特許6014292液状前駆体供給装置

発明の名称　液状前駆体供給装置

出願人　韓国生産技術研究院　（識別番号 595025084）

　　　　特許公開件数ランキング 30110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24267 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6014292

公報発行日　2016年10月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6014292

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