発明の名称 シングルエンド増幅器入力ポートを有するダブルバックプレートMEMSマイクロフォン
出願人 エプコス アクチエンゲゼルシャフト (識別番号 300002160)
特許公開件数ランキング 650 位(12件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1169 位(5件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5993026
公報発行日 2016年9月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5993026
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