特許6020758IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体ウエハ上に形成された複数の半導体素子(チップ)の電気的特性の検査を行うプローバ

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】測定部でウエハを検査温度に近づけるための待機時間を短縮して、スループットを向上させることができるプローバを提供する。
【解決手段】ウエハW上に形成された半導体素子の電気的特性を検査する測定部14と、測定部14にウエハWを搬送する搬送ユニット16とを備え、測定部14は、ウエハWを保持するウエハチャック18と、ウエハWに対向する面に複数のプローブが配置されたプローブカードと、測定部14の温度が検査温度となるようにウエハチャック18を加熱又は冷却することによりウエハチャック18の温度を制御するウエハチャック温度設定手段とを有し、搬送ユニット16は、ウエハWを収納する筐体16aと、筺体16aの内部に収納されたウエハWの温度が検査温度に近づくように筺体16aの内部の環境を制御する環境制御手段16dとを有する。
【選択図】図4

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、各特許文献に記載のプローバにおいては、搬送物を収納する筐体内を密閉状態とすることができるものの、搬送物が出入りする開口が物理的な扉であることに起因して、物理的な扉を開閉させるための機構が別途必要となる、物理的な扉の開閉に一定の時間がかかるため、迅速に搬送物を受け渡すことができない等の問題がある。 本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、搬送物を収納する筐体であって、前記搬送物が出入りする開口が形成された筐体を備え、前記搬送物の受渡先まで移動して前記開口を介して前記搬送物の受渡先との間で前記搬送物を受け渡す搬送ユニットを備えたプローバにおいて、搬送物を収納する筐体内を密閉状態とすることができ、物理的な扉及びこれを開閉させるための機構が不要で、迅速に搬送物を受け渡すことができる搬送ユニット及びプローバを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するために、本発明のプローバは、搬送物を収納する筐体であって、前記搬送物が出入りする開口が形成された筐体と前記開口を閉塞するエアカーテンを形成して前記筐体内を密閉又は略密閉空間とするエアカーテン形成手段とを備え、前記搬送物の受渡先まで移動して前記エアカーテンが形成された前記開口を介して前記搬送物の受渡先との間で前記搬送物を受け渡す搬送ユニットと、前記搬送ユニットを前記搬送物の受・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、搬送物を収納する筐体であって、前記搬送物が出入りする開口が形成された筐体を備え、前記搬送物の受渡先まで移動して前記開口を介して前記搬送物の受渡先との間で前記搬送物を受け渡す搬送ユニットを備えたプローバにおいて、搬送物を収納する筐体内を密閉状態とすることができ、物理的な扉及びこれを開閉させるための機構が不要で、迅速に搬送物を受け渡すことができるプローバ及び搬送ユニットを提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本実施形態のプローバの概略構成を示す斜視図

【図2】各測定部の正面図

【図3】搬送ユニットの斜視図

【図4】搬送ユニットの概略構成を表す縦断面図

【図5】移動装置の斜視図

【図6】移動装置の部分拡大斜視図

【図7】搬送ユニット及び測定部の概略構成を表す縦断面図

【図8】搬送ユニットの概略構成を表す縦断面図

選択図 図4出願人が指定した本件の代表的な図

10…プローバ、12…搬送物収納部、12a…ウエハ収納部、12b…プローブカード収納部、14…測定部、14a…開口、16…搬送ユニット、16a…筐体、16b…ウエハ保持アーム、16c…プローブカード保持アーム、16d…環境制御手段、16e…センサ、16f…開口、18…ウエハチャック、20…ヘッドステージ、22…移動装置、24…第1可動体、26…第2可動体、28…搬送ユニット回転機構、28a…駆動モータ、30、32…ガイドレール、34…ベース、36…プローブカード保持機構、38…アライメント装置、38a…Z軸可動部、38b…Z軸固定部、38c…XY可動部、40…プローブカード保持機構、40a…保持部、42…エアカーテン形成手段、CH…カードホルダ、PC…プローブカード、W…ウエハ

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