特許6006923極微細構造体の乾燥処理装置および乾燥処理方法

発明の名称　極微細構造体の乾燥処理装置および乾燥処理方法

出願人　ＫＩＳＣＯ株式会社　（識別番号 157887）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6006923

公報発行日　2016年10月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6006923

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