知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
- 弁理士法人プロスペック特許事務所 (東京、名古屋、在宅勤務可)
▶ エコール ポリテクニックの特許一覧 ▶ サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・シャンティフィクの特許一覧
特許6016790台形波形励起による容量性結合リアクタにおけるプラズマ励起方法及びシステム
発明の名称 台形波形励起による容量性結合リアクタにおけるプラズマ励起方法及びシステム
出願人 エコール ポリテクニック （識別番号 513008384）
特許公開件数ランキング 6839 位（3件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24267 位（1件）（共同出願を含む）
出願人 サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・シャンティフィク （識別番号 595040744）
特許公開件数ランキング 30110 位（13件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24267 位（8件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6016790
公報発行日 2016年10月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6016790
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6016790「台形波形励起による容量性結合リアクタにおけるプラズマ励起方法及びシステム」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録