特許 6014630 洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6014630

(24)【登録日】2016年9月30日

(45)【発行日】2016年10月25日

(54)【発明の名称】洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   B08B 3/10 20060101AFI20161011BHJP

   B08B 3/08 20060101ALI20161011BHJP

   C23G 5/04 20060101ALN20161011BHJP

【ＦＩ】

   B08B3/10 Z

   B08B3/08 A

   !C23G5/04

【請求項の数】8

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2014-133929(P2014-133929)

(22)【出願日】2014年6月30日

(65)【公開番号】特開2016-10776(P2016-10776A)

(43)【公開日】2016年1月21日

【審査請求日】2014年6月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000099

【氏名又は名称】株式会社ＩＨＩ

(73)【特許権者】

【識別番号】000198329

【氏名又は名称】株式会社ＩＨＩ機械システム

(74)【代理人】

【識別番号】100175802

【弁理士】

【氏名又は名称】寺本 光生

(74)【代理人】

【識別番号】100064908

【弁理士】

【氏名又は名称】志賀 正武

(74)【代理人】

【識別番号】100167553

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 久典

(72)【発明者】

【氏名】勝俣 和彦

(72)【発明者】

【氏名】三塚 正敏

(72)【発明者】

【氏名】坂本 治

(72)【発明者】

【氏名】永田 喬裕

【審査官】 根本 徳子

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１３／０７７３３６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開平０４−１７９１９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０４９４０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２３８３５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０８Ｂ ３／００−３／１４

Ｆ１６Ｋ ５／００−５／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

洗浄蒸気を発生させる蒸気発生部と、被洗浄物を収容すると共に前記蒸気発生部から供給された洗浄蒸気を用いて前記被洗浄物を洗浄する洗浄室と、前記洗浄室に接続されると共に減圧状態に保持された乾燥室と、前記洗浄室に設けられた乾燥室用開口と前記乾燥室に設けられた開口とを接続する接続部材と、前記洗浄室内に位置すると共に前記乾燥室用開口に対向する弁体と、前記弁体に対向する弁座と、前記乾燥室に備えられると共に前記弁体を駆動するアクチュエータとを備え、
前記アクチュエータによって前記弁体を前記弁座から離間させて前記洗浄室を前記乾燥室と連通させることにより前記被洗浄物を乾燥させることを特徴とする洗浄装置。

【請求項2】

洗浄蒸気を発生させる蒸気発生部と、被洗浄物を収容すると共に前記蒸気発生部から供給された洗浄蒸気を用いて前記被洗浄物を洗浄する洗浄室と、該洗浄室に接続されると共に減圧状態に保持された乾燥室と、前記洗浄室に設けられた乾燥室用開口と前記乾燥室に設けられた開口とを接続する接続部材と、該接続部材による前記洗浄室と前記乾燥室との接続状態を連通状態あるいは非連通状態に切り替える開閉機構とを備える洗浄装置であって、
前記開閉機構は、前記洗浄室内に位置すると共に前記乾燥室用開口に対向する弁体と、前記乾燥室用開口を備えると共に前記弁体に対向する弁座と、前記弁体を駆動すると共に前記乾燥室に備えられるアクチュエータとを備え、前記アクチュエータによって前記弁体と前記弁座とを離間させて前記洗浄室と前記乾燥室とを連通させることにより前記被洗浄物を乾燥させることを特徴とする洗浄装置。

【請求項3】

前記アクチュエータは、前記乾燥室の窪み部に設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。

【請求項4】

前記乾燥室用開口に摺動自在に嵌合し、前記乾燥室用開口に対する前記弁座の位置を規定するサポート部材を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の洗浄装置。

【請求項5】

前記アクチュエータは、前記接続部材の内部において前記弁体と接続されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の洗浄装置。

【請求項6】

前記接続部材は蛇腹であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の洗浄装置。

【請求項7】

前記開閉機構は、前記アクチュエータが可動ロッドを前記洗浄室内に突出するように作動させることによって、前記弁体が前記弁座の内側面から離間して前記乾燥室用開口を開放することを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の洗浄装置。

【請求項8】

前記開閉機構は、前記アクチュエータが可動ロッドを前記乾燥室側に引き込むように作動させることによって、前記弁体が前記弁座の内側面に当接して前記乾燥室用開口を閉鎖することを特徴とする請求項２〜７のいずれか一項に記載の洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、炭化水素系洗浄剤の蒸気を生成する蒸気室と、蒸気室から供給される炭化水素系洗浄剤の蒸気によって減圧下でワークを洗浄する洗浄室と、開閉バルブを介して洗浄室に接続されると共に減圧状態かつ低温状態に保持された乾燥室とを備え、洗浄室におけるワークの洗浄が終了すると、開閉バルブを開弁状態とすることにより洗浄室と乾燥室とを連通させることによりワークを乾燥させる真空洗浄装置が開示されている。

【0003】

すなわち、この真空洗浄装置では、減圧状態に保持された乾燥室が洗浄時の蒸気供給によって乾燥室よりも高圧状態になっている洗浄室と連通して急速に減圧されることにより、ワークに付着した洗浄液が瞬間的に気化して洗浄室から乾燥室に移動して凝縮し、以ってワークの乾燥を実現する。なお、下記特許文献２にも、特許文献１と同様な乾燥室（凝縮室）を備えた真空洗浄装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１４−０７３４５３号公報

【特許文献2】国際公開第２０１３／０７７３３６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記従来技術では、乾燥室内を急速減圧することによりワークに付着した洗浄液を気化させているが、この急速減圧は洗浄室と乾燥室とを非連通状態から連通状態に切り替えることによって実現しているので、洗浄室の容積を可能な限り小さくすることが有効である。洗浄室の容積をより小さくすることによって、ワークをより確実に乾燥させることが可能となる。

【0006】

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、ワークを従来よりも容易に乾燥させることを目的とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明では、洗浄装置に係る第１の解決手段として、被洗浄物を収容する洗浄室と、前記洗浄室に接続された乾燥室と、前記洗浄室に設けられた乾燥室用開口と前記乾燥室に設けられた開口とを接続する接続部材と、前記洗浄室内に位置し、前記乾燥室用開口に対向する弁体と、前記弁体に対向する弁座と、前記弁体を駆動するアクチュエータと、を備える、という手段を採用する。

【0008】

本発明では、洗浄装置に係る第２の解決手段として、被洗浄物を収容する洗浄室と、該洗浄室に接続された乾燥室と、前記洗浄室に設けられた乾燥室用開口と前記乾燥室に設けられた開口とを接続する接続部材と、該接続部材による前記洗浄室と前記乾燥室との接続状態を連通状態あるいは非連通状態に切り替える開閉機構とを備える洗浄装置であって、前記開閉機構は、前記洗浄室内に位置し、前記乾燥室用開口に対向する弁体と、前記乾燥室用開口を備え、前記弁体に対向する弁座と、前記弁体を駆動するアクチュエータとを備え、前記弁体と前記弁座とを離間させることによって前記洗浄室と前記乾燥室とを連通させる、という手段を採用する。

【0009】

本発明では、洗浄装置に係る第３の解決手段として、上記第１または第２の解決手段において、前記乾燥室用開口に摺動自在に嵌合し、前記乾燥室用開口に対する前記弁座の位置を規定するサポート部材を備える、という手段を採用する。

【0010】

本発明では、洗浄装置に係る第４の解決手段として、上記第１〜第３のいずれかの解決手段において、前記アクチュエータは、前記乾燥室に備えられ、前記接続部材の内部において前記弁体と接続される、という手段を採用する。

【0011】

本発明では、洗浄装置に係る第５の解決手段として、上記第１〜第４のいずれかの解決手段において、前記接続部材は蛇腹である、という手段を採用する。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、洗浄室内に位置する弁体を乾燥室用開口の弁座から離間させることによって洗浄室と乾燥室とを連通させるので、ワークを容易に乾燥させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の一実施形態に係る真空洗浄装置の全体的な概要構成を示す斜視図である。

【図2】本発明の一実施形態に係る真空洗浄装置の概要構成を示す正面図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る真空洗浄装置における開閉機構の詳細構成を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
本実施形態に係る真空洗浄装置は、図１、図３に示すように、洗浄室１、蒸気発生部２、フロントドア３、乾燥室４、接続部材５、開閉機構６、真空ポンプ７、冷媒供給源８及び再生濃縮器９を備えている。

【0015】

この真空洗浄装置の概要について最初に説明すると、この真空洗浄装置は、汚れ成分が付着したワーク（被洗浄物）に洗浄剤の蒸気（洗浄蒸気）を作用させることによりワークを洗浄する装置である。すなわち、この真空洗浄装置は、洗浄蒸気を所定期間（洗浄期間）に亘って連続的に洗浄室に供給することにより、洗浄室内に収容されたワークの表面で洗浄蒸気の付着と凝縮とを連続的に行わせ、以ってワークの表面に付着した汚れ成分を洗浄剤の凝縮液とともにワークの表面から洗い落す。なお、ワークは、例えば加工によって表面に切削油等が汚れ成分として付着した金属部品である。

【0016】

このような真空洗浄装置は、図１に直交座標軸として示すＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のうち、Ｚ軸が鉛直方向となるように所定の台座上に設置される。なお、この図１では、本実施形態に係る真空洗浄装置の特徴点に直接関係しない構成要素、例えば各種の配管や弁については、便宜的に省略している。実際の真空洗浄装置（実機）は、上述した各構成要素の周囲に複数の配管や弁が実装され、さらにその外側に外装品が実装されている。

【0017】

洗浄室１は、全体として中空の直方体形状（略箱型）に形成されており、内部空間がワークを収容する。この洗浄室１には、一側面（フロント面）に開口（ワーク挿通口１ａ）が設けられている。このワーク挿通口１ａは、洗浄室１と外部との間でワークを出し入れするための鉛直姿勢の開口であり、図示するように矩形形状である。なお、このようなワーク挿通口１ａの周囲外側には、フロントドア３と密着するためのシール材が全周に亘って設けられている。

【0018】

また、このような洗浄室１の上部かつリヤ面近傍部位には、排気ポート１ｂが設けられている。この排気ポート１ｂは、上記洗浄室１の空気を外部に排気するための開口であり、図示しない配管によって真空ポンプ７に接続されている。また、洗浄室１の側部には、乾燥室用開口１ｃ、排液ポート１ｄ及び蒸気取入ポート１ｅが設けられている。

【0019】

乾燥室用開口１ｃは、図３に示すように、乾燥室４に対向するように設けられており、洗浄室１を乾燥室４と連通させるための円形開口である。この乾燥室用開口１ｃは、乾燥室４に対向するように洗浄室１に設けられた所定厚（所定深さ）のリング状部材１ｆの内側面であり、乾燥室用開口１ｃを介して乾燥室と連通する。

【0020】

なお、上記リング状部材１ｆは、乾燥室用開口１ｃを備えると共に、後述する開閉機構６の弁体６ｂと対向する弁座としても機能する。すなわち、弁体６ｂとリング状部材１ｆ（弁座）とは、一体として開閉バルブを構成している。

【0021】

排液ポート１ｄは、ワークの洗浄によって発生した洗浄液及び汚れ成分の混合液を洗浄室１の外部に排出するための開口であり、図示しない配管によって再生濃縮器９に接続されている。蒸気取入ポート１ｅは、再生濃縮器９で生成された洗浄液の蒸気を洗浄室１内の取り入れるための開口であり、図示しない配管によって再生濃縮器９に接続されている。

【0022】

蒸気発生部２は、洗浄室１の上部に備えられており、洗浄剤の蒸気を発生させる。この蒸気発生部２は、例えば洗浄剤を加熱して洗浄蒸気を発生させる加熱部と、洗浄蒸気を一時的に貯留する蒸気タンクとを備えており、加熱部で発生させた蒸気を蒸気タンクに一旦貯留し、当該蒸気タンクを介して洗浄蒸気を洗浄室１に供給する。このような蒸気発生部２によれば、蒸気タンクを備えているので、洗浄室に対して所定流量の洗浄蒸気を洗浄期間に亘って安定的に供給することができる。

【0023】

なお、上記洗浄剤は、炭化水素系の洗浄剤、例えばノルマルパラフィン系、イソパラフィン系、ナフテン系、芳香族系の炭化水素系洗浄剤である。さらに具体的には、クリーニングソルベントと呼ばれるテクリーン（登録商標）Ｎ２０、クリーンソルＧ、ダフニーソルベント等、第３石油類の洗浄剤である。

【0024】

フロントドア３は、洗浄室１のフロント面に備えられ、上記ワーク挿通口１ａを閉鎖あるいは開放する板状部材である。このフロントドア３は、例えばスライドドアであり、鉛直姿勢のワーク挿通口１ａに同じく鉛直姿勢で対向配置され、当該鉛直姿勢のまま左右方向（Ｘ軸方向）に移動することによってワーク挿通口１ａを閉鎖あるいは開放する。なお、フロントドア３は、ワーク挿通口１ａの周囲外側（フロントドア３側）に設けられたシール材と接触することにより、洗浄室１を密閉する。

【0025】

乾燥室４は、図１に示すように丸みを帯びた箱型であり、上記洗浄室１から取り込んだ蒸気（残留蒸気）を凝縮（液化）させる凝縮器である。洗浄室１でのワークの洗浄が終了した状態では、ワークの表面や洗浄室１の内面は洗浄剤で濡れた状態である。詳細については後述するが、乾燥室４は、このようなワークの洗浄後において洗浄室１に残留する洗浄剤の蒸気（残留蒸気）を洗浄室１から取り込んで凝縮（液化）させる。

【0026】

このような乾燥室４は、図２及び図３にも示すように、第１平面部４ａ、第２平面部４ｂ、周面部４ｃ、窪み部４ｄ、排気ポート４ｅ、排液ポート４ｆ、蒸気取入ポート４ｇ、冷媒取入ポート４ｈ、冷媒排液ポート４ｉ、蒸気取入口４ｊ、複数のフィン４ｋ及び温度保持装置４ｍを備えている。

【0027】

第１平面部４ａは、複数のフィン４ｋが設けられ、外周が長円状の板状部位である。この第１平面部４ａは、図３に示すように、所定距離隔てた状態で対向する外壁４ａ1と内壁４ａ2とからなる二重殻構造を備えており、外壁４ａ1と内壁４ａ2との間が冷媒が流通する流路（冷媒流路Ｒ）になっている。

【0028】

第２平面部４ｂは、蒸気取入口４ｊが設けられ、上記第１平面部４ａに平行な板状部位である。すなわち、この第２平面部４ｂは、第１平面部４ａと同様に外周が長円形な板状部位である。なお、互いに平行な関係にある第１平面部４ａ及び第２平面部４ｂは、鉛直姿勢である。

【0029】

周面部４ｃは、上記第１平面部４ａの外周と上記第２平面部４ｂの外周とを接続する無端状の板状部位である。この周面部４ｃは、図３に示すように、所定距離隔てた状態で対向する外周壁４ｃ1と内周壁４ｃ2とからなる二重殻構造を備えており、外周壁４ｃ1と内周壁４ｃ2との間が冷媒が流通する流路（冷媒流路Ｒ）になっている。

【0030】

すなわち、乾燥室４では、第１平面部４ａと周面部４ｃとが二重殻構造を備えており、当該二重殻構造によって形成される冷媒流路Ｒによって内壁４ａ2と内周壁４ｃ2とが効果的に冷却される。なお、この冷媒流路Ｒは、冷媒取入ポート４ｈ及び冷媒排液ポート４ｉと連通している。このような乾燥室４は、第１平面部４ａ、第２平面部４ｂ及び周面部４ｃによって形成された内部空間が凝縮室である。

【0031】

窪み部４ｄは、図１に示すように、第１平面部４ａの中心から若干下に変位した部位が所定面積に亘って陥没した部位である。このような窪み部４ｄの底部（第１平面部４ａの一部）には、開閉機構６の一部（エアーシリンダー６ａ等）が取り付けられている。

【0032】

排気ポート４ｅは、乾燥室４の空気を外部に排気するための開口であり、図示しない配管によって真空ポンプ７に接続されている。排液ポート４ｆは、残留蒸気が乾燥室４で凝縮して発生する凝縮液（残留凝縮液）を外部に排液するための開口であり、図示しない配管によって再生濃縮器９に接続されている。

【0033】

蒸気取入ポート４ｇは、再生濃縮器９で発生させた洗浄液の蒸気（再生蒸気）を乾燥室４内に取り込むするための開口であり、図示しない配管によって再生濃縮器９に接続されている。冷媒取入ポート４ｈは、冷媒を上記冷媒流路Ｒ内に取り入れるための開口であり、図示しない配管によって冷媒供給源８に接続されている。冷媒排液ポート４ｉは、上記冷媒流路Ｒ内の冷媒を乾燥室４の外部に排出するための開口であり、図示しない配管によって排液タンク（図示略）に接続されている。

【0034】

蒸気取入口４ｊは、図３に示すように、上記第２平面部４ｂに設けられた所定サイズの円形開口である。この蒸気取入口４ｊは、上記第１平面部４ａに設けられた窪み部４ｄの位置に符合する位置、つまり長円形状の第２平面部４ｂの中心から下側に若干変位した位置に設けられている。

【0035】

複数のフィン４ｋは、図３に示すように、乾燥室４に突出するように第１平面部４ａの内壁４ａ2に設けられた矩形の板状部材である。より具体的には、これらフィン４ｋは、第１平面部４ａにおいて窪み部４ｄの上方側のみに設けられており、また鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在すると共に当該鉛直方向及び水平方向に所定間隔を空けて設けられている。

【0036】

温度保持装置４ｍは、乾燥室温度を洗浄室温度よりも低い所定温度に保持する装置であり、図１に示すように窪み部４ｄ（第１平面部４ａ）に設けられている。この温度保持装置４ｍは、より具体的には乾燥室４に延在する冷却管によって乾燥室温度を洗浄室温度よりも低い温度に保持する。この温度保持装置４ｍによって設定・保持される乾燥室温度は、例えば５〜５０℃である。なお、乾燥室温度は、温度保持装置４ｍに加えて、上述した冷媒流路Ｒに冷媒供給源８から所定の冷媒が供給されることによって所定温度に設定・保持される。

【0037】

接続部材５は、洗浄室１の乾燥室用開口１ｃと乾燥室４の蒸気取入口４ｊとを接続する円筒状部材であり、軸線方向が水平方向（Ｘ軸方向）に設定されている。この接続部材５は、例えば円筒状の金属製蛇腹であり、乾燥室用開口１ｃと蒸気取入口４ｊとの間に介装される。本実施形態に係る真空洗浄装置では、接続部材５を金属製蛇腹とすることにより、洗浄室１の熱変形が乾燥室４に影響を与えることを軽減している。

【0038】

開閉機構６は、上記接続部材５によって接続された洗浄室１と乾燥室４とを連通状態あるいは非連通状態に切り替える機構であり、図３に示すように、エアーシリンダー６ａ（アクチュエータ）、弁体６ｂ、連結軸部材６ｃ、サポート部材６ｄ及びリング状部材１ｆ等から構成されている。なお、リング状部材１ｆは、洗浄室１の構成要素であると共に、開閉機構６の構成要素でもある。

【0039】

すなわち、この開閉機構６は、乾燥室４に対向するように洗浄室１に形成された乾燥室用開口１ｃを閉鎖あるいは開放することにより、上記接続部材５による洗浄室１と乾燥室４との接続状態を連通状態あるいは非連通状態に切り替える機構である。エアーシリンダー６ａは、弁体６ｂを駆動するアクチュエータであり、可動ロッドの突出方向が接続部材５の軸線方向（Ｘ軸方向）と一致するように窪み部４ｄ（第１平面部４ａ）に設けられている。

【0040】

弁体６ｂは、乾燥室用開口１ｃよりも若干大きな形状を備えた円形部材であり、乾燥室用開口１ｃの内側つまり洗浄室１内に位置すると共に乾燥室用開口１ｃに対向する。この弁体６ｂには、連結軸部材６ｃが乾燥室用開口１ｃの接続部材５側（乾燥室４側）に突出するように連結軸部材６ｃの先端が取り付けられている。また、この弁体６ｂには、乾燥室用開口１ｃ側の面（リング状部材１ｆと対向する面）にシール部材（Ｏリング）が設けられている。

【0041】

連結軸部材６ｃは、図示するように接続部材５の内部に設けられると共にエアーシリンダー６ａの可動ロッドと弁体６ｂとの間に介装された所定長の棒状部材であり、可動ロッドと弁体６ｂとを連結する。サポート部材６ｄは、弁体６ｂに隣接するように連結軸部材６ｃに設けられた円形部材であり、リング状部材１ｆに対する弁体６ｂの位置（Ｙ−Ｚ平面における位置）を規定する。すなわち、サポート部材６ｄは、所定深さを有する乾燥室用開口１ｃ内に摺動自在に嵌合することにより、リング状部材１ｆの内側に位置する弁体６ｂの全周がリング状部材１ｆの内側面と確実に当接するように案内する。

【0042】

このような開閉機構６は、エアーシリンダー６ａが可動ロッドを引き込むように作動することによって、弁体６ｂがリング状部材１ｆの内側面に当接して乾燥室用開口１ｃを閉鎖する。一方、開閉機構６は、エアーシリンダー６ａが可動ロッドを突出させるように作動することによって、弁体６ｂがリング状部材１ｆの内側面（洗浄室１の側面）から離間して乾燥室用開口１ｃを開放する。

【0043】

真空ポンプ７は、図示しない配管を介して排気ポート１ｂ、４ｅに接続されており、洗浄室１及び乾燥室４の空気を外部に排気する。冷媒供給源８は、図示しない配管を介して冷媒取入ポート４ｈに接続されており、乾燥室４に冷媒を供給する。この冷媒は、例えば水である。再生濃縮器９は、図示しない配管を介して排液ポート１ｄ、４ｆ及び蒸気取入ポート１ｅ、４ｇに接続されており、洗浄室１及び乾燥室４から回収した洗浄剤及び汚れ成分の凝縮液のうち、洗浄剤のみを再蒸気化して洗浄室１及び乾燥室４に供給すると共に汚れ成分を分離・濃縮する。

【0044】

次に、このように構成された本実施形態に係る真空洗浄装置の動作について詳しく説明する。

【0045】

この真空洗浄装置でワークを洗浄する場合、ワークはワーク挿通口１ａから洗浄室１に収容される。このワークは表面に切削油等の汚れ成分が付着した物である。そして、フロントドア３が作動して洗浄室１及び乾燥室４が密閉空間とされる。そして、真空ポンプ７が作動して洗浄室１及び乾燥室４が徐々に減圧されて、例えば１０ｋＰａ以下の圧力（初期圧力）に圧力設定される。

【0046】

また、このような減圧処理に平行して、蒸気発生部２が作動して洗浄蒸気が生成される。この洗浄蒸気は、圧力が飽和蒸気圧、また温度が洗浄液の沸点近傍、例えば８０〜１４０℃である。また、上記減圧処理に平行して開閉機構６が作動することにより洗浄室１と乾燥室４とが個別の部屋として分離され、さらに温度保持装置４ｍ及び冷媒供給源８が作動することにより乾燥室温度が洗浄終了後の洗浄室温度よりも低温な状態（例えば５〜５０℃）に温度設定される。

【0047】

そして、このような状態で蒸気発生部２から洗浄室１に洗浄蒸気が所定の洗浄期間に亘って順次供給されることによって、洗浄室１のワークが洗浄される。すなわち、洗浄期間において、ワークの表面では洗浄蒸気の付着と凝縮とが連続的に繰り返され、ワークの表面に付着した汚れ成分が洗浄蒸気の凝縮液と共にワークの表面から流下して除去（洗浄）される。

【0048】

上記洗浄処理が終了した時点において、洗浄室１の圧力は洗浄蒸気の飽和蒸気圧にほぼ等しい圧力、また洗浄蒸気の温度にほぼ等しい温度（８０〜１４０℃程度）になっている。すなわち、洗浄室１の圧力及び温度は、予め設定・保持された乾燥室内の圧力及び温度よりもかなり高い値になっている。

【0049】

上記洗浄処理に引き続いて洗浄室内のワークの乾燥処理が行われるが、この乾燥処理では、開閉機構６を作動させることにより上記圧力関係及び温度関係にある洗浄室１と乾燥室４とを連通させる。すなわち、エアーシリンダー６ａが作動することによって、弁体６ｂの外周部が乾燥室用開口１ｃの内側面（洗浄室側面）に当接している状態から離間する状態に急峻に変位させることにより、洗浄室１と乾燥室４とを短時間かつ比較的大きな面積で接続させる。

【0050】

この結果、洗浄室１の圧力は急速に減圧され、この急速減圧に起因してワークの表面に付着している洗浄蒸気の凝縮液（残留液）が一瞬で沸騰（突沸）する。また、洗浄室１と乾燥室４とを短時間かつ比較的大きな面積で接続することによって、ワークの表面から発生した残留液の蒸気（残留蒸気）は洗浄室１（高圧側）から弁体６ｂと乾燥室用開口１ｃとの隙間と接続部材５と蒸気取入口４ｊとを経由して乾燥室４（低圧側）に高速移動する。

【0051】

そして、乾燥室４（低圧側）に移動した残留蒸気は、乾燥室温度が洗浄室温度よりも低温かつ洗浄液の沸点以下に保持されているので凝縮する。ここで、乾燥室４における残留蒸気の凝縮は、乾燥室４における部材の表面積が大きい程に残留蒸気が上記部材に接触して低温化され易くなるので効率的に行われる。

【0052】

ここで、本実施形態に係る真空洗浄装置は、弁体６ｂが乾燥室用開口１ｃの内側（洗浄室１内）から乾燥室用開口１ｃを閉鎖するように構成されているので、弁体６ｂが洗浄室１外に設けられた場合、例えば弁体６ｂが乾燥室４に設けられた蒸気取入口４ｊを閉鎖するように構成した場合に比較して、ワークを容易に乾燥させることができる。

【0053】

すなわち、弁体６ｂが乾燥室４に設けられた蒸気取入口４ｊを閉鎖するように構成した場合には、接続部材５の内部空間が乾燥対象に含まれることになり、より広い空間を乾燥させる必要があるが、本実施形態では、接続部材５の内部空間が乾燥対象に含まれないので、乾燥室４も含めてワークを容易に乾燥させることができる。

【0054】

また、例えば接続部材５内に弁体６ｂを設けた場合には、弁体６ｂが抵抗（流体抵抗）となって蒸気（残留蒸気）の洗浄室１（高圧側）から乾燥室４（低圧側）への高速移動の妨げになるが、本実施形態では乾燥室用開口１ｃの内側（洗浄室１内）に設けられているので、蒸気（残留蒸気）の高速移動を妨げない。また、この場合には、エアシリンダー６ａが図３の右側に延びることになるので、装置が大きくなる虞があるが、本実施形態ではこのような装置の大型化の虞がない。
また、弁体６ｂを乾燥室４に設けた場合には、乾燥室４の容積が減るので凝縮性能を低下させる虞があるが、本実施形態では乾燥室用開口１ｃの内側（洗浄室１内）に設けられているので、凝縮性能を低下させる虞がない。

【0055】

また、本実施形態に係る真空洗浄装置によれば、弁体６ｂが洗浄室１内に位置する、つまりリング状部材（弁座）１ｆの内側（洗浄室１）に設けられているので、弁体６ｂが洗浄室１外に位置する場合、つまりリング状部材（弁座）１ｆの外側（乾燥室４側）に設けられている場合に比較して、ワークの洗浄時において洗浄室１を確実に密閉状態とすることができる。

【0056】

すなわち、ワークの洗浄時の初期圧力は洗浄室１及び乾燥室４ともに同圧であるが、時間の経過と共に洗浄室１の圧力は洗浄蒸気の供給に伴って徐々に上昇する一方、乾燥室４の圧力は初期圧力に維持されるので、洗浄室圧力はワークの洗浄が進むに従って乾燥室圧力よりも大きくなる。

【0057】

ここで、本実施形態では、弁体６ｂが洗浄室１の内側に位置するので、上述した洗浄室圧力と乾燥室圧力との圧力差によって、弁体６ｂをリング状部材（弁座）１ｆに押圧する圧力が作用するが、弁体６ｂが洗浄室１の外側に位置する場合には、弁体６ｂをリング状部材（弁座）１ｆから離間させる方向の圧力が作用するので、エアーシリンダー６ａによる弁体６ｂの押圧力にも依るが、洗浄室１を確実に密閉状態とすることができない。

【0058】

また、本実施形態に係る真空洗浄装置によれば、弁体６ｂに隣接して連結軸部材６ｃに設けられ、乾燥室用開口１ｃに摺動自在に嵌合するサポート部材６ｄを備えるので、弁体６ｂの乾燥室用開口１ｃに対する位置を最適位置に維持することが可能であり、よって洗浄室１におけるワークの洗浄時において乾燥室用開口１ｃを弁体６ｂによって確実に閉塞させることができる。

【0059】

また、本実施形態に係る真空洗浄装置によれば、弁体６ｂを駆動するエアーシリンダー６ａが乾燥室４に備えられ、接続部材５の内部において弁体６ｂと接続されているので、洗浄室１の内側に位置する弁体６ｂを確実に駆動することができる。
さらには、本実施形態に係る真空洗浄装置によれば、接続部材５が蛇腹として構成されているので、洗浄室１及び／あるいは乾燥室４が熱変形した場合に、そのお互いに対する影響を軽減することが可能である。

【0060】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態では、乾燥室用開口１ｃに対する弁体６ｂの位置を規定するサポート部材６ｄを設けたが、本発明はこれに限定されない。乾燥室用開口１ｃに対して弁体６ｂの外径が十分に大きい場合には、サポート部材６ｄを削除してもよい。
（２）また、上記実施形態では、弁体６ｂをサポート部材６ｄとを別部材としたが、両者を一体化させてもよい。

【0061】

（３）上記実施形態では、接続部材５を蛇腹としたが、本発明はこれに限定されない。洗浄室１及び／あるいは乾燥室４の熱変形を無視できる場合には、接続部材５を一般的な直管状の配管としてもよい。
また、上記実施形態では、二重殻構造を有する第１平面部４ａの内壁４ａ2にフィン４ｋを付け、洗浄蒸気をフィン４ｋ及び内壁４ａ2にて凝縮させたが、第１平面部４ａを１重構造にし、フィン４ｋに代えて銅チューブにフィンの付いた熱交換器としても良い。

【符号の説明】

【0062】

１…洗浄室、１ａ…ワーク挿通口、１ｂ…排気ポート、１ｃ…乾燥室用開口、１ｄ…排液ポート、１ｅ…蒸気取入ポート、１ｆ…リング状部材（弁座）、２…蒸気発生部、３…フロントドア、４…乾燥室、４ａ…第１平面部、４ｂ…第２平面部、４ｃ…周面部、４ｄ…窪み部、４ｅ…排気ポート、４ｆ…排液ポート、４ｇ…蒸気取入ポート、４ｈ…冷媒取入ポート、４ｉ…冷媒排液ポート、４ｊ…蒸気取入口、４ｋ…フィン、４ｍ…温度保持装置、５…接続部材、６…開閉機構、６ａ…エアーシリンダー（アクチュエータ）、６ｂ…弁体、６ｃ…連結軸部材、６ｄ…サポート部材、７…真空ポンプ、８…冷媒供給源、９…再生濃縮器

【図1】

【図2】

【図3】