特許 6006345 検査用ウエハおよび試験システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6006345

(24)【登録日】2016年9月16日

(45)【発行日】2016年10月12日

(54)【発明の名称】検査用ウエハおよび試験システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20160929BHJP

   G01R 31/28 20060101ALI20160929BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/66 D

   G01R31/28 K

   H01L21/66 B

【請求項の数】4

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2015-7662(P2015-7662)

(22)【出願日】2015年1月19日

(65)【公開番号】特開2015-179821(P2015-179821A)

(43)【公開日】2015年10月8日

【審査請求日】2015年1月20日

(31)【優先権主張番号】10-2014-0031943

(32)【優先日】2014年3月19日

(33)【優先権主張国】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】龍華国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】杭谷 哲也

【審査官】 井上 弘亘

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０１−３１８２４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６２−０７８８４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１１２７７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００９−５４０６１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被試験デバイスの端子と接続される複数のプローブ端子を有するプローブカードを検査する検査用ウエハであって、
前記複数のプローブ端子のうち、いずれか一つの特定プローブ端子と、他の各プローブ端子とを順番に接続するための複数の接続配線を備え、
前記複数の接続配線の各々において前記一つの特定プローブ端子と接続される一端は、予め定められた方向の直線上に並んで設けられている
検査用ウエハ。

【請求項2】

前記検査用ウエハは、
行列状に配置された複数の端子を有する針跡位置精度確認用パターンと、
全ピンショートパターンと、
前記複数の接続配線が設けられる個別導通検査パターンと
を有する
請求項１に記載の検査用ウエハ。

【請求項3】

被試験デバイスを試験する試験システムであって、
信号を入力または出力する複数の試験ユニットを有する試験部と、
前記被試験デバイスの端子と接続される複数のプローブ端子を有し、前記被試験デバイスおよび前記試験部との間で信号を伝送するプローブカードと、
前記プローブカードの検査時に前記被試験デバイスに代えて前記プローブカードに接続され、且つ、前記複数のプローブ端子のうちいずれか一つの特定プローブ端子と他の各プローブ端子とを順番に接続するための複数の接続配線を有する検査用ウエハと
を備え、
前記特定プローブ端子は、前記複数の試験ユニットのいずれかと一対一に接続され、
前記試験部は、前記一つの特定プローブ端子と一つの他のプローブ端子とに接続された２つの試験ユニットにおける少なくとも一方の出力を測定して、前記一つの特定プローブ端子および前記一つの他のプローブ端子の良否を判定し、
前記複数の接続配線の各々において前記一つの特定プローブ端子と接続される一端は、予め定められた方向の直線上に並んで設けられている
試験システム。

【請求項4】

前記複数の試験ユニットの各々は、
予め定められたデータパターンに応じた波形を有する信号を出力するドライバ部と、
前記信号のレベルを予め定められた参照レベルと比較するコンパレータ部と
を有する
請求項３に記載の試験システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査用ウエハおよび試験システムに関する。

【0002】

被試験デバイスを検査する場合において、テストヘッドと当該被試験デバイスが設けられたウエハとの間に、プローブカードが設けられる。従来、当該プローブカードを検査する場合、被試験デバイスを検査する場合に用いる試験装置とは異なる、プローブカードを検査するための検査装置を用いていた（例えば、特許文献１参照）。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特開平０５−１６６８９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

このため、プローブカードを検査する場合、被試験デバイスの試験装置から、プローブカード用の検査装置にプローブカードを移す必要があった。

【課題を解決するための手段】

【0004】

本発明の第１の態様においては、被試験デバイスの端子と接続される複数のプローブ端子を有するプローブカードを検査する検査用ウエハであって、プローブカードの２つのプローブ端子を電気的に接続する接続配線を備える検査用ウエハを提供する。

【0005】

本発明の第２の態様においては、被試験デバイスを試験する試験システムであって、信号を入力または出力する複数の試験ピンを有する試験部と、被試験デバイスの端子と接続される複数のプローブ端子を有し、被試験デバイスおよび試験部との間で信号を伝送するプローブカードと、プローブカードの検査時に被試験デバイスに代えてプローブカードに接続され、且つ、２つのプローブ端子を電気的に接続する接続配線を有する検査用ウエハとを備え、試験部は、２つのプローブ端子に接続された２つの試験ピンにおける少なくとも一方の出力を測定して、２つのプローブ端子の良否を判定する試験システムを提供する。

【0006】

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】試験システム１００を示す図である。

【図2】分岐有りピンの他の例である。

【図3】試験ユニット１２、プローブカード３０およびＤＵＴ８０を示す図である。

【図4】プローブカード３０を検査する場合の試験システム１００を示す図である。

【図5】試験ユニット１２、プローブカード３０および回路パターン４２を示す図である。

【図6】検査用ウエハ４１の平面図である。

【図7】検査用ウエハ４１の１つの回路パターン４２の詳細を示す図である。

【図8】検査用ウエハ４１の１つの回路パターン４２の他の例を示す図である。

【図9】ＤＵＴ８０における端子２３の配列例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

【0009】

図１は、試験システム１００を示す図である。試験システム１００は、被試験ウエハ４０に形成された複数の被試験デバイス（ＤＵＴ）８０を試験する。試験システム１００は、試験部としてのテストヘッド１０、プローブカード３０、およびプローバ６０を備える。

【0010】

プローブカード３０は、テストヘッド１０と被試験ウエハ４０との間に設けられる。プローブカード３０は、プローバ６０に載置された被試験ウエハ４０と接続する複数のプローブ端子３４を有する。プローバ６０は、被試験ウエハ４０を載置して移動するウエハステージ５０を有する。

【0011】

プローブ端子３４は、複数のＤＵＴ８０の各端子に対応して設けられる。プローブ端子３４の１つの束が、１つのＤＵＴ８０に対応して設けられる。図１の例においては、プローブ端子３４の束は、Ｙ方向に整列して設けられている。しかしながら、プローブ端子３４の束は、Ｘ方向に整列して設けられてもよいし、２列以上設けられてもよい。プローブ端子３４の配置は、デバイスの設計に従い、適宜修正されてよい。プローブカード３０は内部に接続配線３２を有する。接続配線３２は、テストヘッド１０と、プローブ端子３４とを接続する。

【0012】

プローバ６０は、プローブカード３０に対する被試験ウエハ４０の相対的な位置を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動させる。Ｘ方向およびＹ方向は、水平面を規定する２つの平行でない方向である。Ｚ方向は、垂直方向を規定する方向である。プローバ６０により、ＤＵＴ８０の端子は複数のプローブ端子３４に接続される。

【0013】

プローブカード３０は、複数のＤＵＴ８０とテストヘッド１０との間で信号を伝送する。テストヘッド１０は、複数の試験ユニット１２および接続配線１９を有する。接続配線１９は、試験ユニット１２とプローブ端子３４とを接続する。

【0014】

それぞれの試験ユニット１２は、信号を出力する機能、および、信号を測定する機能の少なくとも一方を有する。ＤＵＴ８０を試験する場合、それぞれのＤＵＴ８０に接続される試験ユニット１２のうち、少なくとも１つの試験ユニット１２は、ＤＵＴ８０に信号を出力する。プローブカード３０は、試験ユニット１２が出力した信号をＤＵＴ８０に入力する。また、プローブカード３０は、ＤＵＴ８０が生成した信号を、いずれかの試験ユニット１２に入力する。テストヘッド１０は、試験ユニット１２における信号の測定結果に基づいて、ＤＵＴ８０の良否を判定する。テストヘッド１０は、テスタのメインフレームと協働して信号を生成し、ＤＵＴ８０の良否を判定してよい。

【0015】

また、テストヘッド１０は、試験ユニット１２からＤＵＴ８０に供給される信号に基づいてＤＵＴ８０の良否を判定してよい。例えばテストヘッド１０は、試験ユニット１２からＤＵＴ８０に供給される電圧または電流のレベルが、所定の範囲か否かによりＤＵＴ８０の良否を判定してよい。

【0016】

それぞれの試験ユニット１２は、複数のプローブ端子３４に接続されてよい。ただし、一つのＤＵＴ８０に接続される複数の試験ユニット１２のうち、少なくとも一つの試験ユニット１２は、一つのプローブ端子３４と一対一に対応して接続される。図１の例では、試験ユニット１２−２とプローブ端子３４−３とが一対一に対応して接続される。なお、一つの試験ユニット１２と一対一に接続されるプローブ端子３４を、本明細書では分岐無しピンと称する。

【0017】

分岐無しピンではない他のプローブ端子３４を、本明細書では分岐有りピンと称する。図１の例では、試験ユニット１２−１とプローブ端子３４−１およびプローブ端子３４−２とは、プローブカード３０内で分岐して接続される。つまり、プローブ端子３４−１およびプローブ端子３４−２は、分岐有りピンである。

【0018】

試験ユニット１２−３とプローブ端子３４−４およびプローブ端子３４−Ｍとは、プローブカード３０内で分岐して接続される。なお、図１に記載のＬおよびＭは自然数である。プローブ端子３４−４は、ＤＵＴ８０−１に接続される。プローブ端子３４−Ｍは、ＤＵＴ８０−１とは別のＤＵＴ８０−２に接続される。つまり、プローブ端子３４−４とプローブ端子３４−Ｍとは異なるＤＵＴ８０に接続する。

【0019】

図２は、分岐有りピンの他の例である。本例の分岐有りピンにおいて、接続配線３２は、分岐３１とプローブ端子３４−３との間のスイッチ３６をさらに有する。

【0020】

スイッチ３６は、制御信号３７によりオンまたはオフされる。スイッチ３６は、例えば、テストヘッド１０から出力される制御信号３７により制御される。スイッチ３６がオン状態のとき、接続配線３２は分岐有りピンの配線として機能する。つまり、試験ユニット１２−１は、プローブ端子３４−１およびプローブ端子３４−２に接続される。これに対して、スイッチ３６がオフ状態のとき、試験ユニット１２−１およびプローブ端子３４−１が接続され、試験ユニット１２−１およびプローブ端子３４−２は分離される。これにより、接続配線３２は分岐無しピンの配線として機能する。

【0021】

プローブカード３０は、本例の分岐有りピンを複数有してよい。複数の分岐有りピンにおける各々のスイッチ３６は、制御信号３７によりそれぞれオンまたはオフとされる。よって、プローブカード３０におけるスイッチ３６の制御により、複数の分岐有りピンを選択的に分岐無しピンとすることができる。

【0022】

図３は、試験ユニット１２、プローブカード３０およびＤＵＴ８０を示す図である。それぞれの試験ユニット１２は、ドライバ部１３、コンパレータ部１４、直流ユニット１５、スイッチ２１およびスイッチ２２を有する。ドライバ部１３は、所定のデータパターンに応じた波形を有する信号を出力する。コンパレータ部１４は、入力信号のレベルを所定の参照レベルと比較して、入力信号を２値の信号に変換する。直流ユニット１５は、所定の電圧または電流を出力したときの電流値または電圧値を測定する。

【0023】

スイッチ２１は、ドライバ部１３およびコンパレータ部１４を、プローブカード３０に接続するか否かを切り替える。スイッチ２２は、直流ユニット１５を、プローブカード３０に接続するか否かを切り替える。

【0024】

ＤＵＴ８０の機能試験を行う試験ユニット１２においては、スイッチ２１がオン、スイッチ２２がオフになる。機能試験を行ういずれかの試験ユニット１２のドライバ部１３は、所定のデータパターンを有する試験信号を出力する。プローブカード３０は、ＤＵＴ８０のいずれかの端子２３に試験信号を入力する。また、プローブカード３０は、ＤＵＴ８０のいずれかの端子２３から出力される応答信号を、機能試験を行う他の試験ユニット１２に入力する。応答信号が入力された試験ユニット１２のコンパレータ部１４は、応答信号を２値の信号に変換する。テストヘッド１０は、当該２値の信号のパターンが、所定の期待値パターンと一致するか否かを判定する。

【0025】

ＤＵＴ８０の直流試験を行う試験ユニット１２においては、スイッチ２１がオフ、スイッチ２２がオンになる。直流試験を行う試験ユニット１２の直流ユニット１５は、設定されたレベルの電圧を出力し、このときに直流ユニット１５が出力する電流レベルを測定する。または、直流ユニット１５は、設定されたレベルの電流を出力し、このときに直流ユニット１５が出力する電圧レベルを測定する。

【0026】

このような構成により、試験システム１００は、ＤＵＴ８０を試験する。また、試験システム１００は、テストヘッド１０にプローブカード３０を接続した状態で、プローブカード３０を検査する機能を有する。

【0027】

図４は、プローブカード３０を検査する場合の試験システム１００を示す図である。本例の試験システム１００におけるプローバ６０は、被試験ウエハ４０に代えて、検査用ウエハ４１を載置する。他の構成は、図１および図３における試験システム１００と同一である。

【0028】

検査用ウエハ４１は、複数の回路パターン４２を有する。検査用ウエハ４１は、被試験ウエハ４０と同一の形状を有してよい。複数の回路パターン４２は、複数のＤＵＴ８０と同一のパターンで、検査用ウエハ４１に配列される。

【0029】

図５は、試験ユニット１２、プローブカード３０および回路パターン４２を示す図である。回路パターン４２は、２つのプローブ端子３４を接続する接続配線４３、および、端子７４を有する。２つの試験ユニット１２は、接続配線４３を介して電気的に接続される。

【0030】

接続配線４３を介して接続された試験ユニット１２は、所定の信号を出力する。例えば一方の直流ユニット１５が所定の電圧を出力し、他方の直流ユニット１５が接地電位を出力する。接続配線４３を介して接続された、プローブカード３０における２つのプローブ端子３４および２つの接続配線３２が導通していれば、２つの試験ユニット１２間に電流が流れる。従って、少なくとも一方の試験ユニット１２において、２つの試験ユニット１２間に流れる電流を測定することで、２つのプローブ端子３４および２つの接続配線３２の導通を検査することができる。また、一方の試験ユニット１２におけるドライバ部１３が、所定のデータパターンを有する信号を出力し、他方の試験ユニット１２におけるコンパレータ部１４が、当該データパターンの信号を受信できるか否かによって、２つのプローブ端子３４および２つの接続配線３２の導通を検査してもよい。

【0031】

本例の接続配線４３は、特定プローブ端子３４−３および他のプローブ端子３４−４からなる２つのプローブ端子を電気的に接続する。接続配線４３は、特定プローブ端子３４−３および他のプローブ端子３４−４に対応する、回路パターン４２における２つの領域を接続する。回路パターン４２における２つの領域とは、特定プローブ端子３４−３と他のプローブ端子３４−４との間隔３５と同一の間隔を有する２つの領域であってよい。

【0032】

上述したように、試験システム１００は、２つのプローブ端子３４に接続された２つの試験ユニット１２における少なくとも一方の出力を測定する。例えば試験システム１００は、特定プローブ端子３４−３に接続された試験ユニット１２−２の出力を測定する。

【0033】

試験ユニット１２−２から入力される電気信号が、接続配線４３を介して、試験ユニット１２−３に出力される場合、試験システム１００は、特定プローブ端子３４−３およびプローブ端子３４−４は良好と判定する。一方、試験ユニット１２−２から入力される電気信号が、接続配線４３を介して、試験ユニット１２−３に出力されない場合、試験システム１００は、特定プローブ端子３４−３およびプローブ端子３４−４の少なくとも一方は不良と判定する。なお図５の例では、端子７４は接続配線４３に接続されていない。それゆえ、試験ユニット１２−２から入力される電気信号は、端子７４を介して試験ユニット１２−４に出力されない。

【0034】

図５においては、一つの接続配線４３を有する回路パターン４２を示したが、回路パターン４２は、複数の接続配線４３を有してよい。複数の接続配線４３は、複数のプローブ端子３４のうち特定プローブ端子３４−３と、他の各プローブ端子３４とを接続する。特定プローブ端子３４−３とプローブ端子３４−４との電気的導通検査が終了すると、特定プローブ端子３４−３と他のプローブ端子３４−５との電気的導通が検査される。例えば、プローバ６０は、特定プローブ端子３４−３とプローブ端子３４−５とを接続するべく、検査用ウエハ４１の位置を変更する。

【0035】

試験システム１００においては、プローブカード３０を検査する場合に、被試験ウエハ４０に代えて検査用ウエハ４１を用いる。これにより、プローブカード３０を試験システム１００から取り外さなくとも、プローブカード３０を検査できる。また、プローブカード３０を検査するための専用の検査装置が不要となる。

【0036】

図６は、検査用ウエハ４１の平面図である。検査用ウエハ４１は複数の回路パターン４２を有する。図面の見やすさを優先して、回路パターン４２のうち、一つの回路パターン４２のみに参照番号を付した。上述したように、複数の回路パターン４２は、ＤＵＴ８０と同一のパターンで配列される。各々の回路パターン４２は、対応する各々のプローブ端子３４の束に接続される。このため、ＤＵＴ８０毎に設けられたプローブ端子３４の複数の束を並列に検査することができる。これにより本例の試験システム１００は、短時間で導通試験を完了することができる。

【0037】

図７は、検査用ウエハ４１の１つの回路パターン４２の詳細を示す図である。回路パターン４２は検査用ウエハ４１の表面に設けられる。本例の回路パターン４２は、針跡位置精度確認用パターン４４、全ピンショートパターン４６、および個別導通検査パターン４８を有する。

【0038】

本例の針跡位置精度確認用パターン４４は、アライメントマーク７０および複数の端子７２を有する。図面の見やすさを優先して、複数の端子７２のうち、一つの端子７２のみに参照番号を付した。複数の端子７２は、Ｘ方向およびＹ方向に行列状に設けられる。Ｙ方向の一列分の端子７２の配列間隔は、複数のプローブ端子３４の配列間隔と同一である。アライメントマーク７０および複数の端子７２は、アルミニウムにより形成されてよい。

【0039】

一列分の端子７２は、ＤＵＴ８０の端子２３と同一の間隔で配置される。ただし、ＤＵＴ８０の端子２３のうち、試験に用いない端子２３に対しては、プローブカード３０にプローブ端子３４が設けられない。このため、検査用ウエハ４１においても、試験に用いないＤＵＴ８０の端子２３に対応する端子７２は設けない。このため、一列の端子７２は不等間隔に配列される。

【0040】

複数の端子７２は、複数のプローブ端子３４の先端位置を確認するために用いられる。プローブ端子３４は、先端が先鋭な針である。それゆえ、プローブ端子３４が針跡位置精度確認用パターン４４に一度接触すると、アルミニウムの端子７２は部分的に削り取られる。このため、複数の端子７２は、針跡位置精度確認に用いることができる。複数の端子７２のＸ方向の行数分、針跡位置精度確認できる。

【0041】

本例のアライメントマーク７０は、端子７２の間の領域に設けられる。つまり本例では、列方向において端子７２間の間隔が最大となる領域に設けられる。なお、アライメントマーク７０は、全ピンショートパターン４６または個別導通検査パターン４８に設けられてもよい。アライメントマーク７０は、プローブカード３０に対する検査用ウエハ４１の相対位置を決定するために用いられる。例えば、試験システム１００は、アライメントマーク７０を撮影するカメラを設けて、プローブカード３０に対する検査用ウエハ４１の相対位置を特定する。

【0042】

本例のアライメントマーク７０は、十字のパターンを有する。またアライメントマーク７０は、当該十字の各辺に対して線対称なＬ字のマークを有する。試験システム１００は、当該アライメントマーク７０を用いて、プローブカード３０に対する回路パターン４２のＸ方向およびＹ方向の相対位置を同時に特定することができる。なお、アライメントマーク７０は、プローブカード３０に対する回路パターン４２のＸ方向およびＹ方向の相対位置を特定することができる限り、他の形状としてもよい。

【0043】

全ピンショートパターン４６は、アルミニウムで形成されてよい。本例では、全ピンショートパターン４６は、矩形のパターンである。なお、矩形平面内はアルミニウムがいわゆるベタ膜で設けられる。全ピンショートパターン４６は、一つのＤＵＴ８０に対応する全てのプローブ端子３４を接続するためのパターンである。全てのプローブ端子３４を全ピンショートパターン４６において短絡させることで、ＧＮＤ電位に対する導通検査を行うことができる。

【0044】

個別導通検査パターン４８は、複数の接続配線４３−１から接続配線４３−２１および複数の端子７４を有する。複数の接続配線４３は、特定プローブ端子３４−３以外のプローブ端子３４であって、１つの回路パターン４２に向かい合って設けられるプローブ端子３４と同数設けられる。個別導通検査パターン４８はまた、アルミニウムのパターンにより形成された列番号を有してよい。なお、図面の見やすさを優先して、複数の端子７４のうち、一つの端子７４のみに参照番号を付した。

【0045】

複数の接続配線４３は、特定プローブ端子３４−３以外のプローブ端子３４と一対一に対応する。それぞれの接続配線４３は、対応するプローブ端子３４と、特定プローブ端子３４−３とを接続する。それぞれの接続配線４３は、Ｙ方向において、対応するプローブ端子３４と、特定プローブ端子３４−３との間隔に等しい長さを有する。本例では、プローブカード３０においてＹ方向に配列された複数のプローブ端子３４のうち、３番目のプローブ端子３４を特定プローブ端子３４−３とする。

【0046】

複数の端子７４は、複数の端子７２と同様に行列方向に配列される。ただし、複数の端子７４の列は、特定プローブ端子３４−３以外のプローブ端子３４と一対一に対応して設けられる。複数の端子７４の各列において、当該列に対応付けられたプローブ端子３４に対応する端子７４と、特定プローブ端子３４−３に対応する端子７４とは、接続配線４３により接続される。本例では、接続配線４３の両端が、これらの端子７４として機能する。

【0047】

複数の接続配線４３のＹ方向の長辺は、互いに平行に設けられる。それぞれの接続配線４３の一端は、特定プローブ端子３４−３と接続される。検査用ウエハ４１をＸ方向に平行移動することで、特定プローブ端子３４−３をそれぞれの接続配線４３の一端に順番に接続できるように、接続配線４３の一端はＸ方向の直線上に並んでいる。さらに、各々の接続配線４３は、角が直角であり９０度回転させたＵ字の形状を有する。つまり、接続配線４３は、Ｘ方向に伸びる２つの行延伸部と、Ｙ方向に伸びて２つの行延伸部を接続する列延伸部とを有する。各々の接続配線４３の当該Ｕ字形状の中に、１以上の端子７４が設けられる。つまり、各々の接続配線４３の２つの行延伸部の間に、１以上の端子７４が設けられる。

【0048】

本例では、接続配線４３−１は、第１列目の２つの端子７４のうち、第１行目の端子７４と第３行目の端子７４とを接続する配線である。接続配線４３−２は、第２列目の２つの端子のうち、第２行目の端子７４と第３行目の端子７４とを接続する配線である。接続配線４３−３は、第３列目の２つの端子７４のうち、第３行目の端子７４と第４行目の端子７４とを接続する配線である。以降、接続配線４３−Ｎは、第Ｎ列目における２つの端子７４のうち、第３行目の端子７４と第（Ｎ＋１）行目の端子７４とを接続する配線である。なお、Ｎは１から２１の自然数である。

【0049】

上述したように、複数の接続配線４３は、複数のプローブ端子３４のうち、一つの特定プローブ端子３４−３と、他の各プローブ端子３４とを順番に接続する。例えば、接続配線４３−１は、プローブ端子３４−１と特定プローブ端子３４−３とを接続する。プローブ端子３４−１および特定プローブ端子３４−３の検査終了後、プローバ６０は、検査用ウエハ４１をＸ方向に移動させる。これにより接続配線４３−２は、特定プローブ端子３４−２とプローブ端子３４−３とを接続する。

【0050】

なお、特定プローブ端子３４−３と、検査対象のプローブ端子３４とを接続配線４３で接続すると、他のプローブ端子３４は、端子７４に接続される。このため、接続配線４３および端子７４における針跡を確認することで、複数のプローブ端子３４の先端位置を確認することもできる。

【0051】

本例の回路パターン４２は、針跡位置精度確認用パターン４４、全ピンショートパターン４６、および個別導通検査パターン４８を有する。しかしながら、回路パターン４２は個別導通検査パターン４８を有していればよく、針跡位置精度確認用パターン４４および全ピンショートパターン４６の少なくとも一方を省略してもよい。

【0052】

図８は、検査用ウエハ４１の１つの回路パターン４２の他の例を示す図である。本例では、１つの回路パターン４２に対向する複数のプローブ端子３４のうち、Ｙ方向にある２つを特定プローブ端子３４とする。この場合、複数の端子７４の各列には、２つの特定プローブ端子３４に対応する２つの接続配線４３が設けられる。それぞれの接続配線４３は、一端が特定プローブ端子３４に接続され、他端が他のプローブ端子３４に接続される。それぞれのプローブ端子３４を、２つの特定プローブ端子３４のうち、より近いほうに接続するように接続配線４３が設けられてよい。また、検査用ウエハ４１は、複数の端子７４の各列に、３以上の接続配線４３を有してもよい。

【0053】

図９は、ＤＵＴ８０における端子２３の配列例を示す図である。ＤＵＴ８０は、Ｙ方向に配列された複数の端子２３を有する。複数の端子２３は、試験に用いる端子２３−１と、試験に用いない端子２３−２とを含む。図７および図８において説明した端子７２および端子７４は、列方向において、端子２３−１と同一のパターンで配列される。

【0054】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【0055】

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須であることを意味するものではない。

【符号の説明】

【0056】

１０ テストヘッド、１２ 試験ユニット、１３ ドライバ部、１４ コンパレータ部、１５ 直流ユニット、１９ 接続配線、２１ スイッチ、２２ スイッチ、２３ 端子、３０ プローブカード、３１ 分岐、３２ 接続配線、３４ プローブ端子、３５ 間隔、３６ スイッチ、３７ 制御信号、４０ 被試験ウエハ、４１ 検査用ウエハ、４２ 回路パターン、４３ 接続配線、４４ 針跡位置精度確認用パターン、４６ 全ピンショートパターン、４８ 個別導通検査パターン、５０ ウエハステージ、６０ プローバ、７０ アライメントマーク、７２ 端子、７４ 端子、８０ ＤＵＴ、１００ 試験システム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】