特許6010183連続拡散処理装置

発明の名称　連続拡散処理装置

出願人　光洋サーモシステム株式会社　（識別番号 167200）

　　　　特許公開件数ランキング 2091 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2166 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6010183

公報発行日　2016年10月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6010183

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