極から引き出された駆動配線２１０Ｂと、が接続される。さらに端子群Ｂには、ガードパターン２２１が接続される。

【0053】

本実施形態のガードパターン２２０、２２１は、端子群ＴＡ及び端子群ＴＢにおいて、それぞれがグランドと接続されている。

【0054】

以下に図６、図７を参照して本実施形態におけるガードパターンに形成位置について説明する。

【0055】

図６は、図４の部分Ａ１を拡大した図である。本実施形態のガードパターン２２０は、センサ配線２０１が第一の駆動梁１５０Ａを介して第二の駆動梁１７０Ａに到達した位置Ｐ１から形成される。ガードパターン２２０は、センサ配線２０１と駆動配線２０３との間に形成される。また本実施形態のガードパターン２２１は、センサ配線２０２が第一の駆動梁１５０Ｂを介して第二の駆動梁１７０Ｂに到達した位置Ｐ２から形成される。ガードパターン２２１は、センサ配線２０２と駆動配線２０５との間に形成される。

【0056】

さらに本実施形態では、連結梁１４０Ａ側にも、センサ配線２０１、２０２と対応する配線形状となるように、ダミーセンサ配線２０１Ａとダミーセンサ配線２０２Ａとを形成する。さらに本実施形態では、ガードパターン２２０、２２１のダミーとして、ダミーセンサ配線２０１Ａ側にダミーガードパターン２２２を形成し、ダミーセンサ配線２０２Ａ側にダミーガードパターン２２３を形成する。

【0057】

本実施形態では、このようにダミーセンサ配線とダミーガードパターンとを形成することで、第一の駆動梁１５１Ａ、１５１Ｂの重量のバランスを維持し、的確にミラー１１０に駆動力を伝達することができる。

【0058】

図７は、図４の部分Ｂ１を拡大した図である。本実施形態のガードパターン２２０は、位置Ｐ１から、端子群ＴＡに向かって形成されたセンサ配線２０１に沿って形成される。また本実施形態のガードパターン２２０は、圧電センサ１９５の近傍では、センサ配線２０１と駆動源１７１Ａの上部電極から引き出された駆動配線２１０との間を通るように形成される。

【0059】

尚図７では圧電センサ１９５側についてのみ説明したが、圧電センサ１９６側でも同様にガードパターン２２１が形成される。

【0060】

本実施形態では、以上のようにガードパターン２２０、２２１を形成することで、センサ配線に対する駆動配線からのクロストークによる影響を抑制することができ、ミラー１１０の傾きを高精度に検出することができる。

【0061】

（第三の実施形態）
以下に図面を参照して本発明の第三の実施形態について説明する。本発明の第三の実施形態は、ガードパターンを垂直方向の傾きを検出する圧電センサ側にのみ設けた点が第二の実施形態と相違する。よって以下の本発明の第三の実施形態では、第二の実施形態との相違点についてのみ説明し、第二の実施形態と同様の機能構成を有するものには第二の実施形態の説明で用いた符号を付与し、その説明を省略する。

【0062】

図８は、第三の実施形態の光走査装置を説明する図である。本実施形態の光走査装置１００Ｂでは、圧電センサ１９５側と圧電センサ１９６側とにガードパターン２２０Ａとガードパターン２２１Ａが形成されている。

【0063】

図９は、図８の部分Ｂ２を拡大した図である。本実施形態では、圧電センサ１９１のセンサ配線２０１と併走するガードパターン２２０Ａを圧電センサ１９５近傍の位置Ｐ３から形成した。位置Ｐ３は、例えばセンサ配線２０７Ａ、２０８Ａとセンサ配線２０１とが併走を開始する位置の近傍である。尚図９では圧電センサ１９５近傍から形成されたガードパターン２２０Ａについてのみ説明したが、圧電センサ１９６側も同様に圧電センサ１９６近傍からガードパターン２２１Ａが形成される。

【0064】

本実施形態では、以上の構成により、ノイズを低減し、ミラー１１０の傾きを高精度に検出することができる。

【0065】

（第四の実施形態）
以下に図面を参照して本発明の第四の実施形態について説明する。本発明の第四の実施形態では、配線の長さや配線の間隔により微妙に生じるノイズ成分を除去することで、ミラーの傾きをより高精度に検出するものである。以下の本発明の第四の実施形態の説明では、第一の実施形態と同様の構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号と同様の符号を付与し、その説明を省略する。

【0066】

図１０は、第四の実施形態の光走査装置を説明する図である。本実施形態の光走査制御装置３００は、第一の実施形態の光走査装置１００に加え、フロントエンドＩＣ（Integrated Circuit）４００、ＬＤ（Laser Diode）４４０、ミラードライバＩＣ５００を有する。

【0067】

本実施形態のフロントエンドＩＣ４００は、入力されたビデオ信号に信号処理を施し、ＬＤ４４０へ供給する。また本実施形態のフロントエンドＩＣ４００は、ミラー１１０の揺動を制御する信号を光走査装置１００へ供給する。

【0068】

本実施形態のフロントエンドＩＣ４００は、ビデオ信号処理部４１０、ＬＤドライバ４２０、ミラー制御部４３０を有する。ビデオ信号処理部４１０は、入力されたビデオ信号に含まれる同期信号と、輝度信号及び色度信号とを分離する処理を行う。ビデオ信号処理部４１０は、輝度信号及び色度信号をＬＤドライバ４２０へ供給し、同期信号をミラー制御部４３０へ供給する。

【0069】

ＬＤドライバ４２０は、ビデオ信号処理部４１０から出力された信号に基づき、ＬＤ４４０を制御する。

【0070】

ミラー制御部４３０は、ミラードライバＩＣ５００から出力される圧電センサ１９１の出力と、同期信号とに基づきミラー１１０の揺動を制御する。より具体的にはミラー制御部４３０は、ミラードライバＩＣ５００を介して光走査装置１００の駆動源１５１Ａ，Ｂ、１７１Ａ，Ｂの駆動電圧（以下、駆動信号）を出力する。

【0071】

本実施形態のミラードライバＩＣ５００は、位相反転部５１０、５１１、バッファ５７０、ノイズ除去部６００を有する。

【0072】

位相反転部５１０、５１１は、ミラー制御部４３０から出力される駆動信号の位相を反転させる。具体的には位相反転部５１０は、駆動源１５１Ａに供給される駆動信号の位相を反転させて駆動源１５１Ｂに供給される駆動信号とする。また位相反転部５１１は、駆動源１７１Ａに供給される駆動信号の位相を反転させて駆動源１７１Ｂに供給される駆動信号とする。

【0073】

本実施形態のノイズ除去部６００は、圧電センサ１９１の出力に重畳したノイズ成分を低減する。圧電センサ１９１の出力に重畳したノイズ成分とは、駆動配線の長さや配線の間隔により微妙に生じるロストーク成分であり、駆動源１５１Ａ，１５１Ｂ，１７１Ａ，１７１Ｂに供給される駆動信号から受ける成分である。

【0074】

尚図１０のノイズ除去部６００は、駆動源１５１Ａ，１５１Ｂに供給される駆動信号から受けるノイズ成分を除去するものである。本実施形態の光走査制御装置３００では、図示していないが、駆動源１７１Ａ，１７１Ｂに供給される駆動信号から受けるノイズ成分を除去するノイズ除去部を有するものとした。駆動源１７１Ａ，１７１Ｂに対応したノイズ除去部は、ノイズ除去部６００と同様の構成である。

【0075】

本実施形態のノイズ除去部６００は、ゲイン・位相調整部５２０、５３０、加算回路５４０、バッファ５５０、減算回路５６０を有する。

【0076】

ゲイン・位相調整部５２０、５３０は、駆動源１５１Ａ，１５１Ｂのそれぞれに供給される駆動信号から、圧電センサ１９１の出力に重畳されたノイズ成分と同等の成分を生成する。以下の説明では、駆動源１５１Ａに供給される駆動信号を駆動信号１とし、駆動源１５１Ｂに供給される駆動信号を駆動信号２とする。

【0077】

本実施形態のゲイン・位相調整部５２０は、駆動信号１を駆動源１５１Ａに印加した場合に圧電センサ１９１の出力に重畳されたノイズ成分と同等の成分を生成する。本実施形態のゲイン・位相調整部５３０は、駆動信号２を駆動源１５１Ｂに印加した場合に圧電センサ１９１の出力に重畳されたノイズ成分と同等の成分を生成する。ゲイン・位相調整部５２０、５３０の詳細は後述する。

【0078】

加算回路５４０は、ゲイン・位相調整部５２０、５３０の出力を加算し、加算結果を反転させる。本実施形態では、ゲイン・位相調整部５２０、５３０の出力を加算して反転させることで、駆動源１５１Ａ，１５１Ｂのそれぞれに駆動信号１と駆動信号２を同時に供給したと場合に、圧電センサ１９１の出力に重畳されたノイズ成分と同等の成分を生成する。

【0079】

バッファ５５０は、圧電センサ１９１の出力を増幅させる。尚本実施形態では、光走査装置１００に設けられた圧電センサは圧電センサ１９１のみとした。圧電センサ１９１は、ミラー１１０の水平方向の傾き具合に伴い、捻れ梁１３０Ｂから伝達される連結梁１４０Ｂの変位に対応する電流値を出力する。圧電センサ１９１以外に圧電センサ１９２の出力も用いる場合には、バッファ５７０が用いられるが、本実施形態では、使用しないものとした。したがって本実施形態の光走査制御装置３００では、バッファ５７０が設けられていない構成であっても良い。

【0080】

減算回路５６０は、バッファ５５０の出力から加算回路５４０の出力を減算する。本実施形態のバッファ５５０の出力は、圧電センサ１９１の出力にノイズが重畳した信号である。また加算回路５４０の出力は、電センサ１９１の出力に重畳されたノイズ成分と同等の成分である。よってバッファ５５０の出力から加算回路５４０の出力を減算することで、圧電センサ１９１の出力からノイズ成分を除去することができる。減算回路５６０の出力は、フロントエンドＩＣ４００のミラー制御部４３０に供給される。

【0081】

次に本実施形態のゲイン・位相調整部５２０、５３０について説明する。図１１は、ゲイン・位相調整部を説明する図である。

【0082】

本実施形態のゲイン・位相調整部５２０は、ＡＣカップリング回路５２１、アッテネート回路５２２、位相補正回路５２３を有する。またゲイン・位相調整部５３０は、ＡＣカップリング回路５３１、アッテネート回路５３２、位相補正回路５３３を有する。本実施形態では、ゲイン・位相調整部５２０は駆動信号１に対応したものであり、ゲイン・位相調整部５３０は駆動信号２に対応したものであり、ゲイン・位相調整部５２０とゲイン・位相調整部５３０の構成は同様である。よって以下の説明では、ゲイン・位相調整部５２０について説明し、ゲイン・位相調整部５３０の各部の説明は省略する。

【0083】

本実施形態のＡＣカップリング回路５２１は、駆動信号１の基準電圧をグランドとする。アッテネート回路５２２は、駆動信号１の振幅を圧電センサ１９１から出力されるノイズ成分と同じ振幅とする。位相補正回路５２３は、駆動信号１から生成される成分の位相をノイズ成分の位相と合わせる補正を行う。

【0084】

次に図１２を参照して本実施形態のノイズ除去部６００の回路構成を説明する。図１２は、第四の実施形態のノイズ除去部の回路構成を説明する図である。

【0085】

本実施形態のノイズ除去６００は、アンプＡＰ２１〜２８、可変抵抗Ｒ１１〜１４、抵抗Ｒ２１〜３７、コンデンサＣ２１〜２４を有する。

【0086】

本実施形態のＡＣカップリング回路５２１はコンデンサＣ２１により構成され、ＡＣカップリング回路５３１はコンデンサＣ２２により構成される。コンデンサＣ２１の一端には駆動信号１が入力され、コンデンサＣ２２の一端には駆動信号２が入力される。

【0087】

コンデンサＣ２１の他端は、アッテネート回路５２２の入力となる可変抵抗Ｒ１１の一端と接続される。コンデンサＣ３１の他端は、アッテネート回路５３２の入力となる可変抵抗Ｒ１２の一端と接続される。

【0088】

アッテネート回路５２２は、可変抵抗Ｒ１１、抵抗Ｒ２１、アンプＡＰ２１を有する。アッテネート回路５３２は、可変抵抗Ｒ１２、抵抗Ｒ２２、アンプＡＰ２２を有する。

【0089】

アッテネート回路５２２において、可変抵抗Ｒ１１の一端はコンデンサＣ２１の他端と接続され、可変抵抗Ｒ１１の他端は抵抗Ｒ２１の一端と接続されている。可変抵抗Ｒ１１と抵抗Ｒ２１との接続点は、アンプＡＰ２１の非反転入力端子と接続されている。抵抗Ｒ２１の他端は接地されている。アンプＡＰ２１の出力は、アンプＡＰ２１の反転入力端子及び位相補正回路５２３の有する抵抗Ｒ２３の一端とコンデンサＣ２３の一端との接続点に接続されている。

【0090】

アッテネート回路５３２において、可変抵抗Ｒ１２の一端はコンデンサＣ２２の他端と接続され、可変抵抗Ｒ１２の他端は抵抗Ｒ２２の一端と接続されている。可変抵抗Ｒ１２と抵抗Ｒ２２との接続点は、アンプＡＰ２２の非反転入力端子と接続されている。抵抗Ｒ２２の他端は接地されている。アンプＡＰ２２の出力は、アンプＡＰ２２の反転入力端子及び位相補正回路５３３の有する抵抗Ｒ２５の一端とコンデンサＣ２４の一端との接続点に接続されている。

【0091】

位相補正回路５２３は、可変抵抗Ｒ１３、抵抗Ｒ２３、Ｒ２４、コンデンサＣ２３、アンプＡＰ２３を有する。位相補正回路５３３は、可変抵抗Ｒ１４、抵抗Ｒ２５、Ｒ２６、コンデンサＣ２４、アンプＡＰ２４を有する。

【0092】

本実施形態の位相補正回路５２３では、抵抗Ｒ２３の他端がアンプＡＰ２３の非反転入力端子と接続され、コンデンサＣ２３の他端と可変抵抗Ｒ１３の一端との接続点がアンプＡＰ２３の反転入力端子と接続されている。可変抵抗Ｒ１３の他端は接地されている。抵抗Ｒ２４の一端は、アンプＡＰ２３の反転入力端子と接続され、他端はアンプＡＰ２３の出力と接続されている。アンプＡＰ２３の出力は、加算回路５４０の有する抵抗Ｒ２７の一端と接続されている。

【0093】

本実施形態の位相補正回路５３３では、抵抗Ｒ２５の他端がアンプＡＰ２４の非反転入力端子と接続され、コンデンサＣ２４の他端と可変抵抗Ｒ１４の一端との接続点がアンプＡＰ２４の反転入力端子と接続されている。可変抵抗Ｒ１４の他端は接地されている。抵抗Ｒ２６の一端は、アンプＡＰ２４の反転入力端子と接続され、他端はアンプＡＰ２４の出力と接続されている。アンプＡＰ２４の出力は、加算回路５４０の有する抵抗Ｒ２８の一端と接続されている。

【0094】

本実施形態の加算回路５４０は、抵抗Ｒ２７〜３１、アンプＡＰ２５、２６を有する。本実施形態の加算回路５４０では、抵抗Ｒ２７の他端と抵抗Ｒ２８の他端との接続点が、アンプＡＰ２５の反転入力端子と接続されている。また抵抗Ｒ２５の一端は、アンプＡＰ２５の非反転入力端子と接続されており、抵抗Ｒ２５の他端は接地されている。アンプＡＰ２５の出力は、抵抗Ｒ３０の一端と接続されている。抵抗Ｒ３０の他端は、アンプＡＰ２６の反転入力端子と接続されている。抵抗Ｒ３１の一端は、アンプＡＰ２６の非反転入力端子と接続されており、抵抗Ｒ３１の他端は接地されている。抵抗Ｒ３２の一端は、アンプＡＰ２６の反転入力端子と接続されており、抵抗Ｒ３２の他端はアンプＡＰ２６の出力と接続されている。アンプＡＰ２６の出力は、減算回路５６０の有する抵抗Ｒ３４の一端と接続されている。

【0095】

本実施形態のバッファ５５０は、抵抗Ｒ３３とアンプＡＰ２７とを有する。抵抗Ｒ３３の一端は、圧電センサ１９１の出力と接続されており、抵抗Ｒ３３の他端は接地されている。抵抗Ｒ３３の一端と圧電センサ１９１の出力との接続点は、アンプＡＰ２７の非反転入力端子と接続されている。アンプＡＰ２７の出力は、アンプＡＰ２７の反転入力端子及び減算回路５６０の有する抵抗Ｒ３４の一端と接続されている。

【0096】

本実施形態の減算回路５６０は、抵抗Ｒ３４〜３７と、アンプＡＰ２８とを有する。抵抗Ｒ３４の他端は、抵抗Ｒ３６の一端と接続されている。抵抗Ｒ３４の他端と抵抗Ｒ３６の一端との接続点は、アンプＡＰ２８の非反転入力端子と接続されている。抵抗Ｒ３６の他端は接地されている。抵抗Ｒ３５の他端は、アンプＡＰ２８の反転入力端子と抵抗Ｒ３７の一端とに接続されている。抵抗Ｒ３７の他端は、アンプＡＰ２８の出力と接続されている。アンプＡＰ２８の出力からは、ノイズ成分が除去された信号が出力される。

【0097】

次に、図１３を参照して本実施形態の光走査制御装置３００における圧電センサ１９１の出力のノイズ除去の手順について説明する。図１３は、第四の実施形態におけるノイズ除去の手順を説明する図である。

【0098】

本実施形態では、駆動信号１及び駆動信号２の振幅や位相を調整し、駆動信号１及び駆動信号２により発生するノイズ成分と同等の成分であるノイズ同等成分を生成する。本実施形態では、ノイズ同等成分を圧電センサ１９１の出力から減算することで、ノイズを低減する。

【0099】

具体的には本実施形態では、アッテネート回路５２２、２５３の有する可変抵抗Ｒ１１、Ｒ１２の抵抗値、位相補正回路５２３、５３３の有する可変抵抗Ｒ１３、Ｒ１４の抵抗値を調整し、駆動信号１及び駆動信号２からノイズ同等成分を生成する。抵抗値の調整は、例えば本実施形態の光走査制御装置３００の向上出荷時等に行われても良い。また図１３で説明する調整は、例えば光走査制御装置３００の製造者等により手動で行われても良い。

【0100】

本実施形態の光走査制御装置３００において、ノイズ除去を行う場合、ミラー制御部４３０は、駆動信号１のみを出力する（ステップＳ１３１）。このとき駆動信号の周波数は、駆動源１５１Ａが駆動しないように、共振点から十分離れた周波数とする。

【0101】

続いて本実施形態では、アッテネート回路５２１の可変抵抗の抵抗値と、位相補正回路５２２の可変抵抗の抵抗値とが調整される（ステップＳ１３２）。本実施形態では、ステップＳ１３２の調整により、駆動信号１からノイズ同等成分信号１が生成される。

【0102】

続いて本実施形態では、ノイズ同等成分信号１の位相と振幅がバッファ５５０から出力されるノイズ成分１の位相と振幅と等しくなるまでステップＳ１３２の調整を行う（ステップＳ１３３）。ここでバッファ５５０から出力されるノイズ成分１は、駆動信号１により発生するノイズ成分である。尚ノイズ同等成分信号１とノイズ成分１との比較は、例えばバッファ５５０の出力である端子Ｔ１と、位相補正回路５２１の出力である端子Ｔ１とにオシログラフ等を接続して観測しながら、目視で行っても良い。

【0103】

続いて本実施形態では、駆動信号２についてもステップＳ１３１からステップＳ１３３と同様の処理を行う。本実施形態では、駆動信号２１のみを出力する（ステップＳ１３４）。このとき駆動信号の周波数は、駆動源１５１Ｂが駆動しないように、共振点から十分離れた周波数とする。続いて本実施形態では、アッテネート回路５３１の可変抵抗の抵抗値と、位相補正回路５３２の可変抵抗の抵抗値とが調整される（ステップＳ１３５）。続いて本実施形態では、ノイズ同等成分信号２の位相と振幅がバッファ５５０から出力されるノイズ成分２の位相と振幅と等しくなるまでステップＳ１３５の調整を行う（ステップＳ１３６）。

【0104】

尚ノイズ同等成分信号２とノイズ成分２との比較も、バッファ５５０の出力である端子Ｔ１と、位相補正回路５３１の出力である端子Ｔ２とにオシログラフ等を接続して観測しながら、目視で行っても良い。

【0105】

以下に図１４乃至１６を参照して、ノイズ同等成分の生成についてさらに説明する。

【0106】

図１４は、ノイズ除去前の圧電センサの出力波形を示す図である。

【0107】

図１４に示す出力波形は、共振点から十分離れた周波数の駆動信号１と駆動信号２とを駆動源１５１Ａ，１５１Ｂに印加したときに圧電センサ１９１から出力される波形である。このとき光走査装置１００では、駆動源１５１Ａ，１５１Ｂは振動しておらず、ミラー１１０は揺動していない。圧電センサ１９１から出力される成分は、駆動信号１及び駆動信号２より発生するノイズ成分信号Ｎのみとなる。本実施形態では、このノイズ成分信号Ｎを除去する。

【0108】

図１５は、ノイズ同等成分を説明する図である。図１５（Ａ）は駆動信号１から生成されるノイズ同等成分信号１の例であり、図１５（Ｂ）は駆動信号２から生成されるノイズ同等成分信号２の例である。

【0109】

本実施形態では、ノイズ成分信号Ｎは、図１５（Ａ）に示すノイズ成分信号Ｎ１と図１５（Ｂ）に示すノイズ成分信号Ｎ２と、を加算したものである。

【0110】

図１５（Ａ）のノイズ成分信号Ｎ１は、駆動信号１のみを駆動源１５１Ａに印加した場合に発生する。本実施形態では、ゲイン・位相調整部５２０により駆動信号１の振幅と位相を調整し、ノイズ成分信号Ｎ１の振幅と位相が同等のノイズ同等成分信号１を生成する。

【0111】

また、図１５（Ｂ）のノイズ成分信号Ｎ２は、駆動信号２のみを駆動源１５１Ｂに印加した場合に発生する。本実施形態では、ゲイン・位相調整部５３０により駆動信号２の振幅と位相を調整し、ノイズ成分信号Ｎ２の振幅と位相が同等のノイズ同等成分信号２を生成する。

【0112】

本実施形態では、ノイズ同等成分信号１とノイズ同等成分信号２とを加算した成分が、図１４のノイズ成分信号Ｎと同様の成分となる。したがって本実施形態では、駆動信号１と駆動信号２を同時に印加した際に、圧電センサ１９１の出力からノイズ成分信号Ｎと同様の成分を減算すれば、ノイズ成分信号Ｎをキャンセルすることができる。

【0113】

図１６は、ノイズ除去後の圧電センサの出力波形を示す図である。図１６では、駆動信号１と駆動信号２を同時に駆動源１５１Ａ，１５１Ｂに供給した場合でも、圧電センサ１９１の出力にノイズ成分が発生しない。

【0114】

したがって本実施形態によれば、例えば配線の長さや配線の間隔により微妙に生じるノイズ成分を除去することができるので、センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することができる。

【0115】

尚本実施形態では、駆動信号１と駆動信号２の両方について位相の調整を行うための位相補正回路を有する構成としたが、これに限定されない。例えば何れか一方の駆動信号のみ位相を調整すれば良い場合には、該当する駆動信号用の位相補正回路のみを有していれば良い。

【0116】

図１７は、第四の実施形態のノイズ除去部の回路構成の別の例を説明する図である。図１７の例は、駆動信号１についてのみ位相補正を行う場合を示している。図１７に示すノイズ除去部６００Ａは、駆動信号２に対応する位相補正回路は有していない点のみ、図１２に示すノイズ除去部６００と相違する。また例えば駆動信号２についてのみ位相補正を行う場合には、駆動信号２に対応した位相補正回路５３３を有し、駆動信号１に対応した位相補正回路５２３を有していない構成とすれば良い。

【0117】

（第五の実施形態）
以下に図面を参照して本発明の第五の実施形態について説明する。本発明の第五の実施形態では、第四の実施形態で説明したノイズ除去を自動的に行う点のみ、第四の実施形態と相違する。よって本発明の第五の実施形態では、第四の実施形態と同様の機能構成を有するものには第四の実施形態の説明で用いた符号と同様の符号を付与し、その説明を省略する。

【0118】

図１８は、第五の実施形態の光走査装置を説明する図である。本実施形態の光走査制御装置３００Ａは、ミラードライバＩＣ５００Ａを有する。ミラードライバＩＣ５００Ａは、ノイズ除去の処理を自動的に行うノイズ除去制御部６１０を有する。本実施形態のノイズ除去制御部６１０は、第四の実施形態で説明した可変抵抗の抵抗値の調整等を行う。

【0119】

図１９は、第五の実施形態におけるノイズ除去の処理を説明するフローチャートである。本実施形態では、駆動信号１のみを駆動源１５１Ａに印加した場合に発生するノイズ成分信号Ｎ１の位相と振幅と、駆動信号２のみを駆動源１５１Ｂに印加した場合に発生するノイズ成分信号Ｎ２の位相と振幅とを予め目標値として取得しておく。

【0120】

本実施形態において、ノイズ除去制御部６１０は、駆動信号１のみを駆動源１５１Ａに印加して、駆動源１５１Ａを駆動させる（ステップＳ１６０１）。続いてノイズ除去制御部６１０は、圧電センサ１９１の出力の振幅のレベルを検出する（ステップＳ１６０２）。続いてノイズ除去制御部６１０は、ノイズ同等成分信号１の振幅のレベルを検出する（ステップＳ１６０３）。続いてノイズ除去制御部６１０は、ノイズ同等成分信号１の振幅が、目標値であるノイズ成分信号Ｎ１の振幅と等しいか否かを判断する（ステップＳ１６０４）。尚ノイズ成分信号Ｎ１の振幅は、予めノイズ除去制御部６１０の有する記憶部等に格納されている。

【0121】

ステップＳ１６０４においてノイズ同等成分信号１の振幅がノイズ成分信号Ｎ１の振幅と等しくない場合、ノイズ除去制御部６１０は、アッテネート回路５２２のゲインを調整する（ステップＳ１６０５）。具体的にはアッテネート回路５２２の有する可変抵抗Ｒ１１の抵抗値を調整する。

【0122】

本実施形態のノイズ除去制御部６１０は、ノイズ同等成分信号１の振幅がノイズ成分信号Ｎ１の振幅と等しくなるまで、ステップＳ１６０３〜ステップＳ１６０５までの処理を繰り返す。ステップＳ１６０４において、ノイズ同等成分信号１の振幅がノイズ成分信号Ｎ１の振幅と等しいとき、ノイズ除去制御部６１０は、そのときの抵抗値をノイズ除去抵抗値としてアッテネート回路５２２に設定する（ステップＳ１６０６）。

【0123】

続いてノイズ除去制御部６１０は、圧電センサ１９１の出力の位相を検出する（ステップＳ１６０７）。続いてノイズ除去制御部６１０は、ノイズ同等成分信号１の位相を検出する（ステップＳ１６０８）。

【0124】

続いてノイズ除去制御部６１０は、ノイズ同等成分信号１の位相が、目標値であるノイズ成分信号Ｎ１の位相と等しいか否かを判断する（ステップＳ１６０９）。尚ノイズ成分信号Ｎ１の位相は、予めノイズ除去制御部６１０の有する記憶部等に格納されている。

【0125】

ステップＳ１６０９においてノイズ同等成分信号１の位相がノイズ成分信号Ｎ１の位相と等しくない場合、ノイズ除去制御部６１０は、位相補正回路５２３によりノイズ同等成分信号１の位相を調整する（ステップＳ１６１０）。具体的には位相補正回路５２３の有する可変抵抗Ｒ１３の抵抗値を調整する。

【0126】

本実施形態のノイズ除去制御部６１０は、ノイズ同等成分信号１の位相がノイズ成分信号Ｎ１の位相と等しくなるまで、ステップＳ１６０８〜ステップＳ１６１０までの処理を繰り返す。ステップＳ１６０９において、ノイズ同等成分信号１の位相がノイズ成分信号Ｎ１の位相と等しいとき、ノイズ除去制御部６１０は、そのときの抵抗値をノイズ除去抵抗値として位相補正回路５２３に設定する（ステップＳ１６１１）。

【0127】

続いてノイズ除去制御部６１０は、駆動信号１の供給を停止して駆動信号２のみを駆動源１５１Ｂに印加して、駆動源１５１Ｂを駆動させる（ステップＳ１６１２）。

【0128】

ステップＳ１６１３からステップＳ１６２２までの処理は、ステップＳ１６０２からステップＳ１６１１までの処理と同様であるから説明を省略する。

【0129】

ステップＳ１６０２からステップＳ１６２２までの処理により、アッテネート回路５３２の有する可変抵抗Ｒ１２の抵抗値と、位相補正回路５３３の有する可変抵抗Ｒ１４の抵抗値とが設定される。

【0130】

続いてノイズ除去制御部６１０は、アッテネート回路５２２、５３２に設定された可変抵抗の抵抗値と、位相補正回路５２３、５３３に設定された可変抵抗の抵抗値とを、ノイズ除去制御部６１０の有する記憶部等に記憶させる（ステップＳ１６２３）。

【0131】

以上のように、本実施形態では、ノイズ除去の処理を自動的に行う。

【0132】

（第六の実施形態）
以下に図面を参照して本発明の第六の実施形態について説明する。本実施形態では圧電センサを２つ設けた点が第一の実施形態と相違する。以下の本実施形態の説明では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号と同様の符号を付与し、その説明を省略する。

【0133】

本実施形態の光走査装置１００Ｃでは、２つの圧電センサ１９１、１９２を有する。本実施形態では、圧電センサ１９１、１９２のセンサ信号は駆動源１５１Ｂ側へ引き回し、駆動源１５１Ａ、１５１Ｂに駆動信号を供給する駆動配線を駆動源１５１Ａ側に引き回した。

【0134】

また本実施形態では、圧電センサ１９１の出力の位相と圧電センサ１９２の出力の位相とが、逆位相となるようにした。

【0135】

図２０は、第五の実施形態の光走査装置のミラー部分を拡大した図である。

【0136】

本実施形態の光走査装置１００Ｃでは、駆動源１５１Ｂの下部電極に駆動電圧を印加する駆動配線２０５Ａ及び駆動源１５１Ｂの上部電極に駆動電圧を印加する駆動配線２０６Ａと、が駆動源１５１Ａ側に引き回されている。本実施形態の駆動配線２０５Ａは、駆動源１５１Ａに接続されている。また駆動配線２０６Ａは、駆動配線２０３、２０４と併走するように配線される。

【0137】

また本実施形態では、圧電センサ１９１に対して形成されたセンサ配線２０１、２０２の両方が駆動源１５１Ｂ側に形成されている。また圧電センサ１９２の上部電極と下部電極に対応したセンサ配線２０１Ａ、２０２Ａも、駆動源１５１Ｂ側に引き回されている。そしてセンサ配線２０１Ａ、２０２Ａは、センサ配線２０１、２０２と併走するように配線されている。

【0138】

したがって本実施形態の構成において、センサ配線が駆動配線たセンサ信号２０２Ａと、駆動信号２０４とが隣接する。したがって本実施形態では、駆動信号の配線とセンサ信号の配線とが隣接する距離が短く、駆動信号によるクロストークを低減させることができる。

【0139】

また本実施形態では、センサ配線２０１Ａ、２０２Ａとセンサ配線２０１、２０２とを併走させるように配線することで、各センサ配線における駆動配線から生じるクロストーク成分の影響を同等とすることができる。

【0140】

また本実施形態の圧電センサ１９１と圧電センサ１９２は、ミラー１１０の回転軸対称に、逆位相で振動する梁に配置される。具体的には、圧電センサ１９１は連結梁１４０Ｂの左端部に設けられ、圧電センサ１９２は連結梁１４０Ｂの右端部に設けられている。連結梁１４０Ｂの左端部は駆動源１５１Ｂにより振動し、連結梁１４０Ｂの右端部は駆動源１５１Ａにより振動する。すなわち圧電センサ１９１と圧電センサ１９２は、回転軸対称に、逆位相で振動する梁に配置されたことになる。

【0141】

図２１は、第五の実施形態における圧電センサの出力の例を示す図である。図２１では、ミラー１１０の振動変位と、振動変位に対応した圧電センサ１９１と圧電センサ１９２の出力の例を示している。本実施形態では、圧電センサ１９１の出力信号の位相は、振動変位と同位相であり、圧電センサ１９２の出力信号の位相は、圧電センサ１９１の出力信号の位相と逆である。

【0142】

本実施形態では、このように２つの圧電センサ１９１、１９２を配置すれば、例えば光走査装置１００Ｃの後段で、２つの圧電センサの出力信号の差信号をとった場合に、出力信号のレベルを２倍とすることができる。

【0143】

図２２は、第五の実施形態において圧電センサの出力信号の差信号の例を示す図である。図２２では駆動源１５１Ｂ側に圧電センサ１９１の出力信号と、圧電センサ１９２の出力信号とを減算して求めた差信号を示す。図２２の差信号は、各圧電センサの出力信号と比べて振幅が２倍となる。また本実施形態では、２つの圧電センサの出力信号を減算することで、各出力信号に重畳されていたクロストークを低減させる。

【0144】

したがって本実施形態では、圧電センサの出力信号に駆動配線から生じるクロストークが重畳されていたとしても、このクロストークを無視できるレベルまで圧電センサの出力信号の振幅を大きくすることができる。

【0145】

尚本実施形態には、第五の実施形態を適用することもできる。例えば本実施形態では、圧電センサ１９１の出力信号と、圧電センサ１９２の出力信号とに対してノイズ除去を行えば良い。

【0146】

（第七の実施形態）
以下に図面を参照して本発明の第七の実施形態について説明する。本発明の第七の実施形態では、ミラーの傾きを検出する光学センサをミラーの下に配置することで、センサ配線のノイズに関する考慮を不要とし、ミラーの傾きを高精度に検出する。

【0147】

図２３は、第七の実施形態の光走査装置を説明する図である。本実施形態の光走査制御装置３００Ｂは、フロントエンドＩＣ４００、ＬＤ４４０、ミラードライバＩＣ５００Ａ、光走査モジュール１００Ｃを有する。

【0148】

本実施形態のミラードライバＩＣ５００Ａは、第四の実施形態で説明したミラードライバＩＣ５００においてバッファ５７０をなくした構成である。

【0149】

本実施形態の光走査モジュール１００Ｃは、光走査装置１００Ｄと、光学センサ７００とを有する。光走査装置１００Ｄは、第一の実施形態で説明した光走査装置１００からミラー１１０の垂直方向の傾き具合を検出する圧電センサ１９５、１９６と、圧電センサ１９５、１９６に関する配線をなくしたものである。光学センサ７００は、ミラー１１０の垂直方向の傾き具合を検出する。本実施形態の光学センサ７００の出力は、直接フロントエンドＩＣ４００へ供給される。

【0150】

以下に本実施形態の光走査モジュール１００Ｃについて説明する。図２４は、第七の実施形態の光走査モジュールを説明する第一の図である。

【0151】

本実施形態の光走査モジュール１００Ｃでは、光走査装置１００Ｄの下に光学センサ７００が配置される。本実施形態では、光走査装置１００Ｄのミラー１１０、ミラー支持部１２０、捻れ梁１３０、連結梁１４０、第一の駆動梁１５０Ａ、１５０Ｂ、可動枠１６０を含む領域を可動部Ｋとしたとき、光学センサ７００は、可動部Ｋと一部が重なるように光走査装置１００Ｄの下に配置されている。

【0152】

図２５は、第七の実施形態の光走査モジュールを説明する第二の図である。図２５は、図２４に示す光走査モジュール１００ＣのＡ−Ａ断面図である。光走査モジュール１００Ｃにおいて、光走査装置１００Ｄは、セラミックパッケージ７１０に固定されており、光学センサ７００は、セラミックパッケージ７１０と光走査装置１００Ｄとの間に配置されている。この状態において、光学センサ７００は、光走査装置１００Ｄの可動部Ｋと一部が重なるように配置される。

【0153】

本実施形態の光学センサ７００は、発光素子と受光素子とを有する。発光素子から発光された光は、例えばその一部が可動部Ｋに反射される。可動部Ｋは、４つの駆動源１５１Ａ、１５１Ｂ、１７１Ａ、１７１Ｂにより揺動されるミラー１１０の傾きに追従して揺動する。したがって、可動部Ｋにおいて発光素子から発光された光が照射される位置も、ミラー１１０の傾きに追従して揺動する。このため発光素子から発光した光の戻り光の光量は、可動部Ｋの傾きに応じて変化する。本実施形態の光学センサ７００は、発光した光の戻り光の光量に基づきミラー１１０の垂直方向の傾き具合を検出する。

【0154】

図２６は、光学センサを説明する図である。本実施形態の光学センサ７００は、発光素子であるフォトダイオード７２０と、受光素子であるフォトトランジスタ７３０とを有する。本実施形態の光学センサ７００は、例えばパッケージ化されたものである。

【0155】

以下に本実施形態の光学センサ７００の配置位置について説明する。図２７は、光学センサの配置位置を説明する図である。

【0156】

本実施形態の光学センサ７００は、発光素子と受光素子とを有し、光走査装置１００Ｄの下に配置される。

【0157】

本実施形態の光学センサ７００は、可動部Ｋと一部が重なるように配置される。すなわち光学センサ７００の発光素子７２０から発光される光は、ミラー１１０が垂直方向に傾いていない場合、その一部が可動部Ｋにより遮蔽される。そしてミラー１１０が垂直方向に傾くと、発光素子７２０から発光される光は、例えば可動部Ｋにより遮蔽される光量が減り、戻り光の光量が減る。本実施形態では、ミラー１１０の垂直方向の傾きが最大となったとき、発光素子７２０から発光された光が遮蔽されない位置に光学センサ７００を配置しても良い。

【0158】

また本実施形態では、光学センサ７００における発光素子７２０と受光素子７３０とが、Ｘ１−Ｘ２方向に並ぶように光学センサ７００を配置することが好ましい。またこのとき、光学センサ７００の外径の中心と、ミラー１１０の軸中心とが一致していることが好ましい。さらに本実施形態の光学センサ７００は、固定枠１８０と一部が重なるように配置されていても良い。

【0159】

本実施形態の光学センサ７００の配置は、光学センサ７００の出力が最もミラー１１０の傾きの実測値に近くなる位置に配置される。

【0160】

光学センサ７００の配置位置の決め方を説明する。本実施形態では、固定枠１８０の内側の端面Ｅ１から光学センサ７００のミラー１１０よりの端面Ｅ２までの距離が６００μｍの所を初期位置とし、光学センサ７００の外径の中心がミラー１１０の軸中心と一致した状態で、光学センサ７００の位置をＹ２−Ｙ１方向へ動かす。そして光学センサ７００を配置した各場所において、光学センサ７００の出力と実測値とを比較し、実測値と最も近いか又はほぼ同様の出力を得られる位置を光学センサ７００の配置位置に決める。

【0161】

以下にミラー１１０の垂直方向の傾きの実測値の測定について説明する。図２８は、ミラーの垂直方向の傾きの測定について説明する図である。

【0162】

本実施形態では、光走査装置１００Ｃを測定装置２８０に設置し、ＬＤ（Laser Diode）２８１から出射する光を揺動するミラー１１０に照射し、ＬＤ２８１の反射光をＰＳＤ（Position Sensitive Detector）に受光させる。ＰＳＤ２８２から出力される光量に応じた電圧が、ミラー１１０の垂直方向の傾き（変位）を示す実測値となる。

【0163】

以下に実測値と光学センサ７００の出力とを比較した結果について説明する。図２９は、実測値と光学センサの出力との比較結果を示す第一の図である。

【0164】

図２９は、光学センサ７００を初期位置からＹ１方向（図２６参照）に向かって５５０μｍの位置に配置した場合を示す。図２９では、固定枠１８０の端面Ｅ１と光学センサ７００の端面Ｅ２との距離Ｈは、６００μｍ＋５５０μｍとなる。この場合光学センサ７００は、Ｙ２方向側の可動枠１６０と一部が重なる位置に配置される。図２９では、点線で示すＰＳＤ２８２の出力（実測値）の各ピークの値と、実線で示す光学センサ７００の出力の各ピークの値とを比較すると、若干のずれはあるが、光学センサ７００の出力はほぼ実測値と同様の波形と言える。よって本実施形態では、光学センサ７００を距離Ｈ＝６００μｍ＋５５０μｍの位置、つまりＹ２方向側の可動枠１６０と一部が重なる位置に配置しても良い。

【0165】

図３０は、実測値と光学センサの出力との比較結果を示す第二の図である。図３０は、光学センサ７００を初期位置からＹ１方向（図２６参照）に向かって１０００μｍの位置に配置した場合を示す。図３０では、固定枠１８０の端面Ｅ１と光学センサ７００の端面Ｅ２との距離Ｈは、６００μｍ＋１０００μｍとなる。この場合光学センサ７００は、ミラー１１０と一部が重なる位置に配置される。図３０でも、点線で示すＰＳＤ２８２の出力（実測値）の各ピークの値と、実線で示す光学センサ７００の出力の各ピークの値とを比較すると、若干のずれはあるが、光学センサ７００の出力はほぼ実測値と同様の波形と言える。よって本実施形態では、光学センサ７００を距離Ｈ＝６００μｍ＋１０００μｍの位置、つまりミラー１１０と一部が重なる位置に配置しても良い。

【0166】

図３１は、実測値と光学センサの出力との比較結果を示す第三の図である。図３１は、光学センサ７００を初期位置からＹ１方向（図２６参照）に向かって３８５０μｍの位置に配置した場合を示す。図３１では、固定枠１８０の端面Ｅ１と光学センサ７００の端面Ｅ２との距離Ｈは、６００μｍ＋３８５０μｍとなる。この場合光学センサ７００は、Ｙ１方向側の可動枠１６０と一部が重なる位置に配置される。

【0167】

この場合光学センサ７００の出力はＹ２方向側の可動枠１６０に重なるように配置された場合の出力と比べ、逆相の信号となる。そこで図３１の例では、光学センサ７００の出力の位相を反転させた信号を光学センサ７００の出力として実測値と比較している。

【0168】

図３１では、点線で示すＰＳＤ２８２の出力（実測値）と、実線で示す光学センサ７００の出力とがほぼ一致している。また図３１の比較結果は、実測値と光学センサ７００の出力のピークの重なり方を比較すると、図２９、図３０に示す比較結果よりも、光学センサ７００の出力が実測値に近いと言える。

【0169】

本実施形態の光走査モジュール１００Ｄでは、ミラー１１０を垂直方向に揺動する際にＹ１方向側の可動枠１６０が軸となる。図２９乃至図３１の比較結果から、本実施形態では、垂直方向の揺動の軸となる側の可動枠１６０に近い方に光学センサ７００を配置した方が、ミラー１１０の傾きを精度良く検出できることがわかる。

【0170】

よって本実施形態では、光学センサ７００を距離Ｈ＝６００μｍ＋３８５０μｍの位置、つまりＹ１方向側の可動枠１６０と一部が重なる位置に配置しても良い。

【0171】

尚本実施形態では、光学センサ７００をミラー１１０の中心軸上に配置するものとしたが、これに限定されない。例えば光学センサ７００は、ミラー１１０と第１の駆動梁１５０Ａとに一部が重なるように配置されても良いし、ミラー１１０と第１の駆動梁１５０Ｂとに一部が重なるように配置されても良い。また光学センサ７００は、ミラー１１０と一部が重なるように配置されても良い。

【0172】

本実施形態の光学センサ７００は、実測値と比較して、十分にミラー１１０の傾きが検出されていると判断される場合であれば、可動部Ｋのどの位置に配置されても良い。

【0173】

このように本実施形態では、ミラー１１０の垂直方向の傾きを検出する際に、圧電センサの代わりに光学センサ７００を用いることで、センサ配線のノイズに関する考慮を不要とし、ミラーの傾きを高精度に検出することができる。

【0174】

以上、各実施形態に基づき本発明の説明を行ってきたが、上記実施形態に示した要件に本発明が限定されるものではない。これらの点に関しては、本発明の主旨をそこなわない範囲で変更することができ、その応用形態に応じて適切に定めることができる。

【符号の説明】

【0175】

１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｄ 光走査装置
３００、３００Ａ、３００Ｂ 光走査制御装置
１００Ｃ 光走査モジュール
１１０ ミラー
１２０ ミラー支持部
１３０ 捻れ梁
１４０ 連結梁
１５０Ａ、１５０Ｂ 第１の駆動梁
１５１Ａ、１５１Ｂ、１７１Ａ、１７１Ｂ 駆動源
１６０ 可動枠
１７０Ａ、１７０Ｂ 第２の駆動梁
１８０ 固定枠
１９１、１９５、１９６ 圧電センサ
２０１、２０２、２０７Ａ、２０７Ｂ、２０８Ａ、２０８Ｂ センサ配線
２０３、２０４、２０５、２０６、２１０Ａ、２１０Ｂ 駆動配線
２２０、２２０Ａ、２２１、２２１Ａ ガードパターン
７００ 光学センサ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】