特許 6014482 挟持対象物の挟持装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6014482

(24)【登録日】2016年9月30日

(45)【発行日】2016年10月25日

(54)【発明の名称】挟持対象物の挟持装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20161011BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20161011BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/66 B

   H01L21/68 N

【請求項の数】8

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2012-272465(P2012-272465)

(22)【出願日】2012年12月13日

(65)【公開番号】特開2014-120517(P2014-120517A)

(43)【公開日】2014年6月30日

【審査請求日】2015年10月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100095452

【弁理士】

【氏名又は名称】石井 博樹

(72)【発明者】

【氏名】奈良 陽介

(72)【発明者】

【氏名】古川 一也

(72)【発明者】

【氏名】井手 努

【審査官】 堀江 義隆

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６３−２７８６０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０９１５７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１９２７４７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７ − ２１／６８３

Ｇ０１Ｒ １／０６ − １／０７３

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

Ｂ６５Ｇ ４９／０６ − ４９／０７

Ｂ６５Ｈ １５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに接離可能な第１の支持部材と第２の支持部材とを備え、両支持部材が接近することで挟持対象物を挟持する挟持装置であって、
前記第１の支持部材は、該第１の支持部材に回動支点を有して、前記第２の支持部材と対向する側に回動可能に取り付けられた第１の厚み吸収部材を備え、
前記第２の支持部材は、該第２の支持部材に回動支点を有して、前記第１の支持部材と対向する側に回動可能に取り付けられた第２の厚み吸収部材を備え、
前記第１の厚み吸収部材の自由端を対向する前記第２の支持部材に向かう方向へ弾性力により付勢する第１付勢部材と、
前記第２の厚み吸収部材の自由端を対向する前記第１の支持部材に向かう方向へ弾性力により付勢する第２付勢部材と、
を備え、
前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材の各回動支点及び自由端が点対称に配置され、
前記第１の厚み吸収部材と前記第２の厚み吸収部材とは、前記挟持対象物を前記弾性力により押圧して挟持する、ことを特徴とする挟持装置。

【請求項2】

請求項１に記載の挟持装置において、前記第１付勢部材は、前記第１の厚み吸収部材を
前記回動の半径方向外側へと付勢し、
前記第２付勢部材は、前記第２の厚み吸収部材を前記回動の半径方向外側へと付勢する、
ことを特徴とする挟持装置。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載の挟持装置において、前記第１付勢部材は、一端が前記第１の厚み吸収部材の自由端に接続され、他端が第１の支持部材において前記第１の厚み吸収部材の自由端より前記回動の半径方向外側の位置で前記第１の支持部材と接続され、
前記第２付勢部材は、一端が前記第２の厚み吸収部材の自由端に接続され、他端が第２の支持部材において前記第２の厚み吸収部材の自由端より前記回動の半径方向外側の位置で前記第２の支持部材と接続され、
前記第１付勢部材の一端は、前記第１の支持部材における前記第２の支持部材と対向する側と反対の側に位置し、
前記第２付勢部材の一端は、前記第２の支持部材における前記第１の支持部材と対向する側と反対の側に位置している、
ことを特徴とする挟持装置。

【請求項4】

請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の挟持装置において、前記第１の厚み吸収部材の回動支点は前記第１の支持部材に対して接離する方向に移動可能に構成され、
前記第２の厚み吸収部材の回動支点は前記第２の支持部材に対して接離する方向に移動可能に構成されている、
ことを特徴とする挟持装置。

【請求項5】

互いに接離可能な第１の支持部材と第２の支持部材とを備え、両支持部材が接近することで挟持対象物を挟持する挟持装置であって、
前記第１の支持部材は、該第１の支持部材に該第１の支持部材に向かって移動可能な回動支点を有して、前記第２の支持部材と対向する側に回動可能に取り付けられる第１の厚み吸収部材を備え、
前記第２の支持部材は、該第２の支持部材に該第２の支持部材に向かって移動可能な回動支点を有して、前記第１の支持部材と対向する側に回動可能に取り付けられる第２の厚み吸収部材を備え、
前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材は、前記回動支点の両側に自由端を備え、
前記第１の支持部材に対して回動する前記第１の厚み吸収部材の前記自由端を対向する前記第２の支持部材に向かう方向へ弾性力により付勢する第１付勢部材と、
前記第２の支持部材に対して回動する前記第２の厚み吸収部材の前記自由端を対向する前記第１の支持部材に向かう方向へ弾性力により付勢する第２付勢部材と、
を備え、
前記第１の厚み吸収部材と前記第２の厚み吸収部材とは、前記挟持対象物を前記弾性力により押圧して挟持する、ことを特徴とする挟持装置。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の挟持装置において、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材とは、一方が他方に対して回動することにより接離方向に変位すること、
を特徴とする挟持装置。

【請求項7】

請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の挟持装置において、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材とは、枠状体であり、互いに対向する一対の辺にそれぞれ前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材を備えている、
ことを特徴とする挟持装置。

【請求項8】

請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の挟持装置において、前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材は、互いに対向する面に前記挟持対象物を保持するための滑り止め部が設けられている、
ことを特徴とする挟持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、一対の対向する支持部材により挟持対象物を挟持する挟持装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体等の被検査体と電気的に接続して通電試験等を行う検査装置がある。この検査装置には、一方の面に前記被検査体の電極と接触する複数のプローブが設けられたプローブカードが前記一方の面を重力方向下方に向けて着脱可能に取り付けられている。

【0003】

この検査装置では、被検査体への検査を複数回繰り返すことにより、前記プローブカードのプローブが磨耗し、前記被検査体の電極と接触しなくなり、前記通電試験が行えなくなることがある。このため、前記プローブカードを前記検査装置から取り外し、前記プローブの修理、交換等のメンテナンス作業を行う必要がある。

【0004】

前記検査装置から前記プローブカードを取り外した状態では、前記プローブカードの一方の側は重力方向下方に向いている。このため、この状態における前記プローブカードのメンテナンス作業は、作業者がプローブカードの下方に位置して行う必要があり、作業性に劣る。したがって、前記プローブカードを前記検査装置から取り外した状態すなわちプローブカードの一方の面が重力方向下方に向いている状態から前記一方の面が重力方向上方に向いている状態に、プローブカードを反転させる必要がある。

【0005】

しかし、前記プローブカードの重量は数ｋｇから数１０ｋｇの重さであり、前記プローブカードすなわち挟持対象物が重すぎて当該挟持対象物を直接作業者の手により反転させることは容易ではない。このため、挟持対象物を挟持して当該の一方の面を重力方向下方に向いた状態から重力方向上方に向いた状態に前記挟持対象物を反転させることができる挟持装置がある（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００８−１９２７４７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

この挟持装置を図８に例示すると、挟持装置１２０は、ヒンジ１２２で連結された一対の支持部材１２４、１２６を備えている。挟持装置１２０において、一方の支持部材１２４は他方の支持部材１２６に対して接離する方向に回動可能に構成されている。このため、挟持装置１２０では、他方の支持部材１２６の上に挟持対象物１２８を載置し、一方の支持部材１２４を挟持対象物１２８に接近するように回動させて、両支持部材１２４、１２６により挟持対象物１２８を挟持する。挟持装置１２０は、挟持対象物１２８を両支持部材１２４、１２６に挟持させた状態で、ヒンジ１２２に設けられた回転軸１３０の回りを回動可能に構成されている。

【0008】

挟持装置１２０では、一方の支持部材１２４の支持面１２４ａと他方の支持部材１２６の支持面１２６ａとが互いに対向し平行状態にある際、挟持対象物１２８の一方の面１２８ａ及び他方の面１２８ｂがそれぞれ支持面１２４ａ、１２６ａと面接触する。このため、両支持部材１２４、１２６のそれぞれが挟持対象物１２８と面接触して該挟持対象物１２８を挟持する。尚、この状態において、挟持対象物の厚さｔ１と、互いに対向し平行状態にある支持面１２４ａと支持面１２６ａとの間の距離Ｌは一致している。

【0009】

ところで、前記検査装置において被検査体の検査に用いられるプローブカードは、被検査体の種類に応じて、その大きさ、重さ、厚さ等が異なる。このため、挟持装置１２０において、挟持する挟持対象物１２８の厚さがｔ１以外の場合がある。

【0010】

例えば、図９（Ａ）に示すように、挟持対象物１２８の厚さがｔ１より厚いｔ２である際、厚さｔ２は、互いに対向し平行状態にある支持面１２４ａ及び支持面１２６ａ間の距離Ｌよりも大きい。このため、挟持対象物１２８は他方の支持部材１２６と面接触するが、一方の支持部材１２４とは面接触しない。この場合、一方の支持部材１２４の支持面１２４ａは、挟持対象物１２８の一方の面１２８ａにおいて−Ｘ方向側の端部１３２と接触する。

【0011】

これにより、挟持対象物１２８を挟持するために一方の支持部材１２４を支持面１２４ａと端部１３２とが接触した状態から他方の支持部材１２６に向けてさらに回動させると、挟持対象物１２８には、当該挟持対象物１２８を両支持部材１２４、１２６の間から回動の半径方向外側へ押し出そうとする力が作用する。このため、挟持対象物１２８は支持面１２４ａと支持面１２６ａとの間で回動半径方向外側へと変位する。その結果、両支持部材１２４、１２６は挟持対象物１２８を挟持することができない。

【0012】

また、図９（Ｂ）に示すように、挟持対象物１２８の厚さがｔ１より薄いｔ３である際、厚さｔ３は、互いに対向し平行状態にある支持面１２４ａ及び支持面１２６ａ間の距離Ｌよりも小さい。このため、挟持対象物１２８は他方の支持部材１２６と面接触するが、一方の支持部材１２４とは面接触しない。この場合、一方の支持部材１２４の支持面１２４ａは、挟持対象物１２８の一方の面１２８ａにおいてＸ方向側の端部１３４と接触する。

【0013】

このため、挟持対象物１２８を挟持するために一方の支持部材１２４を支持面１２４ａと端部１３４とが接触した状態から他方の支持部材１２６に向けてさらに回動させると、挟持対象物１２８には、挟持対象物１２８を両支持部材１２４、１２６の間から回動の半径方向内側へ押し込もうとする力が作用する。このため、挟持対象物１２８は支持面１２４ａと支持面１２６ａとの間で回動半径方向内側へと変位する。

【0014】

その結果、挟持対象物１２８は回動半径方向においてヒンジ１２２に押し付けられた状態となる。この状態では、挟持対象物１２８を両支持部材１２４、１２６により挟持することができるが、挟持対象物１２８のＸ方向側の端部１３４に一方の支持部材１２４による押圧力が局所的に作用することから挟持対象物１２８を破損させる虞がある。

【0015】

したがって、挟持装置１２０は、厚さの異なる挟持対象物を挟持することができない、あるいは、挟持できたとしても挟持対象物を破損させる虞がある。

【0016】

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、厚さの異なる挟持対象物を破損させることなく挟持することのできる挟持装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0017】

上記課題を解決するために本発明の一つの態様に係る狭持装置は、互いに接離可能な第１の支持部材と第２の支持部材とを備え、両支持部材が接近することで挟持対象物を挟持する挟持装置であって、前記第１の支持部材は、該第１の支持部材に回動支点を有して、前記第２の支持部材と対向する側に回動可能に取り付けられた第１の厚み吸収部材を備え、前記第２の支持部材は、該第２の支持部材に回動支点を有して、前記第１の支持部材と対向する側に回動可能に取り付けられた第２の厚み吸収部材を備え、前記第１の厚み吸収部材の自由端を対向する前記第２の支持部材に向かう方向へ弾性力により付勢する第１付勢部材と、前記第２の厚み吸収部材の自由端を対向する前記第１の支持部材に向かう方向へ弾性力により付勢する第２付勢部材と、を備え、前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材の各回動支点及び自由端が点対称に配置され、前記第１の厚み吸収部材と前記第２の厚み吸収部材とは、前記挟持対象物を前記弾性力により押圧して挟持する、ことを特徴とする。
また、本発明の第１の態様に係る狭持装置は、互いに接離可能な第１の支持部材と第２の支持部材とを備え、両支持部材が接近することで挟持対象物を挟持する挟持装置であって、前記第１の支持部材は、前記第２の支持部材と対向する側に第１の厚み吸収部材を備え、前記第１の厚み吸収部材は、対向する前記第２の支持部材に向けて弾性力により付勢され、前記第２の支持部材は、前記第１の支持部材と対向する側に第２の厚み吸収部材を備え、前記第２の厚み吸収部材は、対向する前記第１の支持部材に向けて弾性力により付勢され、前記第１の厚み吸収部材と前記第２の厚み吸収部材とは、前記挟持対象物を前記弾性力により押圧して挟持する、ことを特徴とする。

【0018】

本態様によれば、前記第１の厚み吸収部材が前記第１の支持部材に向けて変位し、前記第２の厚み吸収部材が前記第２の支持部材に向けて変位することにより第１の厚み吸収部材と第２の厚み吸収部材との間隔が変化することとなり、厚さが異なる挟持対象物でも第１の厚み吸収部材と第２の厚み吸収部材とで挟持することができる。その結果、本態様の挟持装置は、厚さが異なる挟持対象物を破損させることなく挟持することができる。

【0019】

本発明の第２の態様の挟持装置は、第１の態様において、前記第１の厚み吸収部材は、第１の支持部材に回動支点を有して回動可能に取り付けられ、前記第２の厚み吸収部材は、第２の支持部材に回動支点を有して回動可能に取り付けられ、前記第１の厚み吸収部材の自由端を前記第２の支持部材に向かう方向へ前記弾性力により付勢する第１付勢部材と、前記第２の厚み吸収部材の自由端を前記第１の支持部材に向かう方向へ前記弾性力により付勢する第２付勢部材と、を備え、前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材の各回動支点及び自由端が点対称に配置されていることを特徴とする。

【0020】

本態様によれば、上記作用効果に加え、前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材の各回動支点及び自由端が点対称であることから、第１の厚み吸収部材の自由端が挟持対象物の一端を第２の厚み吸収部材へ付勢し、第２の厚み吸収部材の自由端が挟持対象物の他端を第１の厚み吸収部材へ付勢することとなり、挟持対象物の挟持状態をより確実な状態とする。

【0021】

尚、本明細書における「点対称」とは、第1支持部材と第２支持部材とが対向する方向における第１の厚み吸収部材と第２の厚み吸収部材との中間の位置、かつ、第１の厚み吸収部材または第２の厚み吸収部材の回動支点から自由端までの距離の中間の位置を回転中心とし、該回転中心の周りに前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材を回転させた際、点対称となることを意味している。

【0022】

本発明の第３の態様の挟持装置は、第２の態様において、前記第１付勢部材は、前記第１の厚み吸収部材を前記回動の半径方向外側へと付勢し、前記第２付勢部材は、前記第２の厚み吸収部材を前記回動の半径方向外側へと付勢することを特徴とする。

【0023】

本態様によれば、前記第１の厚み吸収部材の回動支点を第１付勢部材で回動の半径方向外側へと付勢していることから、前記回動支点のがたつきを防止することができる。同様に、前記第２の厚み吸収部材の回動支点を第２付勢部材で回動の半径方向外側へと付勢していることから、前記回動支点のがたつきを防止することができる。したがって、第１の厚み吸収部材及び第２の厚み吸収部材は、回動中にがたつくことがないことから確実に挟持対象物を挟持して回動させることができる。

【0024】

本発明の第４の態様の挟持装置は、第１の態様または第２の態様において、前記第１付勢部材は、一端が前記第１の厚み吸収部材の自由端に接続され、他端が第１の支持部材において前記第１の厚み吸収部材の自由端より前記回動の半径方向外側の位置で前記第１の支持部材と接続され、前記第２付勢部材は、一端が前記第２の厚み吸収部材の自由端に接続され、他端が第１の支持部材において前記第１の厚み吸収部材の自由端より前記回動の半径方向外側の位置で前記第１の支持部材と接続され、前記第１付勢部材の一端は、前記第１の支持部材における前記第２の支持部材と対向する側と反対の側に位置し、前記第２付勢部材の一端は、前記第２の支持部材における前記第１の支持部材と対向する側と反対の側に位置していることを特徴とする。

【0025】

例えば、第１付勢部材の他端と第１の支持部材との接続部を第１の支持部材から突出させて第２の支持部材側に位置させると、第１の支持部材と第２の支持部材とで薄い挟持部材を挟持する際、前記接続部と第２の支持部材とが干渉し、前記挟持部材を挟持することができなくなる虞がある。このため、本態様では、第１付勢部材の他端と第１の支持部材との接続部を第１支持部材より第２の支持部材側へ突出させるように位置させることがないことから、第１の支持部材と第２の支持部材とで薄い挟持部材を挟持する際、前記接続部が第２の支持部材と干渉することがなく、薄い挟持部材の挟持を確実にすることができる。

【0026】

本発明の第５の態様の挟持装置は、第２から第４のいずれか一の態様において、前記第１の厚み吸収部材の回動支点は前記第１の支持部材に対して接離する方向に移動可能に構成され、前記第２の厚み吸収部材の回動支点は前記第２の支持部材に対して接離する方向に移動可能に構成されていることを特徴とする。

【0027】

本態様によれば、第１の厚み吸収部材の回動支点が第１の支持部材に向かって移動可能に構成されていることから、第１の厚み吸収部材が第１の支持部材に対して平行に変位することができる。同様に第２の厚み吸収部材も第２の支持部材に対して平行に変位することができる。その結果、厚さが異なる挟持対象物であっても、第１の支持部材及び第２の支持部材に対して平行な状態で第１の厚み吸収部材と第２の厚み吸収部材とで挟持することができる。

【0028】

本発明の第６の態様の挟持装置は、第１の態様において、前記第１の厚み吸収部材は、第１の支持部材に該第１の支持部材に向かって移動可能な回動支点を有して回動可能に取り付けられ、前記第２の厚み吸収部材は、第２の支持部材に該第２の支持部材に向かって移動可能な回動支点を有して回動可能に取り付けられ、前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材は、前記回動支点の両側に自由端を備え、前記第１の支持部材に対して回動する前記第１の厚み吸収部材の前記自由端を前記第２の支持部材に向かう方向へ前記弾性力により付勢する第１付勢部材と、前記第２の支持部材に対して回動する前記第２の厚み吸収部材の前記自由端を前記第１の支持部材に向かう方向へ前記弾性力により付勢する第２付勢部材とを備えていることを特徴とする。

【0029】

本態様によれば、第１の厚み吸収部材において回動支点の両側に自由端を備え、該自由端のそれぞれに第１付勢部材を備えるから、第１の支持部材に対して平行な状態で第１の厚み吸収部材を変位させることができる。同様に第２の厚み吸収部材も第２の支持部材に対して平行に変位させることができる。このため、厚さが異なる挟持対象物であっても、第１の支持部材及び第２の支持部材に対して平行な状態で挟持することができる。さらに各自由端にそれぞれ付勢部材を備えていることから、厚さが一定でない挟持対象物であっても第１の厚み吸収部材及び第２の厚み吸収部材が挟持対象物の形状に沿って変位して前記挟持対象物を挟持することができる。

【0030】

本発明の第７の態様の挟持装置は、第１から第６のいずれか一の態様において、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材とは、一方が他方に対して回動することにより接離方向に変位することを特徴とする。

【0031】

本態様によれば、第１の支持部材に対して第２の支持部材を回動させて離間した状態において、第１の支持部材の上方から挟持対象物を載置し、該載置した後、第２の支持部材を回動させて挟持対象物を第１の支持部材と第２の支持部材とで挟持することができる。そのため、挟持対象物を第１の支持部材に対して第１の支持部材の上方から載置する際に第２の支持部材は回動させた位置にあることから該第２の支持部材が第１の支持部材の上方に位置することがなく、干渉しないことから挟持対象物の挟持装置に対する着脱を容易にすることができる。

【0032】

本発明の第８の態様の挟持装置は、第１から第７のいずれか一の態様において、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材とは、枠状体であり、互いに対向する一対の辺にそれぞれ前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材を備えていることを特徴とする。

【0033】

本態様によれば、第１の厚み吸収部材は枠状の第１の支持部材の互いに対向する一対の辺に設けられ、第２の厚み吸収部材は枠状の第１の支持部材の互いに対向する一対の辺に設けられていることから、第１の厚み吸収部材と第２の厚み吸収部材とにより挟持された挟持対象物は、枠状体の中央部分において第１の厚み吸収部材及び第２の厚み吸収部材とは接触しない。これにより本態様の挟持装置は、挟持対象物の中央部分が破損しやすいようなものでも挟持することができる。

【0034】

本発明の第９の態様の挟持装置は、第１から第８のいずれか一の態様において、前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材は、互いに対向する面に前記被挟持対象物を保持するための滑り止め部が設けられていることを特徴とする。

【0035】

本態様によれば、第１の厚み吸収部材及び第２の厚み吸収部材は、それぞれ互いに対向する面に滑り止め部が設けられていることから、挟持対象物を挟持した状態で第１の支持部材及び第２の支持部材を回動させても、前記狭持対象物と前記滑り止め部との間に生じる摩擦力により前記第１の厚み吸収部材及び前記第２の厚み吸収部材に対して挟持対象物が変位することを防止できる。すなわち、本態様の狭持装置は、挟持対象物の破損の虞を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0036】

【図1】本発明の第１の実施例に係る挟持装置の斜視図。

【図2】第１の実施例に係る挟持装置の挟持部材を示す側面図。

【図3】（Ａ）は第１の実施例に係る挟持装置において厚さが薄い挟持対象物を挟持した状態を示す側面図であり、（Ｂ）は第１の実施例に係る挟持装置において厚さが厚い挟持対象物を挟持した状態を示す側面図。

【図4】（Ａ）は第２の実施例に係る挟持装置において厚さが薄い挟持対象物を挟持した状態を示す側面図であり、（Ｂ）は第２の実施例に係る挟持装置において厚さが厚い挟持対象物を挟持した状態を示す側面図。

【図5】第３の実施例に係る挟持装置の挟持部材を示す側面図。

【図6】（Ａ）は第３の実施例に係る挟持装置において厚さが薄い挟持対象物を挟持した状態を示す側面図であり、（Ｂ）は第３の実施例に係る挟持装置において厚さが厚い挟持対象物を挟持した状態を示す側面図。

【図7】第３の実施例に係る挟持装置において厚さが部分的に異なる挟持対象物を挟持した状態を示す側面図。

【図8】（Ａ）は従来技術における挟持装置の概要を示す側面図であり、（Ｂ）は挟持装置の概要を示す側面図

【図9】（Ａ）は従来技術における挟持装置において厚さが薄い挟持対象物を挟持した状態を示す側面図であり、（Ｂ）は従来技術における挟持装置において厚さが厚い挟持対象物を挟持した状態を示す側面図。

【発明を実施するための形態】

【0037】

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施例において同一の構成については、同一の符号を付し、最初の実施例においてのみ説明し、以後の実施例においてはその構成の説明を省略する。

【0038】

図１を参照して、挟持装置１０の構成要素について説明する。挟持装置１０は、第１の支持部材１２と、第２の支持部材１４と、回転軸１６と、第１の厚み吸収部材１８と、第２の厚み吸収部材２０とを備えている。回転軸１６は、その両端部がそれぞれ回転軸支持部材２２に挿入され、該回転軸支持部材によって支持されている。回転軸支持部材２２は、図示しないが固定台や台車等に取り付けられている。

【0039】

第１の支持部材１２は枠状体として構成されている。Ｘ軸方向（図１参照）において対向する一対の辺のうち一方の辺２４は、回転軸１６に回動可能に取り付けられている。すなわち、第１の支持部材１２は、回転軸１６を回動支点として回転軸１６の回りを回動する。他方の辺２６には、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とを両支持部材１２、１４の間に「挟持対象物」としてのプローブカード２８を挟持した状態で保持する挟持保持機構３０のフック部３２を備えている。

【0040】

また、第２の支持部材１４は、枠状体として構成されている。Ｘ軸方向（図１参照）において対向する一対の辺のうち一方の辺３４は、回転軸１６に回動可能に取り付けられている。すなわち、第２の支持部材１４は、回転軸１６を回動支点として回転軸１６の回りを回動する。

【0041】

また、第２の支持部材１４の他方の辺３６には、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とをその間に挟持対象物すなわちプローブカード２８を挟持した状態で保持する挟持保持機構３０のフック保持部３８を備えている。

【0042】

また、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは、互いに対向する状態すなわち閉じている状態（図２参照）と、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４の一方が他方に対して離間する方向に回動させて離間した状態すなわち開いた状態（図１参照）とを取り得る。尚、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは、互いに対向する状態において距離Ｌ１を開けて平行に対向している。

【0043】

また、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが前記閉じている状態にあるとき、第１の支持部材１２に設けられた挟持保持機構３０のフック部３２と第２の支持部材１４に設けられた挟持保持機構３０のフック保持部３８とが解除可能に掛合する。

【0044】

さらに、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは、閉じている状態において後述する第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とによりプローブカード２８を挟持する。尚、この状態において、フック部３２とフック保持部３８とが掛合することにより、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは閉じている状態を保持している。また、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは、プローブカード２８を挟持した状態において回転軸１６の回りを回動し、プローブカード２８の一方の面２８ａと他方の面２８ｂとを反転させる。

【0045】

＜＜＜第１の実施例＞＞＞
次いで、図１及び図２を参照して第１の実施例に係る第１の厚み吸収部材１８及び第２の厚み吸収部材２０について詳説する。

【0046】

第１の厚み吸収部材１８は、第１の支持部材１２においてＹ軸方向（図１参照）に対向する一対の辺４０にそれぞれ設けられている。第１の厚み吸収部材１８は、図１においてＸ軸方向に沿って延びている。さらに、第１の厚み吸収部材１８において後述する第２の厚み吸収部材２０と対向する側（図２参照）には、滑り止め部４２が設けられている。滑り止め部４２は、第１の厚み吸収部材１８において狭持対象物すなわちプローブカード２８と面接触する平面領域を構成している。滑り止め部４２は、本実施例では摩擦係数の大きいゴム部材等により構成されている。

【0047】

さらに、第１の厚み吸収部材１８には、図１における＋Ｘ方向側に位置する一端部１８ａに、回動軸４４が設けられている。回動軸４４は第１の支持部材１２の一対の辺４０において自由端側すなわち他方の辺２６側に取り付けられている。

【0048】

また、第１の厚み吸収部材１８において、図１における−Ｘ方向側に位置する他端部１８ｂは、自由端として構成されている。これにより、第１の厚み吸収部材１８は、第１の支持部材１２に対して回動軸４４を支点に回動可能である。また、第１の厚み吸収部材１８の他端部１８ｂは、図２に示すように該他端部１８ｂから第１の支持部材１２に向けてすなわち対向する第２の厚み吸収部材２０と反対の側に向けて突出し、その先端が当該第１の支持部材１２を超えて延びる第１の延出部４６を備えている。

【0049】

第１の延出部４６の先端には、第１付勢部材４８の一端４８ａが接続されている。さらに第１付勢部材４８の他端４８ｂは、第１の支持部材１２の一対の辺４０において回転軸１６側すなわち一方の辺２４側に取り付けられている。このため、第１付勢部材４８は、第１の厚み吸収部材１８を対向する第２の厚み吸収部材２０に向けて付勢する。尚、第１付勢部材４８は、本実施例ではコイルばね等のばね部材として構成されている。

【0050】

また、第１の厚み吸収部材１８は、第１付勢部材４８により対向する第２の厚み吸収部材２０に向けて付勢されていることから、外力が第１の厚み吸収部材１８に作用しない際、第１の支持部材１２に対して角度θ１を成して第２の厚み吸収部材２０側へ傾いた状態にある。

【0051】

第１の厚み吸収部材１８において第１の支持部材１２に向かう外力が作用する際、第１の厚み吸収部材１８は、前記外力の大きさに応じて第２の厚み吸収部材２０から離間する方向に回動軸４４を回動支点として回動する。尚、本実施例において第１の厚み吸収部材１８は、最大で回動軸４４に対して角度θ１分回動することができる。

【0052】

また、第２の厚み吸収部材２０は、第２の支持部材１４においてＹ軸方向（図１参照）に対向する一対の辺５０にそれぞれ設けられている。第２の厚み吸収部材２０は、図１においてＸ軸方向に沿って延びている。さらに、第２の厚み吸収部材２０において第１の厚み吸収部材１８と対向する側（図２参照）には、滑り止め部５２が設けられている。滑り止め部５２は、第２の厚み吸収部材２０において狭持対象物すなわちプローブカード２８と面接触する平面領域を構成している。本実施例において滑り止め部５２は、摩擦係数の大きいゴム部材等により構成されている。

【0053】

さらに、第２の厚み吸収部材２０には、図１における＋Ｘ方向側に位置する一端部２０ａに、回動軸５４が設けられている。回動軸５４は第２の支持部材１４の一対の辺５０において自由端側すなわち他方の辺３６側に取り付けられている。

【0054】

また、第２の厚み吸収部材２０において、図１における−Ｘ方向側に位置する他端部２０ｂは、自由端として構成されている。これにより、第２の厚み吸収部材２０は、第２の支持部材１４に対して回動軸５４を支点に回動可能である。また、第２の厚み吸収部材２０の他端部２０ｂは、図２に示すように該他端部２０ｂから第２の支持部材１４に向けてすなわち対向する第１の厚み吸収部材１８と反対の側に向けて突出し、その先端が当該第２の支持部材１４を超えて延びる第２の延出部５６を備えている。

【0055】

第２の延出部５６の先端には、第２付勢部材５８の一端５８ａが接続されている。さらに第２付勢部材５８の他端５８ｂは、第２の支持部材１４の一対の辺５０において自由端側すなわち他方の辺３６側に取り付けられている。このため、第２付勢部材５８は、第２の厚み吸収部材２０を対向する第１の厚み吸収部材１８に向けて付勢する。尚、本実施例において第２付勢部材５８は、コイルばね等のばね部材として構成されている。

【0056】

また、第２の厚み吸収部材２０は、第２付勢部材５８により対向する第１の厚み吸収部材１８に向けて付勢されていることから、外力が第２の厚み吸収部材２０に作用しない際、第２の支持部材１４に対して角度θ２を成して第１の厚み吸収部材１８側へ傾いた状態にある。

【0057】

第２の厚み吸収部材２０において第２の支持部材１４に向かう外力が作用する際、第２の厚み吸収部材２０は、前記外力の大きさに応じて第１の厚み吸収部材１８から離間する方向に回動軸５４を回動支点として回動する。尚、本実施例において第２の厚み吸収部材２０は、最大で回動軸５４に対して角度θ２分回動することができる。尚、本実施例では、角度θ１と角度θ２とは、同じ角度に設定されている。

【0058】

また、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材とは、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが対向する状態すなわち閉じている状態において互いに外力が作用しない状態にある際、距離Ｌ２をおいて対向している。尚、本実施例では、角度θ１と角度θ２とが同じ角度に設定されていることから、外力が作用しない状態にある際、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材とは互いに平行な状態にある。

【0059】

次いで、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）を参照して挟持装置１０において厚さが薄いプローブカード６０を挟持した状態と、厚さが厚いプローブカード６２を挟持した状態とを説明する。

【0060】

図３（Ａ）において、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とは、厚さｔ４のプローブカード６０を挟持している。第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０との間の距離はＬ２からｔ４へと増加する。このため、第１の厚み吸収部材１８は、第２の厚み吸収部材２０から離間する方向に回動軸４４を回動支点として回動する。同様に、第２の厚み吸収部材２０は第１の厚み吸収部材１８から離間する方向に回動軸５４を回動支点として回動する。

【0061】

すなわち、第１の厚み吸収部材１８は、第１の支持部材１２に対して角度θ３で傾斜している状態となる。同様に、第２の厚み吸収部材２０も、第２の支持部材１４に対して角度θ４で傾斜している状態となる。尚、角度θ３、θ４は、それぞれ角度θ１よりも小さい。この際、第１付勢部材４８の付勢力と第２付勢部材５８の付勢力とは同じ大きさに設定されていることから、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とは、それぞれ同じ角度だけ第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して回動する。すなわち角度θ３と角度θ４とは同じ角度となる。

【0062】

このため、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とは互いに平行状態を保ったまま離間する。したがって、第１の厚み吸収部材１８は、プローブカード６０の一方の面６０ａと第１の厚み吸収部材１８に設けられた滑り止め部４２とが面接触した状態となる。また、第２の厚み吸収部材２０は、プローブカード６０の他方の面６０ｂと第２の厚み吸収部材２０に設けられた滑り止め部５２とが面接触した状態となる。このため、プローブカード６０は、一方の面６０ａに第１付勢部材４８からの付勢力を受け、他方の面６０ｂに第１付勢部材４８の付勢力と等しい第２付勢部材５８からの付勢力を受ける。

【0063】

その結果、プローブカード６０は、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とから同じ力で押圧される。また、プローブカード６０は、回転軸１６を回動支点とする第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４の回動半径方向において、一方の面６０ａが滑り止め部４２と接触し、他方の面６０ｂが滑り止め部５２と接触していることから、各滑り止め部４２、５２との間に生ずる摩擦力により前記回動半径方向における位置が保持される。その結果、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とはプローブカード６０を確実に挟持することができる。

【0064】

次いで、図３（Ｂ）において、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とは、距離Ｌ１に相当する厚さｔ５のプローブカード６２を挟持している。第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０との間の距離はＬ２からｔ５（Ｌ１）へと増加する。このため、第１の厚み吸収部材１８は、第２の厚み吸収部材２０から離間する方向にすなわち角度θ１分、回動軸４４を回動支点として回動する。同様に、第２の厚み吸収部材２０は第１の厚み吸収部材１８から離間する方向にすなわち角度θ２分、回動軸５４を回動支点として回動する。

【0065】

この状態においても、プローブカード６２の一方の面６２ａは第１の厚み吸収部材１８に設けられた滑り止め部４２と面接触した状態となり、他方の面６２ｂは第２の厚み吸収部材２０に設けられた滑り止め部５２と面接触した状態となる。このため、プローブカード６２は、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とから等しい力で押圧され、挟持される。また、プローブカード６２においても、各滑り止め部４２、５２により前記回動半径方向における位置が保持される。

【0066】

すなわち、第１の厚み吸収部材１８及び第２の厚み吸収部材２０は、狭持対象物すなわちプローブカード２８、６０、６２の厚さが異なっても該プローブカードとそれぞれ面接触する。したがって、挟持装置１０は、外力が作用しない状態における第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０との距離Ｌ２から第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが対向した際の距離Ｌ１までの大きさに相当する厚さの挟持対象物すなわちプローブカード２８、６０、６２を確実に挟持することができる。

【0067】

＜＜＜第１の実施例の変形例＞＞＞
（１）本実施例では角度θ１と角度θ２とを同じ角度としたが、異なる角度として構成してもよい。
（２）第１付勢部材４８と第２付勢部材５８の付勢力を同じ構成としたが、異なる構成としてもよい。
（３）第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０との距離Ｌ２は、０として構成してもよい。すなわち、外力が作用しない状態において、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とは、互いに対向するとともに面接触する構成としてもよい。

【0068】

＜＜＜第２の実施例＞＞＞
図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を参照して、第２の実施例に係る挟持装置６４について説明する。第２の実施例に係る挟持装置６４は、第１の厚み吸収部材１８及び第２の厚み吸収部材２０の各回動支点がそれぞれ、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して接離する方向へ変位可能に構成されている点で第１の実施例と異なる。

【0069】

第１の支持部材１２の自由端側すなわち他方の辺２６側には、対向する第２の支持部材１４の側に向かって延びる案内部６６が設けられている。案内部６６には、第１の厚み吸収部材１８に設けられた回動軸６８が案内部６６に沿って第１の支持部材１２に対して接離する方向（図４（Ａ）においてＺ軸方向）に変位可能に取り付けられている。さらに、第１の厚み吸収部材１８は、案内部６６に取り付けられた回動軸６８を回動支点として第１の支持部材１２に対して回動可能である。

【0070】

また、第１の支持部材１２の自由端側において案内部６６に対して他方の辺２６側には、第１の支持部材１２から突出し、対向する第２の支持部材１４に向けて延びる第３の延出部７０が設けられている。回動軸６８と第３の延出部７０とは、第３付勢部材７２により接続されている。第３付勢部材７２は、回動軸６８を対向する第２の厚み吸収部材２０に向けて付勢している。尚、本実施例において第３付勢部材７２の付勢力は、第１付勢部材４８の付勢力と同じになるように設定されている。

【0071】

このため、第１の厚み吸収部材１８は、第１付勢部材４８と第３付勢部材７２とにより第１の支持部材１２に対して平行な状態を保持しながら第２の厚み吸収部材２０に向けて付勢されている。

【0072】

また、第２の支持部材１４の回転軸１６側すなわち一方の辺３４側には、対向する第１の支持部材１２の側に向かって延びる案内部７４が設けられている。案内部７４には、第２の厚み吸収部材２０に設けられた回動軸７６が案内部７４に沿って第２の支持部材１４に対して接離する方向（図４（Ａ）においてＺ軸方向）に変位可能に取り付けられている。さらに、第２の厚み吸収部材２０は、案内部７４に取り付けられた回動軸７６を回動支点として第２の支持部材１４に対して回動可能である。

【0073】

また、第２の支持部材１４の回転軸１６側において案内部７４に対して一方の辺３４側には、第２の支持部材１４から突出し、対向する第１の支持部材１２に向けて延びる第４の延出部７８が設けられている。回動軸７６と第４の延出部７８とは、第４付勢部材８０により接続されている。第４付勢部材８０は、回動軸７６を対向する第１の厚み吸収部材１８に向けて付勢している。尚、本実施例において第４付勢部材８０の付勢力は、第２付勢部材５８の付勢力と同じになるように設定されている。

【0074】

このため、第２の厚み吸収部材２０は、第２付勢部材５８と第４付勢部材８０とにより第２の支持部材１４に対して平行な状態を保持しながら第１の厚み吸収部材１８に向けて付勢されている。このため、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とは互いに平行に距離Ｌ３をおいて対向している。

【0075】

このため、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように厚さｔ５、ｔ６が異なるプローブカード２８においても、プローブカード２８の一方の面２８ａ及び他方の面２８ｂのそれぞれが、第１の厚み吸収部材１８及び第２の厚み吸収部材２０とそれぞれ面接触するとともに、プローブカード２８を第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して平行な状態に保持することができる。すなわち、挟持装置６４は、プローブカード２８すなわち挟持対象物の厚みが均一である際、前記挟持対象物を第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して平行な状態で挟持することができる。

【0076】

したがって、挟持装置６４は、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０との距離Ｌ３から第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが対向した際の距離Ｌ１までの大きさに相当する厚さの挟持対象物すなわちプローブカード２８に対応して確実に挟持することができる。

【0077】

また、第１の厚み吸収部材１８及び第２の厚み吸収部材２０は、回動軸６８、７６を回動支点としてそれぞれ第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して回動可能に構成されている。このため、図示しないが、厚さが均一でない挟持対象物、例えばＸ軸方向において一方の端部の厚さが他方の端部の厚さよりも厚い挟持対象物を第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とで挟持する際、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とは、それぞれ前記挟持対象物の一方の面及び他方の面と面接触するように回動し、前記挟持対象物を確実に挟持することができる。

【0078】

＜＜＜第２の実施例の変更例＞＞＞
（１）本実施例では、第１付勢部材４８、第２付勢部材５８、第３付勢部材７２及び第４付勢部材８０の付勢力を同じ構成としたが、異なる構成としてもよい。
（２）第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０との距離Ｌ３は、０として構成してもよい。すなわち、外力が作用しない状態において、第１の厚み吸収部材１８と第２の厚み吸収部材２０とは、互いに対向するとともに面接触する構成としてもよい。

【0079】

＜＜＜第３の実施例＞＞＞
図５、図６（Ａ）、図６（Ｂ）及び図７を参照して、第３の実施例に係る挟持装置８２について説明する。第３の実施例に係る挟持装置８２は、第１の厚み吸収部材８４及び第２の厚み吸収部材８６の中央部にそれぞれ回動支点が設けられ、各回動支点は第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して接離する方向へ変位可能であり、第１の厚み吸収部材１８及び第２の厚み吸収部材２０の両端部を自由端として構成した点で第１の実施例と異なる。

【0080】

第１の支持部材１２のＸ軸方向における中央部には、対向する第２の支持部材１４の側に向かって延びる案内部８８が設けられている。案内部８８には、第１の厚み吸収部材８４に設けられた回動軸９０が案内部８８に沿って第１の支持部材１２に対して接離する方向（図５においてＺ軸方向）に変位可能に取り付けられている。さらに、第１の厚み吸収部材８４は、案内部８８に取り付けられた回動軸９０を回動支点として第１の支持部材１２に対して回動可能である。

【0081】

また、第１の厚み吸収部材８４の両端部８４ａ、８４ｂは自由端として構成されている。また、第１の支持部材１２には、Ｘ軸方向において回転軸１６側の一方の端部８４ａと対向する位置に付勢部材支持部９２が設けられている。一方の端部８４ａと付勢部材支持部９２とは第１付勢部材９４により接続されている。

【0082】

同様に、第１の支持部材１２には、Ｘ軸方向において回転軸１６と反対の側の他方の端部８４ｂと対向する位置に付勢部材支持部９６が設けられている。他方の端部８４ｂと付勢部材支持部９６とは第１付勢部材９８により接続されている。したがって、第１の厚み吸収部材８４は、第１付勢部材９４、９８により対向する第２の厚み吸収部材８６に向けて付勢されている。

【0083】

このため、第１の厚み吸収部材８４は第１の支持部材１２に対して接離する方向に変位可能であるだけでなく、第１の支持部材１２に対して回動軸９０を回動支点として回動可能である。

【0084】

第２の支持部材１４のＸ軸方向における中央部には、対向する第１の支持部材１２の側に向かって延びる案内部１００が設けられている。案内部１００には、第２の厚み吸収部材８６に設けられた回動軸１０２が案内部１００に沿って第２の支持部材１４に対して接離する方向（図５においてＺ軸方向）に変位可能に取り付けられている。さらに、第２の厚み吸収部材８６は、案内部１００に取り付けられた回動軸１０２を回動支点として第２の支持部材１４に対して回動可能である。

【0085】

また、第２の厚み吸収部材８６の両端部８６ａ、８６ｂは自由端として構成されている。また、第２の支持部材１４には、Ｘ軸方向において回転軸１６側の一方の端部８６ａと対向する位置に付勢部材支持部１０４が設けられている。一方の端部８６ａと付勢部材支持部１０４とは第２付勢部材１０６により接続されている。

【0086】

同様に、第２の支持部材１４には、Ｘ軸方向において回転軸１６と反対の側の他方の端部８６ｂと対向する位置に付勢部材支持部１０８が設けられている。他方の端部８６ｂと付勢部材支持部１０８とは第２付勢部材１１０により接続されている。したがって、第２の厚み吸収部材８６は、第２付勢部材１０６、１１０により対向する第１の厚み吸収部材８４に向けて付勢されている。尚、本実施例では、第１付勢部材９４の付勢力、第１付勢部材９８の付勢力、第２付勢部材１０６の付勢力及び第２付勢部材１１０の付勢力は同じ大きさの力に設定されている。

【0087】

このため、第２の厚み吸収部材８６は第２の支持部材１４に対して接離する方向に変位可能であるだけでなく、第２の支持部材１４に対して回動軸１０２を回動支点として回動可能である。また、第１の厚み吸収部材８４と第２の厚み吸収部材８６とは互いに平行に距離Ｌ４をおいて対向している。

【0088】

また、図６（Ａ）におけるプローブカード２８の厚さをｔ７とし、図６（Ｂ）におけるプローブカード２８の厚さをｔ８とした際、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すように厚さが異なるプローブカード２８においても、プローブカード２８の一方の面２８ａ及び他方の面２８ｂのそれぞれが、第１の厚み吸収部材８４及び第２の厚み吸収部材８６とそれぞれ面接触する。

【0089】

さらに、第１の厚み吸収部材８４及び第２の厚み吸収部材８６は、プローブカード２８を第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して平行な状態を保持することができる。すなわち、挟持装置８２は、プローブカード２８すなわち挟持対象物の厚みが均一である際、前記挟持対象物を第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して平行な状態で挟持することができる。

【0090】

したがって、挟持装置８４は、第１の厚み吸収部材８４と第２の厚み吸収部材８６との距離Ｌ４から図６（Ｂ）に示すように第１の厚み吸収部材８４と第２の厚み吸収部材８６との距離Ｌ５（ｔ８）までの大きさに相当する厚さの挟持対象物すなわちプローブカード２８に対応して確実に挟持することができる。

【0091】

また、第１の厚み吸収部材８４及び第２の厚み吸収部材８６は、回動軸９０、１０２を回動支点としてそれぞれ第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に対して回動可能に構成されている。このため、図７に示すように、厚さが均一でない挟持対象物（プローブカード）２８、例えばＸ軸方向において回転軸１６側の一方の端部の厚さｔ９が他方の端部の厚さｔ１０よりも厚い挟持対象物（プローブカード）２８を第１の厚み吸収部材８４と第２の厚み吸収部材８６とで挟持する際、第１の厚み吸収部材８４と第２の厚み吸収部材８６とは、それぞれ挟持対象物（プローブカード）２８の一方の面２８ａ及び他方の面２８ｂと面接触するように回動し、挟持対象物（プローブカード）２８を確実に挟持することができる。

【0092】

＜＜＜第３の実施例の変更例＞＞＞
（１）本実施例では、第１付勢部材９４、９８及び第２付勢部材１０６、１１０の付勢力を同じ構成としたが、異なる構成としてもよい。
（２）第１の厚み吸収部材８４と第２の厚み吸収部材８６との距離Ｌ４は、０として構成してもよい。すなわち、外力が作用しない状態において、第１の厚み吸収部材８４と第２の厚み吸収部材８６とは、互いに対向するとともに面接触する構成としてもよい。

【0093】

＜＜＜第１の実施例ないし第３の実施例の変更例＞＞＞
（１）滑り止め部４２、５２は、本実施例においてゴム部材として構成したが、摩擦係数の高い材質で構成してもよい。また、滑り止め部４２、５２を平面状に構成することに代えて、凹凸等の形状に形成し、滑り止めの効果を高める構成としてもよい。
（２）本実施例では、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４を回転軸１６を回動支点として回動する構成としたが、この構成に代えて、互いに対向する第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４のいずれか一方あるいは両方に、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とを接離させる方向例えばＺ軸方向に変位させる直線移動機構を備える構成としてもよい。
（３）本実施例では、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４を枠状体として構成したが、板状部材として構成してもよい。
（４）本実施例では、反転対象物をプローブカード２８としたが、反転対象物はプローブカード２８に限定されない。
（５）第１付勢部材４８、９４、９８及び第２付勢部材５８、１０６、１１０を本実施例ではコイルばねとして構成したが、この構成に代えて、油圧、空圧、機械力等による付勢力を備える部材として構成してもよい。

【0094】

上記説明をまとめると本実施例の挟持装置１０、６４、８４は、互いに接離可能な第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とを備え、両支持部材１２、１４が接近することでプローブカード２８を挟持する挟持装置であって、第１の支持部材１２は、第２の支持部材１４と対向する側に第１の厚み吸収部材１８、８４を備え、第１の厚み吸収部材１８、８４は、対向する第２の支持部材１４に向けて弾性力により付勢され、第２の支持部材１４は、第１の支持部材１２と対向する側に第２の厚み吸収部材２０、８６を備え、第２の厚み吸収部材２０、８６は、対向する第１の支持部材１２に向けて弾性力により付勢され、第１の厚み吸収部材１８、８４と第２の厚み吸収部材２０、８６とは、プローブカード２８を前記弾性力により押圧して挟持する。

【0095】

第１の厚み吸収部材１８は、第１の支持部材１２に回動支点４４、６８を有して回動可能に取り付けられ、第２の厚み吸収部材２０は、第２の支持部材１４に回動支点５４、７６を有して回動可能に取り付けられ、第１の厚み吸収部材１８の自由端１８ｂを第２の支持部材１４に向かう方向へ前記弾性力により付勢する第１付勢部材４８と、第２の厚み吸収部材２０の自由端２０ｂを第１の支持部材１２に向かう方向へ前記弾性力により付勢する第２付勢部材５８とを備えている。第１の厚み吸収部材１８及び第２の厚み吸収部材２０の各回動支点４４、５４、６８、７６及び自由端１８ｂ、２０ｂが点対称に配置されている。

【0096】

第１付勢部材４８は、第１の厚み吸収部材１８を回動の半径方向外側すなわち−Ｘ方向側へと付勢し、第２付勢部材５８は、第２の厚み吸収部材２０を前記回動の半径方向外側すなわち＋Ｘ方向側へと付勢する。

【0097】

第１付勢部材４８は、一端４８ａが第１の厚み吸収部材１８の自由端１８ｂに接続され、他端４８ｂが第１の支持部材１２において第１の厚み吸収部材１８の自由端１８ｂより回動の半径方向外側の位置すなわち−Ｘ方向側で第１の支持部材１２と接続され、
第２付勢部材５８は、一端５８ａが第２の厚み吸収部材２０の自由端２０ｂに接続され、他端５８ｂが第２の支持部材１４において第２の厚み吸収部材２０の自由端２０ｂより前記回動の半径方向外側の位置すなわち＋Ｘ方向側で第２の支持部材１４と接続され、第１付勢部材４８の一端４８ａは、第１の支持部材１２における第２の支持部材１４と対向する側と反対の側に位置し、前記第２付勢部材５８の一端５８ａは、第２の支持部材１４における第１の支持部材１２と対向する側と反対の側に位置している。

【0098】

第１の厚み吸収部材１８の回動支点６８は第１の支持部材１２に対して接離する方向に移動可能に構成され、第２の厚み吸収部材２０の回動支点７６は第２の支持部材１４に対して接離する方向に移動可能に構成されている。

【0099】

第１の厚み吸収部材８４は、第１の支持部材１２に該第１の支持部材１２に向かって移動可能な回動支点９０を有して回動可能に取り付けられ、第２の厚み吸収部材８６は、第２の支持部材１４に該第２の支持部材１４に向かって移動可能な回動支点１０２を有して回動可能に取り付けられ、第１の厚み吸収部材８４及び第２の厚み吸収部材８６は、前記回動支点９０、１０２の両側に自由端８４ａ、８４ｂ、８６ａ及び８６ｂを備え、第１の支持部材１２に対して回動する第１の厚み吸収部材８４の自由端８４ａ、８４ｂを第２の支持部材１４に向かう方向へ前記弾性力により付勢する第１付勢部材９４、９８と、第２の支持部材１４に対して回動する第２の厚み吸収部材８６の自由端８６ａ、８６ｂを第１の支持部材１２に向かう方向へ前記弾性力により付勢する第２付勢部材１０６、１１０とを備えている。

【0100】

第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは、一方が他方に対して回動することにより接離方向に変位する。第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは、枠状体であり、互いに対向する一対の辺４０、５０にそれぞれ第１の厚み吸収部材１８、８４及び第２の厚み吸収部材２０、８６を備えている。第１の厚み吸収部材１８、８４及び第２の厚み吸収部材２０、８６は、互いに対向する面に挟持対象物を保持するための滑り止め部４２、５２が設けられている。

【0101】

尚、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれるものであることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0102】

１０、６４、８２、１２０ 挟持装置、１２ 第１の支持部材、１４ 第２の支持部材、
１６、１３０ 回転軸、１８、８４ 第１の厚み吸収部材、
１８ａ、８４ａ 第１の厚み吸収部材の一端部、
１８ｂ、８４ｂ 第１の厚み吸収部材の他端部、２０、８６ 第２の厚み吸収部材、
２０ａ、８６ａ 第２の厚み吸収部材の一端部、
２０ｂ、８０ｂ 第２の厚み吸収部材の他端部、
２２ 回転軸支持部材、２４ 第１の支持部材の一方の辺、
２６ 第１の支持部材の他方の辺、２８、６０、６２ プローブカード（挟持対象物）、
２８ａ、６０ａ、６２ａ プローブカードの一方の面、
２８ｂ、６０ｂ、６２ｂ プローブカードの他方の面、３０ 挟持保持機構、
３２ フック部、３４ 第１の支持部材の一方の辺、３６ 第１の支持部材の他方の辺、３８ フック保持部、４０ 第１の支持部材の一対の辺、４２、５２ 滑り止め部、４４、５４、６８、７６、９０、１０２ 回動軸、４６ 第１の延出部、
４８、９４、９８ 第１付勢部材、４８ａ 第１付勢部材の一端、
４８ｂ 第１付勢部材の他端、５０ 第２の支持部材の一対の辺、５６ 第２の延出部、
５８、１０６、１１０ 第２付勢部材、６６、７４、８８、１００ 案内部、
７０ 第３の延出部、７２ 第３付勢部材、７８ 第４の延出部、８０ 第４付勢部材、
９２、９６、１０４、１０８ 付勢部材支持部、１２２ ヒンジ、
１２４ 一方の支持部材、１２４ａ、１２６ａ 支持面、１２６ 他方の支持部材、
１２８ 挟持対象物、１２８ａ 一方の面、１２８ｂ 他方の面、
１３２ −Ｘ方向側の端部、１３４ ＋Ｘ方向側の端部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】