特許 6012247 流体制御装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6012247

(24)【登録日】2016年9月30日

(45)【発行日】2016年10月25日

(54)【発明の名称】流体制御装置

(51)【国際特許分類】

   F17D 1/02 20060101AFI20161011BHJP

   F16K 27/00 20060101ALI20161011BHJP

【ＦＩ】

   F17D1/02

   F16K27/00 D

   F16K27/00 C

【請求項の数】3

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2012-102968(P2012-102968)

(22)【出願日】2012年4月27日

(65)【公開番号】特開2013-231460(P2013-231460A)

(43)【公開日】2013年11月14日

【審査請求日】2015年3月27日

(73)【特許権者】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(74)【代理人】

【識別番号】100106091

【弁理士】

【氏名又は名称】松村 直都

(74)【代理人】

【識別番号】100060874

【弁理士】

【氏名又は名称】岸本 瑛之助

(74)【代理人】

【識別番号】100079038

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邉 彰

(72)【発明者】

【氏名】稲田 敏之

(72)【発明者】

【氏名】小艾 睦典

(72)【発明者】

【氏名】松田 隆博

【審査官】 渡邉 洋

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０５−１７２２６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−３０００００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０６９３０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−００９９６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１８５０３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０８２３５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−３２７５４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３４９７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１１／０４０２６８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開平１０−３１１４５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１７Ｄ １／００− １／２０

Ｆ１６Ｋ２７／００−２７／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層とからなり、上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、
下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置されかつ並列方向に隣り合う少なくとも２つの複列用通路ブロックを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって、流量制御器の入口側または出口側の張出部および少なくとも１つの開閉弁を支持しており、
複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられており、縦方向通路は、流量制御器の張出部と前記少なくとも１つの開閉弁とを連通するための通路を有し、横方向通路は、前記少なくとも１つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、隣り合う複列用通路ブロックの横方向通路の前記上面に開口した通路同士が逆Ｕ字状配管によって接続されていることを特徴とする流体制御装置。

【請求項2】

複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層とからなり、上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、
下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された少なくとも１つの複列用通路ブロックと、複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの上段部材を１列分だけ支持する単列用通路ブロックとを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって、流量制御器の入口側または出口側の張出部および少なくとも１つの開閉弁を支持しており、
複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられており、縦方向通路は、流量制御器の張出部と前記少なくとも１つの開閉弁とを連通するための通路を有し、横方向通路は、前記少なくとも１つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、
単列用通路ブロックは、前記少なくとも１つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、
複列用通路ブロックの横方向通路の前記上面に開口した通路と単列用通路ブロックの前記上面に開口した通路とが逆Ｕ字状配管によって接続されていることを特徴とする流体制御装置。

【請求項3】

複列用通路ブロックとして、流量制御器の入口側張出部およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁を支持している第１の複列用通路ブロックと、流量制御器の出口側張出部およびこれに直列状に配置された１つの出口側開閉弁を支持している第２の複列用通路ブロックとの２種類が使用されていることを特徴とする請求項１または２に記載の流体制御装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、流体制御装置に関し、特に、複数の流体制御機器および複数の通路ブロックによって形成された流体制御装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器が隣り合うように配置されて支持部材に取り付けられたラインをベース部材上に並列状に設置することにより、パイプや継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる。特許文献１には、このような流体制御装置として、複数の流体制御機器が直列状に配置された１つの列が複数並列状に配置されることにより形成された上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有している下段層とを備えたものが開示されている。

【0003】

図１２に、この発明の流体制御装置が対象とする従来の流体制御装置を示す。図１２は、複数列並列状に配置される上段層および下段層の１列分を示している。

【0004】

従来の流体制御装置は、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から、入口側第３開閉弁(91)、プレッシャーレギュレータ(92)、フィルタ(93)、入口側第１開閉弁(94)、入口側第２開閉弁(95)、マスフローコントローラ(96)および出口側第１開閉弁(97)が使用されている。入口側第３開閉弁(91)には、プロセスガス供給用の配管(103)が接続されている。

【0005】

マスフローコントローラ(96)は、マスフローコントローラ本体(96a)と、マスフローコントローラ本体(96a)の両側面に設けられた入口側および出口側の張出部(96b)(96c)とからなる。

【0006】

各流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96)(97)は、下方に開口する通路を有しており、この通路が下段に配された種々形状の複数のブロック継手（または通路ブロック）によって接続される。従来の流体制御装置は、複数のブロック継手（通路ブロック）として、Ｖ字状通路(99a)を有し隣り合う流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)を接続する６つのブロック継手(99)と、Ｖ字状通路(99a)を有する２つのブロック継手(99)の間に配されて入口側第２開閉弁(95)を支持するブロック継手(100)と、出口側第１開閉弁(97)の出口側端部を支持している管継手(101a)付きのブロック継手(101)とを備えている。

【0007】

２つのブロック継手(99)の間に配されて入口側第２開閉弁(95)を支持するブロック継手(100)および出口側第１開閉弁(97)の出口側端部を支持しているブロック継手(101)は、複数のラインの全てにわたって設けられているもの(「マニホールドブロック継手」と称されることがある）で、これ以外のブロック継手(99)は、各ラインごとに、別の部品が使用されている。マニホールドブロック継手(100)は、通常、パージガスラインとして使用され、マニホールドブロック継手(101)は、プロセスガスラインおよび、パージガスラインとして使用される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２００２−３４９７９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

上記従来の流体制御装置によると、Ｖ字状通路(99a)を有するブロック継手(99)は、隣り合う流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)を接続することから、数が多くなるという問題があった。また、複数のラインの全てにわたって設けられているマニホールドブロック継手(100)(101)は、列の数によって、その大きさが設定されており、列の数が増減する際には、マニホールドブロック継手(100)(101)を変更することが必要という問題があった。また、下段層のブロック継手(99)と上段層の流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)との接続は、シール部を介して行う必要があり、シール部が多くなるという問題もあった。そのため、従来の流体制御装置では、部品数が多くなり、また、列の数を増減する等の変更を行うのに多くの手間がかかるという問題があった。

【0010】

この発明の目的は、部品数を削減し、列の数を増減する等の変更を容易に行うことができる流体制御装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0011】

第１の発明による流体制御装置は、複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層とからなり、上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置されかつ並列方向に隣り合う少なくとも２つの複列用通路ブロックを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって、流量制御器の入口側または出口側の張出部および少なくとも１つの開閉弁を支持しており、 複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられており、縦方向通路は、流量制御器の張出部と前記少なくとも１つの開閉弁とを連通するための通路を有し、横方向通路は、前記少なくとも１つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、隣り合う複列用通路ブロックの横方向通路の前記上面に開口した通路同士が逆Ｕ字状配管によって接続されていることを特徴とするものである。
第２の発明による流体制御装置は、複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層とからなり、上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された少なくとも１つの複列用通路ブロックと、複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの上段部材を１列分だけ支持する単列用通路ブロックとを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって、流量制御器の入口側または出口側の張出部および少なくとも１つの開閉弁を支持しており、複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられており、縦方向通路は、流量制御器の張出部と前記少なくとも１つの開閉弁とを連通するための通路を有し、横方向通路は、前記少なくとも１つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、単列用通路ブロックは、前記少なくとも１つの開閉弁に通じかつ上面に開口した通路を有しており、複列用通路ブロックの横方向通路の前記上面に開口した通路と単列用通路ブロックの前記上面に開口した通路とが逆Ｕ字状配管によって接続されていることを特徴とするものである。

【0012】

上段層の１つの列は、例えば、メインの構成要素となる流量制御器と、流量制御器の入口側に配置された２つの開閉弁と、流量制御器の出口側に配置された１つの開閉弁とからなるものとされる。上段層には、必要に応じて、フィルタ、プレッシャーレギュレータなどが追加される。流量制御器としては、マスフローコントローラのような熱式質量流量制御器やＦＣＳと称されている圧力式流量制御器などが使用される。

【0013】

複数列用通路ブロックは、例えば、２列用、３列用、４列用、５列用などとされ、これらのうちの１種類とされてもよく、２種類以上が使用されてもよい。

【0014】

複数列用通路ブロックを使用することで、下段層に必要な通路ブロックの数（部品数）を削減することができる。

【0015】

「上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって」は、例えば、上段層が６列の場合、６列用の複数列用通路ブロックを使用するのではなく、２列用を３つ、３列用を２つ、または、２列用と４列用とを１つずつ使用することを意味している。

【0016】

従来、複数列にわたって使用される通路ブロック（すなわちマニホールドブロック継手）は、全ての列にわたって配置されるものであるので、列の数によって、その大きさが設定されている。したがって、例えば、列の数が増減する際（例えば６列から８列に変更される際）には、マニホールドブロック継手を変更することが必要であった。この発明による流体制御装置では、上記の例では、既存の６列分（２列用３つ、３列用２つ、または、２列用と４列用１つずつ）は、そのままにして、２列用の複列用通路ブロックを使用して、新たな２列を形成することができる。したがって、変更の手間が低減する。

【0017】

また、複数列用通路ブロックの使用により、隣り合う列間の接続を複数列用通路ブロック内で行うことができるので、シール部の数を減らすことができる。

【0018】

下段層の通路ブロックとして、複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの上段部材を１列分だけ支持する単列用通路ブロックをさらに有しており、少なくとも１つの複数列用通路ブロックおよび少なくとも１つの単列用通路ブロックが併用されていることが好ましい。

【0019】

併用することで、種々の組合せが可能になり、列の数や配置などの要求仕様に容易に対応することができる。また、列の数を１つだけ増加する場合に対応するには、複数列用通路ブロックの組合せによっても対応は可能であるが、この場合には、既存の分を一部取り外すことが必要になることがあり、１つの単列用通路ブロックを使用することで、既存の分をそのまま残しての対応が可能になる。

【0020】

また、隣り合う列の通路ブロックの上面に開口する通路同士が逆Ｕ字状配管によって接続されていることが好ましい。

【0021】

逆Ｕ字状配管を使用することで、複列用通路ブロックおよび単列用通路ブロックを併用しての列数の設定が容易になり、また、列数の増減も容易に行うことができる。

【0022】

上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、複列用通路ブロックが２種類使用されて、第１の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の入口側張出部およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁であり、第２の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の出口側張出部およびこれに直列状に配置された１つの出口側開閉弁であることが好ましい。

【0023】

流体制御装置において、流量制御器とその出入口に設けられる開閉弁は、基本の構成となっており、複数列用通路ブロックを使用して、この部分の部品数を低減することで、流体制御装置全体における部品数の大幅低減が可能となる。

【0024】

下段層の通路ブロックとして、従来、直列接続を行うために、Ｖ字状通路を有する通路ブロックが使用されており、このようなＶ字状通路を有する通路ブロックが使用されてもよく、使用されなくてもよい。

【0025】

なお、この明細書において、上下は図１の上下をいうものとするが、この上下は便宜的なもので、この発明の流体制御装置は、水平および垂直のいずれでの使用も可能である。

【発明の効果】

【0026】

この発明の流体制御装置によると、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって少なくとも２つの流体制御機器を支持する複列用通路ブロックが使用されることにより、部品数の削減が可能となる。また、複列用通路ブロック内に、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路が設けられていることで、隣り合う列間の接続を複数列用通路ブロック内で行うことができ、シール部の数を減らすことができる。また、全ての列にわたって配置される従来の通路ブロックを使用するものに比べて、列の増減の際の変更の手間を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】図１は、この発明による流体制御装置の１実施形態を示す側面図である。

【図2】図２は、この発明による流体制御装置の他の実施形態を示す側面図である。

【図3】図３は、この発明による流体制御装置で使用されている第１の複列用通路ブロックの１実施形態を入口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。

【図4】図４は、図３から入口側開閉弁を取り除いた第１の複列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。

【図5】図５は、この発明による流体制御装置で使用されている第２の複列用通路ブロックの１実施形態を出口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。

【図6】図６は、図５から出口側開閉弁を取り除いた第２の複列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。

【図7】図７は、この発明による流体制御装置で使用されている第１の単列用通路ブロックの１実施形態を入口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。

【図8】図８は、図７から入口側開閉弁を取り除いた第１の単列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。

【図9】図９は、この発明による流体制御装置で使用されている第２の単列用通路ブロックの１実施形態を出口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。

【図10】図１０は、図９から出口側開閉弁を取り除いた第２の単列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。

【図11】図１１は、並列状に隣り合う通路ブロック同士を接続する構成の一例を示す斜視図である。

【図12】図１２は、従来の流体制御装置を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。

【0029】

図１は、この発明の流体制御装置の第１実施形態を示している。流体制御装置は、半導体製造装置等において用いられるもので、複数の流体制御機器が直列状に配置された１つの列が複数並列状に配置されることにより形成された上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有している下段層とを備えている。図１には、流体制御装置の１つの列が示されている。

【0030】

流体制御装置の１つの列(1)は、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から順に、入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)、フィルタ(13)、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)、マスフローコントローラ(16)および出口側開閉弁(17)が使用されている。入口側第３開閉弁(11)には、プロセスガス供給用の配管(23)が接続されている。

【0031】

マスフローコントローラ(16)は、マスフローコントローラ本体(16a)と、マスフローコントローラ本体(16a)の両側面に設けられた入口側張出部(16b)および出口側張出部(16c)とからなる。入口側張出部(16b)にマスフローコントローラ(16)の入口が、出口側張出部(16c)にマスフローコントローラ(16)の出口がそれぞれ設けられている。

【0032】

各流体制御機器(11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)は、下方に開口する通路を有しており、この通路が下段に配された種々形状の通路ブロックによって接続されている。上記流体制御装置は、下段に配置されて上段層の流体制御機器(11)(12)(13)(14)(15)(16b)(16c)(17)を支持する複数の通路ブロックとして、Ｖ字状通路(20a)を有し隣り合う流体制御機器（入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)およびフィルタ(13)を接続する２つのブロック継手（通路ブロック）(20)と、フィルタ(13)の出口側端部、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)およびマスフローコントローラ(16)の入口側張出部(16b)に対応する下段部材とされている第１の複数列用通路ブロック(21)と、マスフローコントローラ(16)の出口側張出部(16c)および出口側開閉弁(17)に対応する下段部材とされている第２の複数列用通路ブロック(22)とを備えている。

【0033】

Ｖ字状通路(20a)を有するブロック継手(20)と入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)およびフィルタ(13)とは、上方からのボルト(30)によって結合されている。また、マスフローコントローラ(16)の入口側張出部(16b)および出口側張出部(16c)と第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)とは、上方からのボルト(30)によって結合されている。入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)と第１の複数列用通路ブロック(21)とは、ボルトを使用せずにねじ込んで一体化するブロックバルブタイプとされている。また、出口側開閉弁(17)と第２の複数列用通路ブロック(22)とは、ボルトを使用せずにねじ込んで一体化するブロックバルブタイプとされている。

【0034】

第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)が、後述するように、上記流体制御装置の特徴部分となっている。

【0035】

図２は、この発明の流体制御装置の第２実施形態を示している。第２実施形態の流体制御装置では、第１実施形態に対し、流量制御器であるマスフローコントローラ（熱量式流量制御器）がＦＣＳ（圧力式流量制御器）に変更されている。

【0036】

この実施形態の流体制御装置の１つの列(2)では、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から順に、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)、ＦＣＳ(18)および出口側開閉弁(17)が使用されている。

【0037】

ＦＣＳ(18)は、ＦＣＳ本体(18a)と、ＦＣＳ本体(18a)の両側面に設けられた張出部(18b)(18c)とからなる。入口側張出部(18b)にＦＣＳ(18)の入口が、出口側張出部(18c)にＦＣＳ(18)の出口がそれぞれ設けられている。

【0038】

この実施形態では、また、下段に配置されて上段層の流体制御機器(14)(15)(18b)(18c)(17)を支持する複数の通路ブロックとして、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)およびＦＣＳ(18)の入口側張出部(18b)に対応する下段部材とされている第１の複数列用通路ブロック(21)と、ＦＣＳ(18)の出口側張出部(18c)および出口側開閉弁(17)に対応する第２の複数列用通路ブロック(22)とを備えている。

【0039】

第１の複数列用通路ブロック(21)には、プロセスガス供給用の配管(24)が接続されている。

【0040】

第２実施形態における第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)は、第１実施形態のものと同じ構成であり、これらが第２実施形態においても、流体制御装置の特徴部分となっている。

【0041】

第１の複数列用通路ブロック(21)の詳細な構成を図３および図４に示す。

【0042】

図３は、入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)が取り付けられた状態を示し、図４は、これらが取り外された状態を示している。

【0043】

第１の複列用通路ブロック(21)は、上段部材としての流量制御器(16)(18)の入口側張出部(16b)(18b)およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁(14)(15)を３つの列にわたって支持している。

【0044】

第１の複列用通路ブロック(21)には、第１の列（図１および図２に示している列(1)(2)）に対応するように、第１の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１通路(31)と、第１通路(31)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第２通路(32)と、第１の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第３通路(33)と、第３通路(33)の中間部から上方にのびて第１の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第４通路(34)と、上面に開口し第１の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第５通路(35)と、第３通路(33)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第６通路(36)とが設けられている。

【0045】

第１の複列用通路ブロック(21)には、第２の列に対応するように、第２の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第７通路(37)と、第７通路(37)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第８通路(38)と、第２の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第９通路(39)と、第９通路(39)の中間部から上方にのびて第２の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第１０通路(40)と、第５通路(35)に通じかつ第２の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１１通路(41)と、第９通路(39)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第１２通路(42)とが設けられている。

【0046】

第１の複列用通路ブロック(21)には、第３の列に対応するように、第３の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１３通路(43)と、第１３通路(43)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第１４通路(44)と、第３の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第１５通路(45)と、第１５通路(45)の中間部から上方にのびて第３の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第１６通路(46)と、第１１通路(41)に通じかつ第３の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１７通路(47)と、上面に開口し第３の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１８通路(48)と、第１５通路(45)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第１９通路(49)とが設けられている。

【0047】

第５通路(35)、第１１通路(41)、第１７通路(47)および第１８通路(48)は、従来のマニホールドブロック継手(100)に対応する部分で、隣り合う列の流体制御機器としての第２開閉弁(15)同士を連通するための横方向通路となっており、パージガスラインとして使用される。これらの横方向通路(35)(41)(47)(48)以外が直列に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路を形成している。

【0048】

図５および図６に示す第２の複列用通路ブロック(22)は、上段部材としての流量制御器(16)(18)の出口側張出部(16c)(18c)およびこれに直列状に配置された出口側開閉弁(17)を３つの列にわたって支持している。

【0049】

第２の複列用通路ブロック(22)には、第１の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第１通路(51)と、出口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第２通路(52)とが設けられている。

【0050】

第２の複列用通路ブロック(22)には、第２の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第２の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第３通路(53)と、第２通路(52)に通じかつ第２の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第４通路(54)とが設けられている。

【0051】

第２の複列用通路ブロック(22)には、第３の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第３の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第６通路(56)と、第４通路(54)に通じかつ第３の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第７通路(57)とが設けられている。

【0052】

図１に示した実施形態と図１２に示した従来例とを比較した場合、第１の複列用通路ブロック(21)を使用している箇所に対応する従来例の箇所では、Ｖ字状通路(99a)を有するブロック継手(99)が１列に３つあるので、３列では９つとなり、これにマニホールドブロック継手(100)を加えた計１０のブロック継手(99)(100)が必要となっている。図１に示した実施形態では、これらのブロック継手(99)(100)が１つの第１の複列用通路ブロック(21)で置き換えられていることにより、部品数が大幅に削減されている。

【0053】

入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)の第１の複列用通路ブロック(21)への取付けは、図３に示すように、シール部を設けずに可能であるので、従来の入口側第１開閉弁(94)および入口側第２開閉弁(95)とブロック継手(99)(100)との間に設けられているシール部をなくすことができる。

【0054】

また、図１に示した実施形態と図１２に示した従来例とを比較した場合、第２の複列用通路ブロック(22)を使用している箇所に対応する従来例の箇所では、３列で３つのブロック継手(99)および１つのマニホールドブロック継手(101)が使用されている。図１に示した実施形態では、これらのブロック継手(99)(101)が１つの第２の複列用通路ブロック(22)で置き換えられており、この箇所においても、部品数が大幅に削減されている。また、出口側開閉弁(17)の第２の複列用通路ブロック(22)への取付けは、図５に示すように、シール部を設けずに可能であるので、従来の出口側開閉弁(97)とブロック継手(99)(101)との間に設けられているシール部をなくすことができる。

【0055】

上記の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)を使用することで、通路の内容積が変化する。具体的には、従来例を示す図１２において太線の破線Ｊ１およびＪ２で示している入口側および出口側１次における通路内容積に対し、図１に示す実施形態において太線の破線Ａ１およびＡ２で示している入口側および出口側１次における通路内容積がそれぞれ減少している。入口側および出口側１次の通路内容積は、ガスの置換性の向上および不純ガス放出量の減少の点から、極力小さいことが好ましく、上記複列用通路ブロック(21)(22)の使用によって、通路を最短にすることが可能であり、内容積を従来比１０〜２０％減少させることができる。

【0056】

複数列の流体制御装置を構成する場合、上記３列用の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)だけを使用したのでは、所要の列数にできない場合がある。これに対応するために、上記３列用の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)に対応する形状とされた第１の単列用通路ブロック(25)および第２の単列用通路ブロック(26)が使用される。

【0057】

第１の単列用通路ブロック(25)には、図７および図８に示すように、第１の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１通路(31)と、第１通路(31)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第２通路(32)と、第１の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第３通路(33)と、第３通路(33)の中間部から上方にのびて第１の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第４通路(34)と、上面に開口し第１の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第５通路(35)と、第３通路(33)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第６通路(36)とが設けられている。

【0058】

第２の単列用通路ブロック(26)には、図９および図１０に示すように、入口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第１通路(51)と、出口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第２通路(52)とが設けられている。

【0059】

第１の複列用（３列用）通路ブロック(21)および第２の複列用（３列用）通路ブロック(22)とこれに対応する第１の単列用通路ブロック(25)および第２の単列用通路ブロック(26)とを併用することにより、例えば、３列用を５つ、単列用を１つ使用して、全部で１６列とすることができ、また、３列用を４つ、単列用を４つ使用して、全部で１６列とすることもできる。後者は、例えば、腐食性ラインが４系統ある場合に適している。

【0060】

なお、上記において、第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)は、３列にわたって配置される３列用とされているが、複列用通路ブロックは、３列用に限られるものではなく、２列用通路ブロック、４列用通路ブロック、５列用通路ブロックとしてもよい。

【0061】

隣り合う第１の複列用通路ブロック(21)および第１の単列用通路ブロック(25)同士の接続の例を図１１に示す。図１１において、隣り合う列の通路ブロック(21)(25)の上面に開口する通路同士が第１逆Ｕ字状配管(27)および第２逆Ｕ字状配管(28)で接続されている。接続されている開口は、図３および図４に示す第１の複列用通路ブロック(21)の第５通路(35)の開口と、図７および図８に示す第１の単列用通路ブロック(25)の第５通路(35)の開口とされている。第２逆Ｕ字状配管(28)には、これにパージガスを供給するための管継手(29)が接続されている。逆Ｕ字状配管(27)(28)および複列用通路ブロック(21)内の第５通路(35)、第１１通路(41)および第１７通路(47)によって、全ての列にパージガスの供給が可能となる。

【0062】

第１逆Ｕ字状配管(27)および第２逆Ｕ字状配管(28)を使用することで、複列用通路ブロック(21)(22)および単列用通路ブロック(25)(26)を併用しての列数の設定が容易になり、列数の増減も容易に行うことができる。

【符号の説明】

【0063】

(1)：流体制御装置、(16)：マスフローコントローラ（流量制御器）、(18)：ＦＣＳ（流量制御器）、(21)：第１の複数列用通路ブロック、(22)：第２の複数列用通路ブロック、(25)：第１の単列用通路ブロック、(26)：第２の単列用通路ブロック

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】