特許 6017189 圧電振動片及び圧電デバイス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6017189

(24)【登録日】2016年10月7日

(45)【発行日】2016年10月26日

(54)【発明の名称】圧電振動片及び圧電デバイス

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/19 20060101AFI20161013BHJP

   H01L 41/09 20060101ALI20161013BHJP

   H01L 41/18 20060101ALI20161013BHJP

   H01L 41/22 20130101ALI20161013BHJP

   H01L 41/187 20060101ALI20161013BHJP

【ＦＩ】

   H03H9/19 A

   H03H9/19 B

   H03H9/19 C

   H01L41/08 C

   H01L41/18 101A

   H01L41/22

   H01L41/18 101B

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2012-132642(P2012-132642)

(22)【出願日】2012年6月12日

(65)【公開番号】特開2013-258520(P2013-258520A)

(43)【公開日】2013年12月26日

【審査請求日】2015年5月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000232483

【氏名又は名称】日本電波工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106541

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 信和

(72)【発明者】

【氏名】高橋 岳寛

(72)【発明者】

【氏名】水沢 周一

【審査官】 橋本 和志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２６０７３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２１９８２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２５２８５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０３Ｈ ９／１９

Ｈ０１Ｌ ４１／０９

Ｈ０１Ｌ ４１／１８

Ｈ０１Ｌ ４１／１８７

Ｈ０１Ｌ ４１／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸により規定されるＡＴカットの水晶振動片であって、
所定の振動数で振動し、両主面に励振電極を有し、長辺が前記Ｘ軸の伸びる方向に伸び、短辺が前記Ｚ’軸の伸びる方向に伸び、前記Ｙ’軸が伸びる方向に厚さを有する矩形形状に形成されている振動部と、
前記振動部の周囲を囲む枠部と、
前記振動部と前記枠部とを連結する連結部と、を有し、
前記振動部の側面の少なくとも一部及び前記連結部の側面は前記振動部及び前記連結部の厚さが前記振動部及び前記連結部の外周に向かうに従って薄くなるようにテーパー状に形成され、
前記各励振電極からは、それぞれ前記連結部を介して前記枠部に引き出される引出電極が形成され、
一方の前記引出電極は、前記振動部及び前記連結部のテーパー状に形成された側面を介して一方の主面から他方の主面に引出され、
前記引出電極が形成される前記振動部のテーパー状に形成された側面は、前記連結部に隣接して形成されている圧電振動片。

【請求項2】

前記一方の引出電極は、前記枠部の前記振動部に面する側面を介して前記一方の主面から前記他方の主面に引き出されている請求項１に記載の圧電振動片。

【請求項3】

前記連結部が、１本又は複数本形成されている請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。

【請求項4】

請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
前記枠部の他方の主面に接合されるベース板と、
前記枠部の一方の主面に接合され、前記振動部を密封するリッド板と、
を備える圧電デバイス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、枠部が形成されている圧電振動片及び圧電デバイスに関する。

【背景技術】

【0002】

所定の振動数で振動する振動部と、振動部を囲むように形成される枠部と、振動部及び枠部を連結する連結部と、を有する圧電振動片が知られている。このような圧電振動片は、枠部の一方の主面及び他方の主面にそれぞれベース板及びリッド板が接合材を介して接合されて圧電デバイスが形成される。圧電振動片の振動部の両主面には一対の励振電極が形成され、各励振電極から枠部にまではそれぞれ引出電極が引き出される。

【0003】

圧電振動片に形成される一対の引出電極は、圧電振動片の一方の主面に接合されるベース板に形成される実装端子に電気的に接続される。そのため、圧電振動片のリッド板に面する主面に形成される励振電極から引き出される引出電極は、枠部のベース板に面する主面に引き出される。このとき、引出電極は振動部、連結部、又は枠部の少なくとも一つの側面を介して形成される。例えば特許文献１には連結部の側面に引出電極が形成された圧電振動片が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２−９００８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし特許文献１では、引出電極が主に連結部等の主面と側面との間の直角に形成された角を介して主面から側面に引き出されていることにより、引出電極が断線する又は電気抵抗が高くなり、圧電振動片のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）が上昇するという問題がある。

【0006】

本発明では、クリスタルインピーダンス（ＣＩ）の上昇が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

第１観点の圧電振動片は、所定の振動数で振動し両主面に励振電極を有し所定の厚さで形成されている振動部と、振動部の周囲を囲む枠部と、振動部と枠部とを連結する連結部と、を有し、振動部の側面の少なくとも一部が振動部の厚さが振動部の外周に向かうに従って薄くなるようにテーパー状に形成され、各励振電極からは、それぞれ連結部を介して枠部に引き出される引出電極が形成され、一方の引出電極が振動部のテーパー状に形成された側面を介して一方の主面から他方の主面に引出されている。

【0008】

第２観点の圧電振動片は、第１観点において、引出電極が形成される振動部のテーパー状に形成された側面が連結部に隣接して形成される。

【0009】

第３観点の圧電振動片は、第１観点又は第２観点において、一方の引出電極が連結部の側面を介して一方の主面から他方の主面に引き出されている。

【0010】

第４観点の圧電振動片は、第１観点から第３観点において、一方の引出電極が、枠部の振動部に面する側面を介して一方の主面から他方の主面に引き出されている。

【0011】

第５観点の圧電振動片は、第１観点から第４観点において、連結部が、１本又は複数本形成されている。

【0012】

第６観点の圧電デバイスは、第１観点から第５観点に記載の圧電振動片と、枠部の他方の主面に接合されるベース板と、枠部の一方の主面に接合され、振動部を密封するリッド板と、を備える。

【発明の効果】

【0013】

本発明の圧電振動片及び圧電デバイスによれば、クリスタルインピーダンス（ＣＩ）の上昇を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】圧電デバイス１００の分解斜視図である。

【図2】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図3】（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。 （ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。 （ｃ）は、図３（ａ）及び図３（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。

【図4】圧電ウエハＷ１３０の平面図である。

【図5】圧電ウエハＷ１３０に圧電振動片１３０を形成する過程が示されたフローチャートである。

【図6】圧電ウエハＷ１３０に圧電振動片１３０を形成する過程が示されたフローチャートである。

【図7】（ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。 （ｂ）は、図７（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。

【図8】（ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。 （ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片３３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

【0016】

（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は、リッド板１１０と、ベース板１２０と、圧電振動片１３０と、により構成されている。圧電振動片１３０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス１００においては圧電デバイス１００の長辺方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。

【0017】

圧電振動片１３０は、所定の振動数で振動し矩形形状に形成された振動部１３１と、振動部１３１を囲む枠部１３２と、振動部１３１と枠部１３２とを連結する連結部１３３と、を有しており、振動部１３１と枠部１３２との間には圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通溝１３６が形成されている。連結部１３３は、振動部１３１の−Ｘ軸側の辺の中央と、−Ｘ軸側の枠部１３２の側面とを連結している。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面と−Ｙ’軸側の面とには、それぞれ励振電極１３４ａ及び励振電極１３４ｂが形成されている。励振電極１３４ａ及び励振電極１３４ｂからは連結部１３３を介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側にそれぞれ引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂが引き出されている。また、振動部１３１には、励振電極１３４ａ及び励振電極１３４ｂが形成されるメサ領域１３８ａと、メサ領域１３８ａの周りに形成されメサ領域１３８ａよりもＹ’軸方向の厚さが薄い周辺領域１３８ｂと、が形成されている。

【0018】

ベース板１２０は、＋Ｙ’軸側の面に、−Ｙ’軸側に凹んだ凹部１２１と、凹部１２１を囲む接合面１２２と、接合面１２２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に配置される接続電極１２３と、が形成されている。接合面１２２は、圧電振動片１３０の枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に接合材１４０（図２参照）を介して接合される。また、ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子１２４が形成されている。さらに、ベース板１２０の四隅の側面にはキャスタレーション１２６が形成されており、＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側のキャスタレーション１２６の側面にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。キャスタレーション電極１２５は、接続電極１２３と実装端子１２４とを電気的に接続している。また、−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に形成されている接続電極１２３は圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に引き出されている引出電極１３５ａに電気的に接続され、＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角に形成されている接続電極１２３は圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角に引き出されている引出電極１３５ｂに電気的に接続される。

【0019】

リッド板１１０は、−Ｙ’軸側の面に、凹部１１１と、凹部１１１を囲む接合面１１２とが形成されている。接合面１１２は、圧電振動片１３０の枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に接合材１４０（図２参照）を介して接合される。

【0020】

図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。圧電デバイス１００は、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側にリッド板１１０が配置され、−Ｙ’軸側にベース板１２０が配置されている。また、圧電デバイス１００の内部には、リッド板１１０の凹部１１１及びベース板１２０の凹部１２１によりキャビティ１５０が形成されており、キャビティ１５０には圧電振動片１３０の振動部１３１が配置されている。キャビティ１５０は、リッド板１１０の接合面１１２と枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面との間、及びベース板１２０の接合面１２２と枠部１３２の−Ｙ’軸側の面との間に接合材１４０が形成されることにより密封されている。また、枠部１３２に形成される引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂがベース板１２０に形成される接続電極１２３に電気的に接続されることにより、励振電極１３４ａ及び励振電極１３４ｂと実装端子１２４とが電気的に接続される。

【0021】

図３（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ａ及び引出電極１３５ａが形成されており、励振電極１３４ａは振動部１３１のメサ領域１３８ａに形成されている。引出電極１３５ａは励振電極１３４ａから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３を介して枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側にまで形成されている。また、引出電極１３５ａは主に、振動部１３１の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の側面１３７ａ、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３７ｂ、及び枠部１３２の振動部１３１に面する内側側面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の側面１３７ｃを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。

【0022】

図３（ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面のメサ領域１３８ａに形成されている励振電極１３４ｂからは、−Ｘ軸方向に引出電極１３５ｂが伸びており、さらに連結部１３３を介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側にまで形成されている。また、＋Ｙ’軸側の面から側面１３７ａ、１３７ｂ、１３７ｃを介して引き出されている引出電極１３５ａが、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角にまで引き出されている。

【0023】

図３（ｃ）は、図３（ａ）及び図３（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成されている引出電極１３５ａは、側面１３７ａを介して振動部１３１の−Ｙ’軸側の面に引き出されている。また、枠部１３２の＋Ｙ’軸側に形成されている引出電極１３５ａは、側面１３７ｃを介し枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に引き出されている。圧電振動片１３０では、振動部１３１の周辺領域１３８ｂのＹ’軸方向の厚さを厚さＴ１とし、枠部１３２のＹ’軸方向の厚さを厚さＴ２とすると、厚さＴ１は厚さＴ２よりも薄く形成されている。また、振動部１３１の側面１３７ａの＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側は、振動部１３１の厚さが振動部１３１の外周に向かうに従って薄くなるようにテーパー状に形成されている。

【0024】

＜圧電振動片１３０の作製方法＞
図４は、圧電ウエハＷ１３０の平面図である。圧電振動片１３０は、圧電材により形成された圧電ウエハＷ１３０に複数の圧電振動片１３０の外形が形成され、さらに励振電極１３４ａ、励振電極１３４ｂ、引出電極１３５ａ、及び引出電極１３５ｂが形成されることにより作製される。図４に示された圧電ウエハＷ１３０には、複数の圧電振動片１３０がＸ軸方向及びＺ’軸方向に並んで形成されている。互いに隣接する圧電振動片１３０の間にはスクライブライン１７１が示されている。圧電振動片１３０は、圧電ウエハＷ１３０に形成された後に圧電ウエハＷ１３０がスクライブライン１７１に沿って切断されることにより、個々の圧電振動片１３０に分割される。

【0025】

図５及び図６は、圧電ウエハＷ１３０に圧電振動片１３０を形成する過程が示されたフローチャートである。また図５及び図６では、フローチャートの各ステップの右隣りに各ステップを説明するための圧電ウエハＷ１３０の部分断面図が示されている。この部分断面図は、図４のＣ−Ｃ断面に相当する断面図である。以下に、図５及び図６のフローチャートに従って圧電ウエハＷ１３０に圧電振動片１３０を形成する過程について説明する。

【0026】

図５のステップＳ１０１では、圧電ウエハＷ１３０が用意される。図５（ａ）は、ステップＳ１０１で用意された圧電ウエハＷ１３０の部分断面図である。ステップＳ１０１で用意される圧電ウエハＷ１３０は、＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面が平坦に形成されている。

【0027】

ステップＳ１０２では、圧電ウエハＷ１３０の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の両面に金属膜１４１及びフォトレジスト１４２が形成される。図５（ｂ）は、金属膜１４１及びフォトレジスト１４２が形成された圧電ウエハＷ１３０の部分断面図である。ステップＳ１０２では、まずステップＳ１０１で用意された圧電ウエハＷ１３０に金属膜１４１が形成される。さらに金属膜１４１の表面にフォトレジスト１４２が形成される。金属膜１４１は、圧電ウエハＷ１３０に所定の金属をスパッタリングもしくは真空蒸着などを行うことにより形成される。金属膜１４１は、例えば圧電ウエハＷ１３０に下地としてニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）又はニッケル・タングステン（ＮｉＷ）等の膜を形成し、下地の上面に金（Ａｕ）又は銀（Ａｇ）等を成膜することにより形成される。フォトレジスト１４２は、金属膜１４１の表面にスピンコートなどの手法で均一に塗布される。

【0028】

ステップＳ１０３では、フォトレジスト１４２の露光及び現像が行われ、金属膜１４１の除去が行われる。図５（ｃ）は、フォトレジスト１４２の露光及び現像が行われ、金属膜１４１の除去が行われた圧電ウエハＷ１３０の部分断面図である。ステップＳ１０３では、まず、圧電ウエハＷ１３０の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側にマスク１６１が配置されてフォトレジスト１４２が露光され、フォトレジスト１４２が現像される。さらに、金属膜１４１がエッチングにより除去される。マスク１６１を用いて露光されるフォトレジスト１４２は貫通溝１３６が形成される領域の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面であり、この領域のフォトレジスト１４２及び金属膜１４１が除去される。

【0029】

ステップＳ１０４では、圧電ウエハＷ１３０がエッチングされて貫通溝１３６が形成される。図５（ｄ）は、貫通溝１３６が形成された圧電ウエハＷ１３０の部分断面図である。ステップＳ１０４では、圧電ウエハＷ１３０をエッチングすることにより圧電ウエハＷ１３０にＹ’軸方向に貫通する貫通溝１３６が形成される。

【0030】

図６のステップＳ１０５では、圧電ウエハＷ１３０に金属膜１４１及びフォトレジスト１４２が形成される。図６（ａ）は、金属膜１４１及びフォトレジスト１４２が形成された圧電ウエハＷ１３０の部分断面図である。ステップＳ１０５では、ステップＳ１０４で残った金属膜１４１及びフォトレジスト１４２の全てが除去され、再び圧電ウエハＷ１３０の全体に金属膜１４１及びフォトレジスト１４２が形成される。

【0031】

ステップＳ１０６では、フォトレジスト１４２の露光及び現像が行われ、金属膜１４１の除去が行われる。図６（ｂ）は、フォトレジスト１４２の露光及び現像が行われ金属膜１４１が除去された圧電ウエハＷ１３０の部分断面図である。ステップＳ１０６では、マスク１６２を介して振動部１３１の周辺領域１３８ｂ及び連結部１３３に形成されているフォトレジスト１４２が露光され、フォトレジスト１４２が現像される。さらに、金属膜１４１がエッチングにより除去される。ステップＳ１０６では、振動部１３１の周辺領域１３８ｂ及び連結部１３３が露出される。

【0032】

ステップＳ１０７では、圧電ウエハＷ１３０がエッチングされる。図６（ｃ）は、エッチングされた圧電ウエハＷ１３０の部分断面図である。ステップＳ１０７では、エッチングにより圧電ウエハＷ１３０の周辺領域１３８ｂの厚さが薄くされ、これによりメサ領域１３８ａが形成される。また、周辺領域１３８ｂの外周の主面と側面との間の角はＹ’軸方向及び貫通溝１３６に面する側面の２つの方向からエッチングされるため、周辺領域１３８ｂの側面の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側が図３（ｃ）及び図６（ｃ）に示されるようにテーパー状に形成される。

【0033】

ステップＳ１０８では、圧電ウエハＷ１３０に励振電極及び引出電極が形成される。図６（ｄ）は、励振電極及び引出電極が形成された圧電ウエハＷ１３０の部分断面図である。ステップＳ１０８では、図６（ｃ）の圧電ウエハＷ１３０から全てのフォトレジスト１４２及び金属膜１４１が取り除かれた後に、圧電ウエハＷ１３０に励振電極１３４ａ、励振電極１３４ｂ、引出電極１３５ａ、及び引出電極１３５ｂが形成される。引出電極１３５ａは、側面１３７ａを介して＋Ｙ’軸側の面と−Ｙ’軸側の面とにまたがって形成される。また、引出電極１３５ａは、連結部１３３の側面１３７ｂ及び枠部１３２の側面１３７ｃにも形成される。ステップＳ１０８の後には、各圧電振動片１３０は、スクライブライン１７１で切断されて個片化される。

【0034】

圧電振動片は、引出電極が＋Ｙ’軸側の主面から−Ｙ’軸側の主面に引き出される場合に、主面と側面との間の角等において引出電極が導通不良又は電気抵抗が増大し、圧電振動片のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）が高くなる場合がある。引出電極の導通不良又は電気抵抗の増大は、主面と側面との間の角の角度が直角に近い場合にはこの角への引出電極の形成が困難であり、フォトレジストの塗布及び露光条件等をより厳しく制御しなければならないこと、及び、スパッタリング等による側面への電極形成では電極の材料が側面に回り込みにくく、側面における膜厚が薄くなること、に起因する。これに対して圧電振動片１３０は、振動部１３１の主面と側面との間の角の角度が９０度よりも大きくなるように振動部１３１の側面がテーパー状に形成されている。これにより、フォトレジストの塗布及び露光条件等の制御が容易になり、角への引出電極の形成が容易になる。また、テーパー状に形成される側面には電極の材料が回り込み易くなり、側面の膜厚が薄くなることが改善される。そのため、引出電極１３５ａに導通不良又は電気抵抗の増大等が起こりにくくなり、クリスタルインピーダンス（ＣＩ）の上昇が抑えられると共にクリスタルインピーダンス（ＣＩ）を低く保つことができる。

【0035】

また、圧電振動片１３０では＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引き出される引出電極１３５ａが貫通溝１３６の側面を介して引き出されている。引出電極１３５ａが貫通溝１３６の側面に形成される際には、引出電極１３５ａが引き出される領域の周辺にも電極を構成する金属膜が付着する。すなわち、枠部１３２の振動部１３１に面する内側側面のみに引出電極を形成しようとしても、貫通溝１３６を介して引出電極の周辺の振動部１３１にも金属膜が形成されてしまう。このようにして振動部１３１に形成される金属膜は、振動部１３１の振動に悪影響を与える。圧電振動片１３０では、もともと振動に悪影響を与える連結部１３３及びその周辺に引出電極１３５ａが形成されることにより、振動部１３１の一部に引出電極１３５ａが形成されることの悪影響が顕在化されにくく好ましい。

【0036】

さらに圧電振動片１３０では、連結部１３３の側面１３７ｂ及び枠部１３２の側面１３７ｃにも引出電極１３５ａが形成されることによって＋Ｙ’軸側から−Ｙ’軸側の面に引き出される引出電極１３５ａの幅が広くなり、引出電極１３５ａの電気抵抗が低く抑えられるため好ましい。また、圧電振動片１３０では連結部１３３の側面１３７ｂもテーパー状に形成されており、引出電極１３５ａに導通不良又は電気抵抗の増大等が起こりにくくなり好ましい。

【0037】

（第２実施形態）
圧電振動片は、圧電振動片１３０とは異なる外形形状に形成されていても良い。以下に圧電振動片の変形例として圧電振動片２３０及び圧電振動片３３０について説明する。また、以下の説明では、第１実施形態と同様の部分に関しては、第１実施形態と同様の番号を付してその説明を省略する。

【0038】

＜圧電振動片２３０の構成＞
図７（ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。圧電振動片２３０は、振動部２３１と、枠部１３２と、連結部２３３と、により形成されている。振動部２３１は、平面形状がＸ軸方向に長辺が伸び、Ｚ’軸方向に短辺が伸びる矩形形状に形成されている。連結部２３３は、振動部２３１の−Ｘ軸側の辺の中央と、枠部１３２の−Ｘ軸側の内側側面とを連結している。また、振動部２３１にはメサ領域１３８ａが形成され、連結部２３３に連結される部分には連結領域２３８ｃが形成され、それ以外の領域には周辺領域２３８ｂが形成されている。連結領域２３８ｃは振動部２３１の−Ｘ軸側の辺の中央に形成されており、連結領域２３８ｃとメサ領域１３８ａとは連結されていない。また、圧電振動片２３０には、励振電極１３４ａ、励振電極１３４ｂ、引出電極１３５ａ、及び引出電極１３５ｂが形成されている。引出電極１３５ａは主に、振動部２３１の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の側面１３７ａ、連結部２３３の−Ｚ’軸側の側面２３７ｂ、及び枠部１３２の振動部１３１に面する内側側面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の側面１３７ｃを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。圧電振動片２３０の−Ｙ’軸側の面の平面形状は、図３（ｂ）と同様である。また、図７（ａ）のＢ−Ｂ断面は、図３（ｃ）と同様である。

【0039】

図７（ｂ）は、図７（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。圧電振動片２３０では、枠部１３２、連結部２３３、連結領域２３８ｃ、及びメサ領域１３８ａの厚さが厚さＴ２に形成されている。また、周辺領域２３８ｂの厚さは厚さＴ２よりも薄い厚さＴ１に形成されている。圧電振動片２３０では、連結部２３３が枠部１３２と同じ厚さに形成されていること、及び連結領域２３８ｃと連結部２３３とが同じ厚さに形成されていることにより、連結部２３３の機械的強度が強く形成され、圧電振動片２３０が落下等の衝撃に対して強くなっている。

【0040】

＜圧電振動片３３０の構成＞
図８（ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。圧電振動片３３０は、振動部１３１と、枠部１３２と、連結部３３３と、により構成されている。連結部３３３は、振動部１３１の−Ｘ軸側の辺の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側にそれぞれ連結されており、−Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２に連結されている。連結部３３３の厚さは周辺領域１３８ｂと同じ厚さに形成されている。また、＋Ｙ’軸側の面のメサ領域１３８ａには励振電極１３４ａが形成されており、励振電極１３４ａからは−Ｘ軸方向に引出電極３３５ａが引き出されている。引出電極３３５ａは、＋Ｚ’軸側の連結部３３３を通って枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側にまで形成されている。また、引出電極３３５ａは、側面１３７ａ、＋Ｚ’軸側の連結部３３３の＋Ｚ’軸側の側面３３７ｂ、及び側面１３７ｃを介して＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面にまで引き出されている。また、図８（ａ）のＢ−Ｂ断面は、図３（ｃ）と同様である。

【0041】

図８（ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片３３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ｂが形成されており、励振電極１３４ｂからは、−Ｘ軸方向に引出電極３３５ｂが伸びており、この引出電極１３５ｂは−Ｚ’軸側の連結部３３３を介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側にまで形成されている。また、＋Ｙ’軸側の面から側面１３７ａ、３３７ｂ、１３７ｃを介して引出電極３３５ａが−Ｙ’軸側の面に引き出されており、引出電極３３５ａは枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角にまで引き出されている。

【0042】

圧電振動片３３０は、２本の連結部３３３が形成されていることにより落下等の衝撃に対して強くなっている。また、圧電振動片１３０と同様に、引出電極３３５ａがテーパー状に形成されている振動部１３１の側面１３７ａを介して−Ｙ’軸側に引き出されていることにより、クリスタルインピーダンス（ＣＩ）を低く保つことができる。

【0043】

以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。

【0044】

例えば、上記の実施形態では圧電振動片にＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットの水晶振動片などであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材に基本的に適用できる。

【符号の説明】

【0045】

１００ … 圧電デバイス
１１０ … リッド板
１１１ … 凹部
１１２ … 接合面
１２０ … ベース板
１２１ … 凹部
１２２ … 接合面
１２３ … 接続電極
１２４ … 実装端子
１２５ … キャスタレーション電極
１２６ … キャスタレーション
１３０、２３０、３３０ … 圧電振動片
１３１、２３１ … 振動部
１３２ … 枠部
１３３、２３３、３３３ … 連結部
１３４ａ、１３４ｂ … 励振電極
１３５ａ、１３５ｂ、３３５ａ、３３５ｂ … 引出電極
１３６、３３６ … 貫通溝
１３７ａ … 振動部の側面
１３７ｂ、２３７ｂ、３３７ｂ … 連結部の側面
１３７ｃ … 枠部の側面
１３８ａ … メサ領域
１３８ｂ、２３８ｂ … 周辺領域
１４０ … 接合材
１４１ … 金属膜
１４２ … フォトレジスト
１５０ … キャビティ
１６１、１６２ … マスク
１７１ … スクライブライン
２３８ｃ … 連結領域
Ｗ１３０ … 圧電ウエハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】