特許6018519ゲートバルブ及びこれを有する真空処理装置

発明の名称　ゲートバルブ及びこれを有する真空処理装置

出願人　長州産業株式会社　（識別番号 591097632）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6018519

公報発行日　2016年11月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6018519

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