特許6006029流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置

発明の名称　流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置

出願人　京セラ株式会社　（識別番号 6633）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（421件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 27 位（665件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6006029

公報発行日　2016年10月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6006029

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