特許第6019928号(P6019928)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6019928GaN系膜の製造方法およびそれに用いられる複合基板
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  • 特許6019928-GaN系膜の製造方法およびそれに用いられる複合基板 図000021
  • 特許6019928-GaN系膜の製造方法およびそれに用いられる複合基板 図000022
  • 特許6019928-GaN系膜の製造方法およびそれに用いられる複合基板 図000023
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