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公報発行日 2016年10月25
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【図1】本発明の一気体処理装置の一例を示す説明図である。
【図2】本発明の一気体処理装置を長手方向に切断した断面の一例を示す説明図である。
【図3】本発明の一保持材の一例を平面視で示す説明図である。
【図4】図3に示すIV−IV線で切断した保持材の断面の一例を示す説明図である。
【図5】本発明の一実施例において使用した試験装置の概要を示す説明図である。
【図6】本発明の一実施例1において保持材の面圧を評価した結果の一例を示す説明図である。
【図7】本発明の一実施例2において保持材の面圧を評価した結果の一例を示す説明図である。
【図8】本発明の一比較例において保持材の面圧を評価した結果の一例を示す説明図である。
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