特許6005930流路部材、これを用いた熱交換器および電子部品装置ならびに半導体製造装置

発明の名称　流路部材、これを用いた熱交換器および電子部品装置ならびに半導体製造装置

出願人　京セラ株式会社　（識別番号 6633）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（427件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 28 位（668件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6005930

公報発行日　2016年10月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6005930

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