特許 5992802 シート貼付装置及び貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5992802

(24)【登録日】2016年8月26日

(45)【発行日】2016年9月14日

(54)【発明の名称】シート貼付装置及び貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160901BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20160901BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   H01L21/304 622P

【請求項の数】4

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2012-244954(P2012-244954)

(22)【出願日】2012年11月7日

(65)【公開番号】特開2014-93493(P2014-93493A)

(43)【公開日】2014年5月19日

【審査請求日】2015年6月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101188

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 義雄

(72)【発明者】

【氏名】木村 浩二

(72)【発明者】

【氏名】毛受 利彰

【審査官】 梶尾 誠哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１６１４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２１０８５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−６１１３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−５９９８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２２２８４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／００００６５４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／００６４６９６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

外周に環状の凸部が設けられるとともに、当該凸部の内側に薄肉部が形成された被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記凸部の内周面に連なる薄肉部の一方の面に対向させて接着シートを相対配置するシート支持手段と、
前記薄肉部の他方の面から当該薄肉部を接着シートに押圧する第１押圧手段とを備え、
前記第１押圧手段は、前記薄肉部を変形させて当該薄肉部と前記凸部とを分断することで、当該分断された薄肉部に前記接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記接着シートを押圧して前記薄肉部の一方の面の一部に接着シートを貼付する第２押圧手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記凸部の内周に沿って前記薄肉部に分断促進部を形成する分断促進部形成手段を含み、当該分断促進部を起点として前記薄肉部と凸部とが分断されることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。

【請求項4】

外周に環状の凸部が設けられるとともに、当該凸部の内側に薄肉部が形成された被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法において、
前記凸部の内周面に連なる薄肉部の一方の面に対向させて接着シートを相対配置する工程と、
前記薄肉部の他方の面から当該薄肉部を接着シートに押圧するとともに、薄肉部を変形させて当該薄肉部と前記凸部とを分断し、当該分断された薄肉部に前記接着シートを貼付する工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、必要部分と不要部分とを分断し、必要部分に接着シートを貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体は、極薄に研削された状態で種々の処理が施されているため、その際に薄肉部が破損してしまわないように、外周に環状の凸部を設けて補強部としての機能をもたせている。
外周に環状の凸部が設けられたウエハは、例えば、特許文献１に開示された装置によって接着シートが貼付され、特許文献２に開示された凸部除去装置によって凸部が除去される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２−３８８８０号公報

【特許文献2】特開２０１１−１５９７９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記のような構成では、薄肉部への接着シートの貼付と、薄肉部と凸部との分断とが別々の装置を用いて行われるため、設備が大型化するという不都合を招来する。

【0005】

［発明の目的］
本発明の目的は、設備が大型化することを防止することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するため、本発明は、外周に環状の凸部が設けられるとともに、当該凸部の内側に薄肉部が形成された被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、前記凸部の内周面に連なる薄肉部の一方の面に対向させて接着シートを相対配置するシート支持手段と、前記薄肉部の他方の面から当該薄肉部を接着シートに押圧する第１押圧手段とを備え、前記第１押圧手段は、前記薄肉部を変形させて当該薄肉部と前記凸部とを分断することで、当該分断された薄肉部に前記接着シートを貼付する、という構成を採っている。

【0007】

本発明において、前記接着シートを押圧して前記薄肉部の一方の面の一部に接着シートを貼付する第２押圧手段を備えた構成を採ることができる。

【0008】

また、前記凸部の内周に沿って前記薄肉部に分断促進部を形成する分断促進部形成手段を含み、当該分断促進部を起点として前記薄肉部と凸部とが分断される、という構成を採ることが好ましい。

【0009】

また、本発明は、外周に環状の凸部が設けられるとともに、当該凸部の内側に薄肉部が形成された被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法において、前記凸部の内周面に連なる薄肉部の一方の面に対向させて接着シートを相対配置する工程と、前記薄肉部の他方の面から当該薄肉部を接着シートに押圧するとともに、薄肉部を変形させて当該薄肉部と前記凸部とを分断し、当該分断された薄肉部に前記接着シートを貼付する工程とを含む、という手法を採っている。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、薄肉部と凸部とを分断するとともに、薄肉部に接着シートを貼付する構成であるため、設備が大型化することを防止することができる。
また、第２押圧手段を設けた構成によれば、予め接着シートを薄肉部に貼付しておくことができ、凸部から分断された薄肉部が接着シートの予期せぬ位置に貼付されてしまうことを防止することができる。
更に、分断促進部形成手段を設けた構成によれば、薄肉部の分断位置を明らかにしておくことができ、薄肉部が予期せぬ位置で分断されてることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】シート貼付装置の概略断面側面図。

【図2】シート貼付装置の動作説明図。

【図3】シート貼付装置の動作説明図

【図4】シート貼付装置の動作説明図。

【図5】シート貼付装置の動作説明図。

【図6】シート貼付装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。

【0013】

シート貼付装置１０は、外周に環状の凸部ＷＦ１が設けられるとともに、当該凸部ＷＦ１の内側に薄肉部ＷＦ２が形成された被着体としてのウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する装置であって、ウエハＷＦを支持する支持手段１１と、凸部ＷＦ１の内周面に連なる薄肉部ＷＦ２の一方の面（上面）に対向させて接着シートＡＳを相対配置するシート支持手段１２と、前記薄肉部ＷＦ２の他方の面（下面）から当該薄肉部ＷＦ２を接着シートＡＳに押圧する第１押圧手段１５と、接着シートＡＳを押圧して凸部ＷＦ１の内面に連なる薄肉部ＷＦ２の一方の面（上面）の一部に接着シートＡＳを貼付する第２押圧手段１６と、凸部ＷＦ１の内周に沿って薄肉部ＷＦ２に分断促進部ＷＦ３（図２参照）を形成する分断促進部形成手段１７と、を備えて構成されている。

【0014】

前記支持手段１１は、駆動機器としての回動モータＤＭと、回動モータＤＭの出力軸ＤＭ１に支持された駆動機器としての直動モータＬＭ１と、直動モータＬＭ１の出力軸ＬＭ１Ａに支持されるとともに、複数の貫通孔２０Ａと、上面外周側にゴムやシリコーン樹脂等からなる粘性を有する摩擦係合部材２１とを有するテーブル２０とにより構成されている。

【0015】

前記シート支持手段１２は、回動モータＤＭを支持する底壁２２と、上面に接着シートＡＳが貼付されたリングフレームＲＦを載置する載置面２３Ａを備えた周壁２３とを有する下部ケース１４Ａにより構成されている。

【0016】

前記第１押圧手段１５は、底壁２２側から配管２８を介して空気やガス等の気体を供給可能なタービンや加圧ポンプ等の加圧手段２５により構成されている。

【0017】

前記第２押圧手段１６は、駆動機器としての直動モータＬＭ２の出力軸ＬＭ２Ａに支持された上部ケース１４Ｂと、上部ケース１４Ｂから配管３３を介して空気やガス等の気体を供給可能なタービンや加圧ポンプ等の加圧手段３０と、配管３３を介して空気やガス等の気体を吸引可能な減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段３１と、加圧手段３０と減圧手段３１を配管３３に対して切り替える切替弁３４とにより構成されている。

【0018】

前記分断促進部形成手段１７は、駆動機器としてのリニアモータＬＭ３と、当該リニアモータＬＭ３の出力軸ＬＭ３Ａに支持され、レーザを照射するレーザ照射手段３７とにより構成されている。

【0019】

次に、本実施形態におけるシート貼付方法について説明する。

【0020】

図１に示されるように、下部ケース１４Ａと上部ケース１４Ｂとが離間した状態で、図示しない搬送手段によって、ウエハＷＦの凸部ＷＦ１の下部が摩擦係合部材２１に接触するように当該ウエハＷＦがテーブル２０に移載される。
次に、分断促進部形成手段１７がリニアモータＬＭ３を駆動し、図２に示されるように、レーザ照射手段３７を薄肉部ＷＦ２の外周縁上に位置させ、レーザを照射すると同時に、支持手段１１が回動モータＤＭを駆動し、ウエハＷＦを平面内で回転させる。これにより、薄肉部ＷＦ２の組織が部分的に脆質化され、薄肉部ＷＦ２の外周縁に環状の分断促進部ＷＦ３が形成される。

【0021】

次いで、図３に示されるように、図示しない搬送手段によって、リングフレームＲＦに支持された接着シートＡＳが周壁２３の載置面２３Ａに載置され、薄肉部ＷＦ２の一方の面に対向させて接着シートＡＳを相対配置する。その後、第２押圧手段１６がリニアモータＬＭ２を駆動し、上部ケース１４Ｂを下降させて当該上部ケース１４Ｂと周壁２３の載置面２３ＡとでリングフレームＲＦを挟み込み、上部ケース１４ＢとリングフレームＲＦと接着シートＡＳとで閉塞された空間ＳＰを形成する。

【0022】

次に、第２押圧手段１６が切替弁３４及び加圧手段３０を駆動し、図４に示されるように、上部ケース１４Ｂと接着シートＡＳとの間の圧力を所定の圧力になるまで上昇させ、接着シートＡＳを押圧して接着シートＡＳを薄肉部ＷＦ２の一部に貼付する。

【0023】

その後、第１押圧手段１５が加圧手段２５を駆動し、空間ＳＰ内の圧力を上昇させると、貫通孔２０Ａを介してテーブル２０とウエハＷＦとの間の圧力も上昇する。そして、上部ケース１４Ｂと接着シートＡＳとの間の圧力と空間ＳＰ内の圧力とが釣り合った時点で、第２押圧手段１６が切替弁３４及び減圧手段３１を駆動し、加圧手段２５の加圧度合いに合わせて上部ケース１４Ｂと接着シートＡＳとの間の圧力を低下させる。これにより、図５に示されるように、薄肉部ＷＦ２が変形し、分断促進部ＷＦ３にせん断力が付与され、分断促進部ＷＦ３を起点に薄肉部ＷＦ２と凸状部ＷＦ１とが分断された後、図６に示されるように、薄肉部ＷＦ２全面に接着シートＡＳが貼付される。

【0024】

次いで、第１及び第２押圧手段１５、１６が加圧手段２５及び減圧手段３１の駆動を停止し、第２押圧手段１６がリニアモータＬＭ２を駆動し、上部ケース１４Ｂを上昇させた後、接着シートＡＳを介してリングフレームＲＦに一体化された薄肉部ＷＦ２は図示しない搬送手段によって、別の工程に搬送され、凸状部ＷＦ１は図示しない除去手段により除去される。その後、上記同様の動作が繰り返される。

【0025】

従って、このような実施形態によれば、薄肉部ＷＦ２と凸状部ＷＦ１とを分断するとともに、薄肉部ＷＦ２に接着シートＡＳを貼付する構成であるため、設備が大型化することを防止することができる。

【0026】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加え、以下に示す種々の構成を採用することができる。

【0027】

例えば、第１押圧手段１５及び第２押圧手段１６に、接着シートＡＳや薄肉部ＷＦ２に相対するゴムシートを設け、エア供給によってゴムシートを膨出させることで接着シートＡＳ及び薄肉部ＷＦ２に押圧力を付与する構成としてもよい。

【0028】

更に、第１押圧手段１５は、テーブル２０の上面から出没可能で、薄肉部ＷＦ２の下面に当接可能な当接部材を設け、当該当接部材を上昇させ、薄肉部ＷＦ２を凸状部ＷＦ１から分断するとともに、薄肉部ＷＦ２の一方の面を接着シートＡＳに押圧して貼付する構成としてもよい。
また、第２押圧手段１６は、上部ケース１４Ｂの下面から出没可能で、減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって接着シートＡＳを吸引可能な吸着部材を設け、当該吸着部材を下降させて接着シートＡＳを薄肉部ＷＦ２に押圧して貼付した後、吸着部材で接着シートＡＳを吸着した状態で当該吸着部材を上昇させる構成してもよい。なお、第２押圧手段１６は、設けなくてもよい。

【0029】

更に、分断促進部形成手段は、切断刃、エアカッタ、水力カッタ等の切断手段によって薄肉部ＷＦ２に切り込みや溝等を形成するように構成することもできる。なお、分断促進部形成手段は、設けなくてもよい。

【0030】

また、前記駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【0031】

更に、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付するができる。
さらに、接着シートＡＳをリングフレームＲＦに支持させることなく載置面２３Ａ上に載置する構成としてもよい。

【符号の説明】

【0032】

１０ シート貼付装置
１２ シート支持手段
１５ 第１押圧手段
１６ 第２押圧手段
１７ 分断促進部形成手段
ＡＳ 接着シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＦ１ 凸部
ＷＦ２ 薄肉部
ＷＦ３ 分断促進部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】