特許6008321蒸着用シャッター装置及びこれを用いた成膜装置

発明の名称　蒸着用シャッター装置及びこれを用いた成膜装置

出願人　独立行政法人物質・材料研究機構　（識別番号 301023238）

　　　　特許公開件数ランキング 386 位（107件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 271 位（116件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6008321

公報発行日　2016年10月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6008321

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