特許5996674ナイフエッジを使用したウェーハレベルでのスポットサイズ測定のための装置、及びこのような装置を製造するための方法

発明の名称　ナイフエッジを使用したウェーハレベルでのスポットサイズ測定のための装置、及びこのような装置を製造するための方法

出願人　マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．　（識別番号 505152479）

　　　　特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5996674

公報発行日　2016年9月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5996674

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