特許6000046プローブユニットおよび検査装置

発明の名称　プローブユニットおよび検査装置

出願人　日置電機株式会社　（識別番号 227180）

　　　　特許公開件数ランキング 671 位（37件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 858 位（23件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6000046

公報発行日　2016年9月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6000046

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