特許5987968放電イオン化電流検出器及びその調整方法

発明の名称　放電イオン化電流検出器及びその調整方法

出願人　株式会社島津製作所　（識別番号 1993）

　　　　特許公開件数ランキング 222 位（149件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 97 位（258件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5987968

公報発行日　2016年9月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5987968

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