特許6021210薄膜の成膜方法及び成膜装置

発明の名称　薄膜の成膜方法及び成膜装置

出願人　株式会社シンクロン　（識別番号 390007216）

　　　　特許公開件数ランキング 4822 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6021210

公報発行日　2016年11月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6021210

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