特許5993114アレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置

発明の名称　アレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置

出願人　株式会社ＩＨＩ　（識別番号 99）

　　　　特許公開件数ランキング 334 位（97件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 171 位（168件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5993114

公報発行日　2016年9月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5993114

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