特許 6013832 水晶振動素子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6013832

(24)【登録日】2016年9月30日

(45)【発行日】2016年10月25日

(54)【発明の名称】水晶振動素子

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/19 20060101AFI20161011BHJP

   H03H 9/215 20060101ALI20161011BHJP

【ＦＩ】

   H03H9/19 J

   H03H9/215

【請求項の数】2

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2012-185203(P2012-185203)

(22)【出願日】2012年8月24日

(65)【公開番号】特開2014-45255(P2014-45255A)

(43)【公開日】2014年3月13日

【審査請求日】2015年5月15日

(73)【特許権者】

【識別番号】000104722

【氏名又は名称】京セラクリスタルデバイス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100079164

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 勇

(72)【発明者】

【氏名】井上 憲司

【審査官】 鬼塚 由佳

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−０１５１０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３４５５１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１６３５６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２０６５９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１２／０５２２６７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００８−１９９２８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１９９５７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−１１２７６１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０３Ｈ ９／１９

Ｈ０３Ｈ ９／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基部と、この基部から延設された第一及び第二の振動腕部と、を備えた水晶振動素子において、
前記第一及び第二の振動腕部はそれぞれ、前記基部の中心線に対して非平行かつ互いに対称に前記基部から延びてから、前記中心線に対して平行な同一方向へ曲がる形状であり、
前記第一の振動腕部は基端側の第一の非平行領域と先端側の第一の平行領域とを有し、前記第二の振動腕部は基端側の第二の非平行領域と先端側の第二の平行領域とを有し、
前記第一及び第二の非平行領域はそれぞれ、前記中心線に対して非平行かつ互いに対称に前記基部から延設された領域であり、
前記第一及び第二の平行領域はそれぞれ、前記同一方向に前記第一及び第二の非平行領域から延設された領域であり、
前記第一の非平行領域は、前記第一平行領域の延設方向から反時計回りに鈍角となる方向へ延びる形状であり、
前記第二の非平行領域は、前記第二の平行領域の延設方向から時計回りに鈍角となる方向へ延びる形状である、
ことを特徴とする水晶振動素子。

【請求項2】

前記基部は、前記第一の振動腕部が設けられた第一辺と、この第一辺に対向するとともに前記第二の振動腕部が設けられた第二辺と、前記第一辺と前記第二辺とに挟まれ互いに対向する第三辺及び第四辺と、を有する四角形状である、
請求項１記載の水晶振動素子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば基準信号源やクロック信号源に用いられる水晶振動素子に関する。以下、水晶振動素子の一例として、音叉型屈曲水晶振動素子（以下「振動素子」と略称する。）について説明する。

【背景技術】

【0002】

図７は、関連技術１の振動素子を示す平面図である。以下、この図面に基づき説明する。

【0003】

本関連技術１の振動素子９００は、基部９１１と、基部９１１から平行に伸びる一対の振動腕部９１２ａ，９１２ｂと、を備えている。振動腕部９１２ａ，９１２ｂには、それぞれ溝部９１３ａ，９１３ｂが形成されている。

【0004】

振動腕部９１２ａ，９１２ｂの側面と溝部９１３ａ，９１３ｂとには、励振電極９２１ａ，９２１ｂが形成されている。基部９１１には、二つの電極パッド９２２ａ，９２２ｂが形成されている。電極パッド９２２ａ，９２２ｂは、互いに絶縁されるように、分離された状態で配置されている。振動腕部９１２ａの側面及び振動腕部９１２ｂの溝部９１３ｂに形成された励振電極９２１ａと、基部９１１に形成された電極パッド９２２ａとは、同じ極性同士になるように配線及び接続されている。振動腕部９１２ｂの側面及び振動腕部９１２ａの溝部９１３ａに形成された励振電極９２１ｂと、基部９１１に形成された電極パッド９２２ｂとは、同じ極性同士になるように配線及び接続されている。

【0005】

電極パッド９２２ａ，９２２ｂは、図示を略すが、パッケージ側の電極パッドに導電性接着剤を介して固定されると同時に電気的に接続される。電極パッド９２２ａ，９２２ｂに交番電圧が印加されると、発生した電界により振動腕部９１２ａ，９１２ｂに伸縮が生じ、これにより振動素子９００に所定の共振周波数の屈曲振動が生じる。

【0006】

振動素子９００は、例えば携帯電話などの電子機器において、同期信号源として用いられている。近年の電子機器の小型化に伴い、そこに使われる振動素子９００にも小型化が求められている。振動素子９００の小型化にあたっては、振動素子９００の全長（長手方向の長さ）すなわち基部９１１又は振動腕部９１２ａ，９１２ｂの長さを短くする必要がある。

【0007】

基部９１１の長さを短くすると、振動腕部９１２ａ，９１２ｂからの振動が、基部９１１内で十分に吸収されず、基部９１１の固定部分を介して、外部のパッケージなどに漏れてしまう問題（以下「振動漏れ」という。）が発生する。この振動漏れは、振動エネルギの損失となるため、振動素子９００に重要な特性値であるＣＩ（Crystal Impedance）を劣化すなわち増加させる要因となる。

【0008】

また、振動腕部９１２ａ，９１２ｂの長さＬを短くすると、次式から明らかなように、所定の振動周波数ｆを得るために振動腕部９１２ａ，９１２ｂの幅Ｗを狭くする必要がある。そのため、幅Ｗを狭くすることにより、製造が困難になる、特性が劣化する等の問題を引き起こす。
ｆ＝Ｃ（Ｗ／Ｌ^２） ここで、Ｃは定数である。

【0009】

一方、特許文献１、２には、振動腕部をＵ字状に折り曲げることにより、基部を短くすることなく、かつ振動腕部の実質的な長さを短くすることなく、全長を短くできる振動素子が開示されている（以下「関連技術２」という。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２００８−１９９２８３号公報

【特許文献2】特開平０６−１１２７６１号公報

【特許文献3】特開２０１１−１５１５６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

しかしながら、関連技術２の振動素子は、その全長を短くできるものの、振動素子の先端において振動腕部を折り曲げる構造であるため、次のような問題があった。なお、振動素子の先端とは、その長手方向の振動腕部側の端をいうものとする。

【0012】

振動素子の先端で振動腕部が二重になっていることにより、振動素子の先端の重量が大きい。そのため、振動素子が落下などの衝撃を受けた場合に、振動腕部と基部との接続部分が破損しやすいなど、耐衝撃性が低下する。また、振動腕部の重心が振動素子の先端側にあるため、不要な振動が生じてＣＩが増大したり、実装時に振動素子の先端がパッケージの底面に接触してＣＩが増大したりする可能性がある。

【0013】

そこで、本発明の目的は、振動腕部を折り曲げて振動素子の全長を短くした場合の諸問題を解決する、振動素子を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明に係る振動素子は、
基部と、この基部から延設された第一及び第二の振動腕部と、を備えた振動素子において、
前記第一及び第二の振動腕部はそれぞれ、前記基部の中心線に対して非平行かつ互いに対称に前記基部から延びてから、前記中心線に対して平行な同一方向へ曲がる形状であり、
前記第一の振動腕部は基端側の第一の非平行領域と先端側の第一の平行領域とを有し、前記第二の振動腕部は基端側の第二の非平行領域と先端側の第二の平行領域とを有し、
前記第一及び第二の非平行領域はそれぞれ、前記中心線に対して非平行かつ互いに対称に前記基部から延設された領域であり、
前記第一及び第二の平行領域はそれぞれ、前記同一方向に前記第一及び第二の非平行領域から延設された領域であり、
前記第一の非平行領域は、前記第一平行領域の延設方向から反時計回りに鈍角となる方向へ延びる形状であり、
前記第二の非平行領域は、前記第二の平行領域の延設方向から時計回りに鈍角となる方向へ延びる形状である、
ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、振動腕部の基端側において振動腕部を折り曲げる構造であることにより、振動素子の全長を短くできるとともに、関連技術２に比べて振動素子の先端側を軽量化できるので、振動腕部と基部との接続部分における耐衝撃性を向上できる。また、関連技術２に比べて振動腕部の重心が基部側にあるため、不要な振動が生じてＣＩが増大したり、実装時に振動素子の先端がパッケージの底面に接触してＣＩが増大したりする可能性を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】実施形態１の振動素子を示す平面図である。

【図2】図１におけるII−II線縦断面図である。

【図3】図１の振動素子の寸法例を示す平面図である。

【図4】実施形態２の振動素子を示す平面図である。

【図5】実施形態３の振動素子を示す平面図である。

【図6】実施形態４の振動素子を示す平面図である。

【図7】関連技術１の振動素子を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という。）について説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については同一の符号を用いる。図面に描かれた形状は、当業者が理解しやすいように描かれているため、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致していない。

【0018】

図１は、実施形態１の振動素子の平面図である。図２は、図１におけるII−II線縦断面図である。以下、図１及び図２に基づき説明する。「第一」、「第二」等の序数詞は、符号に置き換えることで、適宜省略する。

【0019】

本実施形態１の振動素子１０は、基部１１と、基部１１から延設された第一の振動腕部１２ａ及び第二の振動腕部１２ｂと、を備えている。振動腕部１２ａ，１２ｂはそれぞれ、基部１１から互いに異なる方向１００ａ，１００ｂへ延びてから、同一方向（方向１００）へ曲がる形状である。

【0020】

例えば、振動腕部１２ａ，１２ｂはそれぞれ、基部１１の中心線１１０に対して非平行かつ互いに対称に基部１１から延びてから、中心線１１０に対して平行な同一方向（方向１００）へ曲がる形状である。

【0021】

より具体的に言えば、振動腕部１２ａは基端側の第一の非平行領域１２１ａと先端側の第一の平行領域１２２ａとを有し、振動腕部１２ｂは基端側の第二の非平行領域１２１ｂと先端側の第二の平行領域１２２ｂとを有する。非平行領域１２１ａ，１２１ｂはそれぞれ、中心線１１０に対して非平行かつ互いに対称に基部１１から延設された領域である。平行領域１２２ａ，１２２ｂはそれぞれ、同一方向（方向１００）に非平行領域１２１ａ，１２１ｂから延設された領域である。非平行領域１２１ａと平行領域１２２ａとの境界領域及び非平行領域１２１ｂと平行領域１２２ｂとの境界領域を、それぞれ折り曲げ領域１２３ａ，１２３ｂと呼ぶ。

【0022】

非平行領域１２１ａは、平行領域１２２ａの延設方向（方向１００）から反時計回りに鈍角となる方向１００ａへ延びる形状である。非平行領域１２１ｂは、平行領域１２２ｂの延設方向（方向１００）から時計回りに鈍角となる方向１００ａへ延びる形状である。非平行領域１２１ａ，１２１ｂは、本実施形態１では直線状であるが、曲線状、折れ線状などとしてもよい。

【0023】

基部１１は、振動腕部１２ａが設けられた第一辺１１１と、第一辺１１１に対向するとともに振動腕部１２ｂが設けられた第二辺１１２と、第一辺１１１と第二辺１１２とに挟まれ互いに対向する第三辺１１３及び第四辺１１４と、を有する四角形状である。

【0024】

次に、振動素子１０の構成について更に詳しく説明する。

【0025】

図１及び図２に示すように、振動素子１０は、水晶振動片１５と、水晶振動片１５に設けられた励振電極２１ａ，２１ｂ、電極パッド２２ａ，２２ｂ及び周波数調整用金属膜２３ａ，２３ｂとから、主に構成されている。

【0026】

水晶振動片１５は、音叉形状となっており、基部１１と、基部１１から延設された二本一対の振動腕部１２ａ，１２ｂと、基部１１の第一辺１１１の一部及び第二辺１１２の一部から延設された、電極パッド２２ａ，２２ｂが設けられる部分と、により概略構成される。振動腕部１２ａ，１２ｂには、水晶を挟んで対向する平面同士に同極となるように励振電極２１ａ，２１ｂがそれぞれ設けられている。

【0027】

図２に基づき詳しく説明すると、振動腕部１２ａには、水晶を挟んで対向する平面同士が同極となるように、両側面に励振電極２１ａが設けられ、表裏面の溝部１３ａに励振電極２１ｂが設けられる。同様に、振動腕部１２ｂには、水晶を挟んで対向する平面同士に同極となるように、両側面に励振電極２１ｂが設けられ、表裏面の溝部１３ｂに励振電極２１ａが設けられる。したがって、振動腕部１２ａにおいては両側面に設けられた励振電極２１ａと溝部１３ａ内に設けられた励振電極２１ｂが異極同士となり、振動腕部１２ｂにおいては両側面に設けられた励振電極２１ｂと溝部１３ｂ内に設けられた励振電極２１ａが異極同士となる。このとき、振動腕部１２ａにおいては両側面の励振電極２１ａと溝部１３ａ内の励振電極２１ｂが平行平板電極となり、それらの電極間で大きな電界強度が得られる。振動腕部１２ｂにおいても同様である。

【0028】

基部１１は、平面視略四角形の平板となっている。振動腕部１２ａ，１２ｂはそれぞれ、基部１１の第一辺１１１及び第二辺１１２から互いに異なる方向へ延設されてから同一方向に延設されている。水晶振動片１５は、基部１１と振動腕部１２ａ，１２ｂとが一体となって音叉形状をなしており、例えば成膜技術、フォトリソグラフィ技術、化学エッチング技術により製造される。

【0029】

振動腕部１２ａ，１２ｂの長手方向には、それぞれ溝部１３ａ，１３ｂが設けられている。溝部１３ａ，１３ｂの本数は、特に制限はなく、例えば振動腕部１２ａの表裏面に二本ずつ及び振動腕部１２ｂの表裏面に二本ずつ設けてもよいし、振動腕部１２ａの表裏面に一本ずつ及び振動腕部１２ｂの表裏面に一本ずつ設けてもよい。なお、溝部１３ａ，１３ｂは、振動腕部１２ａの表裏面のどちらか一方にのみ設けてもよいし、振動腕部１２ｂの表裏面のどちらか一方にのみ設けてもよいし、また、平行領域１２２ａ，１２２ｂに加え又はこれに代えて非平行領域１２１ａ，１２１ｂに設けてもよい。

【0030】

励振電極２１ａは、振動腕部１２ａの両側面及び振動腕部１２ｂの表裏面の溝部１３ａに設けられている。励振電極２１ｂは、振動腕部１２ｂの両側面及び振動腕部１２ａの表裏面の溝部１３ｂに設けられている。

【0031】

基部１１の第一辺１１１の一部及び第二辺１１２の一部から延設された水晶振動片１５上には、それぞれ電極パッド２２ａ，２２ｂが設けられる。励振電極２１ａ、電極パッド２２ａ及び周波数調整用金属膜２３ａは互いに電気的に導通し、励振電極２１ｂ、電極パッド２２ｂ及び周波数調整用金属膜２３ｂも互いに電気的に導通している。

【0032】

励振電極２１ａ，２１ｂ、電極パッド２２ａ，２２ｂ及び周波数調整用金属膜２３ａ，２３ｂは、例えば成膜技術、フォトリソグラフィ技術、エッチング技術により形成され、例えばＴｉ層の上にＰｄ又はＡｕ層が設けられた積層構造となっている。

【0033】

振動素子１０は、電極パッド２２ａ，２２ｂを介して、図示しないが、導電性接着剤によって素子搭載部材側の電極パッドに固定されると同時に電気的に接続される。

【0034】

振動素子１０を動作させるには、電極パッド２２ａ，２２ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的に捉えると、振動腕部１２ａの表裏面の溝部１３ａ内に設けられた励振電極２１ｂはプラス電位となり、振動腕部１２ａの両側面に設けられた励振電極２１ａはマイナス電位となり、互いに対向する励振電極２１ｂと励振電極２１ａとの間でプラスからマイナスに電界が生じる。このとき、振動腕部１２ｂの表裏面の溝部１３ｂ内に設けられた励振電極２１ａはマイナス電位となり、振動腕部１２ｂの両側面に設けられた励振電極２１ｂはプラス電位となり、振動腕部１２ａに生じた極性とは反対の極性となり、互いに対向する励振電極２１ｂと励振電極２１ａとの間でプラスからマイナスに電界が生じる。この交番電圧で生じた電界によって、振動腕部１２ａ，１２ｂに伸縮現象が生じ、振動腕部１２ａ，１２ｂの形状で設定された共振周波数の屈曲振動モードが得られる。

【0035】

次に、振動素子１０の作用及び効果について説明する。

【0036】

（１）振動腕部１２ａ，１２ｂの基端（付け根）側において振動腕部１２ａ，１２ｂを折り曲げる構造を採用したことにより、振動素子１０の全長を短くできるとともに、関連技術２に比べて振動素子１０の先端側を軽量化できるので、振動腕部１２ａ，１２ｂと基部１１との接続部分における耐衝撃性を向上できる。また、関連技術２に比べて振動腕部１２ａ，１２ｂの重心が基部１１側にあるため、不要な振動が生じてＣＩが増大したり、実装時に振動素子１０の先端がパッケージの底面に接触してＣＩが増大したりする可能性を抑制できる。

【0037】

（２）振動腕部１２ａ，１２ｂの基端側において振動腕部１２ａ，１２ｂを折り曲げる構造を採用したことにより、振動腕部１２ａ，１２ｂの基端を中心とする振動に、振動腕部１２ａ，１２ｂの折り曲げ領域１２３ａ，１２３ｂを中心とする振動も加わることにより、振動効率が向上するのでＣＩを低減できる。

【0038】

（３）非平行領域１２１ａの延設方向は、平行領域１２２ａの延設方向（方向１００）から反時計回りに鋭角又は直角にしてもよいが、図示するように反時計回りに鈍角とすることが好ましい。非平行領域１２１ｂの延設方向は、平行領域１２２ｂの延設方向（方向１００）から時計回りに鋭角又は直角にしてもよいが、図示するように時計回りに鈍角とすることが好ましい。その理由は、振動素子１０の全長を一定としたとき、折り曲げ領域１２３ａ，１２３ｂを振動素子１０の基端側へ位置付けることができるので、振動素子１０の全長をそのままにして平行領域１２２ａ，１２２ｂの長さすなわち振動腕部１２ａ，１２ｂの長さを伸ばすことができるからである。なお、振動素子１０の基端とは、その長手方向の基部１１側の端をいうものとする。

【0039】

（４）振動腕部１２ａ、１２ｂを基部１１の第一辺１１１及び第二辺１１２に設けることにより、振動腕部１２ａ，１２ｂの長さを伸ばすことができる。その理由は、振動腕部１２ａ、１２ｂを基部１１の第三辺１１３に設ける従来構造（例えば図７参照）に比べて、非平行領域１２１ａ，１２１ｂの基端（付け根）を振動素子１０の基端側へ位置付けることができるからでる。

【0040】

次に、図面の上下左右を使って、振動素子１０について説明する。

【0041】

本実施形態１では、基部１１の左右それぞれの端面（第一辺１１１及び第二辺１１２）から斜め下側に振動腕部１２ａ，１２ｂを延出し、折り曲げ領域１２３ａ，１２３ｂで延出する方向を反転し、上方向に振動腕部１２ａ，１２ｂを延出する。本実施形態１によれば、振動素子１０の全長を変更することなく、実効的に振動腕部１２ａ，１２ｂの長さを長くすることができる。振動腕部１２ａの長さは概ね非平行領域１２１ａの長さと平行領域１２２ａの長さとの和であり、同様に、振動腕部１２ｂの長さは概ね非平行領域１２１ｂの長さと平行領域１２２ｂの長さとの和である。その結果、振動素子１０の全長を従来構造の振動素子と同じにしても、従来構造の振動素子よりも振動周波数を下げることができる。言い換えると、振動周波数が同じであれば、振動素子１０の全長を従来構造の振動素子よりも短くすることができる。

【0042】

また、振動腕部１２ａ，１２ｂは、基部１１の側面から斜め下方向に延び、その後折り返して、基部１１の長さ方向に延びている。これにより、振動腕部１２ａ，１２ｂに略Ｖ字状又は略Ｕ字状の折り曲げ領域１２３ａ，１２３ｂが形成される。この折り曲げ領域１２３ａ，１２３ｂがあることにより、振動腕部１２ａ，１２ｂが左右に振動しやすくなくなるので、振動素子１０のＣＩを低減することができる。

【0043】

図３は、図１の振動素子の寸法例を示す平面図である。以下、図１乃至図３に基づき、振動素子１０の寸法例について説明する。

【0044】

振動素子１０は、例えば４０ｋＨｚ付近で共振するように設計され、全長が約１．１６７８ｍｍ程度と小型化に対応している。振動素子１０の厚みは、使用する水晶ウェハの厚みと同程度であり、例えば０．ｌｍｍとなっている。ここでは、振動素子１０の長手方向を「長さ」、短手方向を「幅」とする。

【0045】

振動腕部１２ａ，１２ｂの平行領域１２２ａ，１２２ｂにおいて、長さ６１が０．９６ｌｍｍ、幅６２が０．０４８６ｍｍ、間隔６３が０．２７６ｍｍである。基部１１及び電極パッド２２ａ，２２ｂの領域は、全体の長さ６４が０．２７６ｍｍ、側面の長さ６５が０．２０８ｍｍ、幅６６が０．３４７ｍｍである。基部１１の第三辺１１３の幅６７は０．１０６ｍｍ、第三辺１１３と平行領域１２２ａ，１２２ｂとの距離６８は０．０６０８ｍｍである。電極パッド２２ａ，２２ｂは、側面の長さ６９が０．１０４ｍｍ、基部１１側の長さ７０が０．０７５ｍｍである。電極パッド２２ａ，２２ｂと非平行領域１２１ａ，１２１ｂとは、側面での距離７１が０．０４９ｍｍ、基部１１側での距離７２が０．１０８ｍｍである。非平行領域１２１ａ，１２２ｂは、側面での長さ７３が０．０５４ｍｍ、基部１１との角度７４が６３°、平行領域１２２ａ，１２２ｂとの角度７５が６３°である。

【0046】

このとき、振動素子１０は、振動周波数が３６ｋＨｚ、ＣＩが６０ｋΩであった。一方、基部の長さが０．２０８ｍｍ、全長が１．１６７８ｍｍである関連技術１の振動素子（図７参照）は、振動周波数が４ｌｋＨｚ、ＣＩが８５ｋΩであった。このように、振動素子１０によれば、同じ大きさの関連技術１の振動素子に比べて、振動周波数を５ｋＨｚ程度低減でき、ＣＩを２５ｋΩ程度低減できた。振動周波数を低減できた理由は、振動腕部１２ａ，１２ｂの基端側において振動腕部１２ａ，１２ｂを折り曲げる構造を採用したことにより、振動腕部１２ａ，１２ｂが実質的に長くなったためである。ＣＩを低減できた理由は、振動腕部１２ａ，１２ｂの基端側において振動腕部１２ａ，１２ｂを折り曲げる構造を採用したことにより、振動腕部１２ａ，１２ｂが変形しやすくなったためである。

【0047】

図４は、実施形態２の振動素子の平面図である。以下、図４に基づき説明する。

【0048】

本実施形態２の振動素子３０は、基部３１及びスリット３４が実施形態１と異なる。基部３１は、実施形態１と同様に、振動腕部１２ａが設けられた第一辺３１１と、第一辺３１１に対向するとともに振動腕部１２ｂが設けられた第二辺３１２と、第一辺３１１と第二辺３１２とに挟まれ互いに対向する第三辺３１３及び第四辺３１４と、を有する四角形状である。ただし、基部３１は、実施形態１に比べて、振動腕部１２ａ，１２ｂの延設方向（方向１００）側に突き出している。そして、延設方向（方向１００）側の第三辺３１３には、延設方向（方向１００）に沿ってスリット３４が設けられている。スリット３４は、基部３１の厚み方向に貫通している。

【0049】

本実施形態２では、スパッタ技術及びフォトリソグラフィ技術を用いたリフトオフ法によって、振動腕部１２ａ，１２ｂに励振電極２１ａ，２１ｂを形成する。このとき、スリット３４は、振動腕部１２ａの側面の励振電極２１ａと振動腕部１２ｂの側面の励振電極２１ｂとを切り離す役割を果たす（特許文献３参照）。また、スリット３４は、振動腕部１２ａ，１２よりも延設方向（方向１００）側の基部３１の剛性を下げて、振動変位を更に容易にする効果がある。

【0050】

本実施形態２の他の構成は、実施形態２と同様である。本実施形態２のような構成にしても、実施形態１と同様の作用及び効果を奏する。

【0051】

図５は、実施形態３の振動素子の平面図である。以下、図５に基づき説明する。

【0052】

本実施形態３の振動素子４０は、電極パッド４２ａ，４２ｂの形状が実施形態１と異なる。電極パッド４２ａ，４２ｂは、実施形態１に比べて、それぞれ振動素子４０の外側の方向４００ａ，４００ｂへ大きく延びている。そのため、振動素子４０によれば、素子搭載部材との接着面積が増加するため、耐衝撃性をより向上できる。

【0053】

本実施形態３の他の構成は、実施形態１と同様である。本実施形態３のような構成にしても、実施形態１と同様の作用及び効果を奏する。

【0054】

図６は、実施形態４の振動素子の平面図である。以下、図６に基づき説明する。

【0055】

本実施形態４の振動素子５０は、電極パッド４２ａ，４２ｂ，５２の形状が実施形態１と異なる。電極パッド４２ａ，４２ｂは、実施形態３と同じである。電極パッド５２は、電極パッド４２ａの先端から、更に振動腕部１２ａ，１２ｂの延設方向（方向１００）へ大きく延びている。そのため、振動素子５０によれば、素子搭載部材との接着面積が更に増加するとともに、振動素子５０の先端に加わる力を電極パッド５２へ分散できるので、耐衝撃性を更に向上できる。

【0056】

本実施形態４の他の構成は、実施形態１と同様である。本実施形態４のような構成にしても、実施形態１と同様の作用及び効果を奏する。

【0057】

以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記各実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。

【符号の説明】

【0058】

１０ 振動素子
１００，１００ａ，１００ｂ 方向
１１ 基部
１１０ 中心線
１１１ 第一辺
１１２ 第二辺
１１３ 第三辺
１１４ 第四辺
１２ａ 振動腕部
１２１ａ 非平行領域
１２２ａ 平行領域
１２３ａ 折り曲げ領域
１２ｂ 振動腕部
１２１ｂ 非平行領域
１２２ｂ 平行領域
１２３ｂ 折り曲げ領域
１３ａ，１３ｂ 溝部
１５ 水晶振動片
２１ａ，２１ｂ 励振電極
２２ａ，２２ｂ 電極パッド
２３ａ，２３ｂ 周波数調整用金属膜
３０ 振動素子
３１ 基部
３１１ 第一辺
３１２ 第二辺
３１３ 第三辺
３１４ 第四辺
３４ スリット
４０ 振動素子
４００ａ，４００ｂ 方向
４２ａ，４２ｂ 電極パッド
５０ 振動素子
５２ 電極パッド
６１，６４，６５，６９，７０，７３ 長さ
６２，６６，６７ 幅
６３ 間隔
６８，７１，７２ 距離
７４，７５ 角度
９００ 振動素子
９１１ 基部
９１２ａ，９１２ｂ 振動腕部
９１３ａ，９１３ｂ 溝部
９２１ａ，９２１ｂ 励振電極
９２２ａ，９２２ｂ 電極パッド
Ｌ 長さ
Ｗ 幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】