特許 5995718 ヘッドチップ、ヘッドチップの製造方法、液体噴射ヘッド、液体噴射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5995718

(24)【登録日】2016年9月2日

(45)【発行日】2016年9月21日

(54)【発明の名称】ヘッドチップ、ヘッドチップの製造方法、液体噴射ヘッド、液体噴射装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/16 20060101AFI20160908BHJP

   B41J 2/14 20060101ALI20160908BHJP

【ＦＩ】

   B41J2/16 303

   B41J2/14 303

   B41J2/14 501

【請求項の数】13

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2012-288673(P2012-288673)

(22)【出願日】2012年12月28日

(65)【公開番号】特開2014-128950(P2014-128950A)

(43)【公開日】2014年7月10日

【審査請求日】2015年10月9日

(73)【特許権者】

【識別番号】501167725

【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100154863

【弁理士】

【氏名又は名称】久原 健太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100142837

【弁理士】

【氏名又は名称】内野 則彰

(74)【代理人】

【識別番号】100123685

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 信行

(72)【発明者】

【氏名】堂前 美徳

【審査官】 藏田 敦之

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１２／１４４５９７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１２−１４３９５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２０１０２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２６５３４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０３１６０６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ４１Ｊ ２／０１ − ２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の一側面に該基板を貫通する深さの吐出溝を複数配列したアクチュエータプレートと、複数の前記吐出溝に連通する液体供給室を有して前記アクチュエータプレートの一側面に設置されるカバープレートと、前記吐出溝の長手方向中央に連通するノズル孔を複数配列して前記アクチュエータプレートの他側面に設置されるノズルプレートと、を備えたヘッドチップにおいて、
前記カバープレートが、複数の前記ノズル孔の少なくとも一つと前記吐出溝を介して対向する位置に、あるいは前記ノズルプレートにおける複数の前記ノズル孔の何れかに隣接する隣接孔と前記アクチュエータプレートに形成された貫通部を介して対向する位置に、前記ノズルプレートの位置合わせ基準を有し、
前記位置合わせ基準が、前記ノズル孔及び前記吐出溝を通じて、あるいは前記隣接孔及び前記貫通部を通じて、前記ノズルプレート側から検出可能とされることを特徴とするヘッドチップ。

【請求項2】

前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに複数設けられることを特徴とする請求項１に記載のヘッドチップ。

【請求項3】

前記位置合わせ基準が、前記ノズルプレートにおける、複数の前記ノズル孔を含むノズル列の両端側に配置された前記ノズル孔あるいは前記隣接孔と対向する位置に設けられることを特徴とする請求項１又は２の記載のヘッドチップ。

【請求項4】

前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに設置された貫通孔であることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項5】

前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに設置された光反射部であることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項6】

前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに設置された光透過部であることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項7】

前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに設置された凸部であることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項8】

前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに設置された凹部であることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項9】

前記位置合わせ基準が、複数の前記ノズル孔あるいは前記隣接孔に跨って対向するように設けられることを特徴とする請求項１から８の何れか一項に記載のヘッドチップ。

【請求項10】

基板の一側面に該基板を貫通する深さの吐出溝を複数配列したアクチュエータプレートと、複数の前記吐出溝に連通する液体供給室を有して前記アクチュエータプレートの一側面に設置されるカバープレートと、前記吐出溝の長手方向中央に連通するノズル孔を複数配列して前記アクチュエータプレートの他側面に設置されるノズルプレートと、を備えたヘッドチップの製造方法において、
複数の前記ノズル孔の少なくとも一つと前記吐出溝とを通じて、あるいは前記ノズルプレートにおける複数の前記ノズル孔の何れかに隣接する隣接孔と前記アクチュエータプレートに形成された貫通部とを通じて、前記カバープレートに設けられた位置合わせ基準を検出し、前記ノズルプレートの位置合わせを行う位置合わせ工程を有することを特徴とするヘッドチップの製造方法。

【請求項11】

前記カバープレートに設けられた前記位置合わせ基準としての貫通孔を閉塞する孔閉塞工程を有することを特徴とする請求項１０に記載のヘッドチップの製造方法。

【請求項12】

請求項１から９のいずれか一項に記載のヘッドチップと、
前記吐出溝に液体を給排する液体給排手段と、
前記吐出溝の側壁に形成された駆動電極に駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。

【請求項13】

請求項１２に記載の液体噴射ヘッドと、
被記録媒体を予め決められた搬送方向に沿って搬送する搬送手段と、
前記被記録媒体に対して前記液体噴射ヘッドを前記搬送方向と直交する方向で走査させる走査手段と、を備えることを特徴とする液体噴射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液滴を吐出する液体噴射ヘッドのヘッドチップ、及びヘッドチップの製造方法、並びに前記ヘッドチップを用いた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液体噴射ヘッドのヘッドチップにおいて、複数の吐出溝が形成されたアクチュエータプレートに、複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを接合する際、アクチュエータプレートの吐出溝にノズルプレートのノズル孔を位置合わせするために、ノズルプレートにノズル孔とは別の孔等の位置合わせ基準を形成し、これを用いてアクチュエータプレートとノズルプレートとの位置合わせを行っている（例えば特許文献１，２参照）。

【0003】

特許文献１では、アクチュエータプレートにおける複数の吐出溝の長手方向末端側にノズルプレートを設置するエッジシュートタイプのヘッドチップにおいて、吐出溝の並び方向両側でこれらの外側方に設けたダミー溝に対し、ダミー溝の末端の周縁を横切る複数の小孔をノズルプレートに形成し、この小孔からダミー溝の末端の周縁を検出することで、アクチュエータプレートとノズルプレートとの位置合わせを行う。
特許文献２では、アクチュエータプレートの一側面にノズルプレートを設置するヘッドチップにおいて、アクチュエータプレートの吐出溝群両側の外側方、及びノズルプレートのノズル孔群両側の外側方に、それぞれアライメント孔を形成し、これらのアライメント孔により、アクチュエータプレートとノズルプレートとの位置合わせを行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平９−２０００９号公報

【特許文献2】特開２００２−９６４７３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、上記従来の構成では、ノズル孔から離れた位置でアクチュエータプレートとノズルプレートとの位置合わせを行うことから、位置決め基準とノズル孔との間の寸法公差が加わり、ノズル孔の位置合わせ精度に影響するという問題がある。また、ノズルプレートが薄肉の樹脂板等である場合、ノズルプレートの熱変形によるズレも加わり、さらに前記位置合わせ精度に影響するという問題がある。

【0006】

特に、吐出溝の長手方向中間部にノズル孔を連通させるサイドシュートタイプのヘッドチップでは、ノズル孔を吐出溝の長手方向中央に配置することが好ましい。つまり、吐出溝を駆動する駆動壁や、駆動壁によって生じる圧力波が伝わる吐出溝の形状を、吐出溝の長手方向中央に関して対称に形成し、その中央（換言すれば、アクチュエータプレートのポンプ駆動部の中央）にノズル孔を設置することで、液滴が効率よく安定して吐出される。
しかし、ノズル孔と比べて大幅に長い吐出溝に対して、その長手方向中央にノズル孔を正確に位置合わせしようとしても、上記従来の構成では間接的な位置合わせになり、かつノズルプレートを重ねると吐出溝の長手方向中央が不明になり、実際にノズル孔が所望の位置に配置されたかは不明である。
したがって、アクチュエータプレートとノズルプレートとを位置合わせする際に、ノズル孔を吐出溝の長手方向中央に正確かつ確実に位置合わせできる構造が望まれる。

【0007】

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、アクチュエータプレート、カバープレート及びノズルプレートを備えるヘッドチップ及びその製造方法において、ノズル孔を正確かつ確実に位置合わせ可能とし、かつ前記ヘッドチップを用いた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題の解決手段として、本発明は、基板の一側面に該基板を貫通する深さの吐出溝を複数配列したアクチュエータプレートと、複数の前記吐出溝に連通する液体供給室を有して前記アクチュエータプレートの一側面に設置されるカバープレートと、前記吐出溝の長手方向中央に連通するノズル孔を複数配列して前記アクチュエータプレートの他側面に設置されるノズルプレートと、を備えたヘッドチップにおいて、前記カバープレートが、複数の前記ノズル孔の少なくとも一つと前記吐出溝を介して対向する位置に、あるいは前記ノズルプレートにおける複数の前記ノズル孔の何れかに隣接する隣接孔と前記アクチュエータプレートに形成された貫通部を介して対向する位置に、前記ノズルプレートの位置合わせ基準を有し、前記位置合わせ基準が、前記ノズル孔及び前記吐出溝を通じて、あるいは前記隣接孔及び前記貫通部を通じて、前記ノズルプレート側から検出可能とされることを特徴とする。

【0009】

本発明は、前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに複数設けられる構成であってもよい。
このとき、前記位置合わせ基準が、前記ノズルプレートにおける、複数の前記ノズル孔を含むノズル列の両端側に配置された前記ノズル孔あるいは前記隣接孔と対向する位置に設けられる構成であってもよい。

【0010】

本発明は、前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに設置された貫通孔であってもよく、あるいは前記カバープレートに設置された光反射部であってもよく、あるいは前記カバープレートに設置された光透過部であってもよい。
また、前記位置合わせ基準が、前記カバープレートに設置された凸部であってもよく、あるいは前記カバープレートに設置された凹部であってもよい。
さらに、前記位置合わせ基準が、複数の前記ノズル孔あるいは前記隣接孔に跨って対向するように設けられる構成であってもよい。

【0011】

また、本発明は、基板の一側面に該基板を貫通する深さの吐出溝を複数配列したアクチュエータプレートと、複数の前記吐出溝に連通する液体供給室を有して前記アクチュエータプレートの一側面に設置されるカバープレートと、前記吐出溝の長手方向中央に連通するノズル孔を複数配列して前記アクチュエータプレートの他側面に設置されるノズルプレートと、を備えたヘッドチップの製造方法において、複数の前記ノズル孔の少なくとも一つと前記吐出溝とを通じて、あるいは前記ノズルプレートにおける複数の前記ノズル孔の何れかに隣接する隣接孔と前記アクチュエータプレートに形成された貫通部とを通じて、前記カバープレートに設けられた位置合わせ基準を検出し、前記ノズルプレートの位置合わせを行う位置合わせ工程を有することを特徴とするものでもある。
本発明は、前記カバープレートに設けられた前記位置合わせ基準としての貫通孔を閉塞する孔閉塞工程を有する構成であってもよい。
また、本発明は、上記何れかのヘッドチップと、前記吐出溝に液体を給排する液体給排手段と、前記吐出溝の側壁に形成された駆動電極に駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドを提供する。
また、本発明は、上記液体噴射ヘッドと、被記録媒体を予め決められた搬送方向に沿って搬送する搬送手段と、前記被記録媒体に対して前記液体噴射ヘッドを前記搬送方向と直交する方向で走査させる走査手段と、を備えることを特徴とする液体噴射装置を提供する。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、ノズル孔又はノズル孔に隣接する隣接孔を通じてカバープレートの位置合わせ基準を検出し、この検出によりノズル孔の位置合わせを行う手法によって、ノズル孔を直接又は直接的に位置合わせすることができる。このため、ノズル孔から離間した位置合わせ基準を利用してノズル孔の位置合わせを行う場合と比べて、ノズル孔の位置合わせ精度を高め、ヘッドチップの吐出特性を良好に確保できる。特に、吐出溝の長手方向中央にノズル孔を連通させるサイドシュートタイプのヘッドチップにおいては、アクチュエータプレート及びカバープレートで構成されるポンプの中央にノズル孔を配置することが吐出特性を管理する上で重要であり、本願発明の効果が高い。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の実施形態におけるヘッドチップを含む液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置の斜視図である。

【図2】上記ヘッドチップをノズルプレート側から見た平面図である。

【図3】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。

【図4】図３のＩＶ−ＩＶ断面図である。

【図5】図３のＶ−Ｖ断面図である。

【図6】上記ヘッドチップの製造方法の主な工程を示すフローチャート図である。

【図7】上記製造方法の溝形成工程における図４、図５に相当する断面図である

【図8】上記溝形成工程における図４に相当する断面図である。

【図9】上記溝形成工程における図５に相当する断面図である。

【図10】上記溝形成工程における圧電体基板の平面図である。

【図11】上記製造方法の導電体堆積工程における図３に相当する断面図である。

【図12】上記製造方法の電極形成工程における図３に相当する断面図である。

【図13】上記製造方法のカバープレート設置工程における図４に相当する断面図である。

【図14】上記製造方法のカバープレート設置工程における図５に相当する断面図である。

【図15】上記製造方法の基板研削工程における図４に相当する断面図である。

【図16】上記製造方法の基板研削工程における図５に相当する断面図である。

【図17】上記製造方法のノズルプレート設置工程におけるノズルプレートの位置合わせの手法を示す図４に相当する断面図である。

【図18】上記ヘッドチップを分解して上下に並べた平面図である。

【図19】上記ヘッドチップの変形例を示す図１８に相当する平面図である。

【図20】上記ヘッドチップの他の変形例を示す図１８に相当する平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、液体としてインクを噴射する液体噴射ヘッド及びそのヘッドチップ、並びにこの液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置を例示する。

【0015】

図１に示すように、液体噴射記録装置１は、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送手段（被記録媒体搬送部）２，３と、被記録媒体Ｓにインクを噴射する液体噴射ヘッド４と、液体噴射ヘッド４にインクを供給するインク供給手段（液体供給部）５と、液体噴射ヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向（以下、Ｙ方向と記す。）と直交する方向（被記録媒体Ｓの幅方向、以下、Ｘ方向と記す。）に走査させる走査手段６と、を備える。図中Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する高さ方向を示す。

【0016】

搬送手段２は、Ｘ方向に延設されたグリッドローラ２０と、グリッドローラ２０に平行して延設されたピンチローラ２０ａと、グリッドローラ２０を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備える。同様に、搬送手段３は、Ｘ方向に延設されたグリッドローラ３０と、グリッドローラ３０に平行して延設されたピンチローラ３０ａと、グリッドローラ３０を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備える。

【0017】

インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク５０と、インクタンク５０と液体噴射ヘッド４とを接続するインク配管５１と、を備える。インクタンク５０として、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク５０Ｙ，５０Ｍ，５０Ｃ，５０ＢがＹ方向に並んで設けられる。インク配管５１は、液体噴射ヘッド４を支持するキャリッジ６２の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。

【0018】

走査手段６は、Ｘ方向に延設された一対のガイドレール６０，６１と、一対のガイドレール６０，６１に沿って摺動可能なキャリッジ６２と、キャリッジ６２をＸ方向に移動させる駆動機構６３と、を備える。駆動機構６３は、一対のガイドレール６０，６１の間に配設された一対のプーリ６４，６５と、一対のプーリ６４，６５間に巻回された無端ベルト６６と、一方のプーリ６４を回転駆動させる駆動モータ６７と、を備える。

【0019】

一対のプーリ６４，６５は、一対のガイドレール６０，６１の両端部間にそれぞれ配設される。無端ベルト６６は、一対のガイドレール６０，６１間に配設され、この無端ベルトにキャリッジ６２が連結される。キャリッジ６２には、複数の液体噴射ヘッド４として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクの液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで搭載される。

【0020】

液体噴射ヘッド４は、キャリッジ６２に固定されるベース上に、一又は複数のヘッドチップ４１（図２，３等参照）を支持すると共に、ヘッドチップ４１の吐出溝に液体を給排する液体給排部、フィルタ部及び配線基板等（何れも不図示）を支持する。前記配線基板には、ヘッドチップ４１を駆動制御する制御回路が形成される。液体噴射ヘッド４は、不図示の制御装置が出力した駆動信号に応じて、前記制御回路から前記吐出溝の側壁に形成された駆動電極に駆動電圧を印加し、各色のインクを所望のボリュームで吐出する。この液体噴射ヘッド４が走査手段６によりＸ方向に移動することで、被記録媒体ＳにおけるＹ方向で所定幅の範囲に記録がなされ、かつこの走査を搬送手段２，３により被記録媒体ＳをＹ方向で搬送しつつ繰り返し行うことで、被記録媒体Ｓ全体に記録がなされる。

【0021】

図２、図３に示すように、ヘッドチップ４１は、Ｘ方向に所定幅を有してＹ方向に延びる帯板状に設けられる。ヘッドチップ４１は、前記液体給排部との間でインクを給排する液体循環型とされる。ヘッドチップ４１は、Ｙ方向に沿って直線状に並ぶ複数のノズル孔１３を含むノズル列１９からインクを吐出する。ヘッドチップ４１は、後述する液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に臨むノズル孔１３からインクを吐出するいわゆるサイドシュートタイプである。

【0022】

ヘッドチップ４１は、互いに平行に並ぶ複数のチャネル（溝）１２を含むチャネル群１１を有するアクチュエータプレート１５と、アクチュエータプレート１５の上面（一側面）に設置されるカバープレート１６と、アクチュエータプレート１５の下面（他側面）に設置されるノズルプレート１４と、を一体的に備えた積層構造とされる。図示都合上、図２ではノズルプレート１４を鎖線で示す。

【0023】

アクチュエータプレート１５は、例えば垂直方向に分極処理が施されたＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックスで形成される。カバープレート１６は、アクチュエータプレート１５と同じＰＺＴセラミックスで形成され、アクチュエータプレート１５と熱膨張を等しくして温度変化に対する反りや変形を抑える。カバープレート１６は、アクチュエータプレート１５と異なる材料でもよいが、熱膨張係数がＰＺＴセラミックスと近似する材料であることが好ましい。ノズルプレート１４は、光透過性のポリイミド膜で形成される。

【0024】

各チャネル１２は、アクチュエータプレート１５の上面側から、後述するダイシングブレード７１（図７参照）による切削によって、直線状かつ等間隔に形成される。各チャネル１２は、その長手方向（Ｘ方向）の両側におけるダイシングブレード７１の外周形状に沿う円弧状底面７２が形成された部位を除き、アクチュエータプレート１５の上面側から下面側へ貫通して形成される。隣り合うチャネル１２間には、断面矩形状でＸ方向に延びる圧電体１７が形成される。

【0025】

各チャネル１２は、インク滴を噴射させる液体噴射チャネル（吐出溝）１２Ａと、インク滴を噴射させないダミーチャネル（非吐出溝）１２Ｂとに大別される。液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂは、Ｙ方向で交互に並んでそれぞれ複数形成される。

【0026】

図４、図５に示すように、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２ＢのＸ方向一側（図中左側）は、アクチュエータプレート１５のＸ方向一側の外側端よりも内側に比較的小さく入り込んだ位置で、ダイシングブレード７１による円弧状底面７２を消失させるように形成される。
一方、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２ＢのＸ方向他側（図中右側）は、アクチュエータプレート１５のＸ方向他側の外側端よりも内側に比較的大きく入り込んだ位置で、円弧状底面７２を消失させるように形成される。

【0027】

液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂは、Ｘ方向で互いに同一の範囲に渡って、アクチュエータプレート１５を上下に貫通する。
ダミーチャネル１２Ｂにおいては、Ｘ方向他側の円弧状底面７２よりもＸ方向他側に、Ｚ方向の深さを浅くした浅溝１２Ｃを連設する。浅溝１２Ｃは、アクチュエータプレート１５のＸ方向他側の外側端に至るまで形成される。

【0028】

液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの底面側は、アクチュエータプレート１５の下面に取り付けられたノズルプレート１４により閉塞される。
図２、図３を併せて参照し、ノズルプレート１４は、例えばアクチュエータプレート１５とＸ方向幅及びＹ方向長さを同一にして設けられる。ノズルプレート１４には、各液体噴射チャネル１２ＡのＹ方向中央の下方に位置して各液体噴射チャネル１２Ａに連通するノズル孔１３が複数形成される。

【0029】

複数のノズル孔１３は、Ｙ方向に沿って並ぶことで、直線状のノズル列１９を形成する。ノズルプレート１４は、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの底面側（アクチュエータプレート１５の下面側）を覆うように、アクチュエータプレート１５の下面に接着剤等により接合される。液体噴射チャネル１２Ａの下部開口７３Ａは、ノズルプレート１４により閉塞されるが、液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央（Ｘ方向中央）の下方にはノズル孔１３が配置される。ダミーチャネル１２Ｂの下部開口７３Ｂは、ノズルプレート１４における隣り合うノズル孔１３間の部位により閉塞される。ノズル孔１３を液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に位置合わせする手法については後述する。

【0030】

アクチュエータプレート１５の下面において交互に並ぶ液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの下部開口７３Ａ，７３Ｂは、互いに同形状とされるが、これらが互いに異形状であってもよい。ダミーチャネル１２Ｂが浅溝１２Ｃを連設せず、液体噴射チャネル１２Ａと同様に終端してもよい。ダミーチャネル１２Ｂがアクチュエータプレート１５の下面に開口しなくてもよい。

【0031】

図４を参照し、液体噴射チャネル１２Ａの両内側面には、液体噴射チャネル１２Ａの底面（ノズルプレート１４の上面）から上方に離間したコモン電極７４Ａが形成される。コモン電極７４Ａは、Ｘ方向に延びる帯状をなし、そのＸ方向他側は、アクチュエータプレート１５のＸ方向他側の上面に形成したコモン端子７５Ａに電気的に接続される。

【0032】

図５を参照し、ダミーチャネル１２Ｂの両内側面には、ダミーチャネル１２Ｂの底面（ノズルプレート１４の上面）から上方に離間したアクティブ電極７４Ｂが形成される。アクティブ電極７４Ｂは、Ｘ方向に延びる帯状をなし、そのＸ方向他側は、アクチュエータプレート１５のＸ方向他側の上面に形成されたアクティブ端子７５Ｂに電気的に接続される。

【0033】

一つのダミーチャネル１２Ｂ内で対向する一対のアクティブ電極７４Ｂは、互いに電気的に分離される。アクティブ電極７４Ｂは、浅溝１２Ｃの底面よりも上方に位置し、浅溝１２Ｃの内側面にも連続して形成される。液体噴射チャネル１２Ａを挟む一対の圧電体１７にそれぞれ形成されたアクティブ電極７４Ｂは、互いに電気的に接続される。

【0034】

この構成において、液体噴射チャネル１２Ａを挟む一対の圧電体１７のアクティブ電極７４Ｂに電圧を印加すると、前記一対の圧電体１７が変形し、これらの間の液体噴射チャネル１２Ａ内に充填されたインクに圧力変動を生じさる。このインクがノズル孔１３より吐出され、被記録媒体Ｓに文字や図形を記録する。アクチュエータプレート１５のＸ方向他側には、コモン端子７５Ａ及びアクティブ端子７５Ｂを外部に接続するためのフレキシブル基板（不図示）が実装される。

【0035】

カバープレート１６は、Ｘ方向でアクチュエータプレート１５よりも狭いが、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの全量よりも広い幅を有して、アクチュエータプレート１５と同様にＹ方向に延びる帯板状とされる。カバープレート１６は、Ｘ方向他側（図中右側）の上面側に液体供給室７６を形成すると共に、Ｘ方向一側（図中左側）の上面側に液体排出室７７を形成する。液体供給室７６の底部（下部）には、液体噴射チャネル１２ＡのＸ方向他側に連通する第一スリット７６ａが形成され、液体排出室７７の底部には、液体噴射チャネル１２ＡのＸ方向一側に連通する第二スリット７７ａが形成される。

【0036】

カバープレート１６は、そのＸ方向一側（図中左側）では、外側端をアクチュエータプレート１５のＸ方向一側の外側端に合わせて、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂを覆うと共に、Ｘ方向他側（図中右側）では、コモン端子７５Ａ及びアクティブ端子７５Ｂを露出させるように設置される。カバープレート１６の第一スリット７６ａは、液体噴射チャネル１２ＡのＸ方向他側の上部開口７８Ａに連通し、カバープレート１６の第二スリット７７ａは、液体噴射チャネル１２ＡのＸ方向一側の上部開口７８Ａに連通する。ダミーチャネル１２Ｂの上部開口７８Ｂは、各スリット７６ａ，７７ａ等と連通せず、カバープレート１６の下面により閉塞される。

【0037】

カバープレート１６の厚さは０．３ｍｍ〜１．０ｍｍ、ノズルプレート１４の厚さは０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍとするのが好ましい。カバープレート１６を０．３ｍｍより薄くすると強度が低下し、１．０ｍｍより厚くすると液体供給室７６及び液体排出室７７並びに各スリット７６ａ，７７ａの加工に時間を要し、かつ材料が増量してコスト高となる。ノズルプレート１４を０．０１ｍｍよりも薄くすると強度が低下し、０．１ｍｍより厚くすると隣接するノズル孔１３に振動が加わってクロストークが発生し易くなる。

【0038】

ＰＺＴセラミックスはヤング率が５８．４８ＧＰａであり、ポリイミドはヤング率が３．４ＧＰａである。つまり、アクチュエータプレート１５の上面を覆うカバープレート１６の方が、アクチュエータプレート１５の下面を覆うノズルプレート１４よりも剛性が高い。カバープレート１６の材質はヤング率が４０ＧＰａを下回らないことが好ましく、ノズルプレート１４の材質はヤング率が１．５ＧＰａ〜３０ＧＰａの範囲が好ましい。ノズルプレート１４において、ヤング率が１．５ＧＰａを下回ると、被記録媒体Ｓに接触したときに傷がつきやすく信頼性が低下する。ノズルプレート１４において、ヤング率が３０ＧＰａを超えると、隣接するノズル孔１３に振動が加わってクロストークが発生し易くなる。

【0039】

液体噴射ヘッド４の駆動時には、まず、インク供給手段５から液体供給室７６に供給されたインクが、第一スリット７６ａを介して液体噴射チャネル１２Ａに流入し、さらに液体噴射チャネル１２Ａから第二スリット７７ａを介して液体排出室７７に流出する。このように、液体噴射チャネル１２Ａにインクが給排される状態で、アクティブ電極７４Ｂに駆動信号が印加されると、液体噴射チャネル１２Ａを挟む両圧電体１７に厚みすべり変形が生じ、液体噴射チャネル１２Ａに充填されたインクに圧力波を発生させる。この圧力波により、ノズル孔１３からインクが吐出され、被記録媒体Ｓに文字や図形が記録される。コモン電極７４Ａ及びアクティブ電極７４Ｂは、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの底面すなわちノズルプレート１４の上面から離間することで、インクに誘起される圧力波を安定させ、インク滴を安定して吐出可能とする。本実施形態ではコモン端子７５Ａ及びアクティブ端子７５Ｂ側に液体供給室７６、その反対側に液体排出室７７を配置したが、これらの配置を逆にしてもよい。

【0040】

図６は、本実施形態におけるヘッドチップ４１の製造方法の主な工程を示すフローチャートである。本方法は、アクチュエータプレート１５を形成する圧電体基板８１の一側面（図中上面）に感光性の樹脂膜８２を形成する樹脂膜形成工程Ｓ１と、露光、現像により樹脂膜８２のパターンを形成するパターン形成工程Ｓ２と、圧電体基板８１の一側面に複数の溝８３を形成する溝形成工程Ｓ３と、圧電体基板８１の一側面にその法線方向に対して溝８３の長手方向と直交する方向に傾斜した方向から導電体８４を蒸着する導電体堆積工程Ｓ４と、導電体８４をパターニングしてコモン電極７４Ａ及びアクティブ電極７４Ｂを形成する電極形成工程Ｓ５と、圧電体基板８１の一側面にカバープレート１６を設置するカバープレート設置工程Ｓ６と、圧電体基板８１の他側面を研削する基板研削工程Ｓ７と、研削後の圧電体基板８１の他側面にノズルプレート１４を設置するノズルプレート設置工程Ｓ８と、後述する位置合わせ基準８７としての貫通孔を閉塞する孔閉塞工程Ｓ９と、を含む。

【0041】

樹脂膜形成工程Ｓ１において、圧電体基板８１の上面には、感光性の樹脂膜８２（図７参照）が形成される。圧電体基板８１は、ＰＺＴセラミックスで形成され、樹脂膜８２は、圧電体基板８１にレジスト膜を塗布して形成される。樹脂膜８２は、感光性樹脂フィルムで形成してもよい。

【0042】

パターン形成工程Ｓ２において、まず、露光、現像によって樹脂膜８２のパターンを形成する。その後、コモン端子７５Ａ及びアクティブ端子７５Ｂを形成する領域では、樹脂膜８２を除去し、コモン端子７５Ａ及びアクティブ端子７５Ｂを形成しない領域では、樹脂膜８２を残す。これは、後にリフトオフ法によりコモン端子７５Ａ及びアクティブ端子７５Ｂのパターニングを行うためである。

【0043】

図７〜図１０を参照し、溝形成工程Ｓ３において、圧電体基板８１には、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの基となる複数の溝８３が、ダイシングブレード７１により形成される。ダイシングブレード７１は、水平に配置された圧電体基板８１の上方から、圧電体基板８１の上面における溝８３のＸ方向一側の端部となる位置に降下し、当該位置を所定深さまで研削する。所定深さとは、基板研削工程Ｓ７で形成される液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの最終的な深さを示す鎖線Ｚよりも深く、かつ圧電体基板８１の下面に達しない深さである。

【0044】

その後、ダイシングブレード７１は、Ｘ方向他側へ圧電体基板８１の上面に沿って水平に移動しながら、前記所定深さの溝８３を形成する。ダイシングブレード７１は、溝８３のＸ方向他側の端部となる位置に達した後、圧電体基板８１から退避するべくその上方まで上昇する。ダイシングブレード７１は、Ｙ方向で変位しつつ溝８３の形成を繰り返し、平行に並ぶ複数の溝８３を形成する（図１１参照）。

【0045】

図９を参照し、ダイシングブレード７１は、ダミーチャネル１２Ｂの基となる溝８３のＸ方向他側では、浅溝１２Ｃの基となる浅溝８３ａを、圧電体基板８１のＸ方向他側の外側端に至るまで形成する。圧電体基板８１の上面には、パターニングされた樹脂膜８２が形成されている。

【0046】

ダイシングブレード７１は、圧電体基板８１の上面側を液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの最終的な深さである鎖線Ｚよりも深く研削することで、圧電体基板８１の上面側を鎖線Ｚまで研削するのみの場合と比べて、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの円弧状底面７２のＸ方向幅Ｗ（図８参照）が短縮される。これにより、液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの有効なＸ方向幅を確保し易くなり、圧電体基板８１の小型化を図って圧電体ウエハーから取得する際の歩留まりを向上させる。

【0047】

図１１を参照し、導電体堆積工程Ｓ４において、圧電体基板８１の一側面の法線Ｈに対して、溝８３の長手方向（Ｘ方向）と直交する方向に角度+θ，−θで傾斜した二方向から、圧電体基板８１の表面に導電体８４を蒸着する。本実施形態では、溝８３間における圧電体１７の基となる壁８５の上面から鎖線Ｚまでの深さｄの略１／２の深さ（ｄ／２）まで導電体８４を堆積するように設定される。

【0048】

導電体８４の下端縁は、浅溝８３ａの底面よりも上方に位置し、浅溝８３ａの底面には導電体８４が堆積されない。これに対し、液体噴射チャネル１２Ａとなる溝８３のＸ方向他側の円弧状底面７２の上部には、深さｄ／２よりも浅い領域に導電体８４が堆積される（図１３参照）。

【0049】

導電体８４は、鎖線Ｚよりも浅い範囲であれば、深さｄ／２よりも深い領域まで形成してもよい。すなわち、斜め蒸着法により形成する導電体８４からなるコモン電極７４Ａ及びアクティブ電極７４Ｂの下端縁は、鎖線Ｚよりも浅く深さｄ／２よりも深い範囲に形成されてもよい。コモン電極７４Ａ及びアクティブ電極７４Ｂは、溝８３からなる液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂの底面（本例ではノズルプレート１４の上面）から離間することで、前述の如く液滴の吐出を安定させる。

【0050】

図１２を参照し、電極形成工程Ｓ５においては、導電体８４をパターニングしてコモン電極７４Ａ及びアクティブ電極７４Ｂを形成する。つまり、樹脂膜８２を除去するリフトオフ法により、樹脂膜８２と共にその上面に堆積した導電体８４を除去する。これにより、溝８３間の壁８５の両側面に堆積した導電体８４が互いに分離し、コモン電極７４Ａ及びアクティブ電極７４Ｂが形成される。

【0051】

電極形成工程Ｓ５では、コモン電極７４Ａ及びアクティブ電極７４Ｂの形成と同時に、コモン端子７５Ａ及びアクティブ端子７５Ｂを形成する（図１３、図１４参照）。このとき、液体噴射チャネル１２Ａの両内側面に形成されたコモン電極７４Ａは、液体噴射チャネル１２Ａの内部に位置する電極同士がそれぞれ全て電気的に接続され、ダミーチャネル１２Ｂの両内側面に形成されたアクティブ電極７４Ｂは、ダミーチャネル１２Ｂの内部に位置する電極同士がそれぞれ全て電気的に分離される。ただし、液体噴射チャネル１２Ａを挟む一組のアクティブ電極７４Ｂはそれぞれ電気的に接続されている。これによって、液体噴射チャネル１２Ａを形成する壁８５（圧電体１７）を同時に駆動することができる。

【0052】

図１３、図１４を参照し、カバープレート設置工程Ｓ６においては、電極形成工程Ｓ５後の圧電体基板８１の上面に、カバープレート１６が接着剤等により接合される。これにより、圧電体基板８１の溝８３間の壁８５の上端が、カバープレート１６を介して一体的に連結される。

【0053】

図１５、図１６を参照し、基板研削工程Ｓ７においては、圧電体基板８１の下面側を鎖線Ｚまで研削する。これにより、圧電体基板８１の上面から下面まで各溝８３が貫通し、かつ各溝８３が前記深さｄの液体噴射チャネル１２Ａ及びダミーチャネル１２Ｂとなる。このとき、溝８３間の壁８５の下端は分離するが、壁８５の上端がカバープレート１６への接合により連結され、かつ溝８３のＸ方向両側の端部は圧電体基板８１が残されて連結されるため、基板研削工程Ｓ７で圧電体基板８１が解体することはない。以下、アクチュエータプレート１５及びカバープレート１６の接合体をプレート接合体８６という。

【0054】

図１７を参照し、ノズルプレート設置工程Ｓ８において、プレート接合体８６に対するノズルプレート１４の接合位置は、液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央にノズル孔１３が位置するようにして決定される。液体循環型のヘッドチップ４１では、アクチュエータプレート１５及びカバープレート１６の接着部分（液体噴射チャネル１２Ａのポンプ領域に相当）も含め、液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に関して対称に形成される。この液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央にノズル孔１３を配置することが、液滴の吐出特性を安定させる点で好ましい。

【0055】

本実施形態では、ノズル列１９の両端をカメラＣで下方から撮像し、その撮像データに基づく画像認識により、プレート接合体８６及びノズルプレート１４のアライメントを行う。ノズル孔１３の位置合わせは、ノズル列１９両端のノズル孔１３を下方から見たときに、該ノズル孔１３及びその上方の液体噴射チャネル１２Ａを通じて、カバープレート１６に形成された位置合わせ基準８７を検出（視認）することでなされる。

【0056】

位置合わせ基準８７は、カバープレート１６におけるノズル列１９両端のノズル孔１３とその軸方向で対向する位置、すなわち対応する液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央の直上となる位置に設けられる。この位置合わせ基準８７がノズル孔１３を通じて下方から視認されたときに、液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央の下方にノズル孔１３が位置していると判定される。ノズルプレート設置工程Ｓ８は、プレート接合体８６に対するノズルプレート１４の位置合わせを行う位置合わせ工程Ｓ８１を含んでいる。

【0057】

図１７に示す位置合わせ基準８７は、カバープレート１６を上下に貫通する貫通孔であり、ノズル孔１３から見たときにバックライトＢの光を視認可能とすることで、暗い作業環境でも位置合わせ基準８７を検出し易くする。本例では、ノズルプレート設置工程Ｓ８後に前記貫通孔を埋めて閉塞する孔閉塞工程Ｓ９を実施する。

【0058】

位置合わせ基準８７は、貫通孔に限らず、例えば金属蒸着等による光反射部、透明化又は薄肉化等による光透過部、凸部及び凹部等、様々な形態が有り得る。光反射部及び光透過部の場合、貫通孔と同様に検出し易く、かつ孔閉塞工程Ｓ９が不要となる。凸部及び凹部等の形状の場合、位置合わせ基準８７の形成が比較的容易である。

【0059】

位置合わせ基準８７は、ノズル孔１３と同サイズ又はノズル孔１３よりも小さいサイズに形成される。位置合わせ基準８７のＹ方向位置は、ノズル列１９両端のノズル孔１３及びチャネル群１１両端の液体噴射チャネル１２Ａと同一である（図１８参照）。なお、図１８において、複数のチャネル１２の左右の最端に液体噴射チャネル１２Ａを配置して記載したが、これに限られず、ダミーチャネル１２Ｂを配置することも可能である。
位置合わせ基準８７は、少なくとも液体噴射チャネル１２Ａの長手方向（Ｘ方向）では、ノズル孔１３と同サイズ又はノズル孔１３よりも小さいサイズであることが、ノズル孔１３を液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に配置する点で好ましいが、液体噴射チャネル１２Ａと直交する方向（Ｙ方向）では、例えば複数のノズル孔１３に跨って対向するサイズとする等、比較的サイズの自由度がある。具体的には、位置合わせ基準８７のＸ方向の幅はノズル孔１３のＸ方向の直径よりも小さい幅とし、位置合わせ基準８７のＹ方向の幅はＹ方向に長い形状として、位置合わせ基準８７を長溝とすることが可能である。

【0060】

位置合わせ基準８７は、単体のカバープレート１６に予め設けられるか、カバープレート設置工程Ｓ６後のカバープレート１６に設けられる。前者はカバープレート１６に位置合わせ基準８７を設け易く、後者は液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に位置合わせ基準８７を設け易い。

【0061】

上記した位置合わせ基準８７を用いて、液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央にノズル孔１３を直接的に位置合わせした状態で、ノズルプレート１４をプレート接合体８６に接合することで、ノズル孔１３と位置合わせ基準８７との間の公差の影響を無くし、かつノズルプレート１４の熱変形の影響も抑えた上で、ノズル孔１３をより正確に液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に配置できる。

【0062】

液体噴射チャネル１２Ａにおいて、該液体噴射チャネル１２Ａ内に充填されたインクは、液体噴射チャネル１２Ａ両側の圧電体１７の変形により圧力波が生じると、ノズル孔１３から液滴として吐出される。液体噴射チャネル１２Ａは、その長手方向の中央に関して対称に形成され、この中央にノズル孔１３を配置することで、液滴を効率よく安定して吐出することができる。

【0063】

ノズルプレート設置工程Ｓ８において、プレート接合体８６の支持治具８８及びノズルプレート１４の支持治具８９の少なくとも一方は、位置合わせ基準８７をノズル孔１３及び液体噴射チャネル１２Ａを通じてカメラＣで検出するべく、プレート接合体８６及びノズルプレート１４の相対的なアライメントを実施する。

【0064】

プレート接合体８６及びノズルプレート１４のアライメントは、Ｘ方向及びＹ方向でなされるが、複数のノズル孔１３を用いてノズルプレート１４を位置合わせする場合は、Ｚ方向に沿う軸回りの回転方向でもアライメントを行うことが可能である。

【0065】

支持治具８８，８９の相対移動により、カメラＣがノズル列１９の両端で位置合わせ基準８７を検出した時点で、ノズル孔１３が液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に配置されたことが直接的に認識され、プレート接合体８６及びノズルプレート１４の面沿い方向での位置合わせが完了する。
この状態で、プレート接合体８６及びノズルプレート１４を面直方向（Ｚ方向）で近接させて互いに接合することで、ノズル孔１３が液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に正確に配置された組み立体が完成する。

【0066】

このように、ノズル列１９両端のノズル孔１３を液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央に直接的に位置合わせすることで、ノズル孔１３及び位置合わせ基準８７間の公差の位置合わせ精度への影響を無くし、かつ環境温度が変化する場合や可塑性材料からなるノズルプレート１４を使用する場合等でもノズルプレート１４の熱変形の位置合わせ精度への影響を抑えて、ノズル列１９全体を液体噴射チャネル１２Ａの中央位置に容易かつ確実に配置することができる。
なお、位置合わせ基準８７は、液体供給室７６と液体排出室７７とを形成した後に形成する。電極７４に電位差を掛けた場合、液体噴射チャネル１２Ａの圧電体１７が駆動する部分は、液体噴射チャネル１２Ａをカバープレート１６で閉塞している範囲と略同一である。よって、圧電体１７が駆動する部分の中心位置の精度を出すために、液体供給室７６と液体排出室７７とを形成した後に、液体供給室７６及び液体排出室７７が形成されていない範囲の中心に位置合わせ基準８７を形成する。

【0067】

本実施形態の変形例として、図１９に示すように、ノズル列１９のノズル孔１３間でダミーチャネル１２Ｂの長手方向中央の直下となる位置において、ノズルプレート１４にダミーノズル（隣接孔）９１を形成し、カバープレート１６には、ダミーノズル９１と対向する位置に位置合わせ基準８７を形成し、この位置合わせ基準８７が、ダミーノズル９１及びダミーチャネル（貫通部）１２Ｂを通じて下方から検出されたときに、液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央にノズル孔１３が配置されたものと判定してもよい。ダミーチャネル１２Ｂはアクチュエータプレート１５を上下に貫通するものとし、かつ位置合わせ基準８７は液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央と同一のＸ方向位置にあるものとする。ダミーチャネル１２Ｂはインクが入らないので、これに対向する位置合わせ基準８７の形成自由度が高くなる。
これに対し、図１８に示すように、液体噴射チャネル１２Ａに貫通孔としての位置合わせ基準８７を形成した場合、前述したように、ノズルプレート設置工程Ｓ８後に孔閉塞工程Ｓ９を実施する。これは、例えばカバープレート１６上に液体供給室７６及び液体排出室７７に対応するマニホールドを貼り付ける際、この貼り付けに用いる接着剤によって孔を塞ぐ。なお、別途封止材を用いる等、種々の方法を用いてもよい。

【0068】

本実施形態の他の変形例として、図２０に示すように、ノズル列１９両端の外側方でノズル孔１３間のピッチと同程度の距離だけ離間した位置において、ノズルプレート１４にダミーノズル（隣接孔）９１’を形成し、アクチュエータプレート１５には、ダミーノズル９１’と対向する位置を含む窓孔（貫通部）９２を形成し、カバープレート１６には、ダミーノズル９１’と対向する位置に位置合わせ基準８７を形成し、この位置合わせ基準８７が、ダミーノズル９１’及び窓孔９２を通じて下方から検出されたときに、液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央にノズル孔１３が配置されたものと判定してもよい。位置合わせ基準８７は液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中央と同一のＸ方向位置にあるものとする。
ダミーノズル９１’は、ノズル列１９のＹ方向端の外側方でノズル孔１３間のピッチ以下の距離だけ離間した位置に形成することが好ましい。図２０左側に示すように、チャネル群１１のＹ方向端がダミーチャネル１２Ｂであれば、このダミーチャネル１２Ｂに形成した切り欠きや拡幅部を窓孔９２としてもよい。

【0069】

以上説明したように、上記実施形態におけるヘッドチップ４１は、カバープレート１６が、複数のノズル孔１３の少なくとも一つと液体噴射チャネル１２Ａを介して対向する位置に、あるいはノズルプレート１４における複数のノズル孔１３の何れかに隣接する隣接孔（ダミーノズル９１，９１’）とアクチュエータプレート１５に形成された貫通部（ダミーチャネル１２Ｂ、窓孔９２）を介して対向する位置に、位置合わせ基準８７を有し、この位置合わせ基準８７が、ノズル孔１３及び液体噴射チャネル１２Ａを通じて、あるいは前記隣接孔及び貫通部を通じて、ノズルプレート１４側から検出可能とされるものである。

【0070】

この構成によれば、ノズル孔１３又はノズル孔１３に隣接する隣接孔を通じてカバープレート１６の位置合わせ基準８７を検出し、この検出によりノズル孔１３の位置合わせを行う手法によって、ノズル孔１３を直接又は直接的に位置決めすることができる。このため、ノズル孔１３から離間した位置合わせ基準を利用してノズル孔１３の位置合わせを行う場合と比べて、ノズル孔１３の位置合わせ精度を高め、ヘッドチップ４１の吐出特性を良好に確保できる。特に、液体噴射チャネル１２Ａの長手方向中間部にノズル孔１３を連通させるサイドシュートタイプのヘッドチップ４１においては、アクチュエータプレート１５及びカバープレート１６で構成されるポンプの中央にノズル孔１３を配置することが吐出特性を管理する上で重要であり、本願発明の効果が高い。

【0071】

上記実施形態におけるヘッドチップ４１の製造方法は、複数のノズル孔１３の少なくとも一つと該ノズル孔１３に対向する液体噴射チャネル１２Ａとを通じて、あるいはノズルプレート１４における複数のノズル孔１３の何れかに隣接する隣接孔（ダミーノズル９１，９１’）とアクチュエータプレート１５に形成された貫通部（ダミーチャネル１２Ｂ、窓孔９２）とを通じて、カバープレート１６に設置された位置合わせ基準８７を検出し、ノズルプレート１４の位置合わせを行う位置合わせ工程Ｓ８１を有する。

【0072】

なお、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、例えば、位置合わせ基準８７をノズル列１９の中間部に設けてもよい。単一の位置合わせ基準８７でノズルプレート１４の位置合わせを行ってもよい。位置合わせ基準８７を三以上設けてもよい。
カメラＣ等の撮像手段を用いず、目視により位置合わせ基準８７を視認してもよい。支持治具８８，８９によるアライメントは自動及び手動の何れで行ってもよい。

【0073】

圧電体基板８１は、少なくとも隣り合うチャネル間を仕切る壁の部分に圧電体を使用し、その他の領域は非圧電体からなる絶縁体とすることができる。ノズルプレート１４は単層又は複数の薄膜層で形成することができる。各電極及び各端子は、リフトオフ法によるパターニングではなく、例えば導電体堆積工程で斜め蒸着法により導電体を形成した後、フォトリソグラフィ及びエッチング法により各電極及び各端子のパターンを形成してもよい。

【0074】

ヘッドチップ４１は、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録するインクジェット方式の液体噴射ヘッド４に限らず、素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成する液体噴射ヘッドに適用してもよい。
そして、上記実施形態における構成は本発明の一例であり、当該発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【符号の説明】

【0075】

１ 液体噴射記録装置（液体噴射装置）
２，３ 搬送手段
４ 液体噴射ヘッド
６ 走査手段
４１ ヘッドチップ
１２Ａ 液体噴射チャネル（吐出溝）
１２Ｂ ダミーチャネル（貫通部）
１３ ノズル孔
１４ ノズルプレート
１５ アクチュエータプレート
１６ カバープレート
７６ 液体供給室
９１，９１’ ダミーノズル（隣接孔）
９２ 窓部（貫通部）
Ｓ８１ 位置合わせ工程
Ｓ９ 孔閉塞工程

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】