特許 6000075 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6000075

(24)【登録日】2016年9月9日

(45)【発行日】2016年9月28日

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20160915BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20160915BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D85/38 R

【請求項の数】6

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2012-246374(P2012-246374)

(22)【出願日】2012年11月8日

(65)【公開番号】特開2014-96440(P2014-96440A)

(43)【公開日】2014年5月22日

【審査請求日】2015年10月14日

(73)【特許権者】

【識別番号】000140890

【氏名又は名称】ミライアル株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(74)【代理人】

【識別番号】100126000

【弁理士】

【氏名又は名称】岩池 満

(72)【発明者】

【氏名】松鳥 千明

(72)【発明者】

【氏名】永島 剛

(72)【発明者】

【氏名】小山 貴立

(72)【発明者】

【氏名】井上 修一

(72)【発明者】

【氏名】志田 啓之

(72)【発明者】

【氏名】山岸 裕樹

(72)【発明者】

【氏名】大貫 和正

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第９９／０３９９９４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００８−１９８６９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１７４０８０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、
前記上壁は、前記上壁の中央部に配置された被係止部であって、前記容器本体を吊り上げ可能な吊り上げ部材に係止される被係止部を有し、
前記上壁の外面は、一方の前記側壁から他方の前記側壁へ向かう開口部幅方向における両端部分に位置する内方指向外面端部であって、前記開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて前記基板収納空間の内方へ向かう内方指向外面端部と、前記開口部幅方向における中央部分に位置し、前記上壁の外面の両端よりも前記基板収納空間の内方寄りに位置する外面中央低部と、を有する基板収納容器。

【請求項2】

前記上壁の内面における少なくとも前記上壁の前記一端部に相当する部分は、前記開口部幅方向における両端部分に位置する内方指向内面端部であって、前記開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて、前記基板収納空間の内方へ向かう内方指向内面端部と、前記開口部幅方向における中央部分に位置し、前記上壁の内面の両端よりも前記基板収納空間の内方寄りに位置する内面中央低部と、を有する請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記外面中央低部と前記内面中央低部とは、互いに一致した位置関係の長方形状を有し、前記長方形状の一辺は、前記容器本体開口部を形成する前記上壁の一端部の一部を構成する請求項２に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記内方指向外面端部は、前記被係止部に近づく方向へ延びるリブを有する請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。

【請求項5】

前記上壁の外面は、前記被係止部を中心とした放射状に延びるリブを有する請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。

【請求項6】

前記被係止部は、前記上壁の外面に対向するフランジ部を有する請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の基板を並列させた状態で複数収納した状態で運搬される基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、基板支持板状部と、フロントリテーナと、奥側基板支持部とを備える構成のものが、従来より知られている。

【0003】

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。基板支持板状部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。基板支持板状部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。

【0004】

フロントリテーナは、蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分に設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。
奥側基板支持部は、フロントリテーナと対をなすように壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
なお、奥側基板支持部は、基板支持板状部と一体に形成されていてもよく、あるいは、基板支持板状部とは別体で構成されていてもよい。

【0005】

容器本体の壁部は、奥壁と、上壁と、下壁と、第１側壁と、第２側壁と、を有している。上壁には、壁部の剛性を高めるためのリブが設けられている。また、上壁の中央部は、フランジ部を装着可能なフランジ装着部を有している。ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器を搬送する際に、これらの機械のフランジ部係合部は、フランジ装着部に装着されたフランジ部に掛けられる。そして、基板収納容器は、フランジ部と一体でフランジ部係合部によって吊り上げられ、搬送される。

【0006】

基板収納容器は、このように吊り上げられて搬送されるため、上壁には、基板収納容器自体及び基板収納容器に収納された複数の基板の重量が作用する。これにより、上壁が弾性変形したり、塑性変形して上壁の形状が変わったりすることがある。これを抑制するため、例えば、上壁の一部を上方へ突出させた形状として、上壁の剛性を高めている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００８−３４８７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

上述のように、上壁に容器や複数の基板の重量が作用されることで、上壁が弾性変形したり、塑性変形して上壁の形状が変わったりすることがある。その対策として、上壁にはリブ等を設けている。特許文献１に記載の基板収納容器等において、フランジ部係合部をフランジ部に掛けて、基板収納容器を吊り上げるため、上壁に設けられるリブの高さは、フランジ部係合部に接触しないように制限される。これでは、基板収納容器を十分な剛性を有する構成とすることは困難である。

【0009】

本発明は、容器本体の剛性が高められた基板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、前記上壁は、前記上壁の中央部に配置された被係止部であって、前記容器本体を吊り上げ可能な吊り上げ部材に係止される被係止部を有し、前記上壁の外面は、一方の前記側壁から他方の前記側壁へ向かう開口部幅方向における両端部分に位置する内方指向外面端部であって、前記開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて前記基板収納空間の内方へ向かう内方指向外面端部と、前記開口部幅方向における中央部分に位置し、前記上壁の外面の両端よりも前記基板収納空間の内方寄りに位置する外面中央低部と、を有する基板収納容器に関する。

【0011】

また、前記上壁の内面における少なくとも前記上壁の前記一端部に相当する部分は、前記開口部幅方向における両端部分に位置する内方指向内面端部であって、前記開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて、前記基板収納空間の内方へ向かう内方指向内面端部と、前記開口部幅方向における中央部分に位置し、前記上壁の内面の両端よりも前記基板収納空間の内方寄りに位置する内面中央低部と、を有することが好ましい。

【0012】

また、前記外面中央低部と前記内面中央低部とは、互いに一致した位置関係の長方形状を有し、前記長方形状の一辺は、前記容器本体開口部を形成する前記上壁の一端部の一部を構成することが好ましい。

【0013】

また、前記内方指向外面端部は、前記被係止部に近づく方向へ延びるリブを有することが好ましい。また、前記上壁の外面は、前記被係止部を中心とした放射状に延びるリブを有することが好ましい。また、前記被係止部は、前記上壁の外面に対向するフランジ部を有することが好ましい。

【発明の効果】

【0014】

本発明は、容器本体の剛性が高められた基板収納容器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。

【図2A】本実施形態に係る基板収納容器を示す正面図である。

【図2B】本実施形態に係る基板収納容器を示す平面図である。

【図2C】本実施形態に係る基板収納容器を示す右側面図である。

【図2D】図２ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。

【図3A】本実施形態に係る基板収納容器の蓋を開いた状態を示す分解斜視図である。

【図3B】本実施形態に係る基板収納容器の容器本体の基板収容空間に基板を収納した状態を示す分解斜視図である。

【図4】本実施形態に係る基板収納容器のフランジ部を取り外した状態を示す斜視図である。

【図5A】本実施形態に係る基板収納容器の容器本体を示す概略斜視図である。

【図5B】本実施形態に係る基板収納容器の容器本体を示す概略正面図である。

【図5C】本実施形態に係る基板収納容器の容器本体を示す概略断面図である。

【図5D】本実施形態に係る基板収納容器の容器本体を示す概略下方斜視図である。

【図6A】本実施形態に係る基板収納容器の第１変形例の容器本体を示す概略斜視図である。

【図6B】本実施形態に係る基板収納容器の第１変形例の容器本体を示す概略正面図である。

【図6C】本実施形態に係る基板収納容器の第１変形例の容器本体を示す概略断面図である。

【図7A】本実施形態に係る基板収納容器の第２変形例の容器本体を示す概略斜視図である。

【図7B】本実施形態に係る基板収納容器の第２変形例の容器本体を示す概略正面図である。

【図7C】本実施形態に係る基板収納容器の第２変形例の容器本体を示す概略断面図である。

【図8A】本実施形態に係る基板収納容器の第３変形例の容器本体を示す概略斜視図である。

【図8B】本実施形態に係る基板収納容器の第３変形例の容器本体を示す概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施形態による基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。図２Ａは、本実施形態に係る基板収納容器を示す正面図である。図２Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器を示す平面図である。図２Ｃは、本実施形態に係る基板収納容器を示す右側面図である。図２Ｄは、図２ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。図３Ａは、本実施形態に係る基板収納容器の蓋を開いた状態を示す分解斜視図である。図３Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の容器本体の基板収容空間に基板を収納した状態を示す分解斜視図である。図４は、本実施形態に係る基板収納容器のフランジ部を取り外した状態を示す斜視図である。

【0017】

図５Ａは、本実施形態に係る基板収納容器の容器本体を示す概略斜視図である。図５Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の容器本体を示す概略正面図である。図５Ｃは、本実施形態に係る基板収納容器の容器本体を示す概略断面図である。図５Ｄは、本実施形態に係る基板収納容器の容器本体を示す概略下方斜視図である。図６Ａは、本実施形態に係る基板収納容器の第１変形例の容器本体を示す概略斜視図である。図６Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の第１変形例の容器本体を示す概略正面図である。図６Ｃは、本実施形態に係る基板収納容器の第１変形例の容器本体を示す概略断面図である。

【0018】

図７Ａは、本実施形態に係る基板収納容器の第２変形例の容器本体を示す概略斜視図である。図７Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の第２変形例の容器本体を示す概略正面図である。図７Ｃは、本実施形態に係る基板収納容器の第２変形例の容器本体を示す概略断面図である。図８Ａは、本実施形態に係る基板収納容器の第３変形例の容器本体を示す概略斜視図である。図８Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の第３変形例の容器本体を示す概略断面図である。

【0019】

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図２Ｃにおける左方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図２Ｃにおける上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図２Ａにおける左方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

【0020】

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図３Ｂ等参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

【0021】

図１〜図４に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、基板支持板状部５と、フロントリテーナ７（図２Ｄ参照）とを有している。

【0022】

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７（図３Ａ等参照）は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図３Ｂに示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

【0023】

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

【0024】

蓋体３は、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

【0025】

フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。

【0026】

容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

【0027】

図３Ａ等に示すように、第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

【0028】

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には後述のように、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

【0029】

図３Ａに示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

【0030】

図１に示すように、上壁２３は、厚さが略均一な板状を有している。上壁２３は、中央低部２３２と内方指向端部２３３とを有している。
中央低部２３２は、上壁２３の一部であって、左右方向Ｄ３の中央部分、即ち、長方形状の容器本体開口部２１の上側の長辺の延びる方向（以下、「開口部幅方向」とする）の中央部分を構成しており、下方向Ｄ２２へ下がった位置にある。即ち、中央低部２３２は、左右方向Ｄ３において上壁２３を略３等分したときの中央の部分により構成されている。左右方向Ｄ３における容器本体２の幅は、略５００ｍｍ程度であるのに対して、左右方向Ｄ３における中央低部２３２の幅は、２５０ｍｍ程度である。中央低部２３２の前端部は、開口周縁部２８の一部を構成して容器本体開口部２１を形成している。中央低部２３２の後端部は、奥壁２２に接続されている。

【0031】

従って、中央低部２３２の内面である内面中央低部２３２Ａ（図５Ａ、図５Ｂ参照）は、上壁２３の内面の両端２３３Ｃ、２３３Ｃ（図５Ａ、図５Ｂ参照）よりも２ｍｍ〜１０ｍｍ程度基板収納空間２７の内方寄りに位置しており、本実施形態では、５ｍｍ程度基板収納空間２７の内方寄りに位置する。また、中央低部２３２の外面である外面中央低部２３２Ｂは、上壁２３の外面の両端２３３Ｄ、２３３Ｄよりも２ｍｍ〜１０ｍｍ程度基板収納空間２７の内方寄りに位置しており、本実施形態では、５ｍｍ程度基板収納空間２７の内方寄りに位置する。
また、内面中央低部２３２Ａと外面中央低部２３２Ｂとは、互いに一致した位置関係の長方形状を有しており、長方形状の一辺は、開口周縁部２８の一部を構成して容器本体開口部２１を形成している。

【0032】

また、内方指向端部２３３は、上壁２３において、左右方向Ｄ３における中央低部２３２の両脇にある両端部分に位置しており、開口部幅方向における上壁２３の中央部分、即ち、左右方向Ｄ３において中央低部２３２に近づくにつれて基板収納空間２７の内方へ向かって傾斜している。従って、内方指向端部２３３の内面である内方指向内面端部２３３Ａ、及び、内方指向端部２３３の外面である内方指向外面端部２３３Ｂも、それぞれ、開口部幅方向において中央低部２３２に近づくに従って、基板収納空間２７の内方へ向かうように傾斜している。
従って、図５Ｂに示すように、正面から見た上壁２３の前端部分により構成される開口周縁部２８の部分であって、後述の蓋体３のシール部材が当接する部分２８１は、中央低部２３２が最も下方に突出するように下方へ突出した形状を有している。

【0033】

図４に示すように、上壁２３の外面においては、フランジ固定部２３４及びリブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。
フランジ固定部２３４は、上壁２３の中央部に配置されている。フランジ固定部２３４には、図１に示すように、被係止部としてのトップフランジ２３６が固定される。従って、トップフランジ２３６は、上壁２３の中央部に配置されている。トップフランジ２３６は、図２Ｃに示すように、フランジ固定部２３４に固定される被固定部２３６Ａと、被固定部２３６Ａに接続され、上壁２３の外面に対向するフランジ部２３６Ｂとを有している。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、吊り上げ部材としてのこれらの機械のアーム（図示せず）に掛けられ、これにより基板収納容器１は、アームに吊り下げられる。

【0034】

リブ２３５Ａ、２３５Ｂは、内方指向外面端部２３３Ｂと、外面中央低部２３２Ｂとにそれぞれ設けられている。内方指向外面端部２３３Ｂに設けられているリブ２３５Ａは、上壁２３の左右方向Ｄ３における左端から右斜め後方へフランジ固定部２３４に近づく方向へ３本延びており、また、上壁２３の左右方向Ｄ３における右端から左斜め後方へフランジ固定部２３４に近づく方向へ３本延びている。これらのリブ２３５Ａは、上下方向Ｄ２における高さが、上壁２３の左右方向Ｄ３における左端、右端からフランジ固定部２３４へ近づくにつれて、徐々に高くなっている。

【0035】

また、外面中央低部２３２Ｂに設けられているリブ２３５Ｂは、上壁２３の前端からフランジ固定部２３４へ向けて、後方へフランジ固定部２３４に近づく方向へ５本延びている。従って、平面視で上壁２３の外面は、被係止部としてのフランジ固定部２３４を中心とした放射状に延びるこれらのリブ２３５Ａ、２３５Ｂを有している。これらのリブ２３５Ｂは、上下方向Ｄ２における高さは一定であり、内方指向外面端部２３３Ｂに設けられているリブ２３５Ａの部分であって、最も高さの高い部分と同一の高さを有している。

【0036】

図３Ａに示すように、基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、図２Ｄに示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部５２とを有している。板部５１と板部支持部５２とは、樹脂が一体成形されて構成されている。板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と同一形状のものが配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。

【0037】

また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２Ｄに示すように、板部５１の上面には、凸部５１１が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

【0038】

板部支持部５２は、図２Ｄに示すように、上下方向Ｄ２に延びる部材により構成されている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた板部支持部５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた板部支持部５２に接続されている。基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

【0039】

図２Ｄに示すように、奥側基板支持部６は、壁部基板支持部６０を有している。壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１と一体で成形されている。
なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。

【0040】

壁部基板支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。後述のように基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、壁部基板支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持する。

【0041】

図３Ａに示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の外周縁部においては、シール部材嵌合溝が蓋体３の外周縁部に沿って形成されている。シール部材嵌合溝においては、図３Ａに示すように、弾性変形可能なＰＯＥ（ポリオキシエチレン）製、ＰＥＥ製をはじめ、ポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等の環状のシール部材４が嵌め込まれている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

【0042】

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、蓋体３の外周縁部は、シール部材４を介して容器本体２の開口周縁部２８の内周縁部に当接する。これにより、シール部材４は蓋体３の外周縁部と開口周縁部２８の内周縁部とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

【0043】

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図３Ａ、図３Ｂに示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

【0044】

蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

【0045】

蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央位置に形成されている。凹部を形成している蓋体３の内面においては、フロントリテーナ係止部（図示せず）が左右方向Ｄ３において対をなして設けられている。

【0046】

凹部（図示せず）においては、フロントリテーナ７が設けられている。フロントリテーナ７は、図２Ｄに示すように、上下方向Ｄ２に平行に延びる一対の縦枠体７１と、フロントリテーナ脚部７２と、フロントリテーナ基板受け部７３とを有している。一対の縦枠体７１、フロントリテーナ脚部７２、及びフロントリテーナ基板受け部７３は、樹脂により一体成形され、互いに接続されている。

【0047】

フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。後述のように基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

【0048】

対をなしている縦枠体７１が蓋体３に固定されることにより、フロントリテーナ７は蓋体３に固定される。縦枠体７１の蓋体３への固定が解除されることにより、フロントリテーナ７は蓋体３から取り外される。

【0049】

上記構成の本実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
上壁２３の外面は、一方の側壁から他方の側壁へ向かう開口部幅方向、即ち、左右方向Ｄ３における両端部分に位置する内方指向外面端部２３３Ｂであって、開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて基板収納空間２７の内方へ向かう内方指向外面端部２３３Ｂと、開口部幅方向における中央部分に位置し、上壁２３の外面の両端よりも基板収納空間２７の内方寄りに位置する外面中央低部２３２Ｂと、を有する。

【0050】

このため、上壁２３の上面から、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａl）規格に基づく上限までの距離を、より長く確保することができる。この結果、上壁２３の上面から、ＳＥＭＩ規格に基づく上限までの間に容器本体２の剛性を高めるためのリブ２３５Ａ、２３５Ｂを設けた場合に、上壁２３の上面からＳＥＭＩ規格に基づく上限の位置へと向かうリブ２３５Ａ、２３５Ｂの高さを、より高く確保することができる。これにより、容器本体２の剛性をより高くすることができる。

【0051】

また、上壁２３の内面は、開口部幅方向における両端部分に位置する内方指向内面端部２３３Ａであって、開口部幅方向における中央部分に近づくにつれて、基板収納空間２７の内方へ向かう内方指向内面端部２３３Ａと、開口部幅方向における中央部分に位置し、上壁２３の内面の両端２３３Ｃよりも基板収納空間２７の内方寄りに位置する内面中央低部２３２Ａと、を有する。
このため、吊り上げ部材によって容器本体２が持ち上げられたときに、上壁２３が上方へ引かれるように変形した場合であっても、容器本体開口部２１を形成する上壁２３の一端部の一部２８１が蓋体３の縁部に対向しなくなることを防止することができ、常に蓋体３のシール部材が上壁２３の一端部分に接触することができる。これにより、容器本体開口部２１を形成する上壁２３の一端部の一部２８１と、蓋体３の縁部との間のシール性を維持することができる。

【0052】

また、外面中央低部２３２Ｂと内面中央低部２３２Ａとは、互いに一致した位置関係の長方形状を有し、長方形状の一辺は、上壁２３の一端部により形成される容器本体開口部２１の一部を構成する。このため上壁２３を、必要以上に厚く構成せずに、内方指向外面端部２３３Ｂ、外面中央低部２３２Ｂ、内方指向内面端部２３３Ａ、及び内面中央低部２３２Ａを有する構成とすることができる。これにより、上壁２３を構成する材料を節約することができ、また、容器本体２の軽量化を図ることができる。

【0053】

また、内方指向外面端部２３３Ｂは、被係止部（トップフランジ２３６）に近づく方向へ延びるリブ２３５Ａを有する。また、上壁２３の外面は、被係止部を中心とした放射状に延びるリブ２３５Ａ、２３５Ｂを有する。このため、内方指向外面端部２３３Ｂ、外面中央低部２３２Ｂ、においてリブ２３５Ａ、２３５Ｂの高さをより高くできることと相まって、容器本体２の剛性をより高くすることができる。また、上壁２３の外面に対向するフランジ部２３６Ｂを有するため、フランジ部２３６Ｂを容易に吊り上げ部材に係止させることができる。

【0054】

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。

【0055】

例えば、内方指向外面端部、外面中央低部、内方指向内面端部、及び内面中央低部の形状や構成は、本実施形態の形状や構成に限定されない。例えば、中央低部２３２は、左右方向Ｄ３において上壁２３を略３等分したときの中央の部分により構成されていたが、この構成に限定されない。

【0056】

例えば、図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃに示すように、容器本体２Ｈの中央低部２３２Ｈは、長方形状ではなく、上壁２３Ｈの前端部に下底を有し、上壁２３Ｈの後端部に上底を有し、前後方向Ｄ１に高さを有する台形状であってもよい。また、図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃに示すように、上壁２３Ｉは、容器本体２Ｉの上壁左右方向Ｄ３における上壁２３の両端から左右方向Ｄ３における上壁２３Ｉの中央に向かって緩やかに下方向Ｄ２２へ向かって下がる曲面を有していてもよい。この場合、上壁２３Ｉの部分であって、最も下方向Ｄ２２へ下がった部分であって、左右方向Ｄ３における上壁２３Ｉの中央の部分は、中央低部２３２Ｉであり、上壁２３Ｉの一部であって、左右方向Ｄ３における中央低部２３２Ｉの両側の部分は、内方指向端部２３３Ｉである。

【0057】

また、例えば、中央低部２３２の外面と中央低部２３２の内面とは、互いに一致した位置関係の長方形状を有していたが、この構成に限定されない。例えば、長方形同士が互いに一致した位置関係を有していなくてもよい。

【0058】

また、例えば、上壁の内面における少なくとも上壁の一端部に相当する部分、即ち、開口周縁部の部分であって上壁の前端部により構成されている部分やその近傍部分のみが、内方指向内面端部と、内面中央低部と、を有していてもよい。

【0059】

また、本実施形態では、上壁２３の内面は、内方指向内面端部２３３Ａと内面中央低部２３２Ａと、を有していたが、上壁の内面は、これらを有していない平坦面により構成されていて、上壁の外面は、内方指向外面端部２３３Ｂと外面中央低部２３２Ｂとを有していてもよい。また、このように上壁の内面が平坦面により構成されている場合であっても、外面中央低部２３２Ｂは長方形状であっても長方形状でなくてもよい。

【0060】

また、リブの形状は、本実施形態の形状に限定されない。例えば、図８Ａ、図８Ｂに示すように、内方指向外面端部２３３Ｂに設けられたリブ２３５Ｊは、左右方向Ｄ３に平行に伸びて、互いに平行な位置関係をなし、外面中央低部２３２Ｂに設けられたリブ２３５Ｋは、前後方向Ｄ１に平行に伸びて、互いに平行な位置関係をなしていてもよい。

【0061】

また、被系止部は、フランジ部２３６Ｂを有していたが、この構成に限定されない。被係止部は、吊り上げ部材に係止される構成を有していればよい。

【0062】

また、基板支持板状部５の隣接する板部５１は、互いに離間して平行な位置関係で配置されていたが、厳密に平行な位置関係でなくてもよく、並列されていればよい。

【符号の説明】

【0063】

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２２ 奥壁
２３ 上壁
２４ 下壁
２５ 第１側壁
２６ 第２側壁
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
２３２Ａ 内面中央低部
２３２Ｂ 外面中央低部
２３５Ａ、２３５Ｂ リブ
２３６Ｂ フランジ部

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図8A】

【図8B】