特許5996329基板処理装置、および基板処理方法

発明の名称　基板処理装置、および基板処理方法

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（428件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 69 位（332件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5996329

公報発行日　2016年9月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5996329

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5996329「基板処理装置、および基板処理方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録