特許 5997203 枚葉ワークの除塵装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5997203

(24)【登録日】2016年9月2日

(45)【発行日】2016年9月28日

(54)【発明の名称】枚葉ワークの除塵装置

(51)【国際特許分類】

   B08B 5/02 20060101AFI20160915BHJP

   B65H 5/00 20060101ALI20160915BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20160915BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20160915BHJP

【ＦＩ】

   B08B5/02 A

   B65H5/00 B

   B65G49/06 Z

   H01L21/68 A

【請求項の数】6

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2014-108093(P2014-108093)

(22)【出願日】2014年5月26日

(65)【公開番号】特開2015-223532(P2015-223532A)

(43)【公開日】2015年12月14日

【審査請求日】2014年12月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】500469109

【氏名又は名称】有限会社タクショー

(74)【代理人】

【識別番号】100080746

【弁理士】

【氏名又は名称】中谷 武嗣

(72)【発明者】

【氏名】宇澤 啓

(72)【発明者】

【氏名】添本 和彦

【審査官】 栗山 卓也

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−０５８０３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２５０６７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１２４１８１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０８Ｂ ５／００

Ｂ０８Ｂ ５／０２

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｂ６５Ｈ ５／００

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

小型枚葉ワーク（Ｗ₁ ）に付着した塵を取り除くために上除塵ヘッド（１）・下除塵ヘッド（２）を上下対向状に配置し、さらに、上記下除塵ヘッド（２）が、上流側吸入口（３）とエアー噴出用吐出口（４）と下流側吸入口（５）とを、ワーク対応上面（６）に順次備えた枚葉ワークの除塵装置に於て、
上記吐出口（４）の前後各近傍に、上流側フリーローラ（７）と下流側フリーローラ（８）を設けると共に、上記下除塵ヘッド（２）の上流側近傍に設けられた上流側駆動回転体（９）と上記上流側フリーローラ（７）に、第１ワーク搬送ベルト（10）を懸架し、さらに、上記下除塵ヘッド（２）の下流側近傍に設けられた下流側駆動回転体（11）と上記下流側フリーローラ（８）に、第２ワーク搬送ベルト（20）を懸架し、
上記下除塵ヘッド（２）の上記ワーク対応上面（６）を形成する上壁部（12）に、上記上流側吸入口（３）の一部を構成する第１貫孔（21）を形成して上記上流側フリーローラ（７）を該第１貫孔（21）に装入配設すると共に上記第１ワーク搬送ベルト（10）を該第１貫孔（21）を介して上記下除塵ヘッド（２）の上流側負圧室（13）に侵入させて、かつ、該上流側負圧室（13）の上流側壁（14）の貫通孔（15）に挿通して上記第１ワーク搬送ベルト（10）を外部の上記上流側駆動回転体（９）に懸架し、
かつ、上記上壁部（12）に上記下流側吸入口（５）の一部を構成する第２貫孔（22）を形成して上記下流側フリーローラ（８）を該第２貫孔（22）に装入配設すると共に上記第２ワーク搬送ベルト（20）を該第２貫孔（22）を介して上記下除塵ヘッド（２）の下流側負圧室（16）に侵入させて、かつ、該下流側負圧室（16）の下流側壁（17）の貫通孔（18）に挿通して上記第２ワーク搬送ベルト（20）を外部の上記下流側駆動回転体（11）に懸架したことを特徴とする枚葉ワークの除塵装置。

【請求項2】

上記上流側フリーローラ（７）と下流側フリーローラ（８）の搬送方向間隔寸法（Ｅ）を、搬送される上記小型枚葉ワーク（Ｗ₁ ）の搬送方向寸法（Ｇ）の半分以下に設定した請求項１記載の枚葉ワークの除塵装置。

【請求項3】

上記小型枚葉ワーク（Ｗ₁ ）の送り速度を一定にするための変速手段（31）を備え、該変速手段（31）は、上記上流側駆動回転体（９）又は下流側駆動回転体（11）の近傍に設けられた基本回転体（38）と、該基本回転体（38）と径又は歯数が異なる変速用回転体（39）と、上記基本回転体（38）及び変速用回転体（39）に懸架された無端可撓部材（44）を、有し、
上記変速用回転体(39)を、上記上流側駆動回転体(９)又は下流側駆動回転体(11)と一体状に回転するように構成した請求項１又は２記載の枚葉ワークの除塵装置。

【請求項4】

上記下除塵ヘッド（２）、上流側フリーローラ（７）、下流側フリーローラ（８）、上流側駆動回転体（９）、下流側駆動回転体（11）、第１ワーク搬送ベルト（10）、第２ワーク搬送ベルト（20）を、ユニット（Ｕ）とした請求項１，２又は３記載の枚葉ワークの除塵装置。

【請求項5】

幅方向中央部に、小型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ（７ａ）及び下流側フリーローラ（８ａ）を設けるとともに、幅方向外側に、大型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ（７ｂ）及び下流側フリーローラ（８ｂ）を設けて、大型枚葉ワーク（Ｗ₀ ）及び小型枚葉ワーク（Ｗ₁ ）のいずれも搬送・除塵可能に構成した請求項１，２，３又は４記載の枚葉ワークの除塵装置。

【請求項6】

上記上流側フリーローラ（７）と下流側フリーローラ（８）の間に支持フリーローラ（19）を設けて、上記上流側フリーローラ（７）から上記下流側フリーローラ（８）へ小型枚葉ワーク（Ｗ₁ ）がスムーズに乗り移るように構成した請求項１，２，３，４又は５記載の枚葉ワークの除塵装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、枚葉ワークの除塵装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、枚葉ワークに付着した塵を取り除くために上除塵ヘッド・下除塵ヘッドを上下対向状に配置し、さらに、各除塵ヘッドが、上流側吸入口とエアー噴出用吐出口と下流側吸入口とを、ワーク対応面に順次備えた枚葉ワークの除塵装置が公知である（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

近年スマートフォンに代表される小型携帯端末機の普及で小型液晶、小型有機ＥＬが多く出回るようになった。これらに用いられる小型枚葉ワーク（基板40）を生産ライン上で搬送するためには、搬送手段がローラ式の場合、ローラの配置ピッチ（図５の間隔寸法Ｃ）を少なくとも基板40の搬送方向長さ寸法Ｂの半分以下にする必要がある。

【0004】

上下除塵ヘッド近傍に於ては、基板が除塵ヘッド前後の駆動ローラと常に接していなければ搬送はできない。従って基板40の搬送方向長さ寸法Ｂ（図５参照）の半分以下の間隔寸法Ｃに対応するローラ間距離（図５の間隔寸法Ｄ）内に納まる除塵ヘッドが必要となってくる。しかし、除塵ヘッドの構造上、搬送方向長さ寸法を小さくすることには限界がある。
そして、図５に示すように従来の除塵装置に於て、基板40の搬送方向長さ寸法Ｂと、クリーナ近傍の上流側駆動ローラ41・下流側駆動ローラ42の間隔寸法Ａが、Ｂ≦Ａの場合、基板40が上流側駆動ローラ41を離れた際に下流側駆動ローラ42に到達していないため、上流側駆動ローラ41と下流側駆動ローラ42の間で基板40は停止してしまう。なお、図５では、フリーローラ43，43を吸入口近傍に設けた場合を示す。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第３５５９２５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

解決しようとする課題は、小型枚葉ワークをスムーズに搬送しつつ除塵することができない点である。

【課題を解決するための手段】

【0007】

そこで、本発明に係る除塵装置は、小型枚葉ワークに付着した塵を取り除くために上除塵ヘッド・下除塵ヘッドを上下対向状に配置し、さらに、上記下除塵ヘッドが、上流側吸入口とエアー噴出用吐出口と下流側吸入口とを、ワーク対応上面に順次備えた枚葉ワークの除塵装置に於て、上記吐出口の前後各近傍に、上流側フリーローラと下流側フリーローラを設けると共に、上記下除塵ヘッドの上流側近傍に設けられた上流側駆動回転体と上記上流側フリーローラに、第１ワーク搬送ベルトを懸架し、さらに、上記下除塵ヘッドの下流側近傍に設けられた下流側駆動回転体と上記下流側フリーローラに、第２ワーク搬送ベルトを懸架し、上記下除塵ヘッドの上記ワーク対応上面を形成する上壁部に、上記上流側吸入口の一部を構成する第１貫孔を形成して上記上流側フリーローラを該第１貫孔に装入配設すると共に上記第１ワーク搬送ベルトを該第１貫孔を介して上記下除塵ヘッドの上流側負圧室に侵入させて、かつ、該上流側負圧室の上流側壁の貫通孔に挿通して上記第１ワーク搬送ベルトを外部の上記上流側駆動回転体に懸架し、かつ、上記上壁部に上記下流側吸入口の一部を構成する第２貫孔を形成して上記下流側フリーローラを該第２貫孔に装入配設すると共に上記第２ワーク搬送ベルトを該第２貫孔を介して上記下除塵ヘッドの下流側負圧室に侵入させて、かつ、該下流側負圧室の下流側壁の貫通孔に挿通して上記第２ワーク搬送ベルトを外部の上記下流側駆動回転体に懸架したものである。

【0008】

また、上記上流側フリーローラと下流側フリーローラの搬送方向間隔寸法を、搬送される上記小型枚葉ワークの搬送方向寸法の半分以下に設定したものである。

【0009】

また、上記小型枚葉ワークの送り速度を一定にするための変速手段を備え、該変速手段は、上記上流側駆動回転体又は下流側駆動回転体の近傍に設けられた基本回転体と、該基本回転体と径又は歯数が異なる変速用回転体と、上記基本回転体及び変速用回転体に懸架された無端可撓部材を、有し、上記変速用回転体を、上記上流側駆動回転体又は下流側駆動回転体と一体状に回転するように構成したものである。
また、上記下除塵ヘッド、上流側フリーローラ、下流側フリーローラ、上流側駆動回転体、下流側駆動回転体、第１ワーク搬送ベルト、第２ワーク搬送ベルトを、ユニットとしたものである。

【0010】

また、幅方向中央部に、小型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ及び下流側フリーローラを設けるとともに、幅方向外側に、大型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ及び下流側フリーローラを設けて、大型枚葉ワーク及び小型枚葉ワークのいずれも搬送・除塵可能に構成したものである。
また、上記上流側フリーローラと下流側フリーローラの間に支持フリーローラを設けて、上記上流側フリーローラから上記下流側フリーローラへ小型枚葉ワークがスムーズに乗り移るように構成したものである。

【発明の効果】

【0011】

本発明の除塵装置によれば、小型枚葉ワークをスムーズに搬送しつつ除塵することができる。言い換えると、本発明の除塵装置によれば、枚葉ワークが小型の場合にも適用できるよう最適化することができる。また、搬送ベルトやフリーローラが吐出口から吐出されるエアーの風力を妨げることなく、除塵効果を妨げない。また、搬送ベルトやフリーローラに付着した粉塵を除去できる。また、小型枚葉ワークを確実に搬送しつつ除塵することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１の実施の形態を示す全体構成説明図である。

【図2】平面図である。

【図3】第２の実施の形態を示す全体構成説明図である。

【図4】平面図である。

【図5】従来例を示す全体構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図示の実施の形態に基づいて本発明を詳説する。
図１・図２は、本発明の第１の実施の形態を示す。この除塵装置は、小型液晶、小型有機ＥＬ等の小型枚葉ワークＷ₁ に付着した塵を取り除くために上除塵ヘッド１・下除塵ヘッド２が上下対向状に配置されている。なお、本発明に於て、小型枚葉ワークＷ₁ の「小型」とは、送り方向寸法が、 250mm以下のものを言う。小型枚葉ワークＷ₁ としては、例えば、スマートフォン用の枚葉ワークがある。下除塵ヘッド２が、上流側吸入口３とエアー噴出用吐出口４と下流側吸入口５とを、ワーク対応上面６に順次備える。小型枚葉ワークＷ₁ は上除塵ヘッド１と下除塵ヘッド２の間を図１・図２の矢印Ｙ方向に搬送される。すなわち、矢印Ｙは、ワーク搬送方向（送り方向）を示す。

【0014】

吐出口４の前後各近傍に、上流側フリーローラ７と下流側フリーローラ８を設ける。下除塵ヘッド２の上流側近傍に設けられた上流側駆動回転体９と上流側フリーローラ７に第１ワーク搬送ベルト10が懸架される。さらに、下除塵ヘッド２の下流側近傍に設けられた下流側駆動回転体11と下流側フリーローラ８に第２ワーク搬送ベルト20が懸架される。第１ワーク搬送ベルト10及び第２ワーク搬送ベルト20は、例えば、Ｏリングから成る。Ｏリングは軽快に走行して耐久性にも優れ、基板等のワークＷをソフトに支えつつ送りを付与するので好ましい。さらに、ゴム製Ｏリングを用いることで、摩擦抵抗力が大きく、ワークがスリップしないで確実に送りが与えられる。

【0015】

下除塵ヘッド２のワーク対応上面６を形成する上壁部12に、上流側吸入口３の一部を構成する第１貫孔21が形成されて上流側フリーローラ７が第１貫孔21に装入配設されると共に第１ワーク搬送ベルト10が第１貫孔21を介して下除塵ヘッド２の上流側負圧室13に侵入して、かつ、上流側負圧室13の上流側壁14の貫通孔15に挿通して第１ワーク搬送ベルト10が外部の上流側駆動回転体９に懸架される。上流側駆動回転体９は、ローラから成る。なお、上流側吸入口３の具体的形状・配置は、図２では、矩形状第１貫孔21と、一対の細長状スリット孔３Ａ，３Ａとを、交互に配設して構成されている。

【0016】

上壁部12に下流側吸入口５の一部を構成する第２貫孔22が形成されて下流側フリーローラ８が第２貫孔22に装入配設されると共に第２ワーク搬送ベルト20が第２貫孔22を介して下除塵ヘッド２の下流側負圧室16に侵入して、かつ、下流側負圧室16の下流側壁17の貫通孔18に挿通して第２ワーク搬送ベルト20が外部の下流側駆動回転体11に懸架される。下流側駆動回転体11は、ローラから成る。なお、下流側吸入口５の具体的形状・配置は、図２では、矩形状第２貫孔22と、一対の細長状スリット孔５Ａ，５Ａとを、交互に配設して構成されている。

【0017】

上流側フリーローラ７と下流側フリーローラ８の搬送方向間隔寸法Ｅを、搬送される小型枚葉ワークＷ₁ の搬送方向寸法Ｇの半分以下に設定する。これによって、確実にワークＷがベルト10からベルト20に乗り移ることが可能となる。

【0018】

下除塵ヘッド２、上流側フリーローラ７、下流側フリーローラ８、上流側駆動回転体９、下流側駆動回転体11、第１ワーク搬送ベルト10、第２ワーク搬送ベルト20を、ユニットＵとする（ユニット化される）。

【0019】

上流側駆動回転体９及び下流側駆動回転体11は、ローラから成る。複数の上流側駆動回転体９は（共通の）回転軸23に固着され、かつ、回転軸23にはプーリ24が固着されて、タイミングベルトや平ベルト等のベルトやチェーン等の駆動用エンドレス部材25が、このプーリ24と、図外の駆動用プーリに、懸架される。図外の駆動用プーリとは、一例としては、図１の上流側搬送ローラ30を回転駆動させるプーリを用いる。または、エンドレス部材25を、複数の上流側搬送ローラ30を回転させるように懸架したエンドレス部材を、前記エンドレス部材25に兼用しても良い。

【0020】

また、複数の下流側駆動回転体11は（共通の）水平状の回転軸33に固着され、かつ、回転軸33にはプーリ34が固着されて、タイミングベルトや平ベルト等のベルトやチェーン等の駆動用エンドレス部材35が、このプーリ34と、図外の駆動用プーリに、懸架される。図外の駆動用プーリとは、一例としては、図１の下流側搬送ローラ36を回転駆動させるプーリを用いる。または、エンドレス部材35を、複数の下流側搬送ローラ36を回転させるように懸架したエンドレス部材を、前記エンドレス部材35に兼用しても良い。
このようにして、ベルト10，20のワーク送りスピードと、搬送ローラ30，36によるワーク送りスピードとを、同等とする。

【0021】

図３・図４は、第２の実施の形態を示す。上流側フリーローラ７と下流側フリーローラ８の間に支持フリーローラ19を設けて、上流側フリーローラ７から下流側フリーローラ８へ小型枚葉ワークＷ₁ がスムーズに乗り移るように構成される。特に、搬送方向寸法Ｇが搬送方向間隔寸法Ｅと等しい小型枚葉ワークＷ₁ を、途中で停止することなく搬送することができる。

【0022】

幅方向中央部に、小型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ７ａ及び下流側フリーローラ８ａを設けるとともに、幅方向外側に、大型枚葉ワーク用のベルトが懸架されていない上流側フリーローラ７ｂ及び下流側フリーローラ８ｂを設けて、大型枚葉ワークＷ₀ 及び小型枚葉ワークＷ₁ のいずれも搬送・除塵可能に構成される。大型枚葉ワークＷ₀ としては、例えば、テレビ用の枚葉ワークがある。

【0023】

上流側駆動回転体９が、第１ワーク搬送ベルト10を懸架するための溝付きシャフトから成る。下流側駆動回転体11が、第２ワーク搬送ベルト20を懸架するための溝付きシャフトから成る。

【0024】

小型枚葉ワークＷ₁ の送り速度を一定にするための変速手段31を備える。変速手段31は、上流側駆動回転体９又は下流側駆動回転体11の近傍に設けられた（既設又は新設の）基本回転体38と、基本回転体38と径又は歯数が異なる変速用回転体39と、基本回転体38及び変速用回転体39に懸架された（タイミングベルトやチェーン等の）無端可撓部材44を、有する。基本回転体38が、上流側搬送ローラ30又は下流側搬送ローラ36と一体状に回転するように構成される。変速用回転体39が、上流側駆動回転体９又は下流側駆動回転体11と一体状に回転するように構成される。上流側駆動回転体９の径（厳密には第１搬送ベルト10が懸架された外周面の径）Ｄ₁ が、上流側搬送ローラ30の径Ｄ₀ と異なる場合に、小型枚葉ワークＷ₁ の送り速度を一定にすることができる。下流側駆動回転体11の径（厳密には第２搬送ベルト20が懸架された外周面の径）Ｄ₂ が、下流側搬送ローラ36の径Ｄ₃ と異なる場合に、小型枚葉ワークＷ₁ の送り速度を一定にすることができる。
その他の構成は、第１の実施の形態と同様である。

【0025】

なお、本発明は、設計変更可能であって、例えば、スリット孔３Ａ，３Ａを一対毎とせずに、一本ずつ配設しても自由である。また、ベルト10，20としては、Ｏリング以外に、横断面Ｉ型や角型とすることも好ましい。

【0026】

以上のように、本発明は、小型枚葉ワークＷ₁ に付着した塵を取り除くために上除塵ヘッド１・下除塵ヘッド２を上下対向状に配置し、さらに、上記下除塵ヘッド２が、上流側吸入口３とエアー噴出用吐出口４と下流側吸入口５とを、ワーク対応上面６に順次備えた枚葉ワークの除塵装置に於て、上記吐出口４の前後各近傍に、上流側フリーローラ７と下流側フリーローラ８を設けると共に、上記下除塵ヘッド２の上流側近傍に設けられた上流側駆動回転体９と上記上流側フリーローラ７に第１ワーク搬送ベルト10を懸架し、さらに、上記下除塵ヘッド２の下流側近傍に設けられた下流側駆動回転体11と上記下流側フリーローラ８に第２ワーク搬送ベルト20を懸架したので、小型枚葉ワークＷ₁ をスムーズに搬送しつつ除塵することができる。また、吐出口４上には第１ワーク搬送ベルト10、第２ワーク搬送ベルト20、上流側フリーローラ７、下流側フリーローラ８のいずれもが配置されていないので、吐出口４から吐出されるエアーの風力を妨げることなく、除塵効果を妨げない。

【0027】

また、上記下除塵ヘッド２の上記ワーク対応上面６を形成する上壁部12に、上記上流側吸入口３の一部を構成する第１貫孔21を形成して上記上流側フリーローラ７を該第１貫孔21に装入配設すると共に上記第１ワーク搬送ベルト10を該第１貫孔21を介して上記下除塵ヘッド２の上流側負圧室13に侵入させて、かつ、該上流側負圧室13の上流側壁14の貫通孔15に挿通して上記第１ワーク搬送ベルト10を外部の上記上流側駆動回転体９に懸架し、かつ、上記上壁部12に上記下流側吸入口５の一部を構成する第２貫孔22を形成して上記下流側フリーローラ８を該第２貫孔22に装入配設すると共に上記第２ワーク搬送ベルト20を該第２貫孔22を介して上記下除塵ヘッド２の下流側負圧室16に侵入させて、かつ、該下流側負圧室16の下流側壁17の貫通孔18に挿通して上記第２ワーク搬送ベルト20を外部の上記下流側駆動回転体11に懸架したので、第１ワーク搬送ベルト10、第２ワーク搬送ベルト20、上流側フリーローラ７、下流側フリーローラ８が、負圧空間に設置されており、第１ワーク搬送ベルト10、第２ワーク搬送ベルト20、上流側フリーローラ７、下流側フリーローラ８に付着した粉塵を除去できる。あるいは、ゴム製等のベルト10，20から発生する摩耗粉等は負圧室13，16へ巧妙に吸引除去されてゆく。

【0028】

また、上記上流側フリーローラ７と下流側フリーローラ８の搬送方向間隔寸法Ｅを、搬送される上記小型枚葉ワークＷ₁ の搬送方向寸法Ｇの半分以下に設定したので、ベルト10の下流端からベルト20の上流端へ、小型枚葉ワークＷ₁ が乗り移って、小型枚葉ワークＷ₁ を確実に搬送しつつ除塵することができる。例えば、Ｅ＝45mmとすると、従来送りが至難であったＧ＝90mmの小型枚葉ワークＷ₁ に（一旦停止することなく）スムーズに送りを与え得て、能率良く除塵を行うことができる。

【0029】

また、上記小型枚葉ワークＷ₁ の送り速度を一定にするための変速手段31を備え、該変速手段31は、上記上流側駆動回転体９又は下流側駆動回転体11の近傍に設けられた基本回転体38と、該基本回転体38と径又は歯数が異なる変速用回転体39と、上記基本回転体38及び変速用回転体39に懸架された無端可撓部材44を、有し、上記変速用回転体39を、上記上流側駆動回転体９又は下流側駆動回転体11と一体状に回転するように構成したので、上流側駆動回転体９の径Ｄ₁ が、上流側搬送ローラ30の径Ｄ₀ と異なる場合に、小型枚葉ワークＷ₁ の送り速度を一定にすることができる。下流側駆動回転体11の径Ｄ₂ が、下流側搬送ローラ36の径Ｄ₃ と異なる場合に、小型枚葉ワークＷ₁ の送り速度を一定にすることができる。

【0030】

また、上記下除塵ヘッド２、上流側フリーローラ７、下流側フリーローラ８、上流側駆動回転体９、下流側駆動回転体11、第１ワーク搬送ベルト10、第２ワーク搬送ベルト20を、ユニットＵとしたので、（既設又は新設の）上流側搬送ローラ30の最下流端のもの30Ａと下流側搬送ローラ36の最上流端のもの36Ａの間に、容易かつ確実に設置することができる。

【0031】

また、幅方向中央部に、小型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ７ａ及び下流側フリーローラ８ａを設けるとともに、幅方向外側に、大型枚葉ワーク用の上流側フリーローラ７ｂ及び下流側フリーローラ８ｂを設けて、大型枚葉ワークＷ₀ 及び小型枚葉ワークＷ₁ のいずれも搬送・除塵可能に構成したので、大型枚葉ワークＷ₀ 及び小型枚葉ワークＷ₁ の製造に共用することができる。特に、大型枚葉ワークＷ₀ 及び小型枚葉ワークＷ₁ が混在して搬送される場合にも使用することができる。

【0032】

また、上記上流側フリーローラ７と下流側フリーローラ８の間に支持フリーローラ19を設けて、上記上流側フリーローラ７から上記下流側フリーローラ８へ小型枚葉ワークＷ₁ がスムーズに乗り移るように構成したので、小型枚葉ワークＷ₁ を確実にスムーズに搬送して除塵することができる。特に、搬送方向寸法Ｇが搬送方向間隔寸法Ｅと等しい小型枚葉ワークＷ₁ を、途中で停止することなく搬送することができる。

【符号の説明】

【0033】

１ 上除塵ヘッド
２ 下除塵ヘッド
３ 上流側吸入口
４ （エアー噴出用）吐出口
５ 下流側吸入口
６ ワーク対応上面
７ 上流側フリーローラ
７ａ 小型枚葉ワークの上流側フリーローラ
７ｂ 小型枚葉ワークの下流側フリーローラ
８ａ 大型枚葉ワークの上流側フリーローラ
８ｂ 大型枚葉ワークの下流側フリーローラ
８ 下流側フリーローラ
９ 上流側駆動回転体
10 第１ワーク搬送ベルト
11 下流側駆動回転体
12 上壁部
13 上流側負圧室
14 上流側壁
15 貫通孔
16 下流側負圧室
17 下流側壁
18 貫通孔
19 支持フリーローラ
20 第２ワーク搬送ベルト
21 第１貫孔
22 第２貫孔
31 変速手段
38 基本回転体
39 変速用回転体
44 無端可撓部材
Ｅ 搬送方向間隔寸法
Ｇ 搬送方向寸法
Ｕ ユニット
Ｗ₀ 大型枚葉ワーク
Ｗ₁ 小型枚葉ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】