特許 6013361 単一位置ホール効果測定

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6013361

(24)【登録日】2016年9月30日

(45)【発行日】2016年10月25日

(54)【発明の名称】単一位置ホール効果測定

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20161011BHJP

   G01N 27/04 20060101ALI20161011BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/66 B

   G01N27/04 Z

【請求項の数】15

【全頁数】80

(21)【出願番号】特願2013-545052(P2013-545052)

(86)(22)【出願日】2011年12月21日

(65)【公表番号】特表2014-503114(P2014-503114A)

(43)【公表日】2014年2月6日

(86)【国際出願番号】DK2011000156

(87)【国際公開番号】WO2012083955

(87)【国際公開日】20120628

【審査請求日】2014年12月9日

(31)【優先権主張番号】10196137.3

(32)【優先日】2010年12月21日

(33)【優先権主張国】EP

(31)【優先権主張番号】11157330.9

(32)【優先日】2011年3月8日

(33)【優先権主張国】EP

(73)【特許権者】

【識別番号】504262203

【氏名又は名称】カプレス・アクティーゼルスカブ

【氏名又は名称原語表記】ＣＡＰＲＥＳ Ａ／Ｓ

(74)【代理人】

【識別番号】100101454

【弁理士】

【氏名又は名称】山田 卓二

(74)【代理人】

【識別番号】100081422

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 光雄

(74)【代理人】

【識別番号】100125874

【弁理士】

【氏名又は名称】川端 純市

(72)【発明者】

【氏名】フェイ・ウェイ

(72)【発明者】

【氏名】ディアク・ヨート・ペテルセン

(72)【発明者】

【氏名】オレ・ハンセン

【審査官】 井上 弘亘

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１０−５４０８９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００９−５１１９２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５２−０６２４７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２１１０６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 F.W.Osterberg, et. al.，Accurate micro Hall Effect measurements on scribe line pads，17th IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors，米国，IEEE，２００９年 ９月２９日，1-6

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

Ｇ０１Ｎ ２７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
（ｉ．ｉ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素と接触させるステップと、
（ｉ．ｉｉ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｉ．ｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｖ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｖｉ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップと、
（ｉ．ｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｉｘ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｉ）上記第１の抵抗値と上記第２の抵抗値との間の差に基づいて第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｘｉｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｘｉｖ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘｖ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｖｉ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｘｖｉｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｘｖｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘｉｘ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップと、そして
（ｉ．ｘｘ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉ）上記第１の抵抗差、上記第２の抵抗差及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１のパラメータ、第２のパラメータ及び第３のパラメータを含む第１の関係（ｆ）を定義するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉｉ）上記第１の関係において上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとして上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’，ΔＲ_ＣＣ’，ΔＲ_{ＢＢ’，２}）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）を表す上記第３のパラメータを決定するステップとを備える方法。

【請求項2】

第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
（ｉ．ｉ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素と接触させるステップと、
（ｉ．ｉｉ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｉ．ｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｖ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｖｉ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップと、
（ｉ．ｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｉｘ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｉ）上記第１の抵抗値と上記第２の抵抗値との間の差に基づいて第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップとを備え、
上記マルチポイントプローブは複数個の接触要素を備え、上記複数個の接触要素は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、上記第４の接触要素及び１つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素のそれぞれは上記試験試料と電気的接触を確立する接触点を定義し、
上記方法は、
（ｉｉ．ｘｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第１の構成を定義し、上記複数の接触要素の第１の構成は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素から構成されるステップと、
（ｉｉ．ｘｉｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第２の構成を定義し、上記複数の接触要素の第２の構成は第５の接触要素、第６の接触要素、第７の接触要素及び第８の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第２の構成の少なくとも１つの接触要素は上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
（ｉｉ．ｘｉｖ）上記試験試料を上記複数の接触要素の第１の構成の上記複数の接触要素と接触させるのと同時に、上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で上記試験試料を上記複数の接触要素の第２の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
（ｉｉ．ｘｖ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉｉｉ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）を計算するステップと、
（ｉｉ．ｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｉｉ．ｘｘ）上記第６の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｘｉ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｘｉｉ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）を計算するステップと、そして
（ｉｉ．ｘｘｉｉｉ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲ_{ＢＢ’，２}）を計算するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉ）上記第１の抵抗差、上記第２の抵抗差及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１のパラメータ、第２のパラメータ及び第３のパラメータを含む第１の関係（ｆ）を定義するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉｉ）上記第１の関係において上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとして上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’、ΔＲ_ＣＣ’，ΔＲ_{ＢＢ’，２}）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）を表す上記第３のパラメータを決定するステップとを備える方法。

【請求項3】

（ｉｉｉ．ｘｘｉｖ）上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第１の抵抗平均値

【数1】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）及び上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）の第２の抵抗平均値

【数2】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）及び上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）の第３の抵抗平均値

【数3】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）及び上記第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）の第４の抵抗平均値

【数4】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値

【数5】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記第３の抵抗平均値

【数6】

[この文献は図面を表示できません]

と、第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値

【数7】

[この文献は図面を表示できません]

及び上記第３の抵抗平均値

【数8】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値

【数9】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記第４の抵抗平均値

【数10】

[この文献は図面を表示できません]

と、第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値

【数11】

[この文献は図面を表示できません]

及び上記第４の抵抗平均値

【数12】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇ_Ｄ）を定義するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を表す上記第１２のパラメータを決定するステップとをさらに特徴とする請求項２に記載の方法。

【請求項4】

（ｉｉｉ．ｘｘｉｖ）上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第１の抵抗平均値

【数13】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）及び上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）の第２の抵抗平均値

【数14】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）及び上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）の第３の抵抗平均値

【数15】

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を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）及び上記第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）の第４の抵抗平均値

【数16】

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を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値

【数17】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記第３の抵抗平均値

【数18】

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と、第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値

【数19】

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及び上記第３の抵抗平均値

【数20】

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をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値

【数21】

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と、上記第４の抵抗平均値

【数22】

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と、第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値

【数23】

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及び上記第４の抵抗平均値

【数24】

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をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇ_Ｄ）を定義するステップとをさらに備え、
上記第２の構成の上記複数の接触要素は上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を表し、上記第１の関係（ｆ_Ｄ）は上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第１３のパラメータをさらに含み、上記第４の関係（ｇ_Ｄ）は上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第１４のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｉｖ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記距離（ｙ）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離（ｙ_２）をそれぞれ表す上記第１３のパラメータ及び上記第１４のパラメータを同時に決定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の方法。

【請求項5】

複数個の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素、第４の接触要素及び１つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記方法は、
（ｖ．ｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第１の構成を定義し、上記複数の接触要素の第１の構成は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素から構成されるステップと、
（ｖ．ｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第２の構成を定義し、上記複数の接触要素の第２の構成は第５の接触要素、第６の接触要素、第７の接触要素及び第８の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第２の構成の少なくとも１つの接触要素は上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
（ｖ．ｉｉｉ−ｉｖ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記複数の接触要素の第１の構成及び上記複数の接触要素の第２の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
（ｖ．ｖ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｖ．ｖｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｉｘ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップと、
（ｖ．ｘ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｉｉｉ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｉｖ）上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第１の抵抗平均値

【数25】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、
（ｖ．ｘｖ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｖｉｉｉ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘ）上記第６の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉｉ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）及び上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）の第２の抵抗平均値

【数26】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、そして、
（ｖ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）及び上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）の第３の抵抗平均値

【数27】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、そして、
（ｖ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）及び上記第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）の第４の抵抗平均値

【数28】

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を計算するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値

【数29】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記第３の抵抗平均値

【数30】

[この文献は図面を表示できません]

と、第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｖ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値

【数31】

[この文献は図面を表示できません]

及び上記第３の抵抗平均値

【数32】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値

【数33】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記第４の抵抗平均値

【数34】

[この文献は図面を表示できません]

と、第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値

【数35】

[この文献は図面を表示できません]

及び上記第４の抵抗平均値

【数36】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇ_Ｄ）を定義するステップと、そして、
（ｖ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）の値を表す上記第１２のパラメータを決定するステップとを備える方法。

【請求項6】

試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
（ａ）請求項１に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の距離（ｙ）を決定するステップと、
（ｂ）上記電気的特性及び上記距離（ｙ）を表す第１５のパラメータを含む第５の関係を定義するステップと、
（ｃ）上記第５の関係における上記第１５のパラメータとして上記距離（ｙ）を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。

【請求項7】

試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
（ａ）請求項２〜５のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を決定するステップと、
（ｂ）上記電気的特性及び上記付加的な距離（ｙ_２）を表す第１５のパラメータを含む第５の関係を定義するステップと、
（ｃ）上記第５の関係における上記第１５のパラメータとして上記付加的な距離（ｙ_２）を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。

【請求項8】

上記第５の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔をさらに含み、
（ｂ’）上記第５の関係の定義において、上記第５の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す第１６のパラメータをさらに含み、
（ｃ’）上記電気的特性の決定において、上記間隔は、上記第１の距離（ｙ）又は付加的な距離（ｙ_２）に加えて、上記第５の関係における上記第１６のパラメータとして用いられることを特徴とする請求項６又は７に記載の方法。

【請求項9】

上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、上記第５の関係（ｆ_１，ｆ_２）は付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第１の抵抗値と上記付加的な第２の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項６〜８のうちのいずれか一項に記載の方法。

【請求項10】

上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、
上記第５の関係（ｆ_２，ｆ_３）は付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に付加的な第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第３の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記付加的な第３の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第３の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第３の電流及び上記付加的な第３の電圧に基づいて付加的な第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第４の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の付加的な第４の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第４の電流及び上記付加的な第４の電圧に基づいて付加的な第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）として上記距離の上記決定から上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を保持するステップと、そして、
（ｌ）上記付加的な第３の抵抗値と上記付加的な第４の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項６又は８に記載の方法。

【請求項11】

上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、
上記第５の関係（ｆ_２，ｆ_３）は付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に付加的な第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第３の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記付加的な第３の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第３の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第３の電流及び上記付加的な第３の電圧に基づいて付加的な第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップと、
（ｈ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第４の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の付加的な第４の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第４の電流及び上記付加的な第４の電圧に基づいて付加的な第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップと、
（ｌ）上記付加的な第３の抵抗値と上記付加的な第４の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項８又は９に記載の方法。

【請求項12】

上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、上記第５の関係（ｆ_１）は付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値と上記付加的な第６の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項６又は７に記載の方法。

【請求項13】

上記電気的特性はシート抵抗（Ｒ_０）であり、上記第５の関係（ｇ）は擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、
（ｋ）付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）及び上記付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）の第５の抵抗平均値

【数37】

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を計算するステップと、
（ｄ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、
（ｅ’’）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、
（ｆ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、
（ｇ’’）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップ、又は
（ｇ’’’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を保持するステップと、
（ｈ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ’’）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、
（ｊ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、
（ｋ’’）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’’’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ’_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を保持するステップと、
（ｌ’’）上記付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第６の抵抗平均値

【数38】

[この文献は図面を表示できません]

を計算するステップと、そして、
（ｍ）上記第５の抵抗平均値

【数39】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記第６の抵抗平均値

【数40】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）とをそれぞれ表す第１８のパラメータと、第１９のパラメータと、第２０のパラメータとを含む第６の関係を定義するステップと、
（ｎ）上記第６の関係において上記第１８のパラメータ及び上記第１９のパラメータとして上記第５の抵抗平均値

【数41】

[この文献は図面を表示できません]

及び上記第６の抵抗平均値

【数42】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）を決定するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項６〜８のうちのいずれか一項に記載の方法。

【請求項14】

試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する装置であって、上記装置は、
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載の距離又は付加的な距離を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。

【請求項15】

試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する装置であって、
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
請求項６〜１３のうちのいずれか一項に記載の試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。

【発明の詳細な説明】

【背景技術】

【0001】

半導体加工において、限界寸法の持続的なダウンスケーリングに伴って、複数の材料特性を特徴付けることは益々重要になってきており、また、困難になってきている。極浅接合（ｕｌｔｒａ−ｓｈａｌｌｏｗ ｊｕｎｃｔｉｏｎｓ）などのシート材料は広く用いられ、シート抵抗測定はこれらの研究のために開発されている。フィルム材料のシート抵抗に加えて、シートキャリア密度及びシートキャリア移動度はまた、例えば相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）トランジスタにおいて、半導体デバイスの性能にとって重要な特性である。しかしながら、シート抵抗、シートキャリア密度及びシートキャリア移動度を決定する現在の複数の測定方法の多くは、特別な試料の準備又は試料の破壊的な機械加工のいずれかを必要とする。いくつかの測定方法はまた、プローブと試験試料との間のいくつかの係合（ｅｎｇａｇｅｍｅｎｔ）を必要とし、このことはそれらの方法の効率を損なう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0002】

【特許文献1】国際公開第２００７０４５２４６Ａ１号パンフレット

【特許文献2】国際公開第２０１０１１５７７１Ａ１号パンフレット

【特許文献3】国際公開第２０１００００２６５Ａ１号パンフレット

【特許文献4】国際公開第２００８１１０１７４Ａ１号パンフレット

【特許文献5】国際公開第２００７０５１４７１Ａ１号パンフレット

【特許文献6】国際公開第０５１２４３７１Ａ１号パンフレット

【特許文献7】国際公開第０００３２５２Ａ１号パンフレット

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

複数のシート材料のシートキャリア密度及びシートキャリア移動度を特徴付けるために、高速な、安価な、且つ、非破壊的な方法がしたがって望まれる。シート抵抗測定に用いることができる半導体ベースの微細加工技術によって製造された微細なマルチポイントプローブを用いるいくつかの方法がある。特許文献１において、シート抵抗、シートキャリア密度及びホール移動度を測定するために直列のマイクロ４点プローブを用いてホール効果測定が行われることができることが示されている。しかしながら、当該方法は２つの測定点、すなわち、プローブと試験試料との間の２つの異なる係合を必要とし、このことは、電気的特性が試験用の試料の全体にわたって理想的に均質でない場合に、大きな複数の測定誤差を生じることがある。

【0004】

本発明の目的は、試験試料の電気的特性の決定の精度を改善すること及び時間を低減することにある。特に、本発明の目的は、試験試料の電気的境界への距離に依存する電気的特性の決定の精度を改善すること及び時間を低減することにある。本発明によれば、１つのみの測定点、すなわち、プローブと試験試料との間の１つの係合がホール効果測定において必要である。これは測定時間を大幅に低減させるとともに、薄膜の電子輸送特性に対するより正確な複数の結果を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の目的は、第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界とによって本発明の第１の態様にしたがって達成され、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、（ｉ．ｉ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素と接触させるステップと、（ｉ．ｉｉ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、（ｉ．ｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、（ｉ．ｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、（ｉ．ｖ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、（ｉ．ｖｉ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップと、（ｉ．ｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、（ｉ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、（ｉ．ｉｘ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、（ｉ．ｘ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップと、（ｉ．ｘｉ）上記第１の抵抗値と上記第２の抵抗値との間の差に基づいて第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップと、（ｉ．ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、（ｉ．ｘｉｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、（ｉ．ｘｉｖ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、（ｉ．ｘｖ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップと、（ｉ．ｘｖｉ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、（ｉ．ｘｖｉｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、（ｉ．ｘｖｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、（ｉ．ｘｉｘ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップと、そして（ｉ．ｘｘ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップと、又は、ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を置き換える変形例において、上記マルチポイントプローブは複数個の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、上記第４の接触要素及び１つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記方法は、（ｉｉ．ｘｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第１の構成を定義し、上記複数の接触要素の第１の構成は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素から構成されるステップと、（ｉｉ．ｘｉｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第２の構成を定義し、上記複数の接触要素の第２の構成は第５の接触要素、第６の接触要素、第７の接触要素及び第８の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第２の構成の少なくとも１つの接触要素は上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、（ｉｉ．ｘｉｖ）上記試験試料を上記複数の接触要素の第１の構成の上記複数の接触要素と接触させるのと同時に、上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で上記試験試料を上記複数の接触要素の第２の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、（ｉｉ．ｘｖ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、（ｉｉ．ｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、（ｉｉ．ｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、（ｉｉ．ｘｖｉｉｉ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）を計算するステップと、（ｉｉ．ｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、（ｉｉ．ｘｘ）上記第６の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、（ｉｉ．ｘｘｉ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、（ｉｉ．ｘｘｉｉ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）を計算するステップと、そして（ｉｉ．ｘｘｉｉｉ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲ_{ＢＢ’，２}）を計算するステップとを備え、ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む変形例とステップ（ｉｉ．ｘｉｉ）〜（ｉｉ．ｘｘｉｉｉ）を含む変形例との両方は、（ｉ．ｘｘｉ）上記第１の抵抗差、上記第２の抵抗差及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１のパラメータ、第２のパラメータ及び第３のパラメータを含む第１の関係（ｆ）を定義するステップと、そして、（ｉ．ｘｘｉｉ）上記第１の関係において上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとして上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’、ΔＲ_ＣＣ’，ΔＲ_{ＢＢ’，２}）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）を表す上記第３のパラメータを決定するステップとをさらに備える。

【0006】

本発明の第１の態様に係る方法及びステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を置き換える変形例は、（ｉｉｉ．ｘｘｉｖ）上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第１の抵抗平均値

【数1】

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を計算するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）及び上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）の第２の抵抗平均値

【数2】

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を計算するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）を計算するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）を計算するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）及び上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）の第３の抵抗平均値

【数3】

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を計算するステップと、そして、（ｉｉｉ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）を計算するステップと、（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、（ｉｉｉ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）を計算するステップと、（ｉｉｉ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）及び上記第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）の第４の抵抗平均値

【数4】

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を計算するステップと、（ｉｉｉ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値

【数5】

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と、上記第３の抵抗平均値

【数6】

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と、第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、（ｉｉｉ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値

【数7】

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及び上記第３の抵抗平均値

【数8】

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をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値

【数9】

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と、上記第４の抵抗平均値

【数10】

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と、第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値

【数11】

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及び上記第４の抵抗平均値

【数12】

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をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇ_Ｄ）を定義するステップと、そして、（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を表す上記第１２のパラメータを決定するステップとを備えてもよく、又は、変形例において、ステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を、上記第２の構成の上記複数の接触要素は上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を表し、上記第１の関係（ｆ_Ｄ）は上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第１３のパラメータをさらに含み、上記第４の関係（ｇ_Ｄ）は上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第１４のパラメータをさらに含むステップに置き換え、上記方法は、（ｉｖ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記距離（ｙ）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離（ｙ_２）をそれぞれ表す上記第１３のパラメータ及び上記第１４のパラメータを同時に決定するステップをさらに備える。

【0007】

ステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を含む変形例において、上記第４の関係はＲ_Ｐ，１／Ｒ_Ｐ，２＝ｇ_Ｄ（ｙ）に等価であってもよく、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗を表し、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗を表し、ｇ_Ｄはパラメータとして上記距離ｙを含む関数を表し、上記関数ｇ_Ｄは特定の距離でピーク値を定義し、上記関数ｇ_Ｄは上記特定の距離より小さい上記距離の関数として増加するとともに、上記特定の距離より大きい上記距離の関数として減少し、上記方法は、（ｉｉｉ．ｘｌｘ）上記距離と上記特定の距離とを比較して上記付加的な距離（ｙ_２）が上記第４の関係における上記特定の距離より小さいか大きいかを決定するステップをさらに備えてもよい。この方法で決定された付加的な距離（ｙ_２）は典型的には、それが複数の抵抗差の代わりに複数の抵抗平均値から導出されるため、距離（ｙ）よりも正確である。

【0008】

付加的な距離は、例えば試験試料の電気的特性を決定するためなどの任意の目的で距離を置き換えてもよい。

【0009】

複数の目的は、複数個の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法によって得られる本発明の第２の態様にしたがい、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素、第４の接触要素及び１つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記方法は、（ｖ．ｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第１の構成を定義し、上記複数の接触要素の第１の構成は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素から構成されるステップと、（ｖ．ｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第２の構成を定義し、上記複数の接触要素の第２の構成は第５の接触要素、第６の接触要素、第７の接触要素及び第８の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第２の構成の少なくとも１つの接触要素は上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、（ｖ．ｉｉｉ−ｉｖ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記複数の接触要素の第１の構成及び上記複数の接触要素の第２の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、（ｖ．ｖ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、（ｖ．ｖｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、（ｖ．ｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、（ｖ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、（ｖ．ｉｘ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップと、（ｖ．ｘ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、（ｖ．ｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、（ｖ．ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、（ｖ．ｘｉｉｉ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップと、（ｖ．ｘｉｖ）上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第１の抵抗平均値

【数13】

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を計算するステップと、（ｖ．ｘｖ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、（ｖ．ｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、（ｖ．ｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、（ｖ．ｘｖｉｉｉ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）を計算するステップと、（ｖ．ｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、（ｖ．ｘｘ）上記第６の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、（ｖ．ｘｘｉ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、（ｖ．ｘｘｉｉ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）を計算するステップと、（ｖ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）及び上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）の第２の抵抗平均値

【数14】

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を計算するステップと、そして、（ｖ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、（ｖ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、（ｖ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、（ｖ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）を計算するステップと、（ｖ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、（ｖ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、（ｖ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、（ｖ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）を計算するステップと、（ｖ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）及び上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）の第３の抵抗平均値

【数15】

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を計算するステップと、そして、（ｖ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、（ｖ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、（ｖ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、（ｖ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）を計算するステップと、（ｖ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、（ｖ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、（ｖ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、（ｖ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）を計算するステップと、（ｖ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）及び上記第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）の第４の抵抗平均値

【数16】

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を計算するステップと、（ｖ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値

【数17】

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と、上記第３の抵抗平均値

【数18】

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と、第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、（ｖ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値

【数19】

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及び上記第３の抵抗平均値

【数20】

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をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、（ｖ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値

【数21】

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と、上記第４の抵抗平均値

【数22】

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と、第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、（ｖ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値

【数23】

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及び上記第４の抵抗平均値

【数24】

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をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、（ｖ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇ_Ｄ）を定義するステップと、そして、（ｖ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）の値を表す上記第１２のパラメータを決定するステップとを備える。

【0010】

上記第４の関係はＲ_Ｐ，１／Ｒ_Ｐ，２＝ｇ_Ｄ（ｙ）に等価であってもよく、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗を表し、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗を表し、ｇ_Ｄはパラメータとして上記距離ｙを含む関数を表し、上記関数ｇ_Ｄは特定の距離でピーク値を定義し、上記関数ｇ_Ｄは上記特定の距離より小さい上記距離の関数として増加するとともに、上記特定の距離より大きい上記距離の関数として減少し、上記方法は、（ｖ．ｘｌｘ）本発明の第１の態様に係る方法によって距離を決定して、予備的な距離を表すステップと、そして、（ｖ．ｘｌｘｉ）上記予備的な距離と上記特定の距離とを比較して、上記距離が上記第４の関係における上記特定の距離より小さいか大きいかを決定するステップとをさらに備えてもよい。

【0011】

本発明の第１の態様及び第２の態様に係る複数の方法は、距離の正確な決定のために、プローブと試験試料との間の単一の係合のみを必要とする。

【0012】

電気的境界は、電気的に導通する面部から流出する電流を阻止する境界として理解されるべきである。関係はここでは、単一の方程式、複数の方程式の集合、関数、複数の関数の集合、又は複数の指定されたパラメータを含む方法において用いられるセットアップの任意の適切な数学的モデルを包含することが意図される。距離の決定は、方程式を解くこと、回帰分析、モデル化又は較正された複数のパラメータとの複数の比較、又は指定された関係に適する任意の他の数学的技術を包含してもよい。

【0013】

マルチポイントプローブは、４に等しい又は４より大きい任意の数の複数の接触要素を有してもよく、例えば、マルチポイントプローブは１２個の接触要素を有してもよい。しかしながら、４つの接触要素は、接触要素の総数に独立して用いられる。本方法において用いられない接触要素は、本方法において用いられる２つの接触要素の間に位置決めされてもよい。マルチポイントプローブは、特許文献２、特許文献３、特許文献４、特許文献４、特許文献５、特許文献６又は特許文献７のいくつかにおいて説明されたプローブであってもよい。接触要素は、例えば特許文献７に説明されるように、プローブ本体から延びるカンチレバーの形式であってもよい。試験試料は、電気的に導通する面部を定義するドープされた面部又は薄膜金属を有するシリコンウエハーであってもよい。電気的境界は、境界の外側に電気的に非導通な領域を有する電気的に導通する面部の物理的境界の部分によって定義されてもよい。変形例として、電気的に導通する面部が物理的境界に延びる場合には、電気的境界は試験試料の物理的境界の部分によって定義されてもよい。

【0014】

磁場は、電気的に導通する面部から試験試料の反対側に位置決めされた電磁石又は永久磁石によって発生されてもよい。第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素は、マルチプレクサに結合されてもよく、これは順番に２つの接触要素の間に電位を発生させる電流源に結合され、複数の接触要素を流れる電流を測定する電流計に結合され、そして、複数の接触要素のうちの２つの間の電圧を測定する電圧計に結合される。制御ユニットは、本方法において特定されるように電流が発生され測定されて電圧が測定されるように、マルチプレクサに結合されてマルチプレクサを自動制御してもよい。

【0015】

以下に説明する複数の特徴は、本発明の第１の態様及び第２の態様の両方に用いられてもよい。

【0016】

上記複数の接触点は上記複数の接触点のそれぞれと交わる第１の線を定義してもよい。上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、上記第４の接触要素及び上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の上記複数の接触点は、上記複数の接触点が上記試験試料に接触する前に、上記複数の接触点のそれぞれに交わる第１の線を定義してもよい。上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素の上記複数の接触点は、上記第１の線に沿う与えられた順序で位置づけられてもよい。上記第５の接触要素、上記第６の接触要素、上記第７の接触要素及び上記第８の接触要素の上記複数の接触点は、上記第１の線に沿う与えられた順序で位置づけられてもよい。

【0017】

上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔及び上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、第１の間隔値（ｓ_１）に近似的に等しくてもよい。上記第５の接触要素と上記第６の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、及び上記第７の接触要素と上記第８の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、第２の間隔値（ｓ_２）に近似的に等しくてもよい。

【0018】

ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を置き換える変形例において、上記第１の関係はΔＲ_ＢＢ’／ΔＲ_{ＢＢ’，２}＝ｆ_Ｄ（ｙ，ｓ_１，ｓ_２）に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差を表し、ΔＲ_{ＢＢ’，２}は上記第２の抵抗差を表し、ｆ_Ｄは上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ、上記第１の間隔値ｓ_１及び上記第２の間隔値ｓ_２を含む関数である。

【0019】

上記第１の関係ΔＲ_ＢＢ’／ΔＲ_{ＢＢ’，２}＝ｆ_Ｄ（ｙ，ｓ_１，ｓ_２）における上記関数ｆ_Ｄ（ｙ，ｓ_１，ｓ_２）は、（３＊ａｒｃｔａｎ（ｓ_１／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（３ｓ_１／２ｙ））／（３＊ａｒｃｔａｎ（ｓ_２／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（３ｓ_２／２ｙ））に等価であってもよい。

【0020】

上記第２の関係は、

【数25】

[この文献は図面を表示できません]

に等価であってもよく、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗であり、

【数26】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第１の抵抗平均値であり、

【数27】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第３の抵抗平均値であり、また、上記第３の関係は

【数28】

[この文献は図面を表示できません]

に等価であってもよく、ここで、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗であり、

【数29】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第２の抵抗平均値であり、

【数30】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第４の抵抗平均値である。

【0021】

複数の接触点は、複数の接触点のそれぞれに交わる第１の線を定義してもよく、すなわち複数の接触点は共通線上にあってもよい。

【0022】

ステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を含む変形例において、上記第４の関係はＲ_Ｐ，１／Ｒ_Ｐ，２＝ｇ_Ｄ（ｙ，ｓ_１，ｓ_２）に等価であってもよく、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗を表し、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗を表し、ｇ_Ｄは上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ、上記第１の間隔値ｓ_１及び上記第２の間隔値ｓ_２を含む関数を表す。

【0023】

ステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を置き換える変形例において、上記第１の関係はΔＲ_ＢＢ’／ΔＲ_{ＢＢ’，２}＝ｆ_Ｄ（ｙ，ｙ_２，ｓ_１，ｓ_２）に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差を表し、ΔＲ_{ＢＢ’，２}は上記第２の抵抗差を表し、ｆ_Ｄは上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ及び上記付加的な距離ｙ_２、上記第１の間隔値ｓ_１及び上記第２の間隔値ｓ_２を含む関数である。

【0024】

上記第１の関係ΔＲ_ＢＢ’／ΔＲ_{ＢＢ’，２}＝ｆ_Ｄ（ｙ，ｙ_２，ｓ_１，ｓ_２）における上記関数ｆ_Ｄ（ｙ，ｙ_２，ｓ_１，ｓ_２）は（３＊ａｒｃｔａｎ（ｓ_１／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（３ｓ_１／２ｙ））／（３＊ａｒｃｔａｎ（ｓ_２／２ｙ_２）−ａｒｃｔａｎ（３ｓ_２／２ｙ_２））に等価であってもよい。

【0025】

ステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を置き換える変形例において、上記第４の関係はＲ_Ｐ，１／Ｒ_Ｐ，２＝ｇ_Ｄ（ｙ，ｙ_２，ｓ_１，ｓ_２）に等価であってもよく、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗を表し、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗を表し、そして、ｇ_Ｄは上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ及び上記付加的な距離ｙ_２、上記第１の間隔値ｓ_１及び上記第２の間隔値ｓ_２を含む関数を表す。

【0026】

上記電気的境界は近似的線形部を有してもよく、上記第１の位置と上記線形部上の点との間の上記距離は、上記第１の位置と上記線形部の外側の上記電気的境界上の任意の点との間の距離よりも小さくてもよい。これは第１の位置から電気的境界への最短距離が線形部上の点への距離であることを意味する。

【0027】

上記方法は、（ｖｉ．ｉ）上記マルチポイントプローブを方向づけて上記第１の線を上記線形部と平行な関係に位置決めするステップをさらに備えてもよい。上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、及び上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は近似的に等しくてもよい。

【0028】

ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む変形例において、上記第１の関係はΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差を表し、ΔＲ_ＣＣ’は上記第２の抵抗差を表し、ｆは、複数のパラメータとして上記第１の位置及び上記電気的境界の間の上記距離ｙと上記複数の接触点の間の上記間隔ｓとを含む関数である。

【0029】

上記関係ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）における上記第１の抵抗差ΔＲ_ＢＢ’はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の差（ΔＲ_ＢＢ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、また、上記関係ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）における上記第２の抵抗差ΔＲ_ＣＣ’はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す。

【0030】

本発明の第１の態様のステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む変形例において、上記方法は、（ｉ．ｘｘｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、（ｉ．ｘｘｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、（ｉ．ｘｘｖ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、（ｉ．ｘｘｖｉ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップと、（ｉ．ｘｘｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、（ｉ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、（ｉ．ｘｘｉｘ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、（ｉ．ｘｘｘ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップと、（ｉ．ｘｘｘｉ）上記第５の抵抗値と上記第６の抵抗値との間の差に基づいて第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を計算するステップと、（ｉ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の関係（ｆ）の定義において、上記第１の関係（ｆ）は上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表す第４のパラメータをさらに含むステップと、そして、（ｉ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）の決定において、上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’，ΔＲ_ＣＣ’）が上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとしてそれぞれ用いられてもよいことに加えて、上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）は上記第１の関係における上記第４のパラメータとして用いられるステップとをさらに備えてもよい。

【0031】

これは、非等距離の複数の接触点を有する非対称プローブを用いた距離ｙの正確な測定を可能にするという効果がある。

【0032】

上記複数の接触点は直列に位置決めされてもよく、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔と、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔とは近似的に等しくてもよい。上記複数の接触点は直列に位置決めされてもよく、上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔と異なってもよい。複数の接触プローブのこの特定の相対的な間隔が電気的境界への距離の正確な決定を与えるということが、複数のシミュレーションにおいて発見される。

【0033】

上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔よりも、範囲１．１〜３．７，１．２〜３．３，１．３〜２．９，１．４〜２．５，１．５〜２．１及び１．６〜１．７のうちの１つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び／又は、範囲１．２〜１．３，１．３〜１．４，１．４〜１．５，１．５〜１．６，１．６〜１．７，１．７〜１．８，１．８〜１．９，１．９〜２．０，２．０〜２．２，２．２〜２．４，２．４〜２．６，２．６〜２．８，２．８〜３．０，３．０〜３．３，３．３〜３．６，及び３．６〜３．９のうちの１つの倍数分だけ、及び／又は、近似的に３分の５倍だけ、若しくは、範囲１．２〜３．８，１．６〜３．４，１．８〜３．２，２．０〜３．０，２．２〜２．８，及び２．４〜２．６のうちの１つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び／又は、範囲１．２〜１．３，１．３〜１．４，１．４〜１．５，１．５〜１．６，１．６〜１．７，１．７〜１．８，１．８〜１．９，１．９〜２．０，２．０〜２．２，２．２〜２．４，２．４〜２．６，２．６〜２．８，２．８〜３．０，３．０〜３．３，３．３〜３．６，３．６〜３．９のうちの１つの倍数分だけ、及び／又は、近似的に２分の５倍だけ、大きくてもよい。これらの特定の複数の関係が電気的境界への距離の正確な決定を与えるということが、複数のシミュレーションにおいて発見される。

【0034】

上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲１〜５μｍ，５〜１０μｍ，１０〜１５μｍ，１５〜２０μｍ，２０〜２５μｍ，２５〜３０μｍ，３０〜４０μｍ，４０〜５０μｍ，及び５０〜５００μｍのうちの１つ、及び／又は、範囲１〜５０μｍ，５〜４０μｍ，１０〜３０μｍ，及び１５〜２５μｍのうちの１つ又はそれ以上の範囲にあってもよい。

【0035】

上記第１の関係は（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差であり、ΔＲ_ＣＣ’は上記第２の抵抗差であり、ΔＲ_ＡＡ’は上記第３の抵抗差であり、αは−１０から１０までの範囲における調整因子であり、ｆは、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ａ、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ｂ、及び上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ｃを含む関数である。

【0036】

上記調整因子αは近似的に１又は近似的に−１であってもよい。

【0037】

上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第１の抵抗差ΔＲ_ＢＢ’はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第２の抵抗差ΔＲ_ＣＣ’はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、また、上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第３の抵抗差ΔＲ_ＡＡ’はΔＲ_ＡＡ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ））に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＡＡ’は上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す。この特定のモデリングが複数の測定条件の広い範囲上で正確な複数の結果を与えるということが発見される。

【0038】

上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲０．１〜１００μｍ，１〜９０μｍ，１０〜８０μｍ，２０〜７０μｍ，３０〜６０μｍ及び４０〜５０μｍのうちの１つ又はそれ以上、及び／又は、範囲０．１〜１μｍ、１〜１０μｍ，１０〜２０μｍ，２０〜３０μｍ，３０〜４０μｍ，４０〜５０μｍ，５０〜６０μｍ，６０〜７０μｍ，７０〜８０μｍ，８０〜９０μｍ，９０〜１００μｍ又は１００〜５００μｍのうちの１つにあってもよい。

【0039】

本発明の目的は、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法による本発明の第３の態様にしたがって達成され、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、（ａ）項目１〜３２のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の距離（ｙ）を決定するステップと、（ｂ）上記電気的特性及び上記距離（ｙ）を表す第１５のパラメータを含む第５の関係を定義するステップと、（ｃ）上記第５の関係における上記第１５のパラメータとして上記距離（ｙ）を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備え、又は、変形例として、上記方法は、（ａ）項目２〜３２のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を決定するステップと、（ｂ）上記電気的特性及び上記付加的な距離（ｙ_２）を表す第１５のパラメータを含む第５の関係を定義するステップと、（ｃ）上記第５の関係における上記第１５のパラメータとして上記付加的な距離（ｙ_２）を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える。

【0040】

本方法によれば、１つのみの単一の係合は、電気的特性の正確な決定のために、プローブと試験試料との間で必要である。

【0041】

電気的境界は、電気的に導通する面部から流出する電流を阻止する境界として理解されるべきである。関係はここでは、単一の方程式、複数の方程式の集合、関数、複数の関数の集合、又は複数の指定されたパラメータを含む方法において用いられるセットアップの任意の適切な数学的モデルを包含することが意図される。電気的特性の決定は、方程式を解くこと、回帰分析、モデル化又は較正された複数のパラメータとの複数の比較、又は指定された関係に適する任意の他の数学的技術を包含してもよい。

【0042】

上記第５の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔をさらに含んでもよく、そして、（ｂ’）上記第５の関係の定義において、上記第５の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す第１６のパラメータをさらに含んでもよく、そして、（ｃ’）上記電気的特性の決定において、上記間隔は、上記距離（ｙ）又は上記付加的な距離（ｙ_２）に加えて、上記第５の関係における上記第１６のパラメータとして用いられてもよい。

【0043】

上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であってもよく、上記第５の関係（ｆ_１，ｆ_２）は付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表す第１７のパラメータをさらに含んでもよく、上記方法は、（ｄ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、（ｆ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、（ｇ）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップ、又は（ｇ’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を保持するステップと、（ｈ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、（ｊ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、（ｋ）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップ、又は（ｋ’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を保持するステップと、（ｌ）上記付加的な第１の抵抗値と上記付加的な第２の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップ、又は、（ｌ’）上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を保持するステップとをさらに備えてもよい。

【0044】

上記第５の関係はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）又は付加的な距離（ｙ_１）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す。

【0045】

上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であってもよく、上記第５の関係（ｆ_２，ｆ_３）は付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を表す第１７のパラメータをさらに含んでもよく、上記方法は、（ｄ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に付加的な第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第３の電流を発生させるステップと、（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記付加的な第３の電流を測定するステップと、（ｆ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第３の電圧を測定するステップと、（ｇ）上記付加的な第３の電流及び上記付加的な第３の電圧に基づいて付加的な第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップ、又は、ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む変形例において、（ｇ’）付加的な第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を保持するステップと、（ｈ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第４の電流を発生させるステップと、（ｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第４の電流を測定するステップと、（ｊ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の付加的な第４の電圧を測定するステップと、（ｋ）上記付加的な第４の電流及び上記付加的な第４の電圧に基づいて付加的な第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップ、又は、ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む変形例において、（ｋ’）付加的な第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）として上記距離の上記決定から上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を保持するステップと、（ｌ）上記付加的な第３の抵抗値と上記付加的な第４の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップ、又は、ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む変形例において、（ｌ’）上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を保持するステップとをさらに備えてもよい。

【0046】

上記第５の関係はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）又は上記付加的（ｙ_１）な距離を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す。

【0047】

上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であってもよく、上記第５の関係（ｆ_１）は付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表す第１７のパラメータをさらに含んでもよく、上記方法は、（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップ、又は、（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を保持するステップと、（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、（ｋ）上記付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップ、又は（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を保持するステップと、（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値と上記付加的な第６の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を計算するステップ、又は（ｌ’）上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を保持するステップとをさらに備えてもよい。

【0048】

上記第５の関係はΔＲ_ＡＡ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ））に等価であってもよく、ここで、ΔＲ_ＡＡ’は上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）又は上記付加的な距離（ｙ_１）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す。

【0049】

上記電気的特性はシート抵抗（Ｒ_０）であってもよく、上記第５の関係（ｇ）は擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）を表す第１７のパラメータをさらに含んでもよく、上記方法は、（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップ、又は（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を保持するステップと、（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、（ｋ）付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップ、又は（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を保持するステップと、（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）及び上記付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）の第５の抵抗平均値

【数31】

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を計算するステップと、（ｄ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、（ｅ’’）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、（ｆ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、（ｇ’’）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップ、又は、（ｇ’’’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を保持するステップと、（ｈ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、（ｉ’’）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、（ｊ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、（ｋ’’）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップ、又は（ｋ’’’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ’_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を保持するステップと、（ｌ’’）上記付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第６の抵抗平均値

【数32】

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を計算するステップと、（ｍ）上記第５の抵抗平均値

【数33】

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と、上記第６の抵抗平均値

【数34】

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と、上記擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）とをそれぞれ表す第１８のパラメータと、第１９のパラメータと、第２０のパラメータとを含む第６の関係を定義するステップと、（ｎ）上記第６の関係において上記第１８のパラメータ及び上記第１９のパラメータとして上記第５の抵抗平均値

【数35】

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及び上記第６の抵抗平均値

【数36】

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をそれぞれ用いて、上記擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）を決定するステップとをさらに備えてもよい。

【0050】

上記第６の関係は

【数37】

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に等価であってもよく、ここで、Ｒ_Ｐは上記擬似シート抵抗であり、

【数38】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第１の抵抗平均値であり、

【数39】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第２の抵抗平均値である。

【0051】

ホールシートキャリア密度Ｎ_ＨＳはＮ_ＨＳ＝Ｂ／（ＺｅＲ_Ｈ）として計算されてもよく、ここで、Ｂは電気的に導通する面部に対して直角を成す磁場成分であり、Ｚｅはキャリア電荷（Ｚ＝±１）であり、Ｒ_Ｈはホールシート抵抗である。平均ホールキャリア移動度μ_Ｈはμ_Ｈ＝（ＺＲ_Ｈ）／（Ｒ_０Ｂ）として計算されてもよく、ここで、Ｚ＝±１はキャリア電荷のタイプに依存し、Ｒ_Ｈはホールシート抵抗であり、Ｒ_０はシート抵抗であり、Ｂは電気的に導通する面部に対して直角を成す磁場成分である。磁場が電磁石によって発生される場合、磁場成分Ｂは電磁石を流れる電流から理論的に計算されてもよい。磁場が永久磁石によって発生される場合、磁場成分Ｂは適切な較正によって予め決定されてもよい。

【0052】

本発明の目的は、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する装置によって本発明の第４の態様にしたがって達成され、上記装置は、第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブ又は複数個の接触要素を備えるマルチポイントプローブと、本発明の第１の態様又は第２の態様に係る距離を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える。

【0053】

本発明の目的は、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する装置によって本発明の第５の態様にしたがって達成され、上記装置は、第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、又は、マルチポイントプローブは複数個の接触要素を備え、本発明の第３の態様に係る試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える。

【図面の簡単な説明】

【0054】

【図1】試験試料の電気的に導通する面部に接触する４点プローブを示す。

【図2A】好ましい実施形態におけるプローブの複数の接触要素の複数の接触点の間の等距離間隔を示す。

【図2B】変形例の実施形態におけるプローブの複数の接触要素の複数の接触点の間の非対称間隔を示す。

【図2C】もう１つの変形例の実施形態におけるプローブの複数の接触要素の複数の接触点の間の非対称間隔を示す。

【図3A】（１）及び（２）は、変形例の実施形態に係る複数の接触要素の電流源構成及び電圧測定構成を示す。

【図3B】（１）及び（２）は、好ましい実施形態に係る複数の接触要素の電流源構成及び電圧測定構成を示す。

【図3C】（１）及び（２）は、好ましい実施形態に係る複数の接触要素の電流源構成及び電圧測定構成を示す。

【図4A】好ましい実施形態に係るホールシート抵抗を決定するための関係を示す。

【図4B】好ましい実施形態に係るシート抵抗を決定するための関係を示す。

【図4C】好ましい実施形態に係る電気的境界への距離を決定するための関係を示す。

【図5A】変形例の実施形態に係るホールシート抵抗を決定するための関係を示す。

【図5B】変形例の実施形態に係るシート抵抗を決定するための関係を示す。

【図5C】変形例の実施形態に係る電気的境界への距離を決定するための関係を示す。

【図6】試験試料の電気的に導通する面部に接触する、変形例の実施形態に係る７点プローブを示す。

【図7A】試験試料との接触における複数の接触点の位置を示す。

【図7B】試験試料との変形例の接触における複数の接触点の位置を示す。

【図8A】（１）〜（４）は、図６に関して説明されるプローブの複数の接触要素の電流源構成及び電圧測定構成を示す。

【図8B】（１）〜（４）は、図６に関して説明されるプローブの複数の接触要素の付加的な電流源構成及び電圧測定構成を示す。

【図9】図６のプローブに関して説明される変形例の実施形態に係る電気的境界への距離を決定するための複数の関係を示す。

【図10】図６のプローブに関して説明される変形例の実施形態に係る電気的境界への距離を決定するための付加的な複数の関係を示す。

【発明を実施するための形態】

【0055】

本発明の異なる複数の態様の複数の実施形態について以下説明する。

【0056】

図１は、試験試料３０に接触するマルチポイントプローブ３６を示す。試験試料３０は、電気的に導通する面部３２と、試験試料３０の上面に対応する面部３２及び試験試料３０の側面３３の間のエッジによって物理的に定義される境界３４とを有する。側面３３は電気的に導通せず、その境界はしたがって、電気的に導通する面部３２から流出する電流を阻止する電気的境界である。

【0057】

マルチポイントプローブ３６はプローブ本体１８を有し、当該プローブ本体１８から、第１の接触要素１０，第２の接触要素１２，第３の接触要素１４及び第４の接触要素１６が延びる。複数の接触要素１０〜１６のそれぞれは、プローブ本体１８に接続された一端と、複数の接触点２０〜２６を定義する他端とを有するカンチレバーである。図１におけるセットアップの複数の接触点２０〜２６は、電気的に導通する面部３２と接触する。複数の接触要素１０〜１６は電気的に導通する。したがって、電流は各接触要素を介して電気的に導通する面部３２に流れることが可能である。定磁場Ｂは、電気的に導通する面部３２に対して直角を成す場の成分３８を有するように、試験試料３０に印加される。

【0058】

図２Ａ〜２Ｃに示すように、複数の接触要素１０〜１６の複数の接触点２０〜２６は全て共通線４０上に配置される。電気的境界３４は線形部４２を有し、複数の接触要素１０〜１６は、共通線４０が線形部４２に対して平行になるように方向づけられる。第１の接触要素と第２の接触要素の接触点２０−２２の間の距離又は間隔はａで示され、第２の接触要素と第３の接触要素の接触点２２−２４の間の距離又は間隔はｂで示され、第３の接触要素と第４の接触要素の接触点２４−２６の間の距離又は間隔はｃで示される。共通線４０と線形部４２との間の距離又は間隔はｙで示される。図２Ａに示す好ましい実施形態において、複数の接触要素の接触点２０−２６の間の距離ａ−ｃは２１μｍに近似的に等しい。図２Ｂに示す変形例の実施形態において、第１の接触要素と第２の接触要素の接触点２０’−２２’の間の距離ａは近似的に２１μｍであり、第２の接触要素と第３の接触要素の接触点２２’−２４’の間の距離ｂは近似的に２１μｍであり、第３の接触要素と第４の接触要素の接触点２４’−２６’の間の距離ｃは近似的に３５μｍである。図２Ｃに示すもう１つの変形例の実施形態において、第１の接触要素と第２の接触要素の接触点２０’’−２２’’の間の距離ａは近似的に１４μｍであり、第２の接触要素と第３の接触要素の接触点２２’’−２４’’の間の距離ｂは近似的に１４μｍであり、第３の接触要素と第４の接触要素の接触点２４’’−２６’’の間の距離ｃは近似的に３５μｍである。

【0059】

図２Ａの好ましい実施形態に関して説明される試験試料と、図２Ｂの変形例の実施形態に関して説明される試験試料は同一である。これらの実施形態において、電気的境界３４は図１に関して説明されるように定義される。図２Ｃに関して説明される変形例の実施形態において、電気的境界３４’は、試験試料の上面上の電気的に導通する面部３２’と電気的に非導通な面部４４との間の移行部として定義され、このことは２つの面部３４’及び４４は本質的に平行であることを意味する。

【0060】

電気的に導通する面部の異なる複数の電気的特性は決定可能である。好ましい実施形態において、ホールシート抵抗及びシート抵抗は、図２Ａに示されるような複数の接触点を有する４点プローブを用いて測定される。

【0061】

複数の接触点２０〜２６の位置決めは、電気的境界３４からの距離ｙで電気的に導通する面部３２上の第１の位置を定義する。図３Ｂ（１）に示すように、電流Ｉが第１の接触要素１０を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第３の接触要素１４を介して流れ出るように、電位は第１の接触要素１０と第３の接触要素１４の間に印加される。第１の接触要素１０を流れる電流Ｉ及び第２の接触要素１２と第４の接触要素１６の間の電圧Ｖ_Ａは測定され、第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）は電圧Ｖ_Ａを電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図３Ｂ（２）に示すように、電流Ｉが第２の要素１２を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第４の接触要素１４を介して流れ出るように、電位は第２の接触要素１２と第４の接触要素１４の間に印加される。第２の接触要素１２を流れる電流Ｉ及び第１の接触要素１０と第４の接触要素１４の間の電圧Ｖ_Ａ’は測定され、第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）は電圧Ｖ_Ａ’を電流Ｉで除算した値として計算される。次いで、第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）と第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）との間の差として定義される第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）は次式の通り計算される。

【数40】

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また、第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）との間の平均値

【数41】

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は次式の通り計算される。

【数42】

[この文献は図面を表示できません]

【0062】

図３Ｃ（１）に示すように、電流Ｉが第１の接触要素１０を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第２の接触要素１２を介して流れ出るように、電位は第１の接触要素と第２の接触要素の間に印加される。第１の接触要素１０を流れる電流Ｉ及び第３の接触要素１４と第４の接触要素１６の間の電圧Ｖ_Ｃは測定され、第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）は電圧Ｖ_Ｃを電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図３Ｂ（２）に示すように、電流Ｉが第３の要素１４を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第４の接触要素１６を介して流れ出るように、電位は第３の接触要素１４と第４の接触要素１６の間に印加される。第３の接触要素１４を流れる電流Ｉ及び第１の接触要素１０と第２の接触要素１２の間の電圧Ｖ_Ｃ’は測定され、第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）は電圧Ｖ_Ｃ’を電流Ｉで除算した値として計算される。次いで、第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）との間の差として定義される第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）は次式の通り計算される。

【数43】

[この文献は図面を表示できません]

また、第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）との間の平均値

【数44】

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は次式の通り計算される。

【数45】

[この文献は図面を表示できません]

【0063】

複数の関係は、図２Ａに示すように試験試料に接触する４点プローブの数学的モデルに対応して次式の通り定義される。

【0064】

【数46】

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【数47】

[この文献は図面を表示できません]

【0065】

ここで、ｓは隣接する複数のプローブアームの間の間隔を表し、これは隣接する複数のプローブアームの全ての対に対して同一であり、すなわちｓ＝ａ＝ｂ＝ｃである。ΔＲ_ＢＢ’は第１の抵抗差を表し、ｙは複数の接触点２０〜２６と電気的境界３４との間の距離を表し、ΔＲ_ＣＣ’は第２の抵抗差を表し、Ｒ_Ｈは、接触が４点プローブ３６によって確立される電気的に導通する面部３２の第１の位置でのホールシート抵抗を表す。図４Ｃにおいて、関係ｆ_１（Ｅｑ．１．５）は点線で示され、ｆ_２（Ｅｑ．１．６）は破線で示される。

【0066】

２つの上記関係（Ｅｑ．１．４及びＥｑ．１．３）の間の比率は第１の関係

【数48】

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を定義するために用いられ、これはまた、

【数49】

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として書き表されることができ、すなわち、第１の関係は名目の間隔ｓを用いて正規化された距離ｙの関数である。この関係（Ｅｑ．１．７及びＥｑ．１．８）は図４Ｃのグラフにおいて実線で示される。次いで、測定された第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）及び第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）は、正規化された距離ｙ／ｓを導出するために、第１の関係（Ｅｑ．１．８）を用いて用いられる。例えば、０．２の比率ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’は近似的に２の正規化された距離ｙ／ｓを与え、また、０．４の比率ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢは近似的に５．５の正規化された距離ｙ／ｓを与えるであろう。これらは図４Ｃから読み取り可能である。名目の間隔ｓは既知であり、したがって、距離ｙは正規化された距離ｙ／ｓから簡単に決定される。２の正規化された距離ｙ／ｓは近似的に０．５の関数ｆ_１の値を与え、また、５．５の正規化された距離ｙ／ｓは近似的に０．０８の関数ｆ_１の値を与えるであろう。この場合、測定された第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）は、Ｅｑ．１．３における関係とともに、ホールシート抵抗Ｒ_Ｈを与える。関数ｆ_２は同様の方法で用いられることができる。

【0067】

電気的に導通する面部のシート抵抗、すなわちホールシート抵抗とは異なるもう１つの電気的特性を決定するために、第１の抵抗平均値

【数50】

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は、Ｅｑ．１．２及びＥｑ．１．４によって定義される抵抗平均値

【数51】

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及び

【数52】

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の和

【数53】

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として計算される。この場合、擬似シート抵抗Ｒ_Ｐはファン・デル・ポー（ｖａｎ ｄｅｒ Ｐａｕｗ）方程式

【数54】

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から決定される。

【0068】

次いで、第２の関係は、４点プローブによって接触される電気的に導通する面部のシート抵抗を決定するために定義され、すなわち、

【数55】

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である。ここで、Ｒ_Ｐは擬似シート抵抗であり、Ｒ_０はシート抵抗であり、ｇは正規化された距離ｙ／ｓの関数である。関数ｇは、それが４点プローブの実際のサイズ又は寸法に依存しないという意味において幾何学的である。図２Ａに示すような等距離の複数の接触プローブを有する４点プローブを表す関数ｇは図４Ｂに示される。例えば、２の正規化された距離ｙ／ｓは、関数ｇの値、すなわち、近似的に１．４０の比率Ｒ_Ｐ／Ｒ_０を与え、また、５．５の正規化された距離は近似的に１．１４の対応する値又は比率を与えるであろう。Ｅｑ．１．９及びＥｑ．１．１０に関して説明されるように決定される擬似シート抵抗Ｒ_Ｐを用いて、シート抵抗Ｒ_０はしたがってＥｑ．１．１１から簡単に計算される。

【0069】

第２の実施形態において、ホールシート抵抗及びシート抵抗は、図２Ｂに示すような非対称４点プローブを用いて測定される。

【0070】

複数の接触点２０’〜２６’の位置決めは、電気的境界３４からの距離ｙで電気的に導通する面部３２上の第１の位置を定義する。図３Ｂ（１）に示すように、電流Ｉが第１の接触要素１０を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第３の接触要素１４を介して流れ出るように、電位は第１の接触要素１０と第３の接触要素１４の間に印加される。第１の接触要素１０を流れる電流Ｉ及び第２の接触要素１２と第４の接触要素１６の間の電圧Ｖ_Ｂは測定され、第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）は電圧Ｖ_Ｂを電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図３Ｂ（２）に示すように、電流Ｉが第２の接触要素１２を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第４の接触要素１４を介して流れ出るように、電位は第２の接触要素１２と第４の接触要素１４の間に印加される。第２の接触要素１２を流れる電流Ｉ及び第１の接触要素１０と第４の接触要素１４の間の電圧Ｖ_Ｂ’は測定され、第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）は電圧Ｖ_Ｂ’を電流Ｉで除算した値として計算される。次いで、第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）と第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）との間の差として定義される第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）は次式の通り計算される。

【数56】

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また、第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）との間の平均値

【数57】

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は次式の通り計算される。

【数58】

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【0071】

図３Ｃ（１）に示すように、電流Ｉが第１の接触要素１０を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第２の接触要素１２を介して流れ出るように、電位は第１の接触要素と第２の接触要素の間に印加される。第１の接触要素１０を流れる電流Ｉ及び第３の接触要素１４と第４の接触要素１６の間の電圧Ｖ_Ｃは測定され、第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）は電圧Ｖ_Ｃを電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図３Ｂ（２）に示すように、電流Ｉが第３の接触要素１４を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第４の接触要素１６を介して流れ出るように、電位は第３の接触要素１４と第４の接触要素１６の間に印加される。第３の接触要素１４を流れる電流Ｉ及び第１の接触要素１０と第２の接触要素１２の間の電圧Ｖ_Ｃ’は測定され、第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）は電圧Ｖ_Ｃ’を電流Ｉで除算した値として計算される。次いで、第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）との間の差として定義される第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）は次式の通り計算される。

【数59】

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また、第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）との間の平均値

【数60】

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は次式の通り計算される。

【数61】

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【0072】

図３Ａ（１）に示すように、電流Ｉが第１の接触要素１０を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第４の接触要素１６を介して流れ出るように、電位は第１の接触要素１０と第４の接触要素１６の間に印加される。第１の接触要素１０を流れる電流Ｉ及び第２の接触要素１２と第３の接触要素１４の間の電圧Ｖ_Ａは測定され、第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）は電圧Ｖ_Ａを電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図３Ａ（２）に示すように、電流Ｉが第２の接触要素１２を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第３の接触要素１４を介して流れ出るように、電位は第２の接触要素１２と第３の接触要素１４の間に印加される。第２の接触要素１２を流れる電流Ｉ及び第１の接触要素１０’と第４の接触要素１６の間の電圧Ｖ_Ａ’は測定され、第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）は電圧Ｖ_Ａ’を電流Ｉで除算した値として計算される。次いで、第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）と第６の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）との間の差として定義される第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）は次式の通り計算される。

【数62】

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また、第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）と第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）との間の平均値

【数63】

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は次式の通り計算される。

【数64】

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【0073】

複数の関係は、図２Ｃに示すように試験試料に接触する４点プローブの数学的モデルに対応して定義され、すなわち次式の通り定義される。

【0074】

【数65】

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【数66】

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【数67】

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【0075】

ここで、ａ、ｂ及びｃは図２Ｃに示される複数の接触点の間の間隔を表し、ｙは複数の接触点２０’〜２６’と電気的境界３４との間の距離を表し、ΔＲ_ＢＢ’は第１の抵抗差を表し、ΔＲ_ＣＣ’は第２の抵抗差を表し、ΔＲ_ＡＡ’は第３の抵抗差を表し、Ｒ_Ｈは、接触が４点プローブ３６によって確立される電気的に導通する面部３２の位置でのホールシート抵抗を表す。図５Ｃにおいて、関係ｆ_１（Ｅｑ．２．７）は一点鎖線で示され、関係ｆ_２（Ｅｑ．２．８）は点線で示され、関係ｆ_３（Ｅｑ．２．９）は破線で示される。

【0076】

この場合、第１の関係は、

【数68】

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として定義され、これはまた、１に等しいαを用いて

【数69】

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として書き表されることができ、すなわち、第１の関係は、距離ｙ並びに複数の接触点の間の間隔ａ，ｂ及びｃの関数である。この関係（Ｅｑ．２．１０及びＥｑ．２．１１）は図５Ｃのグラフにおいて実線で示される。この場合、測定された第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）、第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）及び第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）は、正規化された距離３ｙ／（ａ＋ｂ＋ｃ）を導出するために、第１の関係（Ｅｑ．２．１１）を用いて用いられる。例えば、０．２の比率（ΔＲ_ＡＡ’＋ΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’は近似的に０．５の正規化された距離３ｙ／（ａ＋ｂ＋ｃ）を与え、また、０．８の比率ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢは近似的に７の正規化された距離３ｙ／（ａ＋ｂ＋ｃ）を与えるであろう。これらは図５Ｃから読み取り可能である。名目の間隔ａ，ｂ及びｃは既知であり、したがって、距離ｙは正規化された距離３ｙ／（ａ＋ｂ＋ｃ）から簡単に決定される。例えば、図２Ｃの間隔すなわちａ＝ｂ＝１４μｍ及びｃ＝３５μｍを用いて、０．５の正規化された距離３ｙ／（ａ＋ｂ＋ｃ）は近似的に１０．５μｍの距離ｙを与え、また、７の正規化された距離３ｙ／（ａ＋ｂ＋ｃ）は近似的に１４７μｍの距離ｙを与えるであろう。さらに、０．５の正規化された距離３ｙ／（ａ＋ｂ＋ｃ）は近似的に１．３３の関数ｆ_２の値を与える、また、７の正規化された距離３ｙ／（ａ＋ｂ＋ｃ）は近似的に０．０４の関数ｆ_２の値を与えるであろう。この場合、測定された第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）は、Ｅｑ．２．８における関係とともに、ホールシート抵抗Ｒ_Ｈを与える。関数ｆ_１及びｆ_３は同様の方法で用いられることができる。

【0077】

電気的に導通する面部のシート抵抗を決定するために、擬似シート抵抗Ｒ_Ｐはまず、ファン・デル・ポー方程式

【数70】

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から決定される。

【0078】

次いで、もう１つの第２の関係は、４点プローブによって接触される電気的に導通する面部のシート抵抗を決定するために定義され、すなわち、次式の通り定義される。

【0079】

【数71】

[この文献は図面を表示できません]

【0080】

ここで、Ｒ_Ｐは擬似シート抵抗であり、Ｒ_０はシート抵抗であり、ｇは正規化された距離ｙ並びに複数の接触点の間の間隔ａ，ｂ及びｃの関数である。図２Ｃに示すように非対称間隔の複数の接触プローブを有する４点プローブを表す関数ｇは図５Ｂに示される。例えば、近似的に１０．５μｍの距離ｙは、近似的に１．４４の関数ｇの値又は比率Ｒ_Ｐ／Ｒ_０の値を与えるであろう。Ｅｑ．２．１２に関して説明されるように決定された擬似シート抵抗Ｒ_Ｐを用いて、シート抵抗Ｒ_０はしたがってＥｑ．２．１３から簡単に計算される。

【0081】

対称的なプローブを用いたホールシート抵抗及びシート抵抗の決定のためのより一般的な例をここに与える。等距離間隔の複数の接触点すなわちａ＝ｂ＝ｃ＝ｓである複数の接触点を有する対象４点プローブに対して、抵抗値Ｒ_Ｂ，Ｒ_Ｂ’，Ｒ_Ｃ及びＲ_Ｃ’を与える図３Ｂ（１），３Ｂ（２），３Ｃ（１）及び３Ｃ（２）に示すような４つのみの複数の測定構成Ｂ，Ｂ’，Ｃ及びＣ’はデータ処理に必要とされる。次式は複数の抵抗値から導出される。

【0082】

【数72】

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【数73】

[この文献は図面を表示できません]

【0083】

複数の平均値を用いて、擬似シート抵抗Ｒ_Ｐはファン・デル・ポー方程式

【数74】

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【数75】

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から計算される。

【0084】

抵抗差ΔＲ_ＢＢ’及びΔＲ_ＣＣ’は、

【数76】

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【数77】

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として既知の関数を用いて表される。したがって、ΔＲ_ＢＢ’及びΔＲ_ＣＣ’の比率は、ｙの関数

【数78】

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として表される。この方程式において、関数ｆは、図４Ａにおいてプロットされように、理論的計算か数値シミュレーションかのいずれかを用いて得られることができる。このプロットを用いて、距離ｙは決定され、ホールシート抵抗Ｒ_ＨはしたがってＥｑ．３．５又はＥｑ．３．６のいずれかから解かれる。

【0085】

擬似シート抵抗Ｒ_Ｐとシート抵抗Ｒ_０の比率はまた、ｙ／ｓのみに依存する既知の関数ｇとして次式の通り表されることができる。

【0086】

【数79】

[この文献は図面を表示できません]

【0087】

関数ｇは理論的計算か数値シミュレーションかのいずれかを用いて発見可能であり、これは図４Ｂにおいてプロットされる。最後に、このプロット及びＥｑ．３．４からの擬似シート抵抗Ｒ_Ｐを用いて、シート抵抗Ｒ_０は計算される。

【0088】

非対象プローブを用いたホールシート抵抗及びシート抵抗の決定のための、より一般的な例をここに与える。複数の接触要素の複数の接触点の間の間隔ａ，ｂ及びｃを有する非対称４点プローブに対して、抵抗値Ｒ_Ａ，Ｒ_Ａ’，Ｒ_Ｂ，Ｒ_Ｂ’，Ｒ_Ｃ及びＲ_Ｃ’をそれぞれ与える図３Ａ（１），３Ａ（２），３Ｂ（１），３Ｂ（２），３Ｃ（１）及び３Ｃ（２）に示す全ての６つの構成Ａ，Ａ’，Ｂ，Ｂ’，Ｃ及びＣ’は、データ処理において必要とされる。複数の構成のうちの５つのみは独立である。図２Ｃに示すようなａ＝１４ｕｍ，ｂ＝１４ｕｍ及びｃ＝３５ｕｍの間隔は以下の例において用いられ、ここで、次式は複数の抵抗値から導出される。

【0089】

【数80】

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【数81】

[この文献は図面を表示できません]

【数82】

[この文献は図面を表示できません]

【0090】

複数の平均値を用いて、擬似シート抵抗Ｒ_Ｐはファン・デル・ポー方程式

【数83】

[この文献は図面を表示できません]

から計算される。抵抗差ΔＲ_ＡＡ’、ΔＲ_ＢＢ’及びΔＲ_ＣＣ’は、

【数84】

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【数85】

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【数86】

[この文献は図面を表示できません]

のように既知の関数を用いて表される。したがって、我々は、距離のみに依存するΔＲ_ＡＡ’、ΔＲ_ＢＢ’及びΔＲ_ＣＣ’の関数

【数87】

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を定義できる。この方程式において、関数ｆは理論的計算か数値シミュレーションかのいずれかを用いて得られることができる。因子αを調整することによって、関数ｆは、距離検出がプローブ位置の誤差に対して低い感度を有し得るように最適化される。ａ＝１４μｍ，ｂ＝１４μｍ及びｃ＝３５μｍの場合、α＝１がよい選択であることが発見され、関数ｆは図５Ａに示すようにプロットされることができる。このプロットを用いて、距離ｙは決定され、ホールシート抵抗Ｒ_Ｈはしたがって、Ｅｑ．４．５，Ｅｑ４．６又はＥｑ．４．７のいずれかから解かれる。

【0091】

擬似シート抵抗Ｒ_Ｐとシート抵抗Ｒ_０の比率は、既知の関数ｇとして次式の通り表されることができる。

【0092】

【数88】

[この文献は図面を表示できません]

【0093】

関数ｇは、理論的計算か数値シミュレーションかのいずれかを用いて発見可能であり、当該関数ｇは図５Ｂにおいてプロットされる。最後に、このプロット及びＥｑ．４．４からの擬似シート抵抗Ｒ_Ｐを用いて、シート抵抗Ｒ_０は計算される。

【0094】

図６は、試験試料３０’に接触するマルチポイントプローブ３６’を示す。試験試料３０’は、電気的に導通する面部３２’と、試験試料３０’の上面に対応する面部３２と試験試料３０’の側面３３’との間のエッジによって物理的に定義される境界３４’とを有する。側面３３’は、電気的に導通せず、境界はしたがって、電気的に導通する面部３２’から流出する電流を阻止する電気的境界である。

【0095】

マルチポイントプローブ３６’はプローブ本体１８’を有し、当該プローブ本体１８’から７つの接触要素５０〜６２が延びる。複数の接触要素５０〜６２のそれぞれは、プローブ本体１８’に接続された一端と、接触点７０〜８２を定義する他端とを有する、可撓性を有するカンチレバーである。図６におけるセットアップの複数の接触点７０〜８２は、電気的に導通する面部３２’と接触する。複数の接触要素５０〜６２は電気的に導通する。したがって、電流は各接触要素５０〜６２を介して電気的に導通する面部３２’に流れることが可能である。定磁場Ｂは、電気的に導通する面部３２’に対して直角を成す場の成分３８’を有するように、試験試料３０’に印加される。

【0096】

複数の接触要素の第１の構成は定義され、当該第１の構成は、接触要素５０，５４，５８及び６２にそれぞれ対応する第１、第２、第３及び第４の接触要素から構成される。複数の接触要素の第２の構成は定義され、当該第２の構成は、接触要素５６，５８，６０及び６２にそれぞれ対応する第５、第６、第７及び第８の接触要素から構成される。ここで、第１の構成及び第２の構成の両方は、接触要素５８及び６２を含む。

【0097】

図７Ａに示すように、複数の接触要素５０〜６２の複数の接触点７０〜８２は全て近似的に共通線９０上に配置される。電気的境界３４’は線形部４２’を有し、複数の接触要素５０〜６２は、共通線４０’が線形部４２’に対して平行になるように方向づけられる。複数の接触点７０〜８２の間の名目の距離又は間隔は近似的に同一であり、ｓで示される。共通線９０と線形部４２’との間の距離又は間隔はｙで示される。図７Ａに示す変形例の実施形態において、複数の接触要素の複数の接触点７０〜８２の間の距離ｓは１０μｍに近似的に等しい。したがって、第１の構成の複数の接触要素の複数の接触点は２ｓの効果的な分離又は間隔ｓ_１を定義し、すなわちｓ_１は近似的に２０μｍであり、さらに、第２の構成の複数の接触要素の複数の接触点は１ｓの効果的な分離又は間隔ｓ_２を定義し、すなわちｓ_２は近似的に１０μｍである。

【0098】

図７Ｂに示す変形例の接触において、面部３２’は平坦ではなく、このことは、他の４つの接触要素７６〜８２とは異なり、３つの接触要素７０〜７４を面部３２’に係合させる。したがって、複数の接触要素の第１の配置は線形部４２’への平均距離ｙ_１を定義し、これは対応する第２の構成の付加的な平均距離ｙ_２と異なる。

【0099】

図７Ａの接触において、複数の接触点７０〜８２は、電気的境界３４への距離ｙを定義する。図８Ａ（１）に示すように、電流Ｉが第１の接触要素５０を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第３の接触要素５８を介して流れ出るように、電位は第１の接触要素５０と第３の接触要素５８の間に印加される。第１の接触要素５０を流れる電流Ｉ及び第２の接触要素５４と第４の接触要素６２の間の電圧Ｖ_Ｂ，１は測定され、第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ，１）は電圧Ｖ_Ｂ，１を電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図８Ａ（２）に示すように、電流Ｉが第２の接触要素５４を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第４の接触要素６２を介して流れ出るように、電位は第２の接触要素５４と第４の接触要素６２の間に印加される。第２の接触要素５４を流れる電流Ｉ及び第１の接触要素５０と第３の接触要素５８の間の電圧Ｖ_Ｂ’，１は測定され、第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，１）は電圧Ｖ_Ｂ’，１を電流Ｉで除算した値として計算される。次いで、第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ，１）と第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’、１）との間の差として定義される第１の抵抗差（ΔＲ_{ＢＢ’，１}）は次式の通り計算される。

【数89】

[この文献は図面を表示できません]

また、第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，１）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，１）との間の第１の抵抗平均値

【数90】

[この文献は図面を表示できません]

は次式の通り計算される。

【数91】

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【0100】

図８Ａ（３）に示すように、電流Ｉが第５の接触要素５６を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第７の接触要素６０を介して流れ出るように、電位は第５の接触要素５６と第７の接触要素６０の間に印加される。第５の接触要素５６を流れる電流Ｉ及び第６の接触要素５８と第８の接触要素６２の間の電圧Ｖ_Ｂ，２は測定され、第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）は電圧Ｖ_Ｂ，２を電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図８Ａ（４）に示すように、電流Ｉが第６の接触要素５８を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第８の接触要素６２を介して流れ出るように、電位は第６の接触要素５８と第８の接触要素６２の間に印加される。第６の接触要素５８を流れる電流Ｉ及び第５の接触要素５６と第７の接触要素６０の間の電圧Ｖ_Ｂ’，２は測定され、第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）は電圧Ｖ_Ｂ’，２を電流Ｉで除算した値として計算される。次いで、第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）との間の差として定義される第２の抵抗差（ΔＲ_{ＢＢ’，２}）は次式の通り計算される。

【数92】

[この文献は図面を表示できません]

また、第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）と第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）との間の第２の抵抗平均値

【数93】

[この文献は図面を表示できません]

は次式の通り計算される。

【数94】

[この文献は図面を表示できません]

【0101】

関数は、４点プローブの数学的モデルに対応して次式の通り定義される。

【0102】

【数95】

[この文献は図面を表示できません]

【0103】

ここで、ｓは隣接する複数のプローブアームの間の有効な間隔を表し、ΔＲ_ＢＢ’は第１の抵抗差を表し、ｙは複数の接触点７０〜８２と電気的境界３４’との間の距離を表し、ΔＲ_ＣＣ’は第２の抵抗差を表し、Ｒ_Ｈは、接触が４点プローブ３６’によって確立される電気的に導通する面部３２’の第１の位置でのホールシート抵抗を表す。図９において、関数ｆ（ｓ，ｙ）は、２０μｍ（長鎖線）に等しい間隔ｓ_１及び１０μｍに等しい間隔ｓ_２（短鎖線）に対するｙの関数として示される。第１の関係は、２つの異なる間隔によって（Ｅｑ．５．６）から形成される２つの関数の間の比率として次式の通り定義される。

【0104】

【数96】

[この文献は図面を表示できません]

【0105】

この関係は図９のグラフにおいて距離ｙの関数ｆ_Ｄ（ｓ_１，ｓ_２，ｙ）（実線）として示される。次いで、測定された第１の抵抗差（ΔＲ_{ＢＢ’，１}）及び第２の抵抗差（ΔＲ_{ＢＢ’，２}）は、距離ｙを導出するために、第１の関係（Ｅｑ．５．４）を用いて用いられる。例えば、１の比率ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’は近似的に１９の距離ｙを与えるであろう。したがって、測定された第１の抵抗差（ΔＲ_{ＢＢ’，１}）及び名目の間隔ｓ_１＝２０μｍは、Ｅｑ．５．６における関係とともにホールシート抵抗Ｒ_Ｈを与える。名目の距離ｓ_２＝１０μｍはまた、同様の方法で用いられることができる。

【0106】

距離ｙの決定の精度を改善するために、さらなる複数の測定は、図７Ａの接触の付加的な複数のモデルにおいて行われて用いられる。図８Ｂ（１）に示すように、電流Ｉが第１の接触要素５０を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第４の接触要素６２を介して流れ出るように、電位は第１の接触要素５０と第４の接触要素６２の間に印加される。第１の接触要素５０を流れる電流Ｉ及び第２の接触要素５４と第３の接触要素５８の間の電圧Ｖ_Ｂ，１は測定され、第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）は電圧Ｖ_Ａ，１を電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図８Ｂ（２）に示すように、電流Ｉが第２の接触要素５４を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第３の接触要素５８を介して流れ出るように、電位は第２の接触要素５４と第３の接触要素５８の間に印加される。第２の接触要素５４を流れる電流Ｉ及び第１の接触要素５０と第４の接触要素６２の間の電圧Ｖ_Ｂ’，１は測定され、第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）は電圧Ｖ_Ａ’，１を電流Ｉで除算した値として計算される。次いで、第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）と第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’、１）との間の第３の抵抗平均値

【数97】

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は次式の通り計算される。

【数98】

[この文献は図面を表示できません]

【0107】

図８Ｂ（３）に示すように、電流Ｉが第５の接触要素５６を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第８の接触要素６２を介して流れ出るように、電位は第５の接触要素５６と第８の接触要素６２の間に印加される。第５の接触要素５６を流れる電流Ｉ及び第６の接触要素５８と第７の接触要素６０の間の電圧Ｖ_Ｂ，２は測定され、第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）は電圧Ｖ_Ａ，２を電流Ｉで除算した値として計算される。続いて、図８Ｂ（４）に示すように、電流Ｉが第６の接触要素５８を介して面部に注入されるように、かつ、当該電流の少なくとも一部が第７の接触要素６０を介して流れ出るように、電位は第６の接触要素５８と第７の接触要素６０の間に印加される。第６の接触要素５８を流れる電流Ｉ及び第５の接触要素５６と第８の接触要素６２の間の電圧Ｖ_Ｂ’，２は測定され、第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）は電圧Ｖ_Ｂ’，２を電流Ｉで除算した値として計算される。この場合、第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）と第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）との間の第４の抵抗平均値

【数99】

[この文献は図面を表示できません]

は次式の通り計算される。

【0108】

【数100】

[この文献は図面を表示できません]

【0109】

この場合、ファン・デル・ポー方程式は、

【数101】

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として定義される。ここで、Ｒ_Ｐは擬似シート抵抗であり、第１の抵抗差

【数102】

[この文献は図面を表示できません]

及び第３の抵抗差

【数103】

[この文献は図面を表示できません]

（Ｅｑ．５．２及びＥｑ．５．８）は、第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）を導出するために、ファン・デル・ポー方程式（Ｅｑ．５．１０）において用いられる。同様に、第２の抵抗差

【数104】

[この文献は図面を表示できません]

及び第４の抵抗差

【数105】

[この文献は図面を表示できません]

（Ｅｑ．５．５及びＥｑ．５．９）は、第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）を導出するために、ファン・デル・ポー方程式（Ｅｑ．５．１０）において用いられる。

【0110】

関数は、図６に関して説明される４点プローブの数学的モデルに対応して次式の通り定義される。

【数106】

[この文献は図面を表示できません]

【0111】

ここで、Ｒ_Ｐは擬似シート抵抗であり、隣接する複数のプローブアームの間の間隔ｓ及び複数の接触点７０〜８２と電気的境界３４’との間の距離ｙの関数と見なされる。また、Ｒ_Ｓは接触点でのシート抵抗を表す。関数ｇ（ｓ，ｙ）は第１の間隔ｓ_１＝２０μｍ及び第２の間隔ｓ_２＝１０μｍの両方に対して導出され、これは図１０において（それぞれ長鎖線及び短鎖線によって）示される。２つの関数はしたがって、第４の関係

【数107】

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を形成するために用いられ、これはまた図１０においても示される（実線）。次いで、第１の擬似シート抵抗及び第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）は、距離ｙの値の導出のための第４の関係において用いられ、これは図１０からグラフを用いて行われることが可能である。関数ｇ_Ｄ（ｓ_１，ｓ_２，ｙ）は分析的に導出可能であるか数値的に導出可能であるかのいずれかであり、当該関数ｇ_Ｄ（ｓ_１，ｓ_２，ｙ）は単調ではなく特定の距離でピーク値を定義する。したがって、そのことは距離ｙの一意的な決定を与えない。第４の関係（Ｅｑ．５．１２）は典型的には、第１の関係（Ｅｑ．５．７）よりも正確な距離ｙの決定を与えるであろう。第１の関係はしたがって、予備的な距離を導出するために用いられ、当該予備的な距離は、第４の関係から、ピーク値のいずれの側が距離ｙであるかを決定するために、すなわち、距離ｙを一意的に決定するために用いられる。

【0112】

変形例の実施形態において、第１の関係（Ｅｑ．５．７）及び第４の関係（Ｅｑ．５．１２）は、図７Ｂに関して説明したように、複数の接触要素の第１の構成と線形部４２’との間の距離ｙ_１、及び複数の接触要素の第２の構成と線形部４２’との間の付加的な距離ｙ_２における差を考慮して変更される。第１の関係（Ｅｑ．５．７）は、

【数108】

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として再定義され、第４の関係（Ｅｑ．５．１１）は

【数109】

[この文献は図面を表示できません]

として再定義される。

【0113】

２つの関数ｆ_Ｄ（ｓ_１，ｓ_２，ｙ_１，ｙ_２）及びｇ_Ｄ（ｓ_１，ｓ_２，ｙ_１，ｙ_２）は、分析的に又は数値的に導出可能である。したがって、導出された第１の抵抗差（Ｅｑ．５．１）及び第２の抵抗差（Ｅｑ．５．４）は、第１の抵抗平均値（Ｅｑ．５．２）、第２の抵抗平均値（Ｅｑ．５．５）、第３の抵抗平均値（Ｅｑ．５．８）及び第４の抵抗平均値（Ｅｑ．５．９）並びに既知の間隔ｓ_１＝２０μｍ及びｓ_２＝１０μｍとともに、例えば回帰分析によって、距離ｙ_１及び付加的な距離ｙ_２の同時導出のために、再定義された第１の関係（Ｅｑ．５．１３）及び第４の関係（Ｅｑ．５．１４）において用いられる。

【0114】

本発明を特徴付ける項目：

【0115】

項目１．
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
（ｉ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素と接触させるステップと、
（ｉｉ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｖ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｖｉ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップと、
（ｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｉｘ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｘ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップと、
（ｘｉ）上記第１の抵抗値と上記第２の抵抗値との間の差に基づいて第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップと、
（ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｘｉｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｘｉｖ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｘｖ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップと、
（ｘｖｉ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｘｖｉｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｘｖｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｘｉｘ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップと、
（ｘｘ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップと、
（ｘｘｉ）上記第１の抵抗差、上記第２の抵抗差及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１のパラメータ、第２のパラメータ及び第３のパラメータを含む第１の関係（ｆ）を定義するステップと、
（ｘｘｉｉ）上記第１の関係において上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとして上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’，ΔＲ_ＣＣ’）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）を決定するステップとを備える方法。

【0116】

項目２．
上記複数の接触点は、上記複数の接触点のそれぞれに交わる第１の線を定義することを特徴とする項目１に記載の方法。

【0117】

項目３．
上記電気的境界は近似的線形部を有し、
上記第１の位置と上記線形部上の点との間の上記距離は、上記第１の位置と上記線形部の外側の上記電気的境界上の任意の点との間の距離よりも小さいことを特徴とする項目２に記載の方法。

【0118】

項目４．
（ｘｘｘｉｖ）上記マルチポイントプローブを方向づけて上記第１の線を上記線形部と平行な関係に位置決めするステップをさらに備えること特徴とする項目３に記載の方法。

【0119】

項目５．
上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、及び上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は近似的に等しいことを特徴とする項目１〜４のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0120】

項目６．
上記第１の関係はΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差を表し、ΔＲ_ＣＣ’は上記第２の抵抗差を表し、ｆは上記第１の位置及び上記電気的境界の間の上記距離ｙと上記複数の接触点の間の上記間隔ｓとを複数のパラメータとして含む関数であることを特徴とする項目１〜５のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0121】

項目７．
上記関係ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）における上記第１の抵抗差ΔＲ_ＢＢ’はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）における上記第２の抵抗差ΔＲ_ＣＣ’はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目６に記載の方法。

【0122】

項目８．
（ｘｘｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｘｘｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｘｘｖ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｘｘｖｉ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップと、
（ｘｘｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｘｘｉｘ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｘｘｘ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップと、
（ｘｘｘｉ）上記第５の抵抗値と上記第６の抵抗値との間の差に基づいて第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を計算するステップと、
（ｘｘｘｉｉ）上記第１の関係（ｆ）の定義において、上記第１の関係（ｆ）は上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表す第４のパラメータをさらに含むステップと、
（ｘｘｘｉｉｉ）上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）の決定において、上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’，ΔＲ_ＣＣ’）が上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとしてそれぞれ用いられることに加えて、上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）は上記第１の関係における上記第４のパラメータとして用いられるステップとをさらに備えることを特徴とする項目１〜４のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0123】

項目９．
上記複数の接触点は直列に位置決めされ、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔と、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔とは近似的に等しいことを特徴とする項目８に記載の方法。

【0124】

項目１０．
上記複数の接触点は直列に位置決めされ、上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第１の接触と上記第２の接触の上記複数の接触点の間の間隔と異なることを特徴とする項目８又は９に記載の方法。

【0125】

項目１１
上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔よりも、範囲１．１〜３．７，１．２〜３．３，１．３〜２．９，１．４〜２．５，１．５〜２．１及び１．６〜１．７のうちの１つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び／又は、範囲１．２〜１．３，１．３〜１．４，１．４〜１．５，１．５〜１．６，１．６〜１．７，１．７〜１．８，１．８〜１．９，１．９〜２．０，２．０〜２．２，２．２〜２．４，２．４〜２．６，２．６〜２．８，２．８〜３．０，３．０〜３．３，３．３〜３．６，及び３．６〜３．９のうちの１つの倍数分だけ、及び／又は、近似的に３分の５倍だけ、若しくは、範囲１．２〜３．８，１．６〜３．４，１．８〜３．２，２．０〜３．０，２．２〜２．８，及び２．４〜２．６のうちの１つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び／又は、範囲１．２〜１．３，１．３〜１．４，１．４〜１．５，１．５〜１．６，１．６〜１．７，１．７〜１．８，１．８〜１．９，１．９〜２．０，２．０〜２．２，２．２〜２．４，２．４〜２．６，２．６〜２．８，２．８〜３．０，３．０〜３．３，３．３〜３．６，３．６〜３．９のうちの１つの倍数分だけ、及び／又は、近似的に２分の５倍だけ、大きいことを特徴とする項目１０に記載の方法。

【0126】

項目１２．
上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲１〜５μｍ，５〜１０μｍ，１０〜１５μｍ，１５〜２０μｍ，２０〜２５μｍ，２５〜３０μｍ，３０〜４０μｍ，４０〜５０μｍ，及び５０〜５００μｍのうちの１つ、及び／又は、範囲１〜５０μｍ，５〜４０μｍ，１０〜３０μｍ，及び１５〜２５μｍのうちの１つ又はそれ以上の範囲にあることを特徴とする項目８〜１１のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0127】

項目１３．
上記第１の関係は（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差であり、ΔＲ_ＣＣ’は上記第２の抵抗差であり、ΔＲ_ＡＡ’は上記第３の抵抗差であり、αは−１０から１０までの範囲における調整因子であり、ｆは、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ａ、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ｂ、及び上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ｃを含む関数であることを特徴とする項目８〜１２のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0128】

項目１４．
上記調整因子αは近似的に１又は近似的に−１であることを特徴とする項目１３に記載の方法。

【0129】

項目１５．
上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第１の抵抗差ΔＲ_ＢＢ’はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第２の抵抗差ΔＲ_ＣＣ’はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第３の抵抗差ΔＲ_ＡＡ’はΔＲ_ＡＡ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＡＡ’は上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目１３又は１４に記載の方法。

【0130】

項目１６．
上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲０．１〜１００μｍ，１〜９０μｍ，１０〜８０μｍ，２０〜７０μｍ，３０〜６０μｍ及び４０〜５０μｍのうちの１つ又はそれ以上、及び／又は、範囲０．１〜１μｍ、１〜１０μｍ，１０〜２０μｍ，２０〜３０μｍ，３０〜４０μｍ，４０〜５０μｍ，５０〜６０μｍ，６０〜７０μｍ，７０〜８０μｍ，８０〜９０μｍ，９０〜１００μｍ又は１００〜５００μｍのうちの１つにあることを特徴とする項目１〜１５のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0131】

項目１７．
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
（ａ）項目１〜１６のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の距離（ｙ）を決定するステップと、
（ｂ）上記電気的特性及び上記距離（ｙ）を表す第５のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｃ）上記第５のパラメータとして上記距離（ｙ）を用いて、上記第２の関係から上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。

【0132】

項目１８．
上記第２の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔をさらに含み、
（ｂ’）上記第２の関係の定義において、上記第２の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す第９のパラメータをさらに含み、
（ｃ’）上記電気的特性の決定において、上記間隔は、上記第１の距離（ｙ）に加えて、上記第２の関係における上記第９のパラメータとして用いられることを特徴とする項目１７に記載の方法。

【0133】

項目１９．
上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、上記第２の関係（ｆ_１，ｆ_２）は付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表す第６のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第１の抵抗値と上記付加的な第２の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする項目１７又は１８のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0134】

項目２０．
上記第２の関係はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目１９に記載の方法。

【0135】

項目２１．
上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、
上記第２の関係（ｆ_２，ｆ_３）は付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を表す第６のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に付加的な第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第３の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記付加的な第３の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第３の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第３の電流及び上記付加的な第３の電圧に基づいて付加的な第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｃ）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第４の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の付加的な第４の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第４の電流及び上記付加的な第４の電圧に基づいて付加的な第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第３の抵抗値と上記付加的な第４の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする項目３５及び項目３５に従属する項目１７又は１８に記載の方法。

【0136】

項目２２．
上記第２の関係はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目２１に記載の方法。
項目２３．
上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、上記第２の関係（ｆ_１）は付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表す第６のパラメータをさらに含み、上記方法、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値と上記付加的な第６の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする項目１７又は１８に記載の方法。

【0137】

項目２４．
上記第２の関係はΔＲ_ＡＡ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＡＡ’は上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目２３に記載の方法。

【0138】

項目２５．
上記電気的特性はシート抵抗（Ｒ_０）であり、上記第２の関係（ｇ）は擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）を表す第６のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、
（ｋ）付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）及び上記付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）の第１の抵抗平均値

【数110】

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を計算するステップと、
（ｄ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、
（ｅ’’）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、
（ｆ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、
（ｇ’’）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップ、又は
（ｇ’’’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を保持するステップと、
（ｈ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ’’）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、
（ｊ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、
（ｋ’’）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’’’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ’_Ｂ）を保持するステップと、
（ｌ’’）上記付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第２の抵抗平均値

【数111】

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を計算するステップと、
（ｍ）上記第１の抵抗平均値

【数112】

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と、上記第２の抵抗平均値

【数113】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）とをそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータとを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｎ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第１の抵抗平均値

【数114】

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及び上記第２の抵抗平均値

【数115】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）を決定するステップとをさらに備えることを特徴とする項目１７又は１８に記載の方法。

【0139】

項目２６．
上記第３の関係は

【数116】

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に等価であり、ここで、Ｒ_Ｐは上記擬似シート抵抗であり、

【数117】

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は上記第１の抵抗平均値であり、

【数118】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第２の抵抗平均値であることを特徴とする項目２５に記載の方法。
項目２７．
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する装置であって、上記装置は、
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
項目１〜１６のうちのいずれか一項に記載の距離を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。

【0140】

項目２８．
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する装置であって、
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
項目１７〜２６のうちのいずれか一項に記載の試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。

【0141】

本発明を特徴付ける付加的な項目：

【0142】

項目１．
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備えるマルチ付加的（ｍｕｌｔｉ−ａｄｄｉｔｉｏｎａｌ）ポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
（ｉ．ｉ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素と接触させるステップと、
（ｉ．ｉｉ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｉ．ｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｖ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｖｉ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップと、
（ｉ．ｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｉｘ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｉ）上記第１の抵抗値と上記第２の抵抗値との間の差に基づいて第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｘｉｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｘｉｖ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘｖ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｖｉ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｘｖｉｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｘｖｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘｉｘ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップと、そして
（ｉ．ｘｘ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップとを備え、
又は、ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を置き換える変形例において、
上記マルチ付加的（ｍｕｌｔｉ−ａｄｄｉｔｉｏｎａｌ）ポイントプローブは複数個の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、上記第４の接触要素及び１つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、
上記方法は、
（ｉｉ．ｘｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第１の構成を定義し、上記複数の接触要素の第１の構成は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素から構成されるステップと、
（ｉｉ．ｘｉｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第２の構成を定義し、上記複数の接触要素の第２の構成は第５の接触要素、第６の接触要素、第７の接触要素及び第８の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第２の構成の少なくとも１つの接触要素は上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
（ｉｉ．ｘｉｖ）上記試験試料を上記複数の接触要素の第１の構成の上記複数の接触要素と接触させるのと同時に、上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で上記試験試料を上記複数の接触要素の第２の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
（ｉｉ．ｘｖ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉｉｉ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）を計算するステップと、
（ｉｉ．ｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｉｉ．ｘｘ）上記第６の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｘｉ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｘｉｉ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）を計算するステップと、そして
（ｉｉ．ｘｘｉｉｉ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲ_{ＢＢ’，２}）を計算するステップとを備え、
ステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む変形例とステップ（ｉｉ．ｘｉｉ）〜（ｉｉ．ｘｘｉｉｉ）を含む変形例との両方は、
（ｉ．ｘｘｉ）上記第１の抵抗差、上記第２の抵抗差及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１のパラメータ、第２のパラメータ及び第３のパラメータを含む第１の関係（ｆ）を定義するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉｉ）上記第１の関係において上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとして上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’、ΔＲ_ＣＣ’，ΔＲ_{ＢＢ’，２}）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）を表す上記第３のパラメータを決定するステップとをさらに備える方法。

【0143】

項目２．
（ｉｉｉ．ｘｘｉｖ）上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第１の抵抗平均値

【数119】

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を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）及び上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）の第２の抵抗平均値

【数120】

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を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）及び上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）の第３の抵抗平均値

【数121】

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を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）及び上記第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）の第４の抵抗平均値

【数122】

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を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値

【数123】

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と、上記第３の抵抗平均値

【数124】

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と、第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値

【数125】

[この文献は図面を表示できません]

及び上記第３の抵抗平均値

【数126】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値

【数127】

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と、上記第４の抵抗平均値

【数128】

[この文献は図面を表示できません]

と、第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値

【数129】

[この文献は図面を表示できません]

及び上記第４の抵抗平均値

【数130】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇ_Ｄ）を定義するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を表す上記第１２のパラメータを決定するステップとを備え、
又は、ステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を置き換える変形例において、
上記第２の構成の上記複数の接触要素は上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を表し、上記第１の関係（ｆ_Ｄ）は上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第１３のパラメータをさらに含み、上記第４の関係（ｇ_Ｄ）は上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第１４のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｉｖ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記距離（ｙ）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離（ｙ_２）をそれぞれ表す上記第１３のパラメータ及び上記第１４のパラメータを同時に決定するステップをさらに備える
付加的な項目１及びステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を置き換える上記変形例を特徴とする項目２に記載の方法。

【0144】

項目３．
上記第４の関係は、Ｒ_Ｐ，１／Ｒ_Ｐ，２＝ｇ_Ｄ（ｙ）に等価であり、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗を表し、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗を表し、ｇ_Ｄはパラメータとして上記距離ｙを含む関数を表し、上記関数ｇ_Ｄは特定の距離でピーク値を定義し、上記関数ｇ_Ｄは上記特定の距離より小さい上記距離の関数として増加するとともに、上記特定の距離より大きい上記距離の関数として減少し、上記方法は、
（ｉｉｉ．ｘｌｘ）上記距離と上記特定の距離とを比較して上記付加的な距離が上記第４の関係における上記特定の距離より小さいか大きいかを決定するステップをさらに備える
ステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を含む付加的な項目２及び上記変形例に記載の方法。
項目４．
複数個の接触要素を備えるマルチ付加的ポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素、第４の接触要素及び１つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記方法は、
（ｖ．ｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第１の構成を定義し、上記複数の接触要素の第１の構成は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素から構成されるステップと、
（ｖ．ｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第２の構成を定義し、上記複数の接触要素の第２の構成は第５の接触要素、第６の接触要素、第７の接触要素及び第８の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第２の構成の少なくとも１つの接触要素は上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
（ｖ．ｉｉｉ−ｉｖ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記複数の接触要素の第１の構成及び上記複数の接触要素の第２の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
（ｖ．ｖ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｖ．ｖｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｉｘ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップと、
（ｖ．ｘ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｉｉｉ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｉｖ）上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第１の抵抗平均値

【数131】

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を計算するステップと、
（ｖ．ｘｖ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｖｉｉｉ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘ）上記第６の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉｉ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｂ，２）及び上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｂ’，２）の第２の抵抗平均値

【数132】

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を計算するステップと、そして、
（ｖ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ，１）及び上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’，１）の第３の抵抗平均値

【数133】

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を計算するステップと、そして、
（ｖ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（Ｒ_Ａ，２）及び上記第８の抵抗値（Ｒ_Ａ’，２）の第４の抵抗平均値

【数134】

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を計算するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値

【数135】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記第３の抵抗平均値

【数136】

[この文献は図面を表示できません]

と、第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｖ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値

【数137】

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及び上記第３の抵抗平均値

【数138】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値

【数139】

[この文献は図面を表示できません]

と、上記第４の抵抗平均値

【数140】

[この文献は図面を表示できません]

と、第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値

【数141】

[この文献は図面を表示できません]

及び上記第４の抵抗平均値

【数142】

[この文献は図面を表示できません]

をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇ_Ｄ）を定義するステップと、そして、
（ｖ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇ_Ｄ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ，１，Ｒ_Ｐ，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）の値を表す上記第１２のパラメータを決定するステップとを備える方法。

【0145】

項目５．
上記第４の関係はＲ_Ｐ，１／Ｒ_Ｐ，２＝ｇ_Ｄ（ｙ）に等価であり、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗を表し、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗を表し、ｇ_Ｄはパラメータとして上記距離ｙを含む関数を表し、
上記関数ｇ_Ｄは特定の距離でピーク値を定義し、
上記関数ｇ_Ｄは上記特定の距離より小さい上記距離の関数として増加するとともに、上記特定の距離より大きい上記距離の関数として減少し、
上記方法は、
（ｖ．ｘｌｘ）付加的な項目１〜３のうちのいずれか一項に記載の方法によって距離を決定して、予備的な距離を表すステップと、そして、
（ｖ．ｘｌｘｉ）上記予備的な距離と上記特定の距離とを比較して、上記距離が上記第４の関係における上記特定の距離より小さいか大きいかを決定するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目４に記載の方法。

【0146】

項目６．
上記複数の接触点は上記複数の接触点のそれぞれと交わる第１の線を定義することを特徴とする付加的な項目１〜５のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0147】

項目７．
上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、上記第４の接触要素及び上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の上記複数の接触点は、上記複数の接触点が上記試験試料に接触する前に、上記複数の接触点のそれぞれに交わる第１の線を定義することを特徴とする付加的な項目１〜６のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0148】

項目８．
上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素の上記複数の接触点は、上記第１の線に沿う与えられた順序で位置づけられることを特徴とする付加的な項目７に記載の方法。

【0149】

項目９．
上記第５の接触要素、上記第６の接触要素、上記第７の接触要素及び上記第８の接触要素の上記複数の接触点は、上記第１の線に沿う与えられた順序で位置づけられることを特徴とする付加的な項目８に記載の方法。

【0150】

項目１０．
上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔及び上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、第１の間隔値（ｓ_１）に近似的に等しいことを特徴とする付加的な項目８又は９に記載の方法。

【0151】

項目１１．
上記第５の接触要素と上記第６の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、並びに上記第７の接触要素と上記第８の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、第２の間隔値（ｓ_２）に近似的に等しいことを特徴とする付加的な項目８〜１０のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0152】

項目１２．
上記第１の関係はΔＲ_ＢＢ’／ΔＲ_{ＢＢ’，２}＝ｆ_Ｄ（ｙ，ｓ_１，ｓ_２）に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差を表し、ΔＲ_{ＢＢ’，２}は上記第２の抵抗差を表し、ｆ_Ｄは上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ、上記第１の間隔値ｓ_１及び上記第２の間隔値ｓ_２を含む関数であることを特徴とする付加的な項目１１及びステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を置き換える変形例に記載の方法。

【0153】

項目１３．
上記第１の関係ΔＲ_ＢＢ’／ΔＲ_{ＢＢ’，２}＝ｆ_Ｄ（ｙ，ｓ_１，ｓ_２）における上記関数ｆ_Ｄ（ｙ，ｓ_１，ｓ_２）は、（３＊ａｒｃｔａｎ（ｓ_１／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（３ｓ_１／２ｙ））／（３＊ａｒｃｔａｎ（ｓ_２／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（３ｓ_２／２ｙ））に等価であることを特徴とする付加的な項目１２に記載の方法。

【0154】

項目１６．
上記第２の関係は

【数143】

[この文献は図面を表示できません]

に等価であり、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗であり、

【数144】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第１の抵抗平均値であり、

【数145】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第３の抵抗平均値であり、また、上記第３の関係は

【数146】

[この文献は図面を表示できません]

に等価であり、ここで、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗であり、

【数147】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第２の抵抗平均値であり、

【数148】

[この文献は図面を表示できません]

は上記第４の抵抗平均値であることを特徴とする付加的な項目２〜１３のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0155】

項目１５．
上記第４の関係はＲ_Ｐ，１／Ｒ_Ｐ，２＝ｇ_Ｄ（ｙ，ｓ_１，ｓ_２）に等価であり、ここで、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗を表し、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗を表し、ｇ_Ｄは上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ、上記第１の間隔値ｓ_１及び上記第２の間隔値ｓ_２を含む関数を表すことを特徴とする付加的な項目２〜１４及びステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を含む上記変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0156】

項目１６．
上記第１の関係はΔＲ_ＢＢ’／ΔＲ_{ＢＢ’，２}＝ｆ_Ｄ（ｙ，ｙ_２，ｓ_１，ｓ_２）に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差を表し、ΔＲ_{ＢＢ’，２}は上記第２の抵抗差を表し、ｆ_Ｄは上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ及び上記付加的な距離ｙ_２、上記第１の間隔値ｓ_１及び上記第２の間隔値ｓ_２を含む関数であることを特徴とする付加的な項目２〜１４及びステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を含む上記変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0157】

項目１７．
上記第１の関係ΔＲ_ＢＢ’／ΔＲ_{ＢＢ’，２}＝ｆ_Ｄ（ｙ，ｙ_２，ｓ_１，ｓ_２）における上記関数ｆ_Ｄ（ｙ，ｙ_２，ｓ_１，ｓ_２）は（３＊ａｒｃｔａｎ（ｓ_１／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（３ｓ_１／２ｙ））／（３＊ａｒｃｔａｎ（ｓ_２／２ｙ_２）−ａｒｃｔａｎ（３ｓ_２／２ｙ_２））に等価であることを特徴とする付加的な項目１２に記載の方法。

【0158】

項目１８．
上記第４の関係はＲ_Ｐ，１／Ｒ_Ｐ，２＝ｇ_Ｄ（ｙ，ｙ_２，ｓ_１，ｓ_２）に等価であり、Ｒ_Ｐ，１は上記第１の擬似シート抵抗を表し、Ｒ_Ｐ，２は上記第２の擬似シート抵抗を表し、そして、ｇ_Ｄは上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ及び上記付加的な距離ｙ_２、上記第１の間隔値ｓ_１及び上記第２の間隔値ｓ_２を含む関数を表すことを特徴とする付加的な項目２〜１４及びステップ（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）を置き換える変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0159】

項目１９．
上記電気的境界は近似的線形部を有し、
上記第１の位置と上記線形部上の付加的な点との間の上記距離は、上記第１の位置と上記線形部の外側の上記電気的境界上の任意の付加的な点との間の距離よりも小さいことを特徴とする付加的な項目６〜１８のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0160】

項目２０．
（ｖｉ．ｉ）上記マルチポイントプローブを方向づけて上記第１の線を上記線形部と平行な関係に位置決めするステップをさらに備えること特徴とする付加的な項目１９に記載の方法。

【0161】

項目２１．
上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、及び上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は近似的に等しいことを特徴とする付加的な項目１〜２０のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0162】

項目２２．
上記第１の関係はΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差を表し、ΔＲ_ＣＣ’は上記第２の抵抗差を表し、ｆは上記第１の位置及び上記電気的境界の間の上記距離ｙと上記複数の接触点の間の上記間隔ｓとを複数のパラメータとして含む関数であることを特徴とする付加的な項目１〜２１及びステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0163】

項目２３．
上記関係ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）における上記第１の抵抗差ΔＲ_ＢＢ’はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係ΔＲ_ＣＣ’／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ｓ）における上記第２の抵抗差ΔＲ_ＣＣ’はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目２２に記載の方法。

【0164】

項目２４．
（ｉ．ｘｘｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｘｘｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｘｘｖ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘｘｖｉ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｘｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｘｘｉｘ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘｘｘ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｘｘｉ）上記第５の抵抗値と上記第６の抵抗値との間の差に基づいて第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の関係（ｆ）の定義において、上記第１の関係（ｆ）は上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表す第４のパラメータをさらに含むステップと、
（ｉ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）の決定において、上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’，ΔＲ_ＣＣ’）が上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとしてそれぞれ用いられることに加えて、上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）は上記第１の関係における上記第４のパラメータとして用いられるステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目１〜２３及びステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む上記変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0165】

項目２５．
上記複数の接触点は直列に位置決めされ、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔と、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔とは近似的に等しいことを特徴とする付加的な項目１〜２４のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0166】

項目２６．
上記複数の接触点は直列に位置決めされ、上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔と異なることを特徴とする付加的な項目１〜２５のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0167】

項目２７．
上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔よりも、範囲１．１〜３．７，１．２〜３．３，１．３〜２．９，１．４〜２．５，１．５〜２．１及び１．６〜１．７のうちの１つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び／又は、範囲１．２〜１．３，１．３〜１．４，１．４〜１．５，１．５〜１．６，１．６〜１．７，１．７〜１．８，１．８〜１．９，１．９〜２．０，２．０〜２．２，２．２〜２．４，２．４〜２．６，２．６〜２．８，２．８〜３．０，３．０〜３．３，３．３〜３．６，及び３．６〜３．９のうちの１つの倍数分だけ、及び／又は、近似的に３分の５倍だけ、若しくは、範囲１．２〜３．８，１．６〜３．４，１．８〜３．２，２．０〜３．０，２．２〜２．８，及び２．４〜２．６のうちの１つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び／又は、範囲１．２〜１．３，１．３〜１．４，１．４〜１．５，１．５〜１．６，１．６〜１．７，１．７〜１．８，１．８〜１．９，１．９〜２．０，２．０〜２．２，２．２〜２．４，２．４〜２．６，２．６〜２．８，２．８〜３．０，３．０〜３．３，３．３〜３．６，３．６〜３．９のうちの１つの倍数分だけ、及び／又は、近似的に２分の５倍だけ、大きいことを特徴とする付加的な項目２６に記載の方法。

【0168】

項目２８．
上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲１〜５μｍ，５〜１０μｍ，１０〜１５μｍ，１５〜２０μｍ，２０〜２５μｍ，２５〜３０μｍ，３０〜４０μｍ，４０〜５０μｍ，及び５０〜５００μｍのうちの１つ、及び／又は、範囲１〜５０μｍ，５〜４０μｍ，１０〜３０μｍ，及び１５〜２５μｍのうちの１つ又はそれ以上の範囲にあることを特徴とする付加的な項目１〜２７のうちのいずれか一項に記載の方法。

【項目３１】

【0169】

上記第１の関係は（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記第１の抵抗差であり、ΔＲ_ＣＣ’は上記第２の抵抗差であり、ΔＲ_ＡＡ’は上記第３の抵抗差であり、αは−１０から１０までの範囲における調整因子であり、ｆは、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離ｙ、上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ａ、上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ｂ、及び上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔ｃを含む関数であることを特徴とする付加的な項目２４〜２８のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0170】

項目３０．
上記調整因子αは近似的に１又は近似的に−１であることを特徴とする付加的な項目２９に記載の方法。

【0171】

項目３１．
上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第１の抵抗差ΔＲ_ＢＢ’はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第２の抵抗差ΔＲ_ＣＣ’はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係（ΔＲ_ＡＡ’＋αΔＲ_ＣＣ’）／ΔＲ_ＢＢ’＝ｆ（ｙ，ａ，ｂ，ｃ）における上記第３の抵抗差ΔＲ_ＡＡ’はΔＲ_ＡＡ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＡＡ’は上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目２９又は３０に記載の方法。

【0172】

項目３２．
上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲０．１〜１００μｍ，１〜９０μｍ，１０〜８０μｍ，２０〜７０μｍ，３０〜６０μｍ及び４０〜５０μｍのうちの１つ又はそれ以上、及び／又は、範囲０．１〜１μｍ、１〜１０μｍ，１０〜２０μｍ，２０〜３０μｍ，３０〜４０μｍ，４０〜５０μｍ，５０〜６０μｍ，６０〜７０μｍ，７０〜８０μｍ，８０〜９０μｍ，９０〜１００μｍ又は１００〜５００μｍのうちの１つにあることを特徴とする付加的な項目１〜３１のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0173】

項目３３．
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
（ａ）付加的な項目１〜３２のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の距離（ｙ）を決定するステップと、
（ｂ）上記電気的特性及び上記距離（ｙ）を表す第１５のパラメータを含む第５の関係を定義するステップと、
（ｃ）上記第５の関係における上記第１５のパラメータとして上記距離（ｙ）を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備え、
又は、変形例として上記方法は、
（ａ）付加的な項目２〜３２のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ_２）を決定するステップと、
（ｂ）上記電気的特性及び上記付加的な距離（ｙ_２）を表す第１５のパラメータを含む第５の関係を定義するステップと、
（ｃ）上記第５の関係における上記第１５のパラメータとして上記付加的な距離（ｙ_２）を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。

【0174】

項目３４
上記第５の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔をさらに含み、
（ｂ’）上記第５の関係の定義において、上記第５の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す第１６のパラメータをさらに含み、
（ｃ’）上記電気的特性の決定において、上記間隔は、上記第１の距離（ｙ）又は上記付加的な距離（ｙ_２）に加えて、上記第５の関係における上記第１６のパラメータとして用いられることを特徴とする付加的な項目３３に記載の方法。

【0175】

項目３５．
上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、上記第５の関係（ｆ_１，ｆ_２）は付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第１の抵抗値と上記付加的な第２の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目３３〜３４のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0176】

項目３６
上記第５の関係はΔＲ_ＢＢ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＢＢ’は上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲ_ＢＢ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）又は上記付加的な距離を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目３５に記載の方法。

【0177】

項目３７．
上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、
上記第５の関係（ｆ_２，ｆ_３）は付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に付加的な第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第３の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記付加的な第３の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第３の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第３の電流及び上記付加的な第３の電圧に基づいて付加的な第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を計算するステップと、又はステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む上記変形例において、
（ｇ’）付加的な第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗値（Ｒ_Ｃ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第４の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の付加的な第４の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第４の電流及び上記付加的な第４の電圧に基づいて付加的な第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を計算するステップと、又はステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む上記変形例において、
（ｋ’）付加的な第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）として上記距離の上記決定から上記第４の抵抗値（Ｒ_Ｃ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第３の抵抗値と上記付加的な第４の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を計算するステップと、又はステップ（ｉ．ｘｉｉ）〜（ｉ．ｘｘ）を含む上記変形例において、
（ｌ’）上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗差（ΔＲ_ＣＣ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目３５〜３６のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0178】

項目３８．
上記第５の関係はΔＲ_ＣＣ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｂ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＣＣ’は上記付加的な第２の差（ΔＲ_ＣＣ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）又は上記付加的な距離を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目３７に記載の方法。

【0179】

項目３９．
上記電気的特性はホールシート抵抗（Ｒ_Ｈ）であり、上記第５の関係（ｆ_１）は付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値と上記付加的な第６の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目３３又は３４に記載の方法。

【0180】

項目４０．
上記第５の関係はΔＲ_ＡＡ’＝２Ｒ_Ｈ／π＊（ａｒｃｔａｎ（（ａ＋ｂ）／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（ａ／２ｙ）−ａｒｃｔａｎ（（ｂ＋ｃ）／２ｙ）＋ａｒｃｔａｎ（ｃ／２ｙ））に等価であり、ここで、ΔＲ_ＡＡ’は上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲ_ＡＡ’）を表し、ｙは上記距離（ｙ）又は上記付加的な距離を表し、ａは上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｂは上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、ｃは上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目３９に記載の方法。

【0181】

項目４１．
上記電気的特性はシート抵抗（Ｒ_０）であり、上記第５の関係（ｇ）は擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、
（ｋ）付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値（Ｒ_Ａ）及び上記付加的な第６の抵抗値（Ｒ_Ａ’）の第５の抵抗平均値

【数149】

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を計算するステップと、
（ｄ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、
（ｅ’’）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、
（ｆ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、
（ｇ’’）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を計算するステップ、又は
（ｇ’’’）付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）を保持するステップと、
（ｈ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ’’）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、
（ｊ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、
（ｋ’’）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’’’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）を保持するステップと、
（ｌ’’）上記付加的な第１の抵抗値（Ｒ_Ｂ）及び上記付加的な第２の抵抗値（Ｒ_Ｂ’）の第６の抵抗平均値

【数150】

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を計算するステップと、
（ｍ）上記第５の抵抗平均値

【数151】

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と、上記第６の抵抗平均値

【数152】

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と、上記擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）とをそれぞれ表す第１８のパラメータと、第１９のパラメータと、第２０のパラメータとを含む第６の関係を定義するステップと、
（ｎ）上記第６の関係において上記第１８のパラメータ及び上記第１９のパラメータとして上記第５の抵抗平均値

【数153】

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及び上記第６の抵抗平均値

【数154】

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をそれぞれ用いて、上記擬似シート抵抗（Ｒ_Ｐ）を決定するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目３３〜３４のうちのいずれか一項に記載の方法。

【0182】

項目４２．
上記第６の関係は

【数155】

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に等価であり、ここで、Ｒ_Ｐは上記擬似シート抵抗であり、

【数156】

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は上記第１の抵抗平均値であり、

【数157】

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は上記第２の抵抗平均値であることを特徴とする付加的な項目４１に記載の方法。

【0183】

項目４３．
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する装置であって、上記装置は、
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチ付加的ポイントプローブと、
付加的な項目１〜３２のうちのいずれか一項に記載の距離又は付加的な距離を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。

【0184】

項目４４．
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する装置であって、
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチ付加的ポイントプローブと、
付加的な項目３３〜４２のうちのいずれか一項に記載の試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。

【符号の説明】

【0185】

１２ 第２の接触要素
１４ 第３の接触要素
１６ 第４の接触要素
１８ プローブ本体
２０ 第１の接触要素の接触点
２２ 第２の接触要素の接触点
２４ 第３の接触要素の接触点
２６ 第４の接触要素の接触点
３０ 試験試料
３２ 面部
３３ 側面
３４ 電気的境界
３６ マルチポイントプローブ
４０ 共通線
４２ 線形部
４４ 電気的に非導通な面部
５０〜６２ 複数の接触要素
７０〜８２ 複数の接触点
９０ 共通線

【図1】

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【図2A】

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【図2B】

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【図2C】

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【図3A(1)】

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【図3A(2)】

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【図3B(1)】

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【図3B(2)】

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【図3C(1)】

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【図3C(2)】

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【図4A】

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【図4B】

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【図4C】

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【図5A】

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【図5B】

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【図5C】

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【図6】

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【図7A】

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【図7B】

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【図8A(1)】

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【図8A(2)】

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【図8A(3)】

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【図8A(4)】

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【図8B(1)】

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【図8B(2)】

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【図8B(3)】

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【図8B(4)】

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【図9】

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【図10】

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