特許 5989110 埃などの侵入を抑制する基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5989110

(24)【登録日】2016年8月19日

(45)【発行日】2016年9月7日

(54)【発明の名称】埃などの侵入を抑制する基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20160825BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20160825BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D85/38 R

【請求項の数】3

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2014-521075(P2014-521075)

(86)(22)【出願日】2012年6月15日

(86)【国際出願番号】JP2012065355

(87)【国際公開番号】WO2013186912

(87)【国際公開日】20131219

【審査請求日】2014年11月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000140890

【氏名又は名称】ミライアル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(74)【代理人】

【識別番号】100126000

【弁理士】

【氏名又は名称】岩池 満

(72)【発明者】

【氏名】金森 雄大

【審査官】 鈴木 和樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−１５４６９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１８４９２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１４１１０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−３０８１６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５２−００８００３（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ５３／０２

Ｂ６５Ｄ ８５／８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
前記開口周縁部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、
前記容器本体の一端部と当該一端部に対する他端部と結ぶ方向を手前奥行き方向といい、前記手前奥行き方向に直交する方向を直交方向という場合に、前記開口周縁部は、前記手前奥行き方向に沿う第１開口内面と、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞している状態において前記第１開口内面よりも前記直交方向の内側において前記直交方向に沿う第２開口内面と、前記シール部材よりも前記直交方向の内側において前記第２開口内面から延出する気流邪魔壁であって、前記容器本体開口部を閉塞している前記蓋体が前記開口周縁部から取り外された瞬間に前記容器本体の外部から流入して前記第１開口内面及び前記第２開口内面に沿って流れる気流の経路上に設けられる気流邪魔壁と、
を備え、
前記気流邪魔壁は、弾性変形可能であり、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞している状態において前記開口周縁部と前記蓋体の内面との間で圧縮されていると共に、前記蓋体が前記開口周縁部から取り外された場合において前記シール部材が前記開口周縁部から離れたときにも、前記蓋体の内面に当接している基板収納容器。

【請求項2】

前記気流邪魔壁は、通気性を有するフィルタを主体として構成される
請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

気流の前記経路上において前記気流邪魔壁における気流がぶつかる面は、前記手前奥行き方向に対して、前記直交方向の外側に向けて傾いている
請求項１に記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板収納容器に関し、特に、容器本体開口部を閉塞している蓋体が開口周縁部から取り外された瞬間に容器本体の外部から流入しようとする気流に伴う埃などの侵入を抑制する基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、シール部材と、を備える構成のものが、従来より知られている。容器本体は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、容器本体開口部を閉塞可能である。シール部材は、蓋体のシール部材取付部に取り付けられ、開口周縁部に当接可能であり、開口周縁部と蓋体との間に介在して開口周縁部に密着して当接することにより、蓋体と共に容器本体開口部を気密状態で閉塞する（例えば、下記特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３−１７０９６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このようなシール部材を備えた基板収納容器においては、容器本体（基板収納空間）の内部から基板を取り出すために、容器本体開口部を閉塞している蓋体を開口周縁部から取り外そうとする（開こうとすると）と、開口周縁部に密着して当接しているシール部材は、奥行き方向に長くなる。そのため、容器本体と蓋体とによって形成される内部空間の容積は大きくなる。また、蓋体を開口周縁部から取り外す過程において、容器本体の内部は一時的に負圧になる。そして、蓋体が開口周縁部から取り外された瞬間に、容器本体の外部から内部に、気流が流入する。この気流に伴って、埃（塵を含む）なども容器本体の外部から内部に侵入する場合がある。そして、侵入した埃などが半導体ウェーハ等の基板に付着して、その基板が汚染されて不良となる虞がある。

【0005】

気流の速度を遅くする手段として、例えば、蓋体を開く速度を遅くして、内部空間の内部の圧力の変化を緩やかにしたり、あるいは、シール部材の気密性を低下させて、内部空間の内部の圧力と外部の圧力との差を少なくすることが考えられる。しかし、前者では、基板収納容器からの基板の取り出し効率（所要時間）が低下し、後者では、シール部材の気密性の低下に起因する埃などの侵入が起こりやすい。

【0006】

本発明は、容器本体開口部を閉塞している蓋体を開口周縁部から取り外した瞬間に容器本体の外部から流入しようとする気流に伴う埃などの侵入を抑制することができる基板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、前記容器本体の一端部と当該一端部に対する他端部と結ぶ方向を手前奥行き方向といい、前記手前奥行き方向に直交する方向を直交方向という場合に、前記開口周縁部は、前記手前奥行き方向に沿う第１開口内面と、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞している状態において前記第１開口内面よりも前記直交方向の内側において前記直交方向に沿う第２開口内面と、前記シール部材よりも前記直交方向の内側において前記第２開口内面から延出する気流邪魔壁であって、前記容器本体開口部を閉塞している前記蓋体が前記開口周縁部から取り外された瞬間に前記容器本体の外部から流入して前記第１開口内面及び前記第２開口内面に沿って流れる気流の経路上に設けられる気流邪魔壁と、を備える基板収納容器に関する。

【0008】

また、前記気流邪魔壁は、通気性を有するフィルタを主体として構成されることが好ましい。

【0009】

また、前記気流邪魔壁は、弾性変形可能であり、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞している状態において前記開口周縁部と前記蓋体の内面との間で圧縮されていると共に、前記蓋体が前記開口周縁部から取り外された場合において前記シール部材が前記開口周縁部から離れたときにも、前記蓋体の内面に当接していることが好ましい。

【0010】

また、気流の前記経路上において前記気流邪魔壁における気流がぶつかる面は、前記手前奥行き方向に対して、前記直交方向の外側に向けて傾いていることが好ましい。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、容器本体開口部を閉塞している蓋体を開口周縁部から取り外した瞬間に容器本体の外部から流入しようとする気流に伴う埃などの侵入を抑制することができる基板収納容器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。

【図2】第１実施形態に係る基板収納容器の平面断面図である。

【図3】第１実施形態に係る基板収納容器のシール部材及び気流邪魔壁の周辺を拡大して示す平面断面図である。

【図4】図３に示す状態から蓋体を取り外し始めた状態を示す平面断面図である。

【図5】図４に示す状態から更に蓋体を取り外した状態を示す平面断面図である。

【図6】第２実施形態に係る基板収納容器の気流邪魔壁の周辺を拡大して示す平面断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。図２は、第１実施形態に係る基板収納容器の平面断面図である。図３は、第１実施形態に係る基板収納容器のシール部材及び気流邪魔壁の周辺を拡大して示す平面断面図である。図４は、図３に示す状態から蓋体を取り外し始めた状態を示す平面断面図である。図５は、図４に示す状態から更に蓋体を取り外した状態を示す平面断面図である。

【0014】

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図２における右方向）を手前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を奥行き方向Ｄ１２と定義し、これらを併せて手前奥行き方向Ｄ１と定義する。手前奥行き方向Ｄ１は、容器本体２の一端部と当該一端部に対する他端部と結ぶ方向ということもできる。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図２における紙面の裏面から表面へと向かう方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これら併せてを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図２における下方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを併せて左右方向Ｄ３と定義する。手前奥行き方向Ｄ１に直交する方向であって面方向に拡がる方向を直交方向Ｄ２−Ｄ３と定義する。

【0015】

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１、図２等参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

【0016】

図１〜図３に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、基板支持板状部５と、フロントリテーナ（図示せず）とを有している。

【0017】

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。

【0018】

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において左右方向Ｄ３に対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、手前方向Ｄ１１側に設けられ且つ基板支持板状部５の大部分を構成する板状部本体５１と、奥行き方向Ｄ１２の側の端部に設けられる奥側基板支持部５２と、を備える。板状部本体５１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

【0019】

奥側基板支持部５２は、基板収納空間２７内において後述のフロントリテーナと対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。奥側基板支持部５２は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナと協働して、複数の基板Ｗの縁部を基板支持板状部５の板状部本体５１から離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの後部を支持する。

【0020】

蓋体３は、開口周縁部２８（容器本体開口部２１）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナは、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナは、基板支持板状部５の奥側基板支持部５２と対をなすように配置されている。

【0021】

フロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板支持板状部５の奥側基板支持部５２と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。

【0022】

容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

【0023】

図１〜図３に示すように、第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有する容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

【0024】

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。

【0025】

開口周縁部２８は、手前奥行き方向Ｄ１に沿う第１開口内面２８１と、直交方向Ｄ２−Ｄ３に沿う第２開口内面２８２と、気流邪魔壁２８３と、を備える。
第２開口内面２８２は、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞している状態において第１開口内面２８１よりも直交方向Ｄ２−Ｄ３の内側において直交方向Ｄ２−Ｄ３に沿う内面である。
なお、第１開口内面２８１は、巨視的に視て手前奥行き方向Ｄ１に沿っていればよく、手前奥行き方向Ｄ１に平行でなくてもよい。同様に、第２開口内面２８２は、巨視的に視て直交方向Ｄ２−Ｄ３に沿っていればよく、直交方向Ｄ２−Ｄ３に平行でなくてもよい。

【0026】

気流邪魔壁２８３は、シール部材４よりも直交方向Ｄ２−Ｄ３の内側において第２開口内面２８２から延出する。図４に示すように、気流邪魔壁２８３は、容器本体開口部２１を閉塞している蓋体３が開口周縁部２８から取り外された瞬間に容器本体２の外部から流入して第１開口内面２８１及び第２開口内面２８２に沿って流れる気流Ａ１の経路上に設けられる。

【0027】

気流邪魔壁２８３は、その基端部２８３Ｂが容器本体２の開口周縁部２８に気密にインサート成形されて構成されていてもよく、あるいは、容器本体２の開口周縁部２８に形成された勘合溝に基端部２８３Ｂが気密に嵌合されて構成されていてもよい。
第１実施形態においては、気流邪魔壁２８３は、通気性を有するフィルタを主体として構成される。気流邪魔壁２８３の一部は、フィルタ以外から構成してもよい。フィルタは、気流Ａ１を通過可能であるが、気流Ａ１に伴って容器本体２のの内部に侵入しようとする埃などの全部又は一部を通過させない。

【0028】

気流邪魔壁２８３は、弾性変形可能である。図３に示すように、気流邪魔壁２８３は、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞している状態において開口周縁部２８と蓋体３の内面３２との間で圧縮されている。また、図４に示すように、気流邪魔壁２８３は、蓋体３が開口周縁部２８から取り外された場合においてシール部材４が開口周縁部２８から離れたときにも、先端部２８３Ａにおいて蓋体３の内面３２に当接している。

【0029】

手前奥行き方向Ｄ１に沿う気流邪魔壁２８３は、気流邪魔壁２８３と蓋体３の内面３２とが未圧縮で接触した状態よりも例えば１〜３ｍｍの潰し代が形成されるように、圧縮される。手前奥行き方向Ｄ１に沿う気流邪魔壁２８３の長さは、任意で設定可能である。また、手前奥行き方向Ｄ１に沿う気流邪魔壁２８３の長さは、圧縮されていない状態において、潰し代以上の長さを有しており、例えば、４〜１０ｍｍである。

【0030】

蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能である。開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の外周縁部には、シール部材取付部としてシール部材嵌合溝３１が、蓋体３の外周縁部に沿って周状に形成されている。

【0031】

図３に示すように、シール部材嵌合溝３１には、シール部材４の基端部４２が嵌め込まれており、これにより、シール部材４は蓋体３に取り付けられている。シール部材４は、例えば、弾性変形可能なＰＯＥ（ポリオキシエチレン）、ＰＥＥ、フッ素ゴム、シリコンゴムからなる。環状のシール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。シール部材４は、先端部４１において開口周縁部２８に当接可能である。シール部材４は、開口周縁部２８と蓋体３との間に介在して開口周縁部２８に密着して当接することにより、蓋体３と共に容器本体開口部２１を気密状態で閉塞する。

【0032】

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、蓋体３の外周縁部は、シール部材４を介して容器本体２の開口周縁部２８の内周縁部に当接する。これにより、シール部材４は蓋体３の外周縁部と開口周縁部２８の内周縁部とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

【0033】

次に、蓋体３を容器本体２の開口周縁部２８から取り外すときの動作・作用について説明する。図３に示すように、蓋体３が容器本体２の開口周縁部２８に装着され、容器本体開口部２１が気密状態で閉塞されている状態においては、シール部材４は、開口周縁部２８の第２開口内面２８２に密着している。また、気流邪魔壁２８３は、第２開口内面２８２と蓋体３の内面３２との間で圧縮されている。

【0034】

図３に示す状態から蓋体３を手前方向Ｄ１１へ徐々に移動させると、シール部材４及び気流邪魔壁２８３の形状（長さ）は、手前奥行き方向Ｄ１に徐々に復元する。シール部材４が開口周縁部２８の第２開口内面２８２に密着している状態では、容器本体開口部２１が気密状態で閉塞されているため、容器本体２の内部が負圧状態となる。

【0035】

更に蓋体３を手前方向Ｄ１１へ徐々に移動させると、図４に示すように、シール部材４及び気流邪魔壁２８３の形状（長さ）は、手前奥行き方向Ｄ１に更に復元する。すると先に、シール部材４の先端部４１が第２開口内面２８２から離れる。なお、気流邪魔壁２８３の先端部２８３Ａは、蓋体３の内面３２に当接している。シール部材４の先端部４１が第２開口内面２８２から離れると、容器本体２の内部が負圧状態であること及び容器本体開口部２１が閉塞されなくなることに伴って、容器本体２の外部の空気（外気）が気流Ａ１となり、容器本体２の内部に流入する。ここで、気流邪魔壁２８３がフィルタを主体として構成されているため、容器本体２の内部の気圧は、負圧状態から一気に外圧と同じにはならず、徐々に外圧に近づく。

【0036】

図４に示すように、気流Ａ１は、開口周縁部２８の第１開口内面２８１及び第２開口内面２８２に沿ってシール部材４を避けながら、流れる。また、気流Ａ１に伴って、埃などが容器本体２の内部に侵入しようとする。気流Ａ１及び埃などは、蓋体３の内面３２に当接している気流邪魔壁２８３にぶつかることになる。ぶつかった気流Ａ１は、フィルタを主体とする気流邪魔壁２８３を通過する。一方、ぶつかった埃などの全部又は一部は、気流邪魔壁２８３を通過できない。従って、容器本体２の内部に（気流邪魔壁２８３よりも下流側に）侵入する埃などの量を抑制することができる。

【0037】

更に蓋体３を手前方向Ｄ１１へ徐々に移動させると、図５に示すように、気流邪魔壁２８３の形状（長さ）は、手前奥行き方向Ｄ１に更に復元する。すると、気流邪魔壁２８３の先端部２８３Ａは蓋体３の内面３２から離れる。これにより、容器本体２の内部の気圧は、容器本体２の外部の圧力と完全に同じとなる。

【0038】

上記構成の第１実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
開口周縁部２８は、手前奥行き方向Ｄ１に沿う第１開口内面２８１と、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞している状態において第１開口内面２８１よりも直交方向Ｄ２−Ｄ３の内側において直交方向Ｄ２−Ｄ３に沿う第２開口内面２８２と、シール部材４よりも直交方向Ｄ２−Ｄ３の内側において第２開口内面２８２から延出する気流邪魔壁２８３であって、容器本体開口部２１を閉塞している蓋体３が開口周縁部２８から取り外された瞬間に容器本体２の外部から流入して第１開口内面２８１及び第２開口内面２８２に沿って流れる気流Ａ１の経路上に設けられる気流邪魔壁２８３と、を備える。

【0039】

そのため、第１実施形態によれば、容器本体開口部２１を閉塞している蓋体３が開口周縁部２８から取り外された瞬間に容器本体２の外部から流入して第１開口内面２８１及び第２開口内面２８２に沿って流れる気流Ａ１は、気流邪魔壁２８３にぶつかることになる。そのため、気流Ａ１に伴って容器本体２の内部に侵入しようとする埃などは、容器本体２の内部に侵入し難くなる。

【0040】

また、第１実施形態においては、気流邪魔壁２８３は、通気性を有するフィルタを主体として構成される。そのため、第１実施形態によれば、気流Ａ１に伴って容器本体２の内部に侵入しようとする埃などが容器本体２の内部に侵入することを抑制することができると共に、気流Ａ１については、容器本体２の内部に流入させることができる。従って、埃などは気流邪魔壁２８３にぶつかった後拡散する等の現象が起こり難く、また、気流Ａ１の速度が低下するため、埃などは気流邪魔壁２８３によって捕捉され易くなる。また、気流邪魔壁２８３によって捕捉された埃などは、第２開口内面２８２と気流邪魔壁２８３とによって形成される角部に、容易に溜められる。

【0041】

また、第１実施形態においては、気流邪魔壁２８３は、弾性変形可能であり、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞している状態において開口周縁部２８と蓋体３の内面３２との間で圧縮されていると共に、蓋体３が開口周縁部２８から取り外された場合においてシール部材４が開口周縁部２８から離れたときにも、蓋体３の内面３２に当接している。そのため、第１実施形態によれば、シール部材４が開口周縁部２８から離れて、容器本体開口部２１が閉塞されなくなっても、容器本体２の外部からの気流Ａ１及び埃などは、蓋体３の内面３２に当接している気流邪魔壁２８３にぶつかることになる。ぶつかった埃などの全部又は一部は、気流邪魔壁２８３を通過できない。従って、容器本体２の内部に（気流邪魔壁２８３よりも下流側に）侵入する埃などの量を抑制することができる。

【0042】

以下、本発明の第２実施形態による基板収納容器について説明する。図６は、第２実施形態に係る基板収納容器の気流邪魔壁の周辺を拡大して示す平面断面図である。図６では、蓋体３の図示を省略している。

【0043】

第２実施形態においては、図６に示すように、気流Ａ１の経路上において気流邪魔壁２８３における気流がぶつかる面２８３Ｃは、手前奥行き方向Ｄ１に対して、直交方向Ｄ２−Ｄ３外側に向けて傾斜角度θ傾いている。傾斜角度θは、例えば、４５度以上である。また、気流邪魔壁２８３は、通気性の無い部材から構成されている。ここで、気流邪魔壁２８３は、容器本体２の開口周縁部２８と同時に成形しても良いし、また、別部品として成形した後に開口周縁部２８にインサート成形してもよい。或いは、気流邪魔壁２８３は、別部品として成形した後に、開口周縁部２８に取り付けてもよい。
第２実施形態については、第１実施形態と比べて主に前述した構成が異なるが、その他の構成は第１実施形態と同様である。そのため、第２実施形態において、第１実施形態と同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

【0044】

上記構成の第２実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
第２実施形態においては、気流Ａ１の経路上において気流邪魔壁２８３における気流がぶつかる面２８３Ｃは、手前奥行き方向Ｄ１に対して、直交方向Ｄ２−Ｄ３外側に向けて傾いている。そのため、容器本体２の内部に侵入しようとする埃などを、気流邪魔壁２８３により上流側に押し返すことができる。この効果は、気流邪魔壁２８３が通気性の無い部材から構成されている場合に、特に顕著に奏される。

【0045】

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、蓋体３が開口周縁部２８から取り外された場合において気流邪魔壁２８３が開口周縁部２８から離れたときにも、シール部材４が蓋体３の内面３２に当接する構成を採ることもできる。

【0046】

第１実施形態において、気流邪魔壁２８３は通気性が無い部材から構成されていてもよい。
また、第１実施形態および第２実施形態において、シール部材４の先端部４１は、第２開口内面２８２に当接する構成となっているが、これに制限されない。シール部材４は、蓋体３を閉じたときに基板収納容器１を気密に保持できればよいので、第１開口内面２８１に当接していても良い。

【0047】

また、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板の枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。例えば、基板支持板状部は、本実施形態の基板支持板状部５の構成に限定されない。

【符号の説明】

【0048】

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
４ シール部材
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
３１ シール部材嵌合溝（シール部材取付部）
３２ 内面
２８１ 第１開口内面
２８２ 第２開口内面
２８３ 気流邪魔壁
２８３Ｃ気流がぶつかる面
Ｄ１１ 手前方向
Ｄ１２ 奥行き方向
Ｄ２−Ｄ３直交方向
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】