特許 5988916 パイロット形電磁弁

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5988916

(24)【登録日】2016年8月19日

(45)【発行日】2016年9月7日

(54)【発明の名称】パイロット形電磁弁

(51)【国際特許分類】

   F16K 31/06 20060101AFI20160825BHJP

   F16K 37/00 20060101ALI20160825BHJP

【ＦＩ】

   F16K31/06 320B

   F16K37/00 E

【請求項の数】4

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2013-109071(P2013-109071)

(22)【出願日】2013年5月23日

(65)【公開番号】特開2014-228081(P2014-228081A)

(43)【公開日】2014年12月8日

【審査請求日】2015年1月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 新治

(72)【発明者】

【氏名】近藤 健元

【審査官】 関 義彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−２７３６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１３９２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１２−５０８８５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５７−１３７７８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１２／１７２４０７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｋ ３１／０６

Ｆ１６Ｋ ３７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

バルブケーシングには、給気ポート、第１出力ポート及び第２出力ポートにそれぞれ連通する収容孔が形成されており、前記収容孔にはスプール弁が往復動可能に収容されており、前記バルブケーシングにおける前記スプール弁の端部側にはピストン室が形成されており、前記ピストン室にはピストンが往復動可能に収容されており、前記ピストンにより前記ピストン室にパイロット圧作用室が区画されており、前記ピストンには遮光体が設けられるとともに、パイロット弁部の電磁駆動部への通電がオンになると、前記パイロット圧作用室にパイロット圧としてのパイロット流体が供給されて、前記スプール弁が一端側へ移動して前記給気ポートと前記第１出力ポートとが連通するとともに、前記電磁駆動部への通電がオフになると、前記パイロット圧作用室への前記パイロット流体の供給が行われなくなって、前記スプール弁が他端側へ移動して前記給気ポートと前記第２出力ポートとが連通するパイロット形電磁弁であって、
投受光型の光センサを一つ有するとともに、
前記光センサからの光を受光した時間を算出する制御部を有し、
前記制御部は、前記電磁駆動部への通電がオンされて前記給気ポートと前記第１出力ポートとが連通したときに前記遮光体が前記光センサからの光を遮光可能な遮光位置から離脱するまでの離脱時間を算出するとともに、前記電磁駆動部への通電がオフされて前記給気ポートと前記第２出力ポートとが連通したときに前記遮光体が前記遮光位置に到達するまでの到達時間を算出することを特徴とするパイロット形電磁弁。

【請求項2】

バルブケーシングには、給気ポート、第１出力ポート及び第２出力ポートにそれぞれ連通する収容孔が形成されており、前記収容孔にはスプール弁が往復動可能に収容されており、前記バルブケーシングにおける前記スプール弁の端部側にはピストン室が形成されており、前記ピストン室にはピストンが往復動可能に収容されており、前記ピストンにより前記ピストン室にパイロット圧作用室が区画されており、前記ピストンには遮光体が設けられるとともに、パイロット弁部の電磁駆動部への通電がオンになると、前記パイロット圧作用室にパイロット圧としてのパイロット流体が供給されて、前記スプール弁が一端側へ移動して前記給気ポートと前記第１出力ポートとが連通するとともに、前記電磁駆動部への通電がオフになると、前記パイロット圧作用室への前記パイロット流体の供給が行われなくなって、前記スプール弁が他端側へ移動して前記給気ポートと前記第２出力ポートとが連通するパイロット形電磁弁であって、
投受光型の光センサを一つ有するとともに、
前記光センサからの光を受光した時間を算出する制御部を有し、
前記制御部は、前記電磁駆動部への通電がオンされて前記給気ポートと前記第１出力ポートとが連通したときに前記遮光体が前記光センサからの光を遮光可能な遮光位置に到達するまでの到達時間を算出するとともに、前記電磁駆動部への通電がオフされて前記給気ポートと前記第２出力ポートとが連通したときに前記遮光体が前記遮光位置から離脱するまでの離脱時間を算出することを特徴とするパイロット形電磁弁。

【請求項3】

前記遮光体は、前記ピストンを介して前記スプール弁に固定されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のパイロット形電磁弁。

【請求項4】

前記バルブケーシングは、前記遮光体における前記スプール弁の軸方向に沿った移動を案内する案内壁を有していることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のパイロット形電磁弁。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、パイロット形電磁弁に関する。

【背景技術】

【0002】

パイロット形電磁弁のバルブケーシングには、給気ポートと、第１及び第２出力ポートと、第１及び第２排気ポートとが形成されている。また、バルブケーシングには、各ポートに連通する収容孔が形成されており、収容孔にはスプール弁が往復動可能に収容されている。さらに、バルブケーシングにおけるスプール弁の一端側には第１ピストン室が形成されるとともに、バルブケーシングにおけるスプール弁の他端側には第２ピストン室が形成されている。第１ピストン室には大径の第１ピストンが往復動可能に収容されるとともに、第２ピストン室には第１ピストンよりも小径の第２ピストンが往復動可能に収容されている。そして、第１ピストンにより第１ピストン室に第１パイロット圧作用室が区画されるとともに、第２ピストンにより第２ピストン室に第２パイロット圧作用室が区画されている。

【0003】

スプール弁は、第１及び第２パイロット圧作用室に対するパイロット圧の供給に基づいて収容孔内を往復動する。具体的には、第１パイロット圧作用室は、第１パイロット流路を介して給気ポートに連通している。第１パイロット流路は、パイロット形電磁弁が備えるパイロット弁部により開閉される。また、第２パイロット圧作用室は、第２パイロット流路を介して給気ポートに常時連通している。

【0004】

そして、パイロット弁部が備える電磁駆動部への通電がオンになると、パイロット弁部が開弁して、第１パイロット圧作用室にパイロット圧として圧縮空気（パイロット流体）が供給される。すると、第１ピストンと第２ピストンの受圧面積の差から、第１ピストンに作用する圧縮空気のパイロット圧によって第１ピストンが第２ピストン室側へ押圧されて、スプール弁が第２ピストン室側へ移動する。その結果、給気ポートと第１出力ポートとが連通し、給気ポートから供給された圧縮空気が第１出力ポートを介してアクチュエータに供給される。

【0005】

また、電磁駆動部への通電がオフになると、パイロット弁部が閉弁して、第１パイロット圧作用室への圧縮空気の供給が行われなくなる。すると、第２パイロット圧作用室に供給されている圧縮空気のパイロット圧によって第２ピストンが第１ピストン室側へ押圧されて、スプール弁が第１ピストン室側へ移動する。その結果、給気ポートと第２出力ポートとが連通し、給気ポートから供給された圧縮空気が第２出力ポートを介してアクチュエータに供給される。

【0006】

ところで、例えば特許文献１では、スプール弁が収容孔内で往復動が行われているか否かを検出するために、光センサを使用してスプール弁の位置を検出することが行われている。第１ピストンには被検出部（反射体）が設けられている。被検出部は、スプール弁が第２ピストン室側へ移動してストローク端に到達したときに、光センサからの光を反射可能な反射位置に到達するようになっている。そして、光センサが、被検出部によって反射された反射光を受光することにより、第１ピストンを介してスプール弁の位置が検出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００１−２７３６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、パイロット形電磁弁は、例えば、経年変化に伴ってバルブ性能が低下する。すると、給気ポートと第１出力ポートとの連通のタイミング、及び給気ポートと第２出力ポートとの連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れてしまうといった問題が生じる。そこで、給気ポートと第１出力ポートとの連通のタイミング、及び給気ポートと第２出力ポートとの連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れているか否かを、光センサを利用することで把握することが考えられる。

【0009】

例えば特許文献１においては、電磁駆動部への通電がオンになってから、被検出部が反射位置に到達するまでの到達時間と、電磁駆動部への通電がオフになってから、被検出部が、反射位置から離脱するまでの離脱時間とを把握することができる。ここで、離脱時間は到達時間に比べて非常に短く、これら到達時間と離脱時間とは時間に大きなずれがあるため、給気ポートと第１出力ポートとの連通のタイミング、及び給気ポートと第２出力ポートとの連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れているか否かを、到達時間及び離脱時間に基づいて把握することは困難である。

【0010】

そこで、例えば、第１ピストン及び第２ピストンに被検出部をそれぞれ設ける。さらに、パイロット形電磁弁に光センサを二つ配設する。そして、電磁駆動部への通電がオンになってから所定の時間経過したときに、第１ピストンに設けられた被検出部が、一方の光センサからの光を反射可能な反射位置に到達するようにする。さらに、電磁駆動部への通電がオフになってから所定の時間経過したときに、第２ピストンに設けられた被検出部が、他方の光センサからの光を反射可能な反射位置に到達するようにする。ここでは、パイロット形電磁弁のバルブ性能が低下しておらず正常に動作している際には、電磁駆動部への通電がオンになってから所定の時間経過すると、給気ポートと第１出力ポートとが連通するとともに、電磁駆動部への通電がオフになってから所定の時間経過すると、給気ポートと第２出力ポートとが連通するようになっている。

【0011】

そして、電磁駆動部への通電がオンになってから所定の時間経過しても、第１ピストンに設けられた被検出部が反射位置に到達せず、電磁駆動部への通電がオフになってから所定の時間経過しても、第２ピストンに設けられた被検出部が反射位置に到達しなかったとする。これによれば、給気ポートと第１出力ポートとの連通のタイミング、及び給気ポートと第２出力ポートとの連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れていることを把握することができ、パイロット電磁弁のバルブ性能が低下していることを把握することができる。

【0012】

しかし、第１ピストン及び第２ピストンに被検出部をそれぞれ設けるとともに、パイロット形電磁弁に光センサを二つ配設する必要があるため、パイロット形電磁弁が大型化してしまう。

【0013】

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、光センサを一つ用いるだけで、給気ポートと第１出力ポートとの連通のタイミング、及び給気ポートと第２出力ポートとの連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れているか否かを把握することができるパイロット形電磁弁を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0014】

上記課題を解決するパイロット形電磁弁は、バルブケーシングには、給気ポート、第１出力ポート及び第２出力ポートにそれぞれ連通する収容孔が形成されており、前記収容孔にはスプール弁が往復動可能に収容されており、前記バルブケーシングにおける前記スプール弁の端部側にはピストン室が形成されており、前記ピストン室にはピストンが往復動可能に収容されており、前記ピストンにより前記ピストン室にパイロット圧作用室が区画されており、前記ピストンには遮光体が設けられるとともに、パイロット弁部の電磁駆動部への通電がオンになると、前記パイロット圧作用室にパイロット圧としてのパイロット流体が供給されて、前記スプール弁が一端側へ移動して前記給気ポートと前記第１出力ポートとが連通するとともに、前記電磁駆動部への通電がオフになると、前記パイロット圧作用室への前記パイロット流体の供給が行われなくなって、前記スプール弁が他端側へ移動して前記給気ポートと前記第２出力ポートとが連通するパイロット形電磁弁であって、投受光型の光センサを一つ有するとともに、前記光センサからの光を受光した時間を算出する制御部を有し、前記制御部は、前記電磁駆動部への通電がオンされて前記給気ポートと前記第１出力ポートとが連通したときに前記遮光体が前記光センサからの光を遮光可能な遮光位置から離脱するまでの離脱時間を算出するとともに、前記電磁駆動部への通電がオフされて前記給気ポートと前記第２出力ポートとが連通したときに前記遮光体が前記遮光位置に到達するまでの到達時間を算出する。

【0015】

上記課題を解決するパイロット形電磁弁は、バルブケーシングには、給気ポート、第１出力ポート及び第２出力ポートにそれぞれ連通する収容孔が形成されており、前記収容孔にはスプール弁が往復動可能に収容されており、前記バルブケーシングにおける前記スプール弁の端部側にはピストン室が形成されており、前記ピストン室にはピストンが往復動可能に収容されており、前記ピストンにより前記ピストン室にパイロット圧作用室が区画されており、前記ピストンには遮光体が設けられるとともに、パイロット弁部の電磁駆動部への通電がオンになると、前記パイロット圧作用室にパイロット圧としてのパイロット流体が供給されて、前記スプール弁が一端側へ移動して前記給気ポートと前記第１出力ポートとが連通するとともに、前記電磁駆動部への通電がオフになると、前記パイロット圧作用室への前記パイロット流体の供給が行われなくなって、前記スプール弁が他端側へ移動して前記給気ポートと前記第２出力ポートとが連通するパイロット形電磁弁であって、投受光型の光センサを一つ有するとともに、前記光センサからの光を受光した時間を算出する制御部を有し、前記制御部は、前記電磁駆動部への通電がオンされて前記給気ポートと前記第１出力ポートとが連通したときに前記遮光体が前記光センサからの光を遮光可能な遮光位置に到達するまでの到達時間を算出するとともに、前記電磁駆動部への通電がオフされて前記給気ポートと前記第２出力ポートとが連通したときに前記遮光体が前記遮光位置から離脱するまでの離脱時間を算出する。

【0016】

上記パイロット形電磁弁において、前記遮光体は、前記ピストンを介して前記スプール弁に固定されていることが好ましい。
上記パイロット形電磁弁において、前記バルブケーシングは、前記遮光体における前記スプール弁の軸方向に沿った移動を案内する案内壁を有していることが好ましい。

【発明の効果】

【0017】

この発明によれば、光センサを一つ用いるだけで、給気ポートと第１出力ポートとの連通のタイミング、及び給気ポートと第２出力ポートとの連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れているか否かを把握することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】実施形態におけるパイロット形電磁弁の部分断面図。

【図2】スプール弁が第２ピストン室側のストローク端に達した状態を示すパイロット形電磁弁の部分断面図。

【図3】パイロット形電磁弁の縦断面図。

【図4】パイロット形電磁弁の電気的構成を示すブロック図。

【図5】給気ポートと第１出力ポートとが連通した状態を示すパイロット形電磁弁の部分断面図。

【図6】給気ポートと第２出力ポートとが連通した状態を示すパイロット形電磁弁の部分断面図。

【図7】給気ポートと第１出力ポートとの連通、及び給気ポートと第２出力ポートとの連通が遮断された状態を示すパイロット形電磁弁の部分断面図。

【図8】スプール弁が第１ピストン室側のストローク端に位置した状態から第２ピストン室側へ移動している際のスプール弁の動作に関するタイムチャート。

【図9】スプール弁が第２ピストン室側のストローク端に位置した状態から第１ピストン室側へ移動している際のスプール弁の動作に関するタイムチャート。

【図10】別の実施形態におけるパイロット形電磁弁の一部分を示す部分断面図。

【図11】別の実施形態におけるパイロット形電磁弁の部分断面図。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図９にしたがって説明する。
図１に示すように、パイロット形電磁弁１０のバルブケーシング１１には、給気ポート１２、第１出力ポート１３、第２出力ポート１４、第１排気ポート１５及び第２排気ポート１６が形成されている。給気ポート１２、第１出力ポート１３、第２出力ポート１４、第１排気ポート１５及び第２排気ポート１６は、バルブケーシング１１の長さ方向において、一端側から他端側にかけて第１排気ポート１５、第１出力ポート１３、給気ポート１２、第２出力ポート１４及び第２排気ポート１６の順に並んで配置されている。

【0020】

バルブケーシング１１には、バルブケーシング１１の長さ方向に延びる収容孔１７が形成されている。収容孔１７は、給気ポート１２、第１出力ポート１３、第２出力ポート１４、第１排気ポート１５及び第２排気ポート１６にそれぞれ連通している。収容孔１７内には、圧縮空気（圧縮流体）の流路を切り換えるスプール弁１８が往復動可能に収容されている。

【0021】

収容孔１７において、第１排気ポート１５と第１出力ポート１３との間には第１弁座２１が形成されている。また、収容孔１７において、第１出力ポート１３と給気ポート１２との間には第２弁座２２が形成されている。さらに、収容孔１７において、給気ポート１２と第２出力ポート１４との間には第３弁座２３が形成されている。また、収容孔１７において、第２出力ポート１４と第２排気ポート１６との間には第４弁座２４が形成されている。

【0022】

スプール弁１８には、スプール弁１８の軸方向において互いに離間して配置される第１〜第４弁部３１〜３４が設けられている。第１〜第４弁部３１〜３４の直径は、スプール弁１８の軸径よりも大きく設定されている。第１〜第４弁部３１〜３４の外周面には、第１〜第４弁座２１〜２４に着座して第１〜第４弁座２１〜２４と第１弁部３１〜３４との間をそれぞれシールするシール部材３５が装着されている。

【0023】

バルブケーシング１１におけるスプール弁１８の一端部側には、ピストン室としての第１ピストン室４１が形成されている。第１ピストン室４１と第１排気ポート１５との間は、スプール弁１８の一端側に設けられたシール部３６によりシールされている。第１ピストン室４１にはピストンとしての第１ピストン４１ａが往復動可能に収容されている。第１ピストン４１ａは、スプール弁１８の一端部に装着されている。そして、第１ピストン４１ａにより第１ピストン室４１にパイロット圧作用室としての第１パイロット圧作用室５１が区画されている。

【0024】

バルブケーシング１１におけるスプール弁１８の他端部側には、ピストン室としての第２ピストン室４２が形成されている。第２ピストン室４２と第２排気ポート１６との間は、スプール弁１８の他端側に設けられたシール部３７によりシールされている。第２ピストン室４２にはピストンとしての第２ピストン４２ａが往復動可能に収容されている。第２ピストン４２ａは、第１ピストン４１ａよりも小径であるとともに、スプール弁１８の他端部に装着されている。そして、第２ピストン４２ａにより第２ピストン室４２にパイロット圧作用室としての第２パイロット圧作用室５２が区画されている。

【0025】

バルブケーシング１１の一端側端面には、パイロット弁部６０が設けられている。パイロット弁部６０は、パイロット圧を制御する電磁駆動部６１（図１において二点鎖線で示す）を備えている。また、パイロット形電磁弁１０は、電磁駆動部６１への通電を行う給電部６２を備えている。なお、パイロット弁部６０は、電磁駆動部６１への通電によって開閉される公知の電磁弁であるため、その詳細な説明を省略する。本実施形態のパイロット形電磁弁１０は、一つのパイロット弁部６０が搭載されたシングルソレノイドタイプのものである。

【0026】

スプール弁１８は、第１パイロット圧作用室５１及び第２パイロット圧作用室５２に対するパイロット圧の供給に基づいて収容孔１７内を往復動する。具体的には、第１パイロット圧作用室５１は、第１パイロット流路（図示せず）を介して給気ポート１２に連通している。第１パイロット流路は、パイロット弁部６０により開閉される。また、第２パイロット圧作用室５２は、第２パイロット流路（図示せず）を介して給気ポート１２に常時連通している。

【0027】

図２に示すように、電磁駆動部６１への通電がオンになると、パイロット弁部６０が開弁して、第１パイロット圧作用室５１にパイロット圧として圧縮空気（パイロット流体）が供給される。すると、第１ピストン４１ａと第２ピストン４２ａの受圧面積の差から、第１ピストン４１ａに作用する圧縮空気のパイロット圧によって第１ピストン４１ａが第２ピストン室４２側へ押圧されて、スプール弁１８が第２ピストン室４２側へ移動する。その結果、給気ポート１２と第１出力ポート１３とが連通し、給気ポート１２から供給された圧縮空気が第１出力ポート１３を介してアクチュエータ（図示せず）に供給される。

【0028】

スプール弁１８が第２ピストン室４２側のストローク端に達した状態から、電磁駆動部６１への通電がオフになると、パイロット弁部６０が閉弁して、第１パイロット圧作用室５１への圧縮空気の供給が行われなくなり、第１パイロット圧作用室５１の圧縮空気は、パイロット弁部６０に設けられた排気ポート（図示せず）より排出される。すると、第２パイロット圧作用室５２に供給されている圧縮空気のパイロット圧によって第２ピストン４２ａが第１ピストン室４１側へ押圧されて、スプール弁１８が第１ピストン室４１側へ移動する。その結果、給気ポート１２と第２出力ポート１４とが連通し、給気ポート１２から供給された圧縮空気が第２出力ポート１４を介してアクチュエータに供給される。

【0029】

図３に示すように、第１ピストン４１ａには遮光体４３が設けられている。遮光体４３は円柱状であるとともに、一端部が第１ピストン４１ａに固定されており、他端部が第１ピストン４１ａからバルブケーシング１１の上方に向けて延びている。バルブケーシング１１は、遮光体４３におけるスプール弁１８の軸方向に沿った移動を案内する一対の案内壁４４を有する。そして、遮光体４３は、一対の案内壁４４の間に配置された状態で、第１ピストン４１ａの往復動に追従して、一対の案内壁４４に案内されながらスプール弁１８の軸方向に沿って移動する。

【0030】

また、パイロット形電磁弁１０は、投受光型の光センサ４５を一つ有する。光センサ４５は、光を出射する投光部４５ａを有する投光部支持部４５１と、投光部４５ａに対向配置される受光部４５ｂを有する受光部支持部４５２と、投光部支持部４５１と受光部支持部４５２とを繋ぐ連繋部４５３とから構成されている。そして、遮光体４３は、投光部４５ａと受光部４５ｂとの間を通過すると、投光部４５ａから出射された光を遮光するようになっている。

【0031】

図４に示すように、光センサ４５への通電は給電部６２により行われる。また、光センサ４５は制御部６３に信号接続されており、光センサ４５において、投光部４５ａから出射された光が受光部４５ｂに受光された旨の信号が制御部６３に送られる。本実施形態では、光センサ４５への通電と、制御部６３への通電とが同一の給電部６２により行われている。

【0032】

図５に示すように、スプール弁１８が第１ピストン室４１側のストローク端に位置した状態から、電磁駆動部６１への通電がオンされて、スプール弁１８が第２ピストン室４２側へ移動し、第２弁部３２のシール部材３５が第２弁座２２から離脱すると、給気ポート１２と第１出力ポート１３とが連通する。このとき、遮光体４３が光センサ４５の投光部４５ａから出射された光を遮光可能な遮光位置から完全に離脱し、投光部４５ａから出射された光が受光部４５ｂに完全に受光されるようになる。このように、電磁駆動部６１への通電がオンされて給気ポート１２と第１出力ポート１３とが連通したときに遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置から離脱するように、第２弁部３２のシール部材３５及び第２弁座２２の配置が設定されている。

【0033】

図６に示すように、スプール弁１８が第２ピストン室４２側のストローク端に位置した状態から、電磁駆動部６１への通電がオフされて、スプール弁１８が第１ピストン室４１側へ移動し、第３弁部３３のシール部材３５が第３弁座２３から離脱すると、給気ポート１２と第２出力ポート１４とが連通する。このとき、遮光体４３が光センサ４５の投光部４５ａから出射された光を遮光可能な遮光位置に完全に到達し、投光部４５ａから出射された光が遮光体４３により完全に遮光されるようになる。よって、投光部４５ａから出射された光が受光部４５ｂに完全に受光されなくなる。このように、電磁駆動部６１への通電がオフされて給気ポート１２と第２出力ポート１４とが連通したときに遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置に到達するように、第３弁部３３のシール部材３５及び第３弁座２３の配置が設定されている。

【0034】

図７に示すように、スプール弁１８が第１ピストン室４１側のストローク端に位置した状態から、電磁駆動部６１への通電がオンされて、スプール弁１８が第２ピストン室４２側へ移動し、第２弁部３２のシール部材３５が第２弁座２２に着座しているとともに、第３弁部３３のシール部材３５が第３弁座２３に着座しているとする。この状態では、遮光体４３が光センサ４５の投光部４５ａから出射された光を遮光可能な遮光位置から半分だけ離脱した状態になっている。すなわち、投光部４５ａから出射された光が受光部４５ｂに半分だけ受光された状態になっている。

【0035】

また、スプール弁１８が第２ピストン室４２側のストローク端に位置した状態から、電磁駆動部６１への通電がオフされて、スプール弁１８が第１ピストン室４１側へ移動し、第２弁部３２のシール部材３５が第２弁座２２に着座しているとともに、第３弁部３３のシール部材３５が第３弁座２３に着座しているとする。この状態では、遮光体４３が光センサ４５の投光部４５ａから出射された光を遮光可能な遮光位置に半分だけ到達した状態になっている。すなわち、投光部４５ａから出射された光が受光部４５ｂに半分だけ受光された状態になっている。

【0036】

制御部６３は、電磁駆動部６１への通電がオンになってから、投光部４５ａから出射された光が受光部４５ｂに完全に受光されるまでの時間Ｔ１を算出可能になっている。この時間Ｔ１は、電磁駆動部６１への通電がオンになってから、遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置から完全に離脱するまでの離脱時間に相当する。また、制御部６３は、電磁駆動部６１への通電がオフになってから、投光部４５ａから出射された光が受光部４５ｂに完全に受光されなくなるまでの時間Ｔ２を算出可能になっている。この時間Ｔ２は、電磁駆動部６１への通電がオフになってから、遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置に完全に到達するまでの到達時間に相当する。

【0037】

次に、本実施形態の作用について説明する。
図８に示すように、制御部６３により算出された時間Ｔ１が予め定められた所定の時間であった場合、給気ポート１２と第１出力ポート１３との連通のタイミングが所望のタイミングで行われていることが把握される。

【0038】

図９に示すように、制御部６３により算出された時間Ｔ２が予め定められた所定の時間であった場合、給気ポート１２と第２出力ポート１４との連通のタイミングが所望のタイミングで行われていることが把握される。

【0039】

一方、制御部６３により算出された時間Ｔ１が予め定められた所定の時間よりも長かったとする。すなわち、電磁駆動部６１への通電がオンになってから所定の時間経過しても、遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置から完全に離脱しなかったとする。これによれば、給気ポート１２と第１出力ポート１３との連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れていることが把握される。

【0040】

また、制御部６３により算出された時間Ｔ２が予め定められた所定の時間よりも長かったとする。すなわち、電磁駆動部６１への通電がオフになってから所定の時間経過しても、遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置に完全に到達しなかったとする。これによれば、給気ポート１２と第２出力ポート１４との連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れていることが把握される。

【0041】

上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）パイロット形電磁弁１０は光センサ４５を一つ有する。そして、電磁駆動部６１への通電がオンされて給気ポート１２と第１出力ポート１３とが連通したときに遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置から離脱するとともに、電磁駆動部６１への通電がオフされて給気ポート１２と第２出力ポート１４とが連通したときに遮光体４３が遮光位置に到達する。これによれば、例えば、電磁駆動部６１への通電がオンになってから所定の時間経過しても、遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置から離脱しなかった場合、給気ポート１２と第１出力ポート１３との連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れていることを把握することができる。また、例えば、電磁駆動部６１への通電がオフになってから所定の時間経過しても、遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置に到達しなかった場合、給気ポート１２と第２出力ポート１４との連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れていることを把握することができる。すなわち、光センサ４５を一つ用いるだけで、給気ポート１２と第１出力ポート１３との連通のタイミング、及び給気ポート１２と第２出力ポート１４との連通のタイミングが所望のタイミングよりも遅れているか否かが把握可能となる。その結果、パイロット形電磁弁１０における経年変化に伴ったバルブ性能の低下を把握することができる。

【0042】

（２）バルブケーシング１１は、遮光体４３におけるスプール弁１８の軸方向に沿った移動を案内する一対の案内壁４４を有する。これによれば、遮光体４３を、第１ピストン４１ａの往復動に追従して、案内壁４４に案内されながらスプール弁１８の軸方向に沿って移動させることができ、遮光体４３が第１ピストン４１ａの周方向に回動して、遮光体４３が光センサ４５に干渉してしまうことを防止することができる。

【0043】

（３）本実施形態では、光センサ４５への通電と、制御部６３への通電とが同一の給電部６２により行われている。これによれば、光センサ４５への通電と、制御部６３への通電とを行う給電部とを別々に設ける場合に比べると、部品点数を削減することができ、パイロット形電磁弁１０を小型化することができる。

【0044】

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・ 図１０に示すように、遮光体４３が、第１ピストン４１ａを介してスプール弁１８に固定されていてもよい。これによれば、スプール弁１８の往復動に同期させて遮光体４３をスプール弁１８の軸方向に沿って移動させることができる。

【0045】

・ 図１１に示すように、実施形態において、第１ピストン４１ａに遮光体４３を設けずに、第２ピストン４２ａに遮光体４３を設けてもよい。そして、電磁駆動部６１への通電がオンされて給気ポート１２と第１出力ポート１３とが連通したときに遮光体４３が光センサ４５からの光を遮光可能な遮光位置に到達するとともに、電磁駆動部６１への通電がオフされて給気ポート１２と第２出力ポート１４とが連通したときに遮光体４３が遮光位置から離脱するようにしてもよい。

【0046】

・ 実施形態において、第２ピストン４２ａを削除してもよい。この場合、パイロット形電磁弁１０は、スプール弁１８を第１ピストン室４１側へ常時付勢するコイルスプリングを有している必要がある。これによれば、スプール弁１８が第２ピストン室４２側のストローク端に位置した状態から、電磁駆動部６１への通電がオフされると、スプール弁１８が、コイルスプリングの付勢力によって第１ピストン室４１側へ移動する。

【0047】

・ 実施形態において、案内壁４４を削除してもよい。
・ 実施形態において、光センサ４５への通電と、制御部６３への通電とを行う給電部とを別々に設けてもよい。

【0048】

・ 実施形態において、パイロット形電磁弁１０は、一対のパイロット弁部６０が搭載されたダブルソレノイドタイプのものであってもよい。
・ 実施形態において、パイロット流体としては、圧縮空気に限らず、圧縮された流体であれば他の流体でもよい。

【0049】

次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
（イ）前記パイロット弁部が一つ搭載されたシングルソレノイドタイプであることが好ましい。

【0050】

（ロ）前記光センサへの通電と、前記光センサからの信号が送られる制御部への通電とが同一の給電部により行われていることが好ましい。

【符号の説明】

【0051】

１０…パイロット形電磁弁、１１…バルブケーシング、１２…給気ポート、１３…第１出力ポート、１４…第２出力ポート、１７…収容孔、１８…スプール弁、４１…ピストン室としての第１ピストン室、４１ａ…ピストンとしての第１ピストン、４２…ピストン室としての第２ピストン室、４２ａ…ピストンとしての第２ピストン、４３…遮光体、４４…案内壁、４５…光センサ、５１…パイロット圧作用室としての第１パイロット圧作用室、５２…パイロット圧作用室としての第２パイロット圧作用室、６０…パイロット弁部、６１…電磁駆動部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】