特許 6018369 基板処理システム、管理装置及び基板処理システムにおける表示方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6018369

(24)【登録日】2016年10月7日

(45)【発行日】2016年11月2日

(54)【発明の名称】基板処理システム、管理装置及び基板処理システムにおける表示方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/02 20060101AFI20161020BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/02 Z

【請求項の数】6

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2011-183705(P2011-183705)

(22)【出願日】2011年8月25日

(65)【公開番号】特開2013-45949(P2013-45949A)

(43)【公開日】2013年3月4日

【審査請求日】2014年8月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001122

【氏名又は名称】株式会社日立国際電気

(74)【代理人】

【識別番号】110000039

【氏名又は名称】特許業務法人アイ・ピー・ウィン

(72)【発明者】

【氏名】屋敷 佳代子

(72)【発明者】

【氏名】清水 英人

(72)【発明者】

【氏名】越巻 寿朗

(72)【発明者】

【氏名】浅井 一秀

【審査官】 工藤 一光

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−１１２９６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２５２９１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平５−１８９３４３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板処理を実行する基板処理装置と、
前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を取得する管理装置と、
前記管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する複数の端末装置と、
を含む基板処理システムであって、
前記管理装置は、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、ログアウトした時点の前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前にログインされた端末装置と再度ログインされた端末装置が異なる場合、前記ログアウトした時点の前記前にログインされた端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した該情報に基づいて、前記再度ログインされた端末装置における表示を制御して、前記再度ログインされた端末装置に表示される画面を調整する基板処理システム。

【請求項2】

複数の端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、ログアウトした時点の前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前にログインされた端末装置と再度ログインされた端末装置が異なる場合、前記ログアウトした時点の前記前にログインされた端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した該情報に基づいて、前記再度ログインされた端末装置における表示を制御して、前記再度ログインされた端末装置に表示される画面を調整する管理装置。

【請求項3】

前記管理装置は、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報が変更された場合、変更内容を保存する保存手段を有する請求項２記載の管理装置。

【請求項4】

前記端末装置における表示に関する情報は、前記端末装置に表示されていた画面の名前、該画面の位置、該画面のサイズ、及び、該画面が表示されていた前記端末装置のディスプレイのサイズのうち少なくとも一つを有する請求項２記載の管理装置。

【請求項5】

前記制御手段は、前にログインされた端末装置と再度ログインされた端末装置が異なる場合でも、前記再度ログインされた端末装置に前記前にログインされた端末装置における前記基板処理装置に関する情報を表示させる請求項２記載の管理装置。

【請求項6】

基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を取得する管理装置と、前記管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する複数の端末装置と、を含む基板処理システムにおける表示方法であって、
前記管理装置は、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、ログアウトした時点の前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前にログインされた端末装置と再度ログインされた端末装置が異なる場合、前記ログアウトした時点の前記前にログインされた端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した該情報に基づいて、前記再度ログインされた端末装置における表示を制御して、前記再度ログインされた端末装置に表示される画面を調整する基板処理システムにおける表示方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、少なくとも１台の基板処理装置に関する情報を処理する基板処理システムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

基板処理装置は、基板処理装置の各部から基板処理に関する情報を収集し、基板処理装置を管理する群管理装置に送信する。群管理装置には、ＧＵＩ（Graphical User Interface）を備えた端末装置が接続され、群管理装置は、端末装置からの要求に基づいて、基板処理に関する情報を送信する。このような構成によって、端末装置の操作者は、群管理装置を介して、いずれの端末装置においても、基板処理装置に関する情報を表示させることができる。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

従来、端末操作での表示形式（表示内容、表示色及び表示位置など）を操作者ごとに保存することができず、操作者は、端末装置にログインするたびに、前回ログアウトした時点の表示形式を再現するための操作を行う必要があり、作業効率が低下していた。

【0004】

本発明の目的は、作業効率の低下を防止する基板処理システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理システムは、基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置とからなる基板処理システムであって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段とを有する。

【0006】

本発明に係る群管理装置は、基板処理を実行する基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置であって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報が変更された場合、変更内容を保存する保存手段とを有する。

【0007】

本発明に係る基板処理システムは、基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置とからなる基板処理システムであって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報と、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段とを有する。

【0008】

好適には、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報は、前記端末装置に表示されていた画面の名前、該画面の位置、該画面のサイズ、及び、該画面が表示されていた前記端末装置のディスプレイのサイズである。

【0009】

好適には、ログアウトした前記端末装置の操作者が再度ログインした場合、前記制御手段は、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した情報に基づいて、前記端末装置における表示を制御する。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、作業効率の低下を防止する基板処理システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。

【図2】図１に示した基板処理装置の平面透視図である。

【図3】図１に示した基板処理装置の側面透視図である。

【図4】図１に示した群管理装置内のデータベースに格納される、操作者情報及び表示情報の一例である。

【図5】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、基板処理装置タイプ一覧画面の一例である。

【図6】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、基板処理装置一覧画面の一例である。

【図7】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、フォーマット切替画面の一例である。

【図8】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、フォーマット編集画面の一例である。

【図9】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、アイテム選択画面の例である。

【図10】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、フォーマット編集画面（一部）及び詳細画面（一部）の一例である。

【図11】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、フォーマット編集画面（一部）及び詳細画面（一部）の一例である。

【図12】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、フォーマット編集画面（一部）の一例である。

【図13】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、フォーマット編集画面（一部）の一例である。

【図14】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、フォーマット編集画面（一部）の一例である。

【図15】図１に示した端末装置のディスプレイに表示される、フォーマット編集画面（一部）の一例である。

【図16】表示画面のサイズを調整する手順を示すフローチャートである。

【図17】図１６のフローチャートで用いられる値を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

まず、本発明の実施形態に係る基板処理システムの概要を説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。図１に示すように、基板処理システム１において、基板処理装置１００−１〜１００−ｎがネットワーク１０２−１を介して群管理装置２に接続されるとともに、群管理装置２がネットワーク１０２−２を介して端末装置３−１〜３−ｎに接続される。

【0013】

ここで、ｎは１以上の整数であって、ｎが常に同じ数を示すとは限らない。
以下の各図において、実質的に同じ構成部分には、同じ符号が付される。
以下、「基板処理装置１００−１〜１００−ｎ」など、複数存在しうる構成部分のいずれかが、特定されずに示される場合には、単に「基板処理装置」などと略記されることがある。

【0014】

基板処理装置１００は、詳細は図２，３を参照して後述するが、例えば、半導体製造装置である。
群管理装置２は、例えば、データベース管理システムが稼働するデータベースサーバである。群管理装置２は、基板処理装置１００の各部から、基板処理装置１００の各部の状態を示す情報（例えば、処理炉内の温度、ガス流量及び圧力。以下、単に「基板処理情報」と記載）を取得し、自身のデータベースに格納する。群管理装置２内のデータベースには、基板処理情報のほか、端末装置３の操作者に関する情報（以下、単に「操作者情報」と記載。詳細は図４を参照して後述）及び端末装置３の表示に関する情報（以下、単に「表示情報」と記載。詳細は図４を参照して後述）が格納される。群管理装置２は、端末装置３からの指示に基づいて、端末装置３に対して、基板処理情報及び表示情報を送信する。
端末装置３は、例えば、ディスプレイを備えた一般的なコンピュータである。端末装置３は、群管理装置２に対して、操作者から受け付けた指示を送信する。端末装置３の操作者は、ディスプレイを介して、基板処理情報をディスプレイに表示する指示を入力する。
このような構成により、端末装置３の操作者は、群管理装置２を介して、いずれの端末装置３にも、基板処理装置１００から取得した情報を表示させることができる。

【0015】

[基板処理装置]
次に、図１に示した基板処理装置１００の具体的な実施形態について説明する。以下、基板処理装置１００は、酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などの処理を基板に施し、半導体装置（ＩＣ）を製造する半導体製造装置であるものとして説明する。
図２は、基板処理装置１００の平面透視図であり、図３は、基板処理装置１００の側面透視図である。

【0016】

図２，３に示すように、基板処理装置１００は、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下、「ポッド」と記載）１１０を使用し、筐体１１１を備える。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４がそれぞれ建て付けられる。

【0017】

筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設され、ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉される。また、ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置され、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成される。ポッド１１０は、ロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出される。

【0018】

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置され、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成される。具体的には、回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上下四段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備え、複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０をそれぞれ載置するように構成される。

【0019】

筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置され、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成され、ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成される。

【0020】

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築される。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設され、上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、一対のポッドオープナ１２１がそれぞれ設置される。

【0021】

ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備える。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成される。

【0022】

サブ筐体１１９は、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４から構成される。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置され、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成される。ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをが、ウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成される。

【0023】

図２に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側と反対側である右側端部には、清浄化した雰囲気又は不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するように、供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置され、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置される。

【0024】

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５及びウエハ移載装置１２５ａに流通された後、不図示のダクトにより吸い込まれ、筐体１１１の外部に排気がなされるか、又はクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成される。

【0025】

移載室１２４の後側領域には、大気圧未満の圧力（以下、「負圧」と記載）を維持可能な機密性能を有する筐体（以下、「耐圧筐体」と記載）１４０が設置され、耐圧筐体１４０によりボート２１７を収容可能な容積を有するロードロック方式の待機室であるロードロック室１４１が形成される。

【0026】

耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａにはウエハ搬入搬出開口（基板搬入搬出開口）１４２が開設され、ウエハ搬入搬出開口１４２はゲートバルブ（基板搬入搬出口開閉機構）１４３によって開閉される。耐圧筐体１４０の一対の側壁には、ロードロック室１４１へ窒素ガスを給気するためのガス供給管１４４と、ロードロック室１４１を負圧に排気するための排気管１４５とがそれぞれ接続される。

【0027】

ロードロック室１４１上方には、処理炉２０２が設けられる。処理炉２０２の下端部は炉口ゲートバルブ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成される。耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａの上端部には、炉口ゲートバルブ１４７を処理炉２０２の下端部の開放時に収容する炉口ゲートバルブカバー１４９が取り付けられる。

【0028】

図２に示すように、耐圧筐体１４０にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置される。ボートエレベータ１１５に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられ、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成される。

【0029】

ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成される。

【0030】

次に、基板処理装置１００の動作について説明する。図２，３に示すように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。

【0031】

搬入されたポッド１１０は、回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、又は直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。このとき、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも低く設定される。

【0032】

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、キャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。また、予め内部が大気圧状態とされていたロードロック室１４１のウエハ搬入搬出開口１４２がゲートバルブ１４３の動作により開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、ウエハ搬入搬出開口１４２を通じてロードロック室１４１に搬入され、ボート２１７へ移載されて装填（ウエハチャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。

【0033】

上段（又は下段）のポッドオープナ１２１において、ウエハ移載装置１２５がウエハをボート２１７に装填している間、下段（又は上段）のポッドオープナ１２１には、回転式ポッド棚１０５又はロードポート１１４から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されるとともに、ポッドオープナ１２１がポッド１１０を開放する。

【0034】

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、ウエハ搬入搬出開口１４２がゲートバルブ１４３によって閉じられ、ロードロック室１４１は排気管１４５から真空引きされることにより、減圧される。

【0035】

ロードロック室１４１が処理炉２０２内の圧力と同圧に減圧されると、処理炉２０２の下端部が炉口ゲートバルブ１４７によって開放される。このとき、炉口ゲートバルブ１４７は炉口ゲートバルブカバー１４９の内部に搬入されて収容される。

【0036】

続いて、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５の昇降台１６１によって上昇されて、シールキャップ２１９に支持されたボート２１７が処理炉２０２内へ搬入（ローディング）される。

【0037】

ローディング後、処理炉２０２にてウエハ２００に所定の処理が実施される。処理が終了した後、ボートエレベータ１１５によりボート２１７が引き出され、さらに、ロードロック室１４０内部を大気圧に復圧させた後にゲートバルブ１４３が開かれる。この後、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、上述した手順とは逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体１１１の外部へ払い出される。

【0038】

[操作者情報，表示情報]
図４は、図１の群管理装置２内のデータベースに格納される、操作者情報及び表示情報の一例である。
図４に示すように、操作者情報は、操作者名、操作者のパスワード、操作者の権限、及び、対応付けられる表示情報の種別により構成され、操作者ごとに生成される。ここでは、Yamadaの操作者情報及びSuzukiの操作情報が生成されている。
表示情報には、初期設定された表示情報（デフォルトの表示情報）と、操作者ごとに生成された表示情報との２種類があり、いずれの表示情報も、少なくとも１つのフォーマットを含む。なお、表示情報は、操作者が操作しなくなってからログアウトするまでの時間をさらに含んでもよい。
デフォルトの表示情報は、すべての操作者情報に対応付けられる。つまり、デフォルトの表示情報は、すべての操作者によって利用可能である。これに対し、操作者ごとの表示情報は、操作者が同じである操作者情報にのみ対応付けられる。つまり、操作者ごとの表示情報は、別途表示情報を生成した操作者によってのみ利用可能である。操作者（特に、新たに追加された操作者）は、別途表示情報を生成するまで、デフォルトの表示情報を利用することになる。

【0039】

ここでは、Yamadaの操作者情報には、デフォルトの表示情報のみが対応付けられ（図中の矢印Ａを参照）、Suzukiの操作者情報には、デフォルトの表示情報（図中の矢印Ｂを参照）及びSuzukiの表示情報（図中の矢印Ｃを参照）が対応付けられている。つまり、操作者Yamadaはデフォルトの表示情報のみ利用可能であり、操作者Suzukiはデフォルトの表示情報及びSuzukiの表示情報の両方が利用可能である。
フォーマットは、表示内容、表示色及び表示位置などをパラメータ等により規定したファイルであり、基板処理装置１００の種別ごとに生成される。例えば、フォーマット１をタイプＡの基板処理装置１００に対応付けることにより、タイプＡの基板処理装置１００の各部に関する情報をフォーマット１で表示する。
後述するように、操作者は、あるフォーマットから別のフォーマットに切り替えることができ、パラメータを書き換えることによりフォーマットを編集することができる。

【0040】

以下、図１の端末装置３のディスプレイに表示される画面を説明する。
図５は、操作者がログインした後に表示される、基板処理装置１００の種別（タイプ）
を一覧表示する画面の一例である。
図５に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には画面名（ここでは、基板処理装置タイプ一覧）が表示され、ボディ３０２には、基板処理装置１００の種別がラベリングされたボタン３０４（ここでは、タイプＡの基板処理装置のボタン３０４−１、タイプＢの基板処理装置のボタン３０４−２、及び、タイプＣの基板処理装置のボタン３０４−３）が表示される。
操作者がいずれかのボタンを押下することにより、押下されたボタンに対応する種別の基板処理装置１００を一覧表示する画面に遷移する。
なお、ログイン画面から基板処理装置１００を一覧表示する画面に遷移するのではなく、基板処理装置１００を一覧表示する画面がログイン画面とは別の画面として表示されてもよい（以下、他の画面についても同様）。

【0041】

図６は、図５の基板処理装置タイプ一覧画面において、操作者がタイプＡの基板処理装置のボタン３０４−１を押下することにより表示される、タイプＡの基板処理装置１００を一覧表示する画面の一例である。
図６に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には、画面名（ここでは、基板処理装置一覧）が表示され、ボディ３０２には、基板処理装置一覧テーブル３０６、表示切替ボタン３０８及び表示編集ボタン３１０が表示される。基板処理装置一覧テーブル３０６は、通し番号（No.）３１２、基板処理装置名（Equipment）３１４、装置警告数（Alarm）３１６、装置状態（Status）３１８、オンライン接続状態（FA Mode）３２０、プロセス状態（PMC Mode）３２２及び傾向監視警告数（EE Alarm）３２４というデータ項目により構成される。

【0042】

基板処理装置一覧テーブル３０６の下線は、リンク先があり、操作者がクリック可能であることを意味する。操作者が下線のあるデータ項目をクリックすることにより、クリックされたデータ項目の詳細を表示する画面に遷移する。
例えば、図中の矢印Ａによって示される'Ｅ７５'をクリックすることにより、基板処理装置Ｅ７５の詳細を表示する画面に遷移し、図中の矢印Ｂによって示される'９'をクリックすることにより、９つの各警告の詳細を表示する画面に遷移する。

【0043】

操作者が表示切替ボタン３０８を押下することにより、基板処理装置１００の詳細を表示するためのフォーマットを切り替える画面に遷移する。
ここでは、タイプＡの基板処理装置１００が一覧表示されているので、フォーマットが切り替えられた場合には、タイプＡの基板処理装置１００すべてについて、詳細を表示するにあたり、切替え後のフォーマットが適用されることになる。
タイプＢの基板処理装置１００が一覧表示された基板処理装置一覧画面において、フォーマットが切り替えられた場合には、タイプＢの基板処理装置１００すべてについて、詳細を表示するにあたり、切替え後のフォーマットが適用されることになる。

【0044】

操作者が表示編集ボタン３１０を押下することにより、基板処理装置１００の詳細を表示するためのフォーマットを編集する画面に遷移する。
ここでは、タイプＡの基板処理装置１００が一覧表示されているので、フォーマットが編集された場合には、タイプＡの基板処理装置１００すべてについて、詳細を表示するにあたり、編集された後のフォーマットが適用されることになる。
タイプＢの基板処理装置１００が一覧表示された基板処理装置一覧画面において、フォーマットが編集された場合には、タイプＢの基板処理装置１００すべてについて、詳細を表示するにあたり、編集された後のフォーマットが適用されることになる。

【0045】

[フォーマットの切替え]
図７は、図６の基板処理装置一覧画面において、操作者が表示切替ボタン３０８を押下することにより表示される、基板処理装置１００の詳細を表示するためのフォーマットを切り替える画面の一例である。
図７に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には、画面名（ここでは、フォーマット切替）が表示され、ボディ３０２には、フォーマット一覧テーブル３２６が表示される。フォーマット一覧テーブル３２６は、フォーマット名（Name）３２８、コメント（Comment）３３０及び選択状態（Current）３３２というデータ項目により構成される。
選択状態３３２には、チェックボックスが表示される。選択状態３３２にチェックが入っているフォーマットは、基板処理装置１００の詳細を表示するにあたり、現在適用されていることを示す。ここでは、'TopContentsMin'の選択状態３３２にチェックが入り、'TopContentsMin'が現在適用されているが、'TopContentsMin'の選択状態３３２に入っているチェックを外し、別のフォーマットの選択状態３３２にチェックを入れ直すことにより、'TopContentsMin'から別のフォーマットに切り替えることができる。このようにフォーマットが切り替えられた場合には、切替え後のフォーマットの種別が群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。

【0046】

[フォーマットの編集]
図８は、図６の基板処理装置一覧画面において、操作者が表示編集ボタン３１０を押下することにより表示される、基板処理装置１００の詳細を表示するためのフォーマットを編集する画面の一例である。
図８に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には、画面名（ここでは、フォーマット編集）が表示され、ボディ３０２には、列名入力部（Column Name）３３４、説明入力部（Caption）３３６、表示プロパティ設定部（Display Property）３３８、表示アイテム設定部（Display Item）３４０、色設定部（Color Setting）３４２、セーブボタン（Save）３４４及びキャンセルボタン（Cancel）３４６が表示される。
列名入力部３３４及び説明入力部３３６への入力、並びに、表示プロパティ設定部３３８、表示アイテム設定部３４０及び色設定部３４２における設定を行うことにより、フォーマットを編集することができる。このようにフォーマットが編集された場合には、編集後のフォーマットが群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。

【0047】

列名入力部３３４は、追加、削除又は変更したい列の名前の入力を受け付け、説明入力部３３６は、列に関する説明の入力を受け付ける。
表示プロパティ設定部３３８には、テキスト揃え選択部（Text Align）３４８、データ形式選択部（Data Format）３５０、データ長選択部（Data Length）３５２及び表示タイプ選択部（Display Type）３５４がプルダウンメニューとして表示され、テキスト揃え、データ形式、データ長及び表示タイプの選択が受け付けられる。表示タイプは、標準（Normal）、バー表示（Bar）及びコンビネーション表示（Combination）から選択可能である。

【0048】

表示アイテム設定部３４０には、追加ボタン（Add）３５６、削除ボタン（Remove）３５８及びアイテム表示部３６０がさらに表示される。
操作者が追加ボタン３５６又は削除ボタン３５８を押下することにより、追加又は削除したいアイテムを選択する画面に遷移する。ここで、アイテムとは、図１の端末装置３に表示されるデータ項目（列）である。選択されたアイテムは、アイテム表示部３６０に表示される。アイテム表示部３６０には、通し番号（No.）３６２、ロケータ（Locator）３６４、エレメント（Element）３６６及び属性名（Attribute Name）３６８というデータ項目が表示される。ここで、ロケータとは、装置内の箇所（部品など）であり、エレメントとは、設定値などのデータ要素である。
後述するように、表示タイプ選択部３５４において選択された表示タイプなどに応じて、アイテム表示部３６０に表示されるデータ項目が異なる。

【0049】

色設定部３４２には、色タイプ選択部（Color Type）３７０がプルダウンメニューとして表示され、色タイプの選択が受け付けられる。
色タイプは、初期表示（Default）、固定色表示（Fixed）、文字列毎色表示（Enum）、パターン別色表示（Pattern Match）及び上下限色表示（Upper Value）から選択可能である。

【0050】

図９は、図８のフォーマット編集画面において、追加ボタン３５６又は削除ボタン３５８を押下することにより表示される、追加又は削除したいアイテムを選択する画面の一例である。
図９に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には、画面名（ここでは、アイテム選択）が表示され、ボディ３０２には、装置選択部（Equipment）３７２、ロケータ表示部（Locator）３７４及び属性表示部（Attribute）３７６が表示される。
装置選択部３７２は、追加又は削除したいアイテムに関連する基板処理装置１００の選択を受け付け、ロケータ表示部３７４は、装置選択部３７２によって受け付けられた基板処理装置１００のロケータ及びロケータツリーを表示する。ロケータツリーの各ノードは操作者により選択可能であり、いずれかのノードが選択されることにより、属性表示部３７６には、選択されたノードが採りうる属性が表示される。属性表示部３７６の属性もまた、操作者により選択可能であり、いずれかの属性が選択されることにより、アイテムが選択される。

【0051】

図１０（Ａ）は、図８の表示タイプ選択部３５４においてバー表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内のアイテム表示部３６０に表示されるアイテムの一例である。図１０（Ａ）に示すように、アイテム表示部３６０には、通し番号（No.）３６２、ロケータ（Locator）３６４、エレメント（Element）３６６及び属性名（Attribute Name）３６８のほか、表示／非表示（Value is dispaly）３７８が表示される。表示／非表示３７８には、チェックボックスが表示される。チェックが入っているかロケータは、値が表示されることを示す。
図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のアイテムがフォーマットに追加され、このフォーマットが適用された場合に表示される、基板処理装置１００の詳細を表示する画面（一部）の一例である。

【0052】

図１１（Ａ）は、図８の表示タイプ選択部３５４においてコンビネーション表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内のアイテム表示部３６０に表示されるアイテムの一例である。図１１（Ａ）に示すように、アイテム表示部３６０には、通し番号（No.）３６２、ロケータ（Locator）３６４、エレメント（Element）３６６及び属性名（Attribute Name）３６８のほか、区切り文字（Separate Character）３８０が表示される。区切り文字３８０には、プルダウンメニューが表示され、値の区切り文字が選択される。
図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）のアイテムがフォーマットに追加され、このフォーマットが適用された場合に表示される、基板処理装置１００の詳細を表示する画面（一部）の一例である。

【0053】

図１２は、図８の色タイプ選択部３７０において固定色表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内の色設定部３４２に表示される表示色（Color）の一例である。図１２に示すように、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６が表示色として表示される。

【0054】

図１３は、図８の色タイプ選択部３７０において文字列毎色表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内の色設定部３４２に表示される文字列毎表示色（Enum Color）の一例である。図１３に示すように、文字列（Enum）３８８、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６が表示色として表示される。

【0055】

図１４は、図８の色タイプ選択部３７０においてパターン別色表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内の色設定部３４２に表示される表示色（Color）及びパターンマッチ（Pattern Match）の一例である。図１４に示すように、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６が表示色として表示される。また、文字列パターン（String Pattern）３９０、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、文字列パターン３９０、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６がパターンマッチとして表示される。

【0056】

図１５は、図８の色タイプ選択部３７０において上下限色表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内の色設定部３４２に表示される表示色（Color）及び上限値／下限値（Lower/Upper Value）の一例である。図１５に示すように、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６が表示色として表示される。また、下限値（Lower Value）３９２、上限値（Upper Value）３９４、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、下限値３９２、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６がパターンマッチとして表示される。

【0057】

上述したように、操作者がログインした後、フォーマットが切り替えられた場合には、切替え後のフォーマットの種別が群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。また、操作者がログインした後、フォーマットが編集された場合には、編集後のフォーマットが群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。このことにより、操作者が別の端末装置３から再度ログインした場合であっても、切替え後（又は編集後）のフォーマットが利用可能となり、別の端末装置３において、フォーマットを再度切り替える（又は編集する）作業を省くことができる。

【0058】

さらに、操作者がログアウトした時点で画面が表示されていた場合、この画面に関する情報（画面名、画面の位置、画面のサイズ、及び、画面が表示されていたディスプレイのサイズ）が群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。このことにより、操作者が別の端末装置３から再度ログインした場合であっても、ログアウト時の画面が表示され、別の端末装置３において、ログアウト時に表示されていた画面を再度表示させる作業を省くことができる。

【0059】

図１６は、操作者が再度ログインした端末装置３のディスプレイのサイズが、これより前にログインした端末装置３のディスプレイのサイズと異なる場合、再度ログインした端末装置３において、表示画面のサイズを調整する手順を示すフローチャートである。
なお、以下の各手順は、再度ログインした端末装置３において、ＣＰＵがメモリ等に格納されたプログラムを実行することによって実現される（ＣＰＵ、メモリ及びプログラムは不図示）。

【0060】

以下、前にログインされた端末装置を端末装置３−１とし、再度ログインされた端末装置を端末装置３−２とする。端末装置３−１のディスプレイの幅をＷ_１、高さをＨ_１とし、端末装置３−２のディスプレイの幅をＷ_２、高さをＨ_２とする。端末装置３−１のディスプレイに表示される画面の横位置をＸ_１、縦位置をＹ_１とし、端末装置３−２のディスプレイに表示される画面の横位置をＸ_２、縦位置をＹ_２とする。
Ｗ_１，Ｈ_１，Ｘ_１，Ｙ_１は、図１７（Ａ）に示すとおりであり、Ｗ_２，Ｈ_２，Ｘ_２，Ｙ_２は、図１７（Ｂ）に示すとおりである。

【0061】

図１６に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、Ｗ１がＷ２よりも大きいか否かを判定する。Ｗ１がＷ２よりも大きい場合には、ステップ１０２に進み、そうでない場合には、ステップ１０８に進む。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、Ｘ１を補正する必要があるか否かを判定する。具体的には、Ｘ１がＷ２に０．９を乗じた値よりも大きいか否かを判定する。Ｘ１がＷ２×０．９よりも大きい場合には、ステップ１０４に進み、そうでない場合には、ステップ１０６に進む。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、Ｗ２×０．９をＸ２に設定し、ステップ１０８に進む。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、Ｘ１をＸ２に設定し、ステップ１０８に進む。

【0062】

ステップ１０８（Ｓ１０８）において、Ｈ１がＨ２よりも大きいか否かを判定する。Ｈ１がＨ２よりも大きい場合には、ステップ１１０に進み、そうでない場合には、ステップ１１２に進む。
ステップ１１０（Ｓ１１０）において、Ｙ１を補正する必要があるか否かを判定する。具体的には、Ｙ１がＨ２に０．９を乗じた値よりも大きいか否かを判定する。Ｙ１がＨ２×０．９よりも大きい場合には、ステップ１１２に進み、そうでない場合には、ステップ１１４に進む。
ステップ１１２（Ｓ１１２）において、Ｈ２×０．９をＹ２に設定し、終了する。
ステップ１１４（Ｓ１１４）において、Ｙ１をＹ２に設定し、終了する。
なお、ステップ１０２，１０４，１１０，１１２において、０．９を乗じるものとして説明したが、乗じる値は０．９に限定されず、端末装置３−１，３−２のディスプレイに表示されるよう補正可能な値であればよい。

【0063】

以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
例えば、基板処理装置１００及び群管理装置２は、同じフロア（クリーンルーム）に配置する必要はなく、ＬＡＮ等に接続され、事務所に配置されてもよい。また、群管理装置２において、データベースは、サーバ本体と一体にする必要はなく、それぞれを別体にしてもよい。

【0064】

基板処理装置１００は、半導体製造装置であるものとして説明したが、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置であってもかまわない。さらに、基板処理装置１００は、エッチング装置、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置、モールド装置、現像装置、ダイシング装置、ワイヤボンディング装置、検査装置等であってもかまわない。

【0065】

成膜処理は、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、ＡＬＤ、Ｅｐｉその他酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理などを含むが、アニール処理、酸化処理、拡散処理等の処理をさらに含んでもかまわない。

【0066】

次に、本発明の好ましい他の実施形態を付記するが、本発明が以下の記載に限定されないことはいうまでもない。

【0067】

[実施形態１]
基板処理を実行する基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置であって、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報が変更された場合、変更内容を保存する保存手段と
を有する群管理装置。

【0068】

[実施形態２]
基板処理を実行する基板処理装置と、
前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、
前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置と
からなる基板処理システムであって、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報と、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段と
を有する基板処理システム。

【0069】

[実施形態３]
前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報は、
前記端末装置に表示されていた画面の名前、該画面の位置、該画面のサイズ、及び、該画面が表示されていた前記端末装置のディスプレイのサイズ
である基板処理システム。

【0070】

[実施形態４]
ログアウトした前記端末装置の操作者が再度ログインした場合、前記制御手段は、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した情報に基づいて、前記端末装置における表示を制御する。

【符号の説明】

【0071】

１ 基板処理システム
１００ 基板処理装置
１０２ ネットワーク
２ 群管理装置
３ 端末装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】