特許 5993634 シート剥離装置およびシート剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5993634

(24)【登録日】2016年8月26日

(45)【発行日】2016年9月14日

(54)【発明の名称】シート剥離装置およびシート剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160901BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【請求項の数】3

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2012-147585(P2012-147585)

(22)【出願日】2012年6月29日

(65)【公開番号】特開2014-11354(P2014-11354A)

(43)【公開日】2014年1月20日

【審査請求日】2015年2月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 鈴木 和樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−１４２２４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５７−０９８４４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０５３８８３８７（ＵＳ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１１８４４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−０７４８７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１０３６０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０７７２３８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方の面に接着面が表出した剥離用テープを被着体に貼付された接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの少なくとも一方を繰り出す繰出手段と、
前記第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に他方の先端領域を当接させて当該当接部分を繋ぎ部分として繋ぎ合わせる繋ぎ手段と、
前記第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着面を前記接着シートに貼付する貼付手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて当該剥離用テープに張力を付与する移動手段とを備え、
前記繋ぎ手段は、気体を吹き付けることにより、前記一方の剥離用テープの終端領域に、前記他方の剥離用テープの先端領域を繋ぎ合わせる気体吹き付け手段と、前記一方の剥離用テープにおける前記繋ぎ部分よりも終端側および前記他方の剥離用テープにおける前記繋ぎ部分よりも先端側を除去する除去手段とを備え、
前記除去手段は、前記第１剥離用テープにおける前記繋ぎ部分を間に挟む第１切断位置および第２切断位置と、前記第２剥離用テープにおける前記繋ぎ部分を間に挟む第３切断位置および第４切断位置とを個別に切断可能に構成されていることを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

前記第１剥離用テープと前記第２剥離用テープとが重なり合う部分を検出可能な検出手段を備え、
前記繰出手段は、前記重なり合う部分が前記接着シートに貼付される位置まで繰り出されたことが前記検出手段で検出されると、前記重なり合う部分を破棄して前記他方の剥離用テープを前記接着シートに貼付される位置まで繰出可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

【請求項3】

一方の面に接着面が表出した剥離用テープを被着体に貼付された接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの少なくとも一方を繰り出す工程と、
前記第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に他方の先端領域を繋ぎ合わせるときに、気体を吹き付けることによりそれらを当接させて当該当接部分を繋ぎ部分として繋ぎ合せる工程と、
前記第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着面を前記接着シートに貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて当該剥離用テープに張力を付与する工程とを有し、
前記繋ぎ合わせる工程は、前記第１剥離用テープの終端領域に前記第２剥離用テープの先端領域を繋ぎ合わせる場合、前記第１剥離用テープの終端領域における繋ぎ部分よりも終端側と、前記第２剥離用テープの先端領域における繋ぎ部分よりも先端側とを切断して除去し、前記第２剥離用テープの終端領域に前記第１剥離用テープの先端領域を繋ぎ合わせる場合、前記第２剥離用テープの終端領域における繋ぎ部分よりも終端側と、前記第１剥離用テープの先端領域における繋ぎ部分よりも先端側とを切断して除去することを特徴とするシート剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置およびシート剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造工程において、半導体チップを小型化するために半導体ウェハ（以下単にウェハという場合がある）の表面（回路が形成された面）に接着シートを貼付し、裏面を研削する工程があり、この接着シートは切削後剥離される。このような接着シートの剥離装置としては、接着シートの端部に接着した剥離用テープを引っ張って剥離するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載されたような従来の剥離装置では、剥離用テープがなくなり、新たな剥離用テープに交換するときに、使い終わった剥離用テープの巻芯等の残物を取り外して新たな剥離用テープを取り付け、この新たな剥離用テープを再度装置内に掛け回さなければならない。そして、このようなテープ交換作業を行う間は、剥離装置の操業を停止しておかなければならないので、当該剥離装置が接着シートを剥離する単位時間当たりの能力が低減してしまうという不都合がある。
そこで、例えば特許文献２に記載のロールラベルの自動つなぎ装置を利用し、剥離用テープを繋ぎ合わせることが考えられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１１−１６８６２号公報

【特許文献2】特開平３−１０２０５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記特許文献２に記載のような自動つなぎ装置では、一方の面に接着面が表出した剥離用テープを繋ぎ合せる場合、２枚の剥離用テープに当接して繋ぎ合せる当接体に接着面が接着してしまい、それら剥離用テープを適切に繋ぎ合わせことが困難になるという不都合を生じる。
本発明の目的は、一方の面に接着面が表出した剥離用テープであっても適切に繋ぎ合わせることができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、一方の面に接着面が表出した剥離用テープを被着体に貼付された接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの少なくとも一方を繰り出す繰出手段と、前記第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に他方の先端領域を当接させて当該当接部分を繋ぎ部分として繋ぎ合わせる繋ぎ手段と、前記第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着面を前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて当該剥離用テープに張力を付与する移動手段とを備え、前記繋ぎ手段は、気体を吹き付けることにより、前記一方の剥離用テープの終端領域に、前記他方の剥離用テープの先端領域を繋ぎ合わせる気体吹き付け手段と、前記一方の剥離用テープにおける前記繋ぎ部分よりも終端側および前記他方の剥離用テープにおける前記繋ぎ部分よりも先端側を除去する除去手段とを備え、前記除去手段は、前記第１剥離用テープにおける前記繋ぎ部分を間に挟む第１切断位置および第２切断位置と、前記第２剥離用テープにおける前記繋ぎ部分を間に挟む第３切断位置および第４切断位置とを個別に切断可能に構成されている、という構成を採用している。

【0006】

この際、本発明のシート剥離装置では、前記第１剥離用テープと前記第２剥離用テープとが重なり合う部分を検出可能な検出手段を備え、前記繰出手段は、前記重なり合う部分が前記接着シートに貼付される位置まで繰り出されたことが前記検出手段で検出されると、前記重なり合う部分を破棄して前記他方の剥離用テープを前記接着シートに貼付される位置まで繰出可能に構成されている、ことが好ましい。

【0007】

一方、本発明のシート剥離方法は、一方の面に接着面が表出した剥離用テープを被着体に貼付された接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの少なくとも一方を繰り出す工程と、前記第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に他方の先端領域を繋ぎ合わせるときに、気体を吹き付けることによりそれらを当接させて当該当接部分を繋ぎ部分として繋ぎ合せる工程と、前記第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着面を前記接着シートに貼付する工程と、前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて当該剥離用テープに張力を付与する工程とを有し、前記繋ぎ合わせる工程は、前記第１剥離用テープの終端領域に前記第２剥離用テープの先端領域を繋ぎ合わせる場合、前記第１剥離用テープの終端領域における繋ぎ部分よりも終端側と、前記第２剥離用テープの先端領域における繋ぎ部分よりも先端側とを切断して除去し、前記第２剥離用テープの終端領域に前記第１剥離用テープの先端領域を繋ぎ合わせる場合、前記第２剥離用テープの終端領域における繋ぎ部分よりも終端側と、前記第１剥離用テープの先端領域における繋ぎ部分よりも先端側とを切断して除去する、という構成を採用している。

【発明の効果】

【0008】

以上のような本発明によれば、気体を吹き付けることにより、第１剥離用テープおよび第２剥離用テープの一方の終端領域に、他方の先端領域を繋ぎ合わせる気体吹き付け手段を設けたので、一方の面に接着面が表出した剥離用テープであっても、第１剥離用テープまたは第２剥離用テープの接着剤層が接触体に接着してしまうという不都合を防止し、それらを適切に繋ぎ合わせることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を示す側面図。

【図2】（Ａ），（Ｂ）は、図１のシート剥離装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を図１および図２に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から見た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。

【0012】

［シート剥離装置の構成］
図１において、シート剥離装置１は、一方の面に接着面が表出した剥離用テープＰＴ（ＰＴ１，ＰＴ２）を被着体としてのウェハＷＦの表面に貼付された接着シートＡＳに貼付して当該剥離用テープＰＴに張力を付与することによりウェハＷＦの表面から接着シートＡＳを剥離する装置であって、ウェハＷＦを保持する保持手段２と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の少なくとも一方を繰り出す繰出手段３と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域に、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の他方の先端領域を当接させて繋ぎ合わせる繋ぎ手段６と、第１剥離用テープＰＴ１または第２剥離用テープＰＴ２の接着面を接着シートＡＳに貼付する貼付手段４と、接着シートＡＳに貼付された剥離用テープＰＴとウェハＷＦとを相対移動させて剥離用テープＰＴに張力を付与する移動手段５と、を備えて構成されている。

【0013】

保持手段２は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された吸引口を介してウェハＷＦを他方の面（下面）から吸着保持するテーブル２１を備え、移動手段５を構成する駆動機器である直動モータ５３のスライダ５４上に支持されている。

【0014】

繰出手段３は、フレーム３０と、フレーム３０に設けられ第１剥離用テープＰＴ１を繰り出し可能に支持する第１支持ローラ３１Ａと、フレーム３０に設けられ第２剥離用テープＰＴ２を繰り出し可能に支持する第２支持ローラ３１Ｂと、フレーム３０に設けられたガイドローラ３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ，３２Ｄ，３２Ｅと、投光器３３１Ａおよび受光器３３２Ａ等の光学センサやカメラ等の撮像手段等で構成され、第１剥離用テープＰＴ１の残量が少なくなったことを検出可能な第１検出手段３３Ａと、投光器３３１Ｂおよび受光器３３２Ｂ等の光学センサやカメラ等の撮像手段等で構成され、第２剥離用テープＰＴ２の残量が少なくなったことを検出可能な第２検出手段３３Ｂと、フレーム３０の下部に設けられ繰り出された剥離用テープＰＴ（ＰＴ１，ＰＴ２）の先端領域を下方から支持するテープ支持部３４と、剥離用テープＰＴの先端部分を一対の把持爪３５Ａで把持する駆動機器としてのチャックシリンダ３５と、チャックシリンダ３５をそのスライダ３５Ｂで支持する駆動機器である直動モータ３５Ｃと、テープ支持部３４の上方に設けられて、繰り出された剥離用テープＰＴを切断するテープ切断部３６と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域に、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の他方の先端領域を繋ぎ合わせる繋ぎ手段６とを備えている。なお、第１および第２剥離用テープＰＴ１，ＰＴ２は、第１および第２基材テープＢＴ１，ＢＴ２の一方の面に、それぞれ感熱接着性の第１および第２接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２が積層され、当該第１および第２接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２における表出面が接着面とされる。

【0015】

テープ支持部３４は、フレーム３０に固定されるブッシュ３４１と、このブッシュ３４１に進退自在に支持されるロッド３４２と、このロッド３４２の先端に固定されるとともにカッター溝３４３を有するテープ受け板３４４と、テープ受け板３４４をブッシュ３４１から突出する方向に付勢するコイルばね３４５とを有して構成されている。
テープ切断部３６は、剥離用テープＰＴを切断するカッター刃３６１と、カッター刃３６１を上下方向に駆動させる駆動機器であるエアシリンダ３６２とを備えている。

【0016】

繋ぎ手段６は、駆動機器である直動モータ６１１および当該直動モータ６１１のスライダ６１２に設けられた一対のチャック６１３で第１剥離用テープＰＴ１の先端部を把持する第１把持部６１と、駆動機器である直動モータ６２１および当該直動モータ６２１のスライダ６２２に設けられた一対のチャック６２３で第２剥離用テープＰＴ２の先端部を把持する第２把持部６２と、気体として熱風を吹き付けることにより、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域に、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の他方の先端領域を繋ぎ合わせる気体吹き付け手段６３と、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域における繋ぎ合わされた部分よりも終端側、または、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の他方の先端領域における繋ぎ合わされた部分よりも先端側を除去する除去手段６４とを備えている。

【0017】

気体吹き付け手段６３は、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２を間に挟んで対向配置され、ファンモータや加圧ポンプ等の送風手段から送られる気体をコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段で加熱して熱風を造る図示しない熱風送風手段と、当該熱風送風手段からの熱風を対向方向にそれぞれ吹き出す一対の第１熱風ノズル６３Ａおよび第２熱風ノズル６３Ｂを備えている。

【0018】

除去手段６４は、第１熱風ノズル６３Ａの左右両側に設けられた駆動機器としての直動モータ６４１Ａ，６４２Ａの各出力軸６４１Ｂ，６４２Ｂにそれぞれ支持された第１、第２切断刃６４１Ｃ，６４２Ｃを備えた第１、第２除去手段６４１，６４２と、第２熱風ノズル６３Ｂの左右両側に設けられた駆動機器としての直動モータ６４３Ａ，６４４Ａの各出力軸６４３Ｂ，６４４Ｂにそれぞれ支持された第３、第４切断刃６４３Ｃ，６４４Ｃを備えた第３、第４除去手段６４３，６４４と、第１切断刃６４１Ｃを受け入れる第１溝６４５Ａおよび第３切断刃６４３Ｃを受け入れる第３溝６４５Ｂを備えた第１受け板６４５と、第２切断刃６４２Ｃを受け入れる第２溝６４６Ａおよび第４切断刃６４４Ｃを受け入れる第４溝６４６Ｂを備えた第２受け板６４６とを備えている。

【0019】

貼付手段４は、駆動機器である直動モータ４１の出力軸４２の下端部に設けられた押圧ヘッド４３と、この押圧ヘッド４３下端の押圧面部４４を加熱するコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段４５とを備えている。

【0020】

［シート剥離装置の動作］
次に、本実施形態における接着シートＡＳの剥離方法として、シート剥離装置１の動作について図面を参照して説明する。
先ず、図１に示すように、第１剥離用テープＰＴ１を第１支持ローラ３１Ａに支持させ、当該第１剥離用テープＰＴ１を引き出してガイドローラ３２Ａ，３２Ｃ，３２Ｄ，３２Ｅに掛け渡し、その先端領域をテープ受け板３４４上に位置させておく。一方、第２剥離用テープＰＴ２を第２支持ローラ３１Ｂに支持させ、当該第２剥離用テープＰＴ２を引き出てガイドローラ３２Ｂに掛け渡し、その先端領域を第２把持部６２に把持させておく。そして、図示しない搬送手段がウェハＷＦをテーブル２１上の所定位置に搬送すると、保持手段２が図示しない減圧手段を駆動し、吸引口を介してウェハＷＦをテーブル２１に吸着保持する。
そして、移動手段５が直動モータ５３を駆動し、ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳの左端を押圧面部４４の左端の直下に位置させると、繰出手段３が直動モータ３５Ｃを駆動し、下方に位置する把持爪３５Ａでテープ受け板３４４をブッシュ３４１方向に押し込み、第１剥離用テープＰＴ１の先端領域を上下の把持爪３５Ａ間に受け入れる。次いで、繰出手段３がチャックシリンダ３５を駆動し、第１剥離用テープＰＴ１の先端領域を把持爪３５Ａで挟持し、直動モータ３５Ｃを駆動し、チャックシリンダ３５を左方向に移動させ、第１剥離用テープＰＴ１を所定長さ引き出して停止する。

【0021】

次に、貼付手段４が直動モータ４１を駆動し、図１中二転鎖線で示すように、押圧ヘッド４３を下降させて押圧面部４４で第１剥離用テープＰＴ１を接着シートＡＳに押圧し、加熱手段４５を駆動し、押圧面部４４を加熱して第１剥離用テープＰＴ１を接着シートＡＳに貼付する。次いで、繰出手段３がエアシリンダ３６２を駆動し、カッター刃３６１をカッター溝３４３内に下降させることで第１剥離用テープＰＴ１を切断する。その後、貼付手段４が直動モータ４１を駆動し、押圧ヘッド４３を上昇させ、繰出手段３がエアシリンダ３６２を駆動し、カッター刃３６１を上昇させる。

【0022】

次に、移動手段５が直動モータ５３を駆動し、テーブル２１を左方向に移動させることで、接着シートＡＳは順次ウェハＷＦから剥離され、接着シートＡＳ全体が剥離されたウェハＷＦは、適宜な搬送装置でテーブル２１から別の工程に搬送される。ウェハＷＦから剥離された接着シートＡＳは、図示しない回収手段によってチャックシリンダ３５から離脱させて回収され、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0023】

上述の動作が繰り返され、図２（Ａ）に示すように、第１剥離用テープＰＴ１の残量が少なくなり、受光器３３２Ａが投光器３３１Ａの光を受光すると、気体吹き付け手段６３が図示しない熱風送風手段を駆動し、当該熱風送風手段からの熱風を第１熱風ノズル６３Ａおよび第２熱風ノズル６３Ｂから吹き出し、第１剥離用テープＰＴ１の終端領域と第２剥離用テープＰＴ２の先端領域とを挟み込んで繋ぎ合わせる。ここで、第１熱風ノズル６３Ａおよび第２熱風ノズル６３Ｂからの熱風で挟み込まれて貼付された位置を繋ぎ部分ＰＴＸという。
そして、除去手段６４が直動モータ６４１Ａを駆動し、第１切断刃６４１Ｃを第１溝６４５Ａ内に下降させ、第１剥離用テープＰＴ１における繋ぎ部分ＰＴＸよりも終端側を切断除去し、直動モータ６４４Ａを駆動し、第４切断刃６４４Ｃを第４溝６４６Ｂ内に上昇させ、第２剥離用テープＰＴ２における繋ぎ部分ＰＴＸよりも先端側を切断除去する。
これにより、第１剥離用テープＰＴ１に繋がる第２剥離用テープＰＴ２が順次繰り出され、第１剥離用テープＰＴ１と同様の第２剥離用テープＰＴ２による接着シートＡＳの剥離が継続される。なお、第２剥離用テープＰＴ２によって剥離が行われている間に、作業者が第１支持ローラ３１Ａに残った第１剥離用テープＰＴ１の紙管などの残物を取り除き、新たな第１剥離用テープＰＴ１を第１支持ローラ３１Ａに支持させ、図２（Ｂ）に示すように、当該新たな第１剥離用テープＰＴ１を引き出し、その先端領域を第１把持部６１に把持させておく。

【0024】

さらに、第２剥離用テープＰＴ２による接着シートＡＳの剥離動作が繰り返され、図２（Ｂ）に示すように、第２剥離用テープＰＴ２の残量が少なくなり、受光器３３２Ｂが投光器３３１Ｂの光を受光すると、上述と同様にして、第２剥離用テープＰＴ２の終端領域と第１剥離用テープＰＴ１の先端領域とを挟み込んで繋ぎ合わせる。
そして、除去手段６４が直動モータ６４３Ａを駆動し、第３切断刃６４３Ｃを第３溝６４５Ｂ内に上昇させ、第２剥離用テープＰＴ２における繋ぎ部分ＰＴＸよりも後端側を切断除去し、直動モータ６４２Ａを駆動し、第２切断刃６４２Ｃを第２溝６４６Ａ内に下降させ、第１剥離用テープＰＴ１における繋ぎ部分ＰＴＸよりも先端側を切断除去する。
これにより、第２剥離用テープＰＴ２に繋がる第１剥離用テープＰＴ１が順次繰り出され、上記同様の接着シートＡＳの剥離が継続される。
なお、図２（Ａ），（Ｂ）で示すように、繋ぎ部分ＰＴＸで第１剥離用テープＰＴ１と第２剥離用テープＰＴ２とが２層に重なり合う部分が貼付手段４にて接着シートＡＳに貼付される位置まで繰り出された場合には、この部分は貼付手段４にて貼付させる動作を実施せず、テープ切断部３６にて切断して廃棄し、チャックシリンダ３５により新たに剥離用テープＰＴを把持して引き出す。これら重なり合う部分の検出は、光学センサや撮像手段等の検出手段にて検出したり、剥離用テープＰＴの繰り出し量にて検出したりすることができる。

【0025】

以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、熱風を吹き付けることにより、第１剥離用テープＰＴ１および第２剥離用テープＰＴ２の一方の終端領域に、他方の先端領域を繋ぎ合わせる気体吹き付け手段６３を設けたので、一方の面に接着面が表出した剥離用テープＰＴ（ＰＴ１，ＰＴ２）であっても、第１剥離用テープＰＴ１または第２剥離用テープＰＴ２の接着剤層ＡＤ１、ＡＤ２が接触体に接着してしまうという不都合を防止し、それらを適切に繋ぎ合わせることができる。

【0026】

［変形例］
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0027】

例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハＷＦである場合を示したが、被着体は半導体ウェハＷＦに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板、基板、光ディスク等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウェハＷＦは、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示でき、この被着体に貼付された接着シート（シート、フィルム、テープ等）を剥離する剥離装置や剥離方法にも本発明を適用することができる。
さらに、前記実施形態では、剥離用テープＰＴとして感熱接着性のものを用いたが、これに限らず、感圧接着性や感光接着性等のものを用いてもよい。なお、剥離用テープＰＴが感圧接着性や感光接着性の場合には、貼付手段４も対応して加圧する構成や光を照射して貼付する従来公知の構成を適用すればよい。
また、剥離用テープＰＴは、例えば、基材テープＢＴと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、基材テープＢＴ上に更に別の層を有するものでもよいし、基材テープＢＴのない接着剤層ＡＤのみで構成されたものでもよい。
さらに、接着シートＡＳは、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。

【0028】

また、ウェハＷＦと剥離用テープＰＴとの両方を移動させて相対移動させたり、ウェハＷＦを停止させておいて剥離用テープＰＴを移動させたりする構成としてもよい。
そして、剥離用テープＰＴの終端領域を検出する第１検出手段３３Ａおよび第２検出手段３３Ｂとしては、例えば剥離用テープＰＴの終端領域に設けた色や磁気を検出したり、剥離用テープＰＴの巻芯の回転数をカウントして剥離用テープＰＴの繰り出し量を検出することで終端領域を検出したりする等、既知の方法を適用できる。

【0029】

さらに、気体吹き付け手段から熱風を吹き付けて説明したが、単に空気を吹き付ける構成としてもよい。
また、剥離用テープＰＴが紫外線、赤外線、マイクロ波、超音波等のエネルギー線で接着力を増す（発揮する）ものの場合、加熱手段に代えて、紫外線照射装置、赤外線照射装置、マイクロ波照射装置、超音波照射装置等のエネルギー線照射装置としてもよいし、それらを適宜組み合わせたものとしてもよいし、予めエネルギー線照射装置でエネルギー線を照射しておいて接着剤層ＡＤが接着力を増した状態で、気体を吹き付けてそれらを繋ぎ合せてもよい。
また、第１把持部６１および第２把持部６２を設けたが、第１剥離用テープＰＴ１または第２剥離用テープＰＴ２の端部を保持する構成としては、従来公知のいずれの構成を利用できる。
さらに、除去手段６４を設けず、例えば繋ぎ部分ＰＴＸの位置が繰り出された際に、貼付手段４にて貼付することなくテープ切断部３６にて切断して除去する等してもよい。
また、上記実施形態における第１熱風ノズル６３Ａは設ける必要はなく、当該第１熱風ノズル６３Ａに代えて例えば板状部材やローラ等の受圧部材としてもよい。
さらに、上記実施形態における第２熱風ノズル６３Ｂに代えて接着剤層ＡＤが接着しない非接着処理が施された板状部材やローラ等の受圧部材を採用し、第１熱風ノズル６３Ａから気体吹き付ける構成としてもよい。

【0030】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0031】

１ シート剥離装置
３ 繰出手段
４ 貼付手段
５ 移動手段
６ 繋ぎ手段
６３ 気体吹き付け手段
６４ 除去手段
ＡＳ 接着シート
ＰＴ 剥離用テープ
ＰＴ１ 第１剥離用テープ
ＰＴ２ 第２剥離用テープ
ＷＦ 半導体ウェハ（被着体）

【図1】

【図2】