特許6019790IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

接合方法及び接合部材

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

このような金属粒子を利用した接合では、金属粒子は加圧(押圧)される必要がある。特に、体積に対して接合面積の割合が小さい、例えば、導電ポストでは、加圧方向に対して垂直な、例えば、導電ポストの底面には大きな圧力が発生するものの、加圧方向に対して平行な、例えば、導電ポストの側面には大きな圧力は発生しない。したがって、導電ポストの底面側では金属粒子に対して十分な接合強度が得られるものの、導電ポストの側面側では接合強度が不足してしまうという問題点があった。このため、半導体チップと接合した導電ポストは、例えば、外部から衝撃により半導体チップから外れてしまう恐れがある。導電ポストが外れてしまうと、半導体チップに対する電気的接続が維持できなくなってしまい、半導体チップが正常に動作しなくなることも考えられる。 本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、接合強度を向上させる接合方法及び接合部材を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するために、電極部材と、金属粒子を介して接合部材とを接合する接合方法において、前記接合部材は、前記電極部材の主面と対向して前記電極部材と接合する接合面を備える胴体部と、前記胴体部において前記接合面の前記電極部材への接合方向に対して上方に、前記接合面の中心部側を向いて傾斜して備えられた傾斜接合面と、を有し、前記金属粒子が主面に配置された前記電極部材に対して前記接合部材を押圧して、・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
このような接合方法及び接合部材によれば、接合強度が向上する。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】第1の実施の形態に係る接合部材及び接合方法を説明するための図である。

【図2】第2の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。

【図3】第2の実施の形態に係る半導体装置の導電ポストを示す図である。

【図4】第2の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の処理フローの一例を示す図である。

【図5】第2の実施の形態に係る半導体装置の導電ポストの接合方法を説明するための図である。

【図6】第3の実施の形態に係る半導体装置の導電ポストの接合方法を説明するための図である。

【図7】第4の実施の形態に係る半導体装置の導電ポストを示す図である。

【図8】第4の実施の形態に係る半導体装置の導電ポストの接合方法を説明するための図である。

【図9】第5の実施の形態に係る半導体装置の導電ポストを示す図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1 電極部材   2 接合材   2a 金属粒子   2b バインダー材   2c 接合層   3 接合部材   3a 胴体部   3b 接合面   3c 傾斜接合面

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