特許 5993509 光走査装置及び該光走査装置を備えた画像形成装置、並びに、光走査装置の振動ミラー部の質量調整方法。

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5993509

(24)【登録日】2016年8月26日

(45)【発行日】2016年9月14日

(54)【発明の名称】光走査装置及び該光走査装置を備えた画像形成装置、並びに、光走査装置の振動ミラー部の質量調整方法。

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20160901BHJP

   B41J 2/47 20060101ALI20160901BHJP

   H04N 1/113 20060101ALI20160901BHJP

【ＦＩ】

   G02B26/10 104Z

   B41J2/47 101Z

   H04N1/04 104Z

【請求項の数】6

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2015-197984(P2015-197984)

(22)【出願日】2015年10月5日

(62)【分割の表示】特願2013-135616(P2013-135616)の分割

【原出願日】2013年6月27日

(65)【公開番号】特開2016-48376(P2016-48376A)

(43)【公開日】2016年4月7日

【審査請求日】2015年10月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000006150

【氏名又は名称】京セラドキュメントソリューションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100184631

【弁理士】

【氏名又は名称】大久保 隆

(72)【発明者】

【氏名】豊田 祐司

【審査官】 佐藤 洋允

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−７５５３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／００８００５１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０１１８３７０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００３−８４２２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２２６３５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ２６／００−２６／１２

Ｂ４１Ｊ２／４７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の光源から出射された光を反射する反射面を有すると共に所定方向に長く形成された振動ミラー部と、該振動ミラー部の長手方向の中央部に連結され、該長手方向に直交する方向に延びて該振動ミラー部を支持するトーションバー部と、上記振動ミラー部を該トーションバー部回りに捻れ振動させる駆動部と、上記振動ミラー部、上記トーションバー部及び上記駆動部を収容する筐体と、を備えた光走査装置であって、
上記振動ミラー部における上記反射面とは反対側面には、レーザー光の照射を受けることで質量を除去可能に構成された質量調整部が形成され、
上記筐体の外部に配置された第２の光源から出射されたレーザー光を、反射又は透過することで上記質量調整部に照射する光学素子部をさらに備え、
上記質量調整部は、上記振動ミラー部の上記反対側面における長手方向の両端部を除く部分である中間部に形成され且つ該長手方向に延びるリブ部からなる、光走査装置。

【請求項2】

請求項１記載の光走査装置において、
上記光学素子部は、上記筐体内に設けられて上記第２の光源から出射されたレーザー光を反射する反射ミラー部からなる、光走査装置。

【請求項3】

請求項１記載の光走査装置において、
上記光学素子部は、上記筐体の壁部に形成されて上記第２の光源から出射されたレーザー光を透過する光透過窓部からなる、光走査装置。

【請求項4】

請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光走査装置を備えた画像形成装置。

【請求項5】

第１の光源から出射された光を反射する反射面を有すると共に所定方向に長く形成された振動ミラー部と、該振動ミラー部の長手方向の中央部に連結され、該長手方向に直交する方向に延びて該振動ミラー部を支持するトーションバー部と、上記振動ミラー部を該トーションバー部回りに捻れ振動させる駆動部と、上記振動ミラー部、上記トーションバー部及び上記駆動部を収容する筐体と、を備えた光走査装置の上記振動ミラー部の質量調整方法であって、
上記振動ミラー部における上記反射面とは反対側面には、レーザー光の照射を受けることで質量を除去可能に構成された質量調整部が形成されており、
上記質量調整部は、上記振動ミラー部の上記反対側面における長手方向の両端部を除く部分である中間部に形成され且つ該長手方向に延びるリブ部からなり、
上記筐体の外部に配置された第２の光源からレーザー光を出射させるとともに、該出射されたレーザー光を、光学素子部により反射又は透過することで上記質量調整部に照射して該質量調整部の質量を除去する質量調整工程を含む、質量調整方法。

【請求項6】

請求項５記載の光走査装置の振動ミラー部の質量調整方法において、
上記質量調整工程は、上記振動ミラー部を上記反射面とは反対側から見たときに、上記質量調整部における質量が除去された部分が該質量調整部の周縁に達しないように、上記質量調整部にレーザー光を照射する工程である、質量調整方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光走査装置及び該光走査装置を備えた画像形成装置、並びに、光走査装置の振動ミラー部の質量調整方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、振動ミラー部と振動ミラー部を支持するトーションバー部とを備えた共振型の光走査装置は知られている。この光走査装置では、共振周波数を調整するために振動ミラー部の質量を調整することがしばしば行われる。例えば、特許文献１に示す光走査装置では、振動ミラー部の裏面（反射面とは反対側面）の一部をレーザー加工により除去することで、振動ミラー部の質量を調整するようにしている。

【0003】

上記共振型の光走査装置では、振動ミラー部の汚れを防止するために、振動ミラー部を密閉状の筐体内に収容する場合がある。この場合に、振動ミラー部を筐体内に収容した状態でその質量調整を行う方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。この方法では、振動ミラー部の表面に、ガスとの化学反応により質量が変化する質量調整部を形成しておき、この化学反応量を調整することで振動ミラー部の質量を調整するようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−７５５３８号公報

【特許文献2】特開２００５−９１５４４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、振動ミラー部を共振させるための共振周波数は、振動ミラー部の質量やトーションバー部のバネ定数ばかりでなく、例えば振動ミラー部を収容する筐体の剛性等によっても変化する。したがって、振動ミラー部の質量調整（つまり共振周波数の調整）は、振動ミラー部を筐体内に収容した状態で行うことが好ましい。

【0006】

しかしながら、上記特許文献１に示す光走査装置では、振動ミラー部を筐体内に収容してしまうと、振動ミラー部の裏面にレーザー光を照射することができず、振動ミラー部の質量調整を行うことができないという問題がある。

【0007】

そこで、上記特許文献２に示すように、振動ミラー部の表面に、ガスと化学反応する質量調整部を形成することが考えられる。こうすることで、振動ミラー部を筐体内に収容した状態でも、振動ミラー部の質量調整を行うことが可能になる。

【0008】

しかしこの場合、ガスを筐体内に密閉するための強固なシール構造が必要となり、コスト増加を招くという問題がある。また、質量調整部としてガス吸収剤又はガス放出剤を別途用意して振動ミラー部の表面に固着させる必要がある。このため、装置全体の構造が複雑になり、延いてはコスト増加を招くという問題がある。

【0009】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な装置構成を実現しながら、筐体内に収容された振動ミラー部の質量調整を容易に行えるようにすることにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明に係る光走査装置は、第１の光源から出射された光を反射する反射面を有すると共に所定方向に長く形成された振動ミラー部と、該振動ミラー部の長手方向の中央部に連結され、該長手方向に直交する方向に延びて該振動ミラー部を支持するトーションバー部と、上記振動ミラー部を該トーションバー部回りに捻れ振動させる駆動部と、上記振動ミラー部、上記トーションバー部及び上記駆動部を収容する筐体と、を備えている。

【0011】

そして、上記振動ミラー部における上記反射面とは反対側面には、レーザー光の照射を受けることで質量を除去可能に構成された質量調整部が形成され、上記筐体の外部に配置された第２の光源から出射されたレーザー光を、反射又は透過することで上記質量調整部に照射する光学素子部をさらに備え、上記質量調整部は、上記振動ミラー部の上記反対側面における長手方向の両端部を除く部分である中間部に形成され且つ該長手方向に延びるリブ部からなる。

【0012】

この構成によれば、筐体の外部に配置された第２の光源から出射されたレーザー光が、光学素子部にて反射又は透過されることで、振動ミラー部の質量調整部に照射される。この結果、質量調整部におけるレーザー光が照射された部分の質量がアブレーション反応により除去される。したがって、振動ミラー部を筐体内に収容した状態でその質量調整を行うことができる。また、質量調整部としてガス吸収剤又はガス放出剤を別途用意したり、ガスを筐体内に密封するために筐体のシール構造を強化したりする必要もない。よって、装置全体の構造を簡素化することができる。

【0013】

また、振動ミラー部に形成された補強用のリブ部を質量調整部としても利用することで、振動ミラー部が揺動時の慣性力により変形するのを抑制しつつ、振動ミラー部の質量調整を容易に行うことができる。

【0014】

上記光学素子部は、上記筐体内に設けられて上記第２の光源から出射されたレーザー光を反射する反射ミラー部からなることが好ましい。

【0015】

この構成によると、第２の光源から出射されたレーザー光は、反射ミラー部（光学素子部）にて反射されて振動ミラー部の質量調整部に照射される。このように、光学素子部として反射ミラー部を採用することで、スペース的な制約がある場合でも、第２の光源から出射されるレーザー光を、振動ミラー部の裏面側（反射面とは反対側）に導いて質量調整部に照射することができる。

【0016】

上記光学素子部は、上記筐体の壁部に形成されて上記第２の光源から出射されたレーザー光を透過する光透過窓部からなることが好ましい。

【0017】

この構成によると、第２の光源から出射されたレーザー光は、筐体の壁部に形成された光透過窓部（光学素子部）を通って振動ミラー部の質量調整部に照射される。このように、光学素子部として光透過窓部を採用することで、第２の光源から出射されたレーザー光を振動ミラー部の裏面側に容易に導いて質量調整部に照射することができる。

【0018】

本発明に係る画像形成装置は、上記光走査装置を備えている。

【0019】

この構成によれば、上記光走査装置を採用することにより、筐体の剛性等も考慮に入れて振動ミラー部の質量調整（共振周波数の調整）を行うことができる。延いては、光走査装置による光の走査特性を向上させることができる。よって、印刷画像の画質を向上させることができる。

【0020】

本発明に係る振動ミラー部の質量調整方法は、上記筐体の外部に配置された第２の光源からレーザー光を出射させるとともに、該出射されたレーザー光を、光学素子部により反射又は透過することで上記質量調整部に照射して該質量調整部の質量を除去する質量調整工程を含んでいる。質量調整部は、上記振動ミラー部の上記反対側面における長手方向の両端部を除く部分である中間部に形成され且つ該長手方向に延びるリブ部からなる。

【0021】

この方法によれば、簡単な装置構成を実現しながら、筐体内に収容された振動ミラー部の質量調整を容易に行うことができる。

【0022】

上記質量調整工程は、上記振動ミラー部を上記反射面とは反対側から見たときに、上記質量調整部における質量が除去された部分が該質量調整部の周縁に達しないように、上記質量調整部にレーザー光を照射する工程であることが好ましい。

【0023】

この方法によれば、振動ミラー部の質量調整部に照射されるレーザー光の照射位置がばらついたとしても、レーザー光が該質量調整部からはみ出ることもない。したがって、第２の光源から出射されたレーザー光によって振動ミラー部の反射面や該反射面に近い部分が傷つけられることもない。

【発明の効果】

【0024】

本発明によれば、簡単な装置構成を実現しながら、筐体内に収容された振動ミラー部の質量調整を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本実施形態における光走査装置を備えた画像形成装置を示す概略の断面図である。

【図2】本実施形態における光走査装置を示す正面側から見た平面図である。

【図3】本実施形態における光走査装置を示す背面側から見た平面図である。

【図4】図２のIV−IV線断面図である。

【図5】図２のV−V線断面図である。

【図6】質量調整後の状態を示す図３相当図である。

【図7】実施形態２を示す図４相当図である。

【図8】図７のVIII方向矢視図である。

【図9】他の実施形態を示す図３相当図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。

【0027】

《実施形態１》
＜レーザープリンター＞
図１は、本実施形態における画像形成装置としてのレーザープリンター１の概略構成を示す断面図である。

【0028】

レーザープリンター１は、図１に示すように、箱状のプリンタ本体２と、手差し給紙部６と、カセット給紙部７と、画像形成部８と、定着部９と、排紙部１０とを備えている。そうして、レーザープリンター１は、プリンタ本体２内の搬送路Ｌに沿って用紙を搬送しながら、不図示の端末等から送信される画像データに基づいて用紙に画像を形成するように構成されている。

【0029】

手差し給紙部６は、プリンタ本体２の１つの側部に開閉可能に設けられた手差しトレイ４と、プリンタ本体２の内部に回転可能に設けられた手差し用の給紙ローラ５とを有している。

【0030】

カセット給紙部７は、プリンタ本体２の底部に設けられている。カセット給紙部７は、互いに重ねられた複数の用紙を収容する給紙カセット１１と、給紙カセット１１内の用紙を１枚ずつ取り出すピックローラ１２と、取り出された用紙を１枚ずつ分離して搬送路Ｌへと送り出すフィードローラ１３及びリタードローラ１４とを備えている。

【0031】

画像形成部８は、プリンタ本体２内におけるカセット給紙部７の上方に設けられている。画像形成部８は、プリンタ本体２内に回転可能に設けられた像担持体である感光ドラム１６と、感光ドラム１６の周囲に配置された帯電器１７と、現像部１８と、転写ローラ１９及びクリーニング部２０と、感光ドラム１６の上方に配置された光走査装置３０と、トナーホッパー２１とを備えている。そうして、画像形成部８は、手差し給紙部６又はカセット給紙部７から供給された用紙に画像を形成するようになっている。

【0032】

尚、搬送路Ｌには、送り出された用紙を、一時的に待機させた後に所定のタイミングで画像形成部８に供給する一対のレジストローラ１５が設けられている。

【0033】

定着部９は、画像形成部８の側方に配置されている。定着部９は、互いに圧接されて回転する定着ローラ２２及び加圧ローラ２３を備えている。そうして、定着部９は、画像形成部８で用紙に転写されたトナー像を当該用紙に定着させるように構成されている。

【0034】

排紙部１０は、定着部９の上方に設けられている。排紙部１０は、排紙トレイ３と、排紙トレイ３へ用紙を搬送するための一対の排紙ローラ２４と、排紙ローラ対２４へ用紙を案内する複数の搬送ガイドリブ２５とを備えている。排紙トレイ３は、プリンタ本体２の上部に凹状に形成されている。

【0035】

レーザープリンター１が画像データを受信すると、画像形成部８において、感光ドラム１６が回転駆動されると共に、帯電器１７が感光ドラム１６の表面を帯電させる。

【0036】

そして、画像データに基づいて、光走査装置３０から感光ドラム１６へ出射される。感光ドラム１６の表面には、レーザー光が照射されることによって静電潜像が形成される。感光ドラム１６上に形成された静電潜像は、現像部１８で現像されることにより、トナー像として可視像となる。

【0037】

その後、用紙は、転写ローラ１９により感光ドラム１６の表面に押し付けられる。そのことにより、用紙に感光ドラム１６のトナー像が転写される。トナー像が転写された用紙は、定着部９において定着ローラ２３と加圧ローラ２４とにより加熱及び加圧される。その結果、トナー像が用紙に定着する。

【0038】

−光走査装置３０−
図２〜図５に示すように、光走査装置３０は、光を出射する第１の光源３１と、振動体４０と、振動体４０を収容する筐体５０と、を有している。

【0039】

筐体５０は、全体視で略直方体状に形成されている。筐体５０は、平面視において、縦方向（図２の上下方向）の長さが横方向（図２の左右方向）長さに比べて大きい長方形状をなしている。筐体５０は、高さ方向の一側（図２の紙面手前側）が開放する有底の筐体本体部５１と、筐体本体部５１の該開放側を閉塞する蓋部５２と、を有している。筐体本体部５１は例えば樹脂材で構成され、蓋部５２は透光性を有する部材、例えばガラスにより構成されている。蓋部５２は、第１の光源３１から後述する振動ミラー部４１に入射する光及び振動ミラー部４１にて反射された光の双方を透過可能に構成されている。

【0040】

上記振動体４０は、いわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro
Mechanical System）デバイスであり、シリコン板をエッチング加工することにより形成されている。具体的には、振動体４０は、図３に示すように、振動ミラー部４１と、第１及び第２トーションバー部４２，４３と、第１及び第２横梁部４４，４５と、略矩形板状の固定枠部４６とを有している。振動ミラー部４１は、平面視で略楕円形状をなす薄板状に形成されている。振動ミラー部４１は、固定枠部４６の略中央に配置されている。振動ミラー部４１の長径方向は筐体横方向に一致し、振動ミラー部４１の短径方向は筐体縦方向に一致している。振動ミラー部４１の厚さ方向の一側面（図２の紙面に向かって手前側面）は、第１の光源３１から出射された光を反射するための反射面４１ａとされている。この反射面４１ａには、光の反射率を高めるために例えばアルミやクロムにより光反射膜が形成されている。振動ミラー部４１は、上記両トーションバー部４２，４３回りに捻れ振動することにより、第１の光源３１から反射面４１ａに入射する光の反射方向を変化させて光を所定方向に往復走査させる。

【0041】

振動ミラー部４１における上記反射面４１ａとは反対側面４１ｂには、振動ミラー部４１の長手方向に延びる直方体状のリブ部４１ｃが形成されている（図３参照）。リブ部４１ｃは、振動ミラー部４１の反対側面４１ｂにおける長手方向の両端部を除く中間部に形成されている。このように、リブ部４１ｃを振動ミラー部４１の長手方向の両端部に形成しないことによって、振動ミラー部４１の揺動軸心回りの慣性モーメントを低減して、振動ミラー部４１の揺動時における変形を抑制することができる。このリブ部４１ｃは、振動ミラー部４１の補強部として機能すると共に、後述するように振動ミラー部４１の質量調整部７０としても機能する。

【0042】

上記第１及び第２トーションバー部４２，４３は、筐体縦方向に長い板状をなしている。両トーションバー部４２，４３は、平面視で振動ミラー部４１の中心を通る直線上（短軸の延長線上）に配置されている。第１トーションバー部４２は、一端部が振動ミラー部４１の長径方向の中央部に連結され、他端部が第１横梁部４４の長手方向の中央部に連結されている。第２トーションバー部４３は、一端部が振動ミラー部４１の長径方向の中央部に連結され、他端部が第２横梁部４５の長手方向の中央部に連結されている。

【0043】

第１横梁部及び第２横梁部４４，４５は、筐体縦方向に互いに間隔を空けて配置されている。振動ミラー部４１は、両横梁部４４，４５の間に配置されている。第１横梁部４４の両端部及び第２横梁部４５の両端部は、固定枠部４６に連結されている。固定枠部４６は、筐体縦方向に延びる一対の縦辺部４６ａと、筐体横方向に延びる一対の横辺部４６ｂとを有している。上記第１及び第２横梁部４４，４５はそれぞれ、固定枠部４６の両縦辺部４６ａ間に跨って配置されている。第１横梁部４４及び第２横梁部４５にはそれぞれ、駆動部として圧電素子４７（図２及び図４参照）が２つずつ取り付けられている。各圧電素子４７は、不図示の駆動回路に電気的に接続されており、この駆動回路より各圧電素子４７に印加する印加電圧を所定の周波数で変動させることにより圧電素子４７が伸縮して振動するようになっている。この圧電素子４７の振動周波数は、振動ミラー部４１の共振周波数に一致するように設定される。この共振周波数は、例えば、振動ミラー部４１の質量、トーションバー部４２，４３のバネ定数、及び筐体５０の剛性など様々な要因によって変化する。圧電素子４７が上記共振周波数で振動すると、振動ミラー部４１が共振して両トーションバー部４２，４３回りに捻り振動する。

【0044】

上記固定枠部４６は、筐体本体部５１内に形成された一対の台座部５３（図５参照）により支持されている。一対の台座部５３は、筐体本体部５１の底壁部５４における筐体横方向の中央部を凹ませることにより該筐体横方向の両端部に形成された段差部からなる。この一対の台座部５３は、筐体本体部５１の縦方向の全体に亘って形成されている。上記固定枠部４６は、該一対の台座部５３間に跨って配置されている。

【0045】

筐体本体部５１の底壁部５４における上記一対の台座部５３の間に位置する部分には、反射ミラー部５５が形成されている。この反射ミラー部５５は、例えばアルミやクロム等の反射膜によって形成されている。反射ミラー部５５は、平面視で振動ミラー部４１よりも筐体縦方向の一側にずれた位置に配置されている。反射ミラー部５５は、平面視で筐体横方向に長い長方形状をなしている。反射ミラー部５５の長手方向の長さは、上記リブ部４１ｃの長手方向の長さよりも小さい。反射ミラー部５５は、平面視において、リブ部４１ｃの長手方向の両端を通り且つ筐体縦方向に延びる２本の仮想線６０（図２参照）の間に配置されている。

【0046】

反射ミラー部５５は、振動ミラー４１の質量調整を行う際に、第２光源３２から該反射ミラー部５５に入射するレーザー光を反射して上記振動ミラー部４１のリブ部４１ｃ（質量調整部７０）に照射する光学素子部８０として機能する。リブ部４１ｃは、レーザー光の照射を受けることによりアブレーション反応を起こす。そして、このアブレーション反応によりリブ部４１ｃの質量が除去されて振動ミラー部４１の質量が調整される。振動ミラー部４１の質量調整は、その共振周波数が目標周波数になるように行われる。

【0047】

以下、振動ミラー部４１の質量調整手順について具体的に説明する。先ず、筐体本体部５１をその開放側が上側になるように調整台の上にセットする。次いで、筐体本体部５１内の台座部５３上に、振動ミラー部４１を含む振動体４０を固定し、該固定後に、筐体本体部５１の開放側を蓋部５２によって閉塞する。そうして、筐体５０が密閉された後に、該筐体５０の外部に設けられた第２光源３２により筐体５０内の反射ミラー部５５に向けて所定の入射角θでレーザー光を照射する。反射ミラー部５５にて反射したレーザー光は、振動ミラー部４１のリブ部４１ｃの下面に照射されてアブレーション反応を起こす（図４参照）。そして、このアブレーション反応によりリブ部４１ｃの質量の一部が除去される。そうして、振動ミラー部４１の質量が所定質量に調整される。ここで、リブ部４１ｃのうちアブレーション反応を起こした部分は粒子となって周囲に飛散するものの、飛散した粒子は重力により下方に落下して筐体本体部５１の底壁部５４に付着する。よって、この飛散した粒子によって振動ミラー部４１の反射面４１ａが汚れることもない。上記レーザー光は、リブ部４１ｃの長手方向に沿ってライン状に照射される。これにより、リブ部４１ｃの下面には、アブレーション反応によってその長手方向に延びる溝部４１ｆが形成される（図６参照）。レーザー光は、平面視でこの溝部４１ｆ（質量調整部７０における質量が除去された部分）がリブ部４１ｃの周縁に達しないように照射される。これにより、レーザー光の照射位置がばらついたとしても、レーザー光がリブ部４１ｃからはみ出るのを防止することができる。よって、レーザー光により振動ミラー部４１の反射面４１aや該反射面４１aに近い部分が傷つけられるのを防止することができる。

【0048】

以上説明したように、上記実施形態１では、振動ミラー部４１を筐体５０内に収容した状態でその質量調整を容易に行うことができる。よって、筐体５０の剛性等も考慮に入れて振動ミラー部４１の共振周波数を調整することができる。また、質量調整部７０としてガス吸収剤又はガス放出剤を別途用意したり、ガスを筐体５０内に密封するために筐体５０のシール構造を強化したりする必要もないので、装置３０全体の構成を簡素化することができる。

【0049】

《実施形態２》
図７及び図８は、実施形態２を示している。この実施形態２では光学素子部８０の構成が上記実施形態とは異なっている。尚、以下の説明において、図４と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。

【0050】

すなわち、本実施形態２では、光学素子部８０は第２の光源３２から出射されるレーザー光を透過する光透過窓部５６により構成されている。この光透過窓部５６は、レーザー光を透過可能な部材（例えばガラス）を筐体の底壁部５４に形成された矩形状の開口部５４ｆに嵌め込むことで形成されている。光透過窓部５６は、振動ミラー部４１の直下に形成されている。第２の光源３２から出射されたレーザー光は、この光透過窓部５６を通って振動ミラー部４１のリブ部４１ｃの下面に照射される。これにより、上記実施形態１と同様の作用効果を得ることができる。

【0051】

《他の実施形態》
上記各実施形態では、リブ部４１ｃは、振動ミラー部４１の長手方向に延びるように形成されているが、これに限ったものではない。すなわち、リブ部４１ｃは、例えば、図９に示すように、平面視で両トーションバー部４２，４３の延長線上に形成されていてもよい。これにより、振動ミラー部４１の揺動軸心回りの慣性モーメントを低減して、振動ミラー部４１が揺動時の慣性力により変形するのを抑制することができる。

【0052】

上記各実施形態では、筐体５０内の圧力調整等は行っていないが、これに限ったものではなく、例えば、筐体５０内を真空化するようにしてもよい。これにより、振動ミラー部４１に作用する揺動時の空気抵抗を低減して、その振動特性を安定化させることができる。この場合、筐体５０内を真空化した後に、振動ミラー部４１の質量調整を行うようにすればよい。

【0053】

上記各実施形態では、圧電素子４７により振動ミラー部４１を振動させるようにしているが、これに限ったものではなく、例えば特開２００５−９１５４４号公報（特許文献２）に示すように静電駆動力を利用して振動させるようにしてもよいし、磁石による電磁駆動力を利用して駆動させるようにしてもよい。

【0054】

上記各実施形態では、振動ミラー部４１は、平面視で楕円形状に形成されているが、これに限ったものではなく、例えば、長方形状、正方形状、又は真円状など如何なる形状であっても構わない。

【産業上の利用可能性】

【0055】

以上説明したように、本発明は、光走査装置を備えたプリンター、コピー機、或いはＦＡＸ等の画像形成装置や、スキャナー、プロジェクター、或いはバーコードリーダー等の光走査装置に有用であり、特に共振型の光走査装置に対して有用である。

【符号の説明】

【0056】

１ レーザープリンター（画像形成装置）
３０ 光走査装置
３１ 第１の光源
４１ 振動ミラー部
４１ａ 反射面
４１ｂ 反対側面
４１ｃ リブ部（質量調整部）
４２ トーションバー部
４３ トーションバー部
４７ 圧電素子（駆動部）
５０ 筐体
５５ 反射ミラー部（光学素子部）
５６ 光透過窓部（光学素子部）
７０ 質量調整部
８０ 光学素子部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】