特許 6021904 ダイ剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6021904

(24)【登録日】2016年10月14日

(45)【発行日】2016年11月9日

(54)【発明の名称】ダイ剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/67 20060101AFI20161027BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 E

【請求項の数】7

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2014-515419(P2014-515419)

(86)(22)【出願日】2012年5月17日

(86)【国際出願番号】JP2012062576

(87)【国際公開番号】WO2013171869

(87)【国際公開日】20131121

【審査請求日】2015年4月15日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】富士機械製造株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100089082

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 脩

(74)【代理人】

【識別番号】100130188

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 喜一

(74)【代理人】

【識別番号】100190333

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 群司

(72)【発明者】

【氏名】水野 貴幸

(72)【発明者】

【氏名】水谷 大輔

(72)【発明者】

【氏名】岩島 賢史

(72)【発明者】

【氏名】杉本 浩一朗

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−１８６３５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１２９８２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３２７９７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２１０９２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１５８１０３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

粘着シート上に貼り付けられた複数のダイを、粘着シートから引き剥がすダイ剥離装置であって、
前記粘着シートを保持する保持部と、
上端に吸引面が形成された吸引ノズルと、
前記吸引面において吸引負圧を発生させる負圧源と、
前記吸引面から上方に突出可能に前記吸引ノズルに装着されたピンと、
前記ピンを上下動させる押し上げ装置と、
前記吸引負圧を調整する吸引負圧調整部と、
筒状のノズル本体と、前記ノズル本体の下端に上下方向移動可能に取り付けられ、付勢部材によって下方に付勢され、下端に吸着面が形成された筒状の吸着部と、を備えた吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを移動させる移動装置と、を有し、
前記吸引面において、前記保持部で保持されている前記粘着シートの下面を、前記吸引負圧調整部で調整された吸引負圧で吸引し、
前記吸引負圧が一定以上に達した場合に、前記移動装置によって、前記吸着部の前記吸着面が前記ダイに当接するように前記吸着ノズルが移動された状態で、前記吸引面で吸引されている前記粘着シート下面を、前記押し上げ装置を駆動させることにより前記ピンで押し上げ、前記吸着部の前記吸着面が前記ダイに当接した状態を前記ピンが完全に押し上げられるまで保ちつつ、前記ダイを前記粘着シートから剥離させるダイ剥離装置。

【請求項2】

請求項１において、
前記吸引面で吸引されている前記粘着シート下面を、前記ピンで押し上げを開始してから、所定時間が経過した際に、前記吸着ノズルによる前記ダイの吸着を開始させる制御部を有するダイ剥離装置。

【請求項3】

請求項２において、
前記制御部は、前記ピンが完全に押し上げられた後に、前記吸着ノズルによる前記ダイの吸着を開始させるダイ剥離装置。

【請求項4】

請求項１〜請求項３において、
前記吸引負圧調整部は、前記吸引負圧が目標吸引負圧となるように制御し、
前記押し上げ装置は、前記吸引負圧が前記目標吸引負圧に対して所定の割合の負圧である規程負圧に達した際に、前記ピンを押し上げるダイ剥離装置。

【請求項5】

請求項１〜請求項４において、
前記保持部と前記吸引ノズルを相対回動させる回動機構と、
前記ダイを前記粘着シートから剥離させる前に、前記回動機構を作動させることにより、前記吸引ノズルを前記剥離時における前記保持部との相対位置から前記吸引ノズルの軸線回りに所定角度相対回動したプレ剥離位置に回動させ、前記粘着シートの下面を前記吸引ノズルで吸引しつつ、前記ピンで前記粘着シートの下面を押し上げるプレ剥離実行手段を有するダイ剥離装置。

【請求項6】

請求項１〜請求項４において、
前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させる吸引ノズル回動機構を有し、
前記吸引ノズルで前記粘着シートの下面を吸引しつつ、前記ピンで前記粘着シートの下面を押し上げている際に、前記吸引ノズル回動機構を作動させて、前記吸引ノズルを回動させる回動剥離手段を有するダイ剥離装置。

【請求項7】

請求項１〜請求項４において、
前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させる吸引ノズル回動機構を有し、前記ピンが前記吸引面において吸引されている前記粘着シート下面を押し上げる前に、吸引ノズル回動機構を作動させて、前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させたうえで位置決めする吸引ノズル回動位置決め手段を有するダイ剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、粘着シートに貼り付けられた状態のダイを剥離するためのダイ剥離装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来から、特許文献１に示されるように、ウエハから切り出され粘着シート（以下、シートと略す）に貼り付けられた状態のダイをピックアップするためのダイ剥離装置（以下、剥離装置と略す）がある。このよう剥離装置は、剥離対象のダイが貼り付けられている位置のシートの下面を吸引する吸引ノズルと、シートの下面を上方に押し上げるピンを備えている。ピンの上昇によりシートから剥離されたダイは、吸着ノズルによって吸着保持されて搬送される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００２−１８４８３６号公報（図２５参照）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

近年、電子部品の小型化に伴って、ダイは薄型化する傾向にある。このため、ピンを押し上げて、シートからダイを剥離する際に、ダイが割れて破損してしまうおそれがある。

【0005】

本発明は、上記した従来の問題点を解決するためになされたもので、ダイを粘着シートから剥離する際における、ダイの破損を防止することができるダイ剥離装置を提供することを目的とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決する請求項１に係るダイ剥離装置は、粘着シート上に貼り付けられた複数のダイを、粘着シートから引き剥がすダイ剥離装置であって、前記粘着シートを保持する保持部と、上端に吸引面が形成された吸引ノズルと、前記吸引面において吸引負圧を発生させる負圧源と、前記吸引面から上方に突出可能に前記吸引ノズルに装着されたピンと、前記ピンを上下動させる押し上げ装置と、前記吸引負圧を調整する吸引負圧調整部と、筒状のノズル本体と、前記ノズル本体の下端に上下方向移動可能に取り付けられ、付勢部材によって下方に付勢され、下端に吸着面が形成された筒状の吸着部と、を備えた吸着ノズルと、前記吸着ノズルを移動させる移動装置と、を有し、前記吸引面において、前記保持部で保持されている前記粘着シートの下面を、前記吸引負圧調整部で調整された吸引負圧で吸引し、前記吸引負圧が一定以上に達した場合に、前記移動装置によって、前記吸着部の前記吸着面が前記ダイに当接するように前記吸着ノズルが移動された状態で、前記吸引面で吸引されている前記粘着シート下面を、前記押し上げ装置を駆動させることにより前記ピンで押し上げ、前記吸着部の前記吸着面が前記ダイに当接した状態を前記ピンが完全に押し上げられるまで保ちつつ、前記ダイを前記粘着シートから剥離させる。

【0007】

請求項２に係る発明は、請求項１において、前記吸引面で吸引されている前記粘着シート下面を、前記ピンで押し上げを開始してから、所定時間が経過した際に、前記吸着ノズルによる前記ダイの吸着を開始させる制御部を有する。

【0008】

請求項３に係る発明は、請求項２において、前記制御部は、前記ピンが完全に押し上げられた後に、前記吸着ノズルによる前記ダイの吸着を開始させる。

【0009】

請求項４に係る発明は、請求項１〜請求項３において、前記吸引負圧調整部は、前記吸引負圧が目標吸引負圧となるように制御し、前記押し上げ装置は、前記吸引負圧が前記目標吸引負圧に対して所定の割合の負圧である規程負圧に達した際に、前記ピンを押し上げる。

【0010】

請求項５に係る発明は、請求項１〜請求項４において、前記保持部と前記吸引ノズルを相対回動させる回動機構と、前記ダイを前記粘着シートから剥離させる前に、前記回動機構を作動させることにより、前記吸引ノズルを前記剥離時における前記保持部との相対位置から前記吸引ノズルの軸線回りに所定角度相対回動したプレ剥離位置に回動させ、前記粘着シートの下面を前記吸引ノズルで吸引しつつ、前記ピンで前記粘着シートの下面を押し上げるプレ剥離実行手段を有する。
請求項６に係る発明は、請求項１〜請求項４において、前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させる吸引ノズル回動機構を有し、前記吸引ノズルで前記粘着シートの下面を吸引しつつ、前記ピンで前記粘着シートの下面を押し上げている際に、前記吸引ノズル回動機構を作動させて、前記吸引ノズルを回動させる回動剥離手段を有する。
請求項７に係る発明は、請求項１〜請求項４において、前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させる吸引ノズル回動機構を有し、前記ピンが前記吸引面において吸引されている前記粘着シート下面を押し上げる前に、吸引ノズル回動機構を作動させて、前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させたうえで位置決めする吸引ノズル回動位置決め手段を有する。

【発明の効果】

【0011】

請求項１に係る発明によれば、吸引負圧調整部は、吸引面における吸引負圧を調整する。これにより、破損しやすいダイを粘着シートから剥離する場合には、吸引負圧調整部によって、吸引負圧を小さくすることにより、ダイを粘着シートから剥離する際に、ダイが粘着シートから緩慢に剥離し、剥離時にダイへの過大な応力の作用が防止される。このため、ダイを粘着シートから剥離する際における、ダイの破損が防止される。
また、ピン制御手段は、吸引負圧が一定以上に達した場合に、ピンを押し上げる。これにより、吸引面における吸引負圧が小さい状態で、ピンが押し上げられることに起因する、ダイの粘着シートから剥離不良を防止することができる。

【0012】

請求項２に係る発明によれば、吸引面で吸引されている粘着シート下面を、ピンで押し上げを開始してから、所定時間が経過した際に、吸着ノズルによるダイの吸着を開始させる制御部を有する。
請求項３に係る発明によれば、制御部は、ピンが完全に押し上げられた後に、吸着ノズルによるダイの吸着を開始させる。
請求項４に係る発明によれば、規程負圧を、目標吸引負圧に対して所定の割合の負圧に設定しているので、吸引ノズルの吸引負圧が目標吸引負圧に達する前に、ピンが押し上げられる。このため、吸引ノズルの吸引負圧が目標吸引負圧に達するのを待ってピンを押し上げるのと比較して、ダイを粘着シートから剥離するためのタクトタイムを短縮することができる。

【0013】

請求項５に係る発明によれば、プレ剥離実行手段が、ダイを粘着シートから剥離させる前に、吸引ノズルを剥離時における保持部との相対位置から吸引ノズルの軸線回りに所定角度相対回動したプレ剥離位置に回動させ、粘着シートの下面を吸引ノズルで吸引しつつ、ピンで粘着シートの下面を押し上げる。これにより、吸着ノズルで吸着する直前の本剥離によってダイが粘着シートから剥離される位置と、異なる位置が剥離される。このため、ダイが粘着シートから剥離されない領域を減少させることができる。よって、ダイが粘着シートから十分に剥離されておらず、ダイが粘着シートに強固に接着されていることに起因する、吸着ノズルでのダイの吸着ミスや、吸着ノズルでダイを吸着し搬送する際の、ダイの破損を防止することができる。また、吸着ノズルで吸着する直前の本剥離によってダイが粘着シートから剥離される位置と、異なる位置が剥離されるので、吸引面における吸引負圧を小さく設定したとしても、十分に、ダイを粘着シートから剥離させることができる。このように、吸引負圧を小さく設定することができるので、吸引ノズルでの吸引時におけるダイの破損を、より確実に、防止することができる。

【0014】

請求項６に係る発明によれば、回動剥離手段は、吸引ノズルで粘着シートの下面を吸引しつつ、ピンで粘着シートの下面を押し上げている際に、吸引ノズルを回動させる。これにより、ピンの水平方向位置が、粘着シートやダイに対して移動するので、ダイが粘着シートから広範な範囲において剥離される。また、粘着シートと当接しているピンが水平方向に移動することにより、粘着シートに振動が付与され、より確実に、ダイが粘着シートから剥離される。このため、吸引面における吸引負圧を小さく設定したとしても、十分に、ダイを粘着シートから剥離させることができる。このように、吸引負圧を小さく設定することができるので、吸引ノズルでの吸引時におけるダイの破損を、より確実に、防止することができる。

【0015】

請求項７に係る発明によれば、吸引ノズル回動位置決め手段は、吸引ノズルを、吸引ノズルの軸線回りに回動させたうえで位置決めする。これにより、吸引ノズルに装着されているピンのダイに対する回動位置が適切で無い場合には、ピンのダイに対する回動位置が適切な位置となるように、吸引ノズルを、吸引ノズルの軸線回りに回動させたうえで位置決めしたうえで、ピンが吸引面において吸引されている粘着シート下面を押し上げることとすると、ダイがピンによって適切に押し上げられ、確実に、ダイを粘着シートから引き剥がすことができる。また、異形のダイの供給方向が変更された場合であっても、ダイの供給方向の変更に対応するようなピンが装着された吸引ノズルを新たに用意する必要が無く、吸引ノズルを回動させるだけで、ダイの供給方向の変更に対応することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本実施形態のダイ剥離装置の構成を示す上面図である。

【図2】本実施形態のダイ剥離装置の構成を示す側面図である。

【図3】ダイ集合体の上面図である。

【図4】吸着ノズルの上面図である。

【図5】図２の制御部７０で実行される第一の実施形態のダイ剥離搬送処理のフローチャートである。

【図6】第一の実施形態のダイ剥離搬送処理の説明図であり、粘着シート、ダイ、吸引ノズル、及び吸着ノズルの側面を表した図である。

【図7】（Ａ）ダイ剥離搬送処理における吸引ノズル（吸引面）の吸引負圧と経過時間との関係を表したタイムチャートである。（Ｂ）ダイ剥離搬送処理におけるピンの上下方向の位置と経過時間との関係を表したタイムチャートである。（Ｃ）ダイ剥離搬送処理における吸着ノズルの吸着負圧と経過時間との関係を表したタイムチャートである。

【図8】図２の制御部７０で実行される第二の実施形態のダイ剥離搬送処理のフローチャートである。

【図9】（Ａ）プレ剥離で剥離される領域を示した説明図である。（Ｂ）本剥離で剥離される領域を示した説明図である。（Ｃ）プレ剥離及び剥離で剥離される領域を示した説明図である。

【図10】図２の制御部７０で実行される第三の実施形態のダイ剥離搬送処理のフローチャートである。

【図11】第三の実施形態における吸引ノズルの動作を表した説明図であり、吸着ノズルの上面図である。

【図12】図２の制御部７０で実行される第四の実施形態のダイ剥離搬送処理のフローチャートである。

【図13】第四の実施形態における吸引ノズルの動作を表した説明図であり、吸着ノズルの上面図である。

【図14】別の実施形態の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

（ダイ剥離装置の構成）
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。本実施形態のダイ剥離装置１００は、図３に示すダイ集合体５００を１ずつ剥離するものである。ダイ集合体５００は、図３に示すように、樹脂等で構成された枠体５０１と、枠体の内周側に取り付けられ上面に粘着層が形成された粘着シート５０２と、粘着シート５０２上に貼り付けられた複数の半導体素子であるダイ５０３とから構成されている。

【0018】

本実施形態のダイ剥離装置１００は、図１、図２に示すように、主に、基台１０、保持テーブル２０、押し上げ部３０、Ｘ方向移動装置４０、Ｙ方向移動装置５０、負圧源６０、制御部７０とから構成されている。なお、図１において、左右方向をＸ方向とし、上下方向をＹ方向とし、図２において、左右方向をＸ方向とし、上下方向をＺ方向とし、以下説明する。

【0019】

保持テーブル２０は、ダイ集合体５００を基台１０上で保持するものである。図１や図２に示すように、保持テーブル２０は、基部材２１と、保持部材２２とから構成されている。基部材２１は、図示しないブラケットによって、基台１０上に取り付けられている。基部材２１は、板上であり、図１に示すように、円形の貫通窓２１ａが形成されている。

【0020】

保持部材２２は、円形の貫通窓２２ａが形成されている。保持部材２２の上面の貫通窓２２ａの周囲には、ダイ集合体５００を保持するための保持部２２ｂが凹陥形成されている。保持部２２ｂの形状は、ダイ集合体５００の枠体５０１の形状に対応した形状となっている。保持部材２２は、基部材２１に、スライド可能に取り付けられている。保持部材２２は、図１の実線で示すように、基部材２１に隣接して、保持部２２ｂが露出した装着位置と、図１の一点斜線で示すように、基部材２１内に収納された保持位置との間をスライドする。保持部材２２が装着位置にある状態で、ダイ集合体５００が保持部２２ｂに装着され、保持部材２２が保持位置に移動すると、ダイ集合体５００は、基部材２１及び保持部材２２によって保持される。

【0021】

押し上げ部３０は、保持テーブル２０で保持されているダイ集合体５００の下面を、吸着しつつ、押し上げて、ダイ５０３の１つを粘着シート５０２から剥離するものである。押し上げ部３０は、主に、本体３１、吸引ノズル３２、ピン３３、ピン保持部材３４、押し上げ装置３５、回動装置３６、ブラケット３８とから構成されている。

【0022】

本体３１は、筒状であり、保持テーブル２０の下方に配設されている。吸引ノズル３２は、本体３１の上端に、着脱可能に取り付けられていて、上部に底部を有する有底筒状である。吸引ノズル３２の上面は、吸引面３２ａとなっている。図４に示すように、吸引面３２ａには、環状及び放射状の複数の溝３２ｂが凹陥形成されている。そして、吸引面３２ａの溝３２ｂの底部には、吸引ノズル３２の内部に連通する流通穴３２ｃが複数形成されている。また、吸引面３２ａの溝３２ｂの底部には、吸引ノズル３２の内部に連通する挿通穴３２ｄが複数形成されている。

【0023】

吸引ノズル３２の内部には、ピン保持部材３４が上下方向に移動可能に配設されている。ピン保持部材３４の上部には、複数のピン３３が取り付けられ、当該複数のピン３３がそれぞれ、吸引ノズル３２の挿通穴３２ｄに挿通している。このような構造により、ピン３３は、吸引面３２ａから上方に突出可能に吸引ノズル３２に装着されている。

【0024】

吸引ノズル３２又は本体３１の内部は、調圧弁８０を介して負圧源６０に接続されている。負圧源６０は、真空ポンプ等で構成され、吸引ノズル３２又は本体３１の内部を吸引することにより、吸引面３２ａにおいて吸引負圧を発生させる。調圧弁８０は、吸引面３２ａにおける吸引負圧を調整するものであり、本実施形態では、電磁弁である。

【0025】

吸引ノズル３２又は本体３１の内部には、吸引ノズル３２の内部の負圧（吸引負圧）を検出するための圧力センサ３９が配設されている。

【0026】

押し上げ装置３５は、ピン３３を上下動させるものであり、アクチュエータ等で構成され、本体３１に取り付けられている。押し上げ装置３５と、ピン保持部材３４は、ロッド３７によって連結されている。

【0027】

ブラケット３８は、本体３１を回動可能に支持するものである。回動装置３６は、吸引ノズル３２を位置決め可能に回動させるものである。本実施形態では、回動装置３６は、ブラケット３８に取り付けられ、回転軸３６ａを有するサーボモータである。回転軸３６ａに取り付けられたギヤ部材３６ｂが、本体３１の外周面に形成されたギヤ３１ａと係合している。

【0028】

Ｘ方向移動装置４０は、押し上げ部３０をＸ方向に移動させるものであり、図１や図２に示すように、Ｘスライド４１、Ｘレール４２、移動装置４３を有している。Ｘレール４２は、基台１０上に、その長手方向をＸ方向として、取り付けられている。Ｘスライド４１は、Ｘレール４２にスライド可能に取り付けられている。移動装置４３は、サーボモータ等であり、Ｘスライド４１と係合するボールネジ４４を回転させることにより、Ｘスライド４１を、Ｘレール４２上の任意の位置に移動させる。

【0029】

Ｙ方向移動装置５０は、押し上げ部３０をＹ方向に移動させるものであり、図１や図２に示すように、Ｙスライド５１、Ｙレール５２、移動装置５３を有している。Ｙレール５２は、その長手方向をＹ方向として、Ｘスライド４２に取り付けられている。Ｙスライド５１は、Ｙレール５２にスライド可能に取り付けられている。Ｙスライド５１には、押し上げ部３０のブラケット３８が取り付けられている。移動装置５３は、サーボモータ等であり、Ｙスライド５１と係合するボールネジ５４を回転させることにより、Ｙスライド５１を、Ｙレール５２上の任意の位置に移動させる。

【0030】

制御部７０は、ダイ剥離装置１００を統括制御するものであり、ＥＣＵを有している。ＥＣＵは、バスを介してそれぞれ接続された入出力インターフェース、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及び不揮発性メモリー等の「記憶部」を備えている。ＣＰＵは、ダイ剥離装置１００を制御するためのプログラムを実行する。ＲＡＭは同プログラムの実行に必要な変数を一時的に記憶するものであり、「記憶部」は前記プログラムを記憶している。

【0031】

制御部７０は、押し上げ装置３５、回動装置３６、移動装置４３、５３、負圧源６０、調圧弁８０と通信可能に接続され、これらを制御する。また、制御部７０は、圧力センサ３９と通信可能に接続され、圧力センサ３９で検出された「吸引負圧」の検出信号が入力される。

【0032】

なお、図２に示すように、ダイ剥離装置１００上には、図示しない移動装置によって、Ｘ、Ｙ、Ｚのいずれの方向にも移動可能な吸着ノズル６００が配設されている。吸着ノズル６００は、筒状のノズル本体６０１と、当該ノズル本体６０１の下端に上下方向移動可能に取り付けられた筒状の吸着部６０２とから構成されている。吸着部６０２は、図示しない付勢部材によって、下方に付勢されていて、その下端面が吸着面６０２ａとなっている。吸着ノズル６００は、閉止弁を介して負圧源（いずれも不図示）に接続されている。

【0033】

（第一の実施形態のダイ剥離搬送処理の説明）
以下に、図５のフローチャート、図６の説明図、図７のタイムチャートを用いて、粘着シート５０２からダイ５０３を剥離する第一の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」について説明する。なお、負圧とは、大気圧よりも低い圧力であり、負圧が大きくなるとは、圧力が低下することをいう。保持テーブル２０でダイ集合体５００が保持されると、第一の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」が開始し、Ｓ１１において、制御部７０は、粘着シート５０２から剥離するダイ５０３の「強度情報」を取得する。「強度情報」は、ダイ５０３が粘着シート５０２から剥離される際の割れやすさの情報である。Ｓ１１が終了すると、プログラムは、Ｓ１２に進む。

【0034】

次に、制御部７０は、Ｓ１２において、移動装置４３、５３に制御信号を出力することにより、吸引ノズル３２を、ピックアップするダイ５０３の直下に移動させ、Ｓ１３において、吸着ノズル６００の移動装置に制御信号を出力することにより、前記ダイ５０３の直上に移動させたうえで、吸着部６０２の吸着面６０２ａを前記ダイ５０３に当接させる（図６（Ａ））。Ｓ１３が終了すると、プログラムは、Ｓ２１に進む。

【0035】

Ｓ２１において、制御部７０は、Ｓ１１で取得した「強度情報」に基づいて、「目標吸引負圧」を決定し、負圧源６０及び調圧弁８０に制御信号を出力することにより、吸引ノズル３２内に「吸引負圧」を発生させる（図７（Ａ）の（１））。すると、ピックアップするダイ５０３の直下の粘着シート５０２が、吸引面３２ａにおいて吸引ノズル３２で吸引される。なお、「目標吸引負圧」は、ダイ５０３の割れやすさに応じて、ダイ５０３が割れない負圧に決定される。Ｓ２１において、制御部７０は、圧力センサ３９によって検出され圧力に基づいて、「吸引負圧」が、「目標吸引負圧」となるように、調圧弁８０をフィードバック制御する。なお、吸引面３２ａにおける「吸引負圧」は、吸引ノズル３２内の「吸引負圧」に対応（例えば、比例関係）している。Ｓ２１が終了すると、プログラムは、Ｓ３１に進む。

【0036】

Ｓ３１において、制御部７０は、「吸引負圧」が「規程負圧」以上となったと判断した場合には（Ｓ３１：ＹＥＳ）、プログラムをＳ４１に進め、「吸引負圧」が「規程負圧」に達していないと判断した場合には（Ｓ３１：ＮＯ）、プログラムをＳ９１に進める。なお、「規程負圧」とは、「目標吸引負圧」に対して所定の割合（例えば８０％）の負圧である。

【0037】

Ｓ９１において、制御部７０は、吸引ノズル３２での粘着シート５０２の吸引に異常があると判断した場合には（Ｓ９１：ＹＥＳ）、プログラムをＳ９２に進め、吸引ノズル３２での粘着シート５０２の吸引に異常がないと判断した場合には（Ｓ９１：ＮＯ）、プログラムをＳ２１に戻す。なお、吸引ノズル３２での粘着シート５０２の吸引の異常とは、吸引ノズル３２での粘着シート５０２の吸引開始から所定の「規程エラー時間」が経過しても、「吸引負圧」が所定の負圧よりも上がらない場合であり（図７（Ａ）の（２））、粘着シート５０２や吸引ノズル３２が破損して、粘着シート５０２と吸引面３２ａとの間にエア漏れが生じている場合に発生する。

【0038】

Ｓ９２において、制御部７０は、ダイ５０３のピックアップを中止するとともに、図示しない表示装置やスピーカ等の報知装置で、吸引ノズル３２での粘着シート５０２の吸引の異常を報知し、プログラムをＳ１２に戻す。

【0039】

Ｓ４１において、制御部７０は、押し上げ装置３５に制御信号を出力することにより、ピン３３を吸引面３２ａから突出させる図７（Ｂ）の（１）。すると、図６の（Ｂ）に示すように、粘着シート５０２は、吸引ノズル３２の吸引面３２ａで吸引されている一方で、ダイ５０３はピン３３によって上方に突き上げられるので、ダイ５０３が粘着シート５０２から引き剥がされる。なお、吸着部６０２は、ノズル本体６０１に対して上下方向移動可能に取り付けられているので、上方に移動する。この状態では、吸着ノズル６００の付勢部材によって、ダイ５０３は、吸着部６０２の吸着面６０２ａで下方に押し付けられているので、ダイ５０３が吸着部６０２に対して水平方向がズレない。Ｓ４１が終了すると、プログラムは、Ｓ５１に進む。

【0040】

Ｓ５１において、制御部７０が、ピン３３の押し上げ開始から（図７（Ｂ）の（１））「規程吸引時間」が経過したと判断した場合には（Ｓ５１：ＹＥＳ）（図７（Ｂ）の（２））、プログラムをＳ６１に進め、吸引開始から「規程吸引時間」が経過していないと判断した場合には（Ｓ５１：ＮＯ）、Ｓ５１の処理を繰り返す。なお、「規程吸引時間」は、その経過時に、ダイ５０３が粘着シート５０２から十分に引き剥がされる時間に設定されている。

【0041】

Ｓ６１において、制御部７０は、吸引ノズル６００の閉止弁に制御信号を出力することにより、吸着部６０２の吸着面６０２ａでの吸着を開始させ（図７（Ｃ）の（１））、吸着ノズル６００の移動装置に制御信号を出力することにより、ダイ５０３を吸着部６０２の吸着面６０２ａで吸着させた状態で、所望の位置に搬送する（図６の（Ｃ））。Ｓ６１が終了すると、Ｓ７１に進む。

【0042】

Ｓ７１において、制御部７０が、ダイ集合体５００の最後のダイ５０３の搬送が完了したと判断した場合には（Ｓ７１：ＹＥＳ）、「ダイ剥離搬送処理」が終了し、ダイ集合体５００の最後のダイ５０３の搬送が完了していないと判断した場合には（Ｓ７１：ＮＯ）、プログラムをＳ１２に戻す。

【0043】

（第二の実施形態のダイ剥離搬送処理）
以下に、図８に示すフローチャート及び図９の説明図を用いて、第二の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」について第一の実施形態と異なる点について説明する。なお、第二の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」のＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ２１、Ｓ３１、Ｓ４１、Ｓ６１、Ｓ７１、Ｓ９１、Ｓ９２は、それぞれ、第一の実施形態のＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ２１、Ｓ３１、Ｓ４１、Ｓ６１、Ｓ７１、Ｓ９１、Ｓ９２と同一の処理であるので、その説明を省略する。

【0044】

Ｓ１３が終了すると、Ｓ１４において、制御部７０は、回動装置３６に制御信号を出力することにより、吸引ノズル３２を「プレ剥離位置」に回動させる。なお、「プレ剥離位置」とは、ダイ５０３の粘着シート５０２からの剥離時における保持テーブル２０との相対位置である「剥離位置」（図９（Ｂ）示）から吸引ノズル３２の軸線回りに所定角度相対回動した位置である（図９（Ａ）示）。Ｓ１４が終了すると、プログラムは、Ｓ１５に進む。

【0045】

Ｓ１５において、制御部７０は、Ｓ１１で取得した「強度情報」に基づいて、「目標吸引負圧」を決定し、負圧源６０及び調圧弁８０に制御信号を出力することにより、吸引ノズル３２内に「吸引負圧」を発生させる。制御部７０は、圧力センサ３９によって検出され圧力に基づいて、「吸引負圧」が、「目標吸引負圧」となるように、調圧弁８０をフィードバック制御する。Ｓ１５が終了すると、プログラムは、Ｓ１６に進む。

【0046】

Ｓ１６において、制御部７０は、押し上げ装置３５に制御信号を出力することにより、ピン３３を吸引面３２ａから突出させて、「プレ剥離」を実行する。この「プレ剥離」によって、図９（Ａ）の斜線で示す領域が剥離される。Ｓ１６が終了すると、Ｓ１７に進む。

【0047】

Ｓ１７において、制御部７０は、回動装置３６に制御信号を出力することにより、吸引ノズル３２を「剥離位置」に回動させる（図９（Ｂ）示）。Ｓ１４が終了すると、プログラムは、Ｓ１５に進む。

【0048】

Ｓ４１において、ピン３３が上方に押し上げられ、「本剥離」が実行されると、図９（Ｂ）の斜線で示す領域が剥離される。

【0049】

このように、第二の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」では、ダイ５０３を粘着シート５０２から剥離する「本剥離」の前に、「プレ剥離動作」（Ｓ１４、Ｓ１５、Ｓ１６）の処理を実行している。これにより、「本剥離」によって剥離される領域（図９（Ｂ）示）と異なる位置が剥離される（図９（Ａ）示）ので、図９の（Ｃ）に示すように、粘着シート５０２からダイ５０３が剥離されない領域が殆ど発生しない。

【0050】

（第三の実施形態のダイ剥離搬送処理）
以下に、図１０のフローチャート及び図１１の説明図を用いて、第三の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」について第一の実施形態と異なる点について説明する。なお、第三の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」のＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ２１、Ｓ３１、Ｓ４１、Ｓ６１、Ｓ７１、Ｓ９１、Ｓ９２は、それぞれ、第一の実施形態のＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ２１、Ｓ３１、Ｓ４１、Ｓ６１、Ｓ７１、Ｓ９１、Ｓ９２と同一の処理であるので、その説明を省略する。

【0051】

Ｓ４１が終了すると、Ｓ４２において、制御部７０は、回動装置３６に制御信号を出力することにより、吸引ノズル３２を一方向に所定角度回動させた後に（図１１の（Ａ））、これと反対方向に吸引ノズル３２を所定角度回動させる（図１１の（Ｂ））動作を繰り返す。すると、ピン３３の位置が、粘着シート５０２やダイ５０３に対して移動するので、ダイ５０３が粘着シート５０２から広範な範囲において剥離される。また、吸引ノズル３２が一方向に回動した後に、これと反対方向に回動するという動作が繰り返されるので、粘着シート５０２に当該動作による振動が付与され、より確実に、ダイ５０３が粘着シート５０２から剥離される。Ｓ４２が終了すると、Ｓ５１に進む。

【0052】

Ｓ５１において、制御部７０が、ピン３３の押し上げ開始から（図７（Ｂ）の（１））「規程吸引時間」が経過したと判断した場合には（Ｓ５１：ＹＥＳ）（図７（Ｂ）の（２））、プログラムをＳ６１に進め、吸引開始から「規程吸引時間」が経過していないと判断した場合には（Ｓ５１：ＮＯ）、プログラムをＳ４２に戻す。

【0053】

（第四の実施形態のダイ剥離搬送処理）
以下に、図１２のフローチャート及び図１３説明図を用いて、第四の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」について第一の実施形態と異なる点について説明する。なお、第四の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」のＳ１２、Ｓ１３、Ｓ２１、Ｓ３１、Ｓ４１、Ｓ６１、Ｓ７１、Ｓ９１、Ｓ９２は、それぞれ、第一の実施形態のＳ１２、Ｓ１３、Ｓ２１、Ｓ３１、Ｓ４１、Ｓ６１、Ｓ７１、Ｓ９１、Ｓ９２と同一の処理であるので、その説明を省略する。

【0054】

第四の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」のＳ１１では、制御部７０は、ダイ５０３の「強度情報」を取得するとともに、ダイ５０３の「形状情報」や「姿勢情報」を取得する。なお、「姿勢情報」とは、ダイ集合体５００が保持テーブル２０で保持されている状態における、ダイ５０３の吸引ノズル３２に対する水平方向の姿勢の情報であり、図１３に示すように、ダイ５０３が長方形等の正方形で無い異形である場合に、吸引ノズル３２に対するダイ５０３の長手方向等の情報である。

【0055】

Ｓ１３が終了すると、Ｓ１８において、制御部７０は、Ｓ１１において、取得したダイ５０３の「形状情報」や「姿勢情報」に基づいて、吸引ノズル３２のダイ５０３に対する回動位置が適切で無いと判断した場合には（Ｓ１８：ＹＥＳ）、プログラムをＳ１９に進め、吸引ノズル３２のダイ５０３に対する回動位置が適切であると判断した場合には（Ｓ１８：ＮＯ）、プログラムをＳ２１に進める。なお、制御部７０は、図１３の（Ａ）に示すように、ピン３３の水平位置が、ダイ５０３からはみ出してしまう場合や、図１３の（Ｂ）に示すように、例えば、ピン３３の配列の長手方向がダイ５０３の長手方向と一致しない等、ピン３３の配置位置がダイ５０３の水平方向の姿勢に対して適切で無く、適切にピン３３でダイ５０３を押圧できない場合には、吸引ノズル３２のダイ５０３に対する回動位置が適切で無いと判断する。

【0056】

Ｓ１９において、制御部７０は、回動装置３６に制御信号を出力することにより、図１３の（Ｃ）に示すように、吸引ノズル３２のダイ５０３に対する回動位置が適切な位置となるように、吸引ノズル３２を回動させて位置決めする。Ｓ１９が終了すると、プログラムは、Ｓ２１に進む。なお、上述したＳ１８及びＳ１９の処理は、吸引ノズル３２を移動させるＳ１２の処理の前に行うことにしても差し支え無い。

【0057】

（本実施形態の効果）
上述した説明から明らかなように、図５、図８、図１０及び図１２のＳ２１、図８のＳ１５において、調圧弁８０（吸引負圧調整部）が、吸引ノズル３２の「吸引負圧」を調整することにより、吸引面３２ａにおける「吸引負圧」を調整する。これにより、破損しやすいダイ５０３を粘着シート５０２から剥離する場合には、調圧弁８０によって、吸引面３２ａにおける「吸引負圧」を小さくすることにより、ピン３３の押し上げによりダイ５０３が粘着シート５０２から剥離する際に、ダイ５０３が粘着シート５０２から緩慢に剥離し、剥離時にダイ５０３への過大な応力の作用が防止される。このため、ダイ５０３を粘着シート５０２から剥離する際における、ダイ５０３の破損が防止される。

【0058】

一方で、ダイ５０３の強度が十分な場合には、図５、図８、図１０及び図１２のＳ２１、図８のＳ１５において、Ｓ１１において取得された「強度情報」に基づいて、調圧弁８０が吸引ノズル３２の「吸引負圧」を大きくし、吸引面３２ａにおける「吸引負圧」を大きくすることにより、ダイ５０３を粘着シート５０２から剥離するためのタクトタイムを短縮することができる。

【0059】

また、制御部７０は、吸引ノズル３２の「吸引負圧」が「規程負圧」以上に達したと判断した場合に（図５、図８、図１０、及び図１２のＳ３１でＹＥＳと判断）、ピン３３を押し上げる（図５、図８、図１０及び図１２のＳ４１）。これにより、吸引面３２ａにおける「吸引負圧」が小さい状態で、ピン３３が押し上げられることに起因する、ダイ５０３の粘着シート５０２から剥離不良を防止することができる。また、本実施形態では、「規程負圧」を、「目標吸引負圧」に対して所定の割合の負圧に設定しているので、吸引ノズル３２の「吸引負圧」が「目標吸引負圧」に達する前に、ピン３３が押し上げられる（図７（Ｂ）の（１））。このため、吸引ノズル３２の「吸引負圧」が「目標吸引負圧」に達するのを待ってピン３３を押し上げるのと比較して、ダイ５０３を粘着シート５０２から剥離するためのタクトタイムを短縮することができる。

【0060】

また、図８のＳ１４において、制御部７０（プレ剥離実行手段）が、ダイ５０３を粘着シート５０２から剥離させる前に、吸引ノズル３２を剥離時における保持テーブル（保持部）との相対位置から吸引ノズル３２の軸線回りに所定角度相対回動した「プレ剥離位置」（図９（Ａ）示）に回動させ、図８のＳ１５及びＳ１６において、粘着シート５０２の下面を吸引ノズル３２で吸引しつつ、ピン３３で粘着シート５０２の下面を押し上げる「プレ剥離」を実行する。これにより、図９の（Ａ）に示すように、吸引ノズル３２で吸着する直前の「本剥離」によってダイ５０３が粘着シート５０２から剥離される位置（図９（Ｂ）示）と、異なる位置が剥離される。このため、図９の（Ｃ）に示すように、ダイ５０３が粘着シート５０２から剥離されない領域を減少させることができ、ダイ５０３が粘着シート５０２から剥離されない領域が殆ど生じない。よって、ダイ５０３が粘着シート５０２から十分に剥離されておらず、ダイ５０３が粘着シート５０２に強固に接着されていることに起因する、吸着ノズル６００でのダイ５０３の吸着ミスを防止することができる。また、吸着ノズル６００でダイ５０３を吸着し搬送する際における、ダイ５０３の破損を防止することができる。

【0061】

また、図９の（Ａ）に示すように、吸着ノズル６００で吸着する直前の「本剥離」によってダイ５０３が粘着シート５０２から剥離される位置（図９の（Ｂ）示）と、異なる位置が剥離されるので、吸引ノズル３２での「吸引負圧」を小さく設定し、吸引面３２ａにおける「吸引負圧」が小さくなったとしても、十分に、ダイ５０３を粘着シート５０２から剥離させることができる。このため、「吸引負圧」を小さく設定することにより、吸引ノズル３２での吸引時におけるダイ５０３の破損を、より確実に、防止することができる。

【0062】

また、図１０のＳ４２において、回動装置３６（回動剥離手段）は、吸引ノズル３２で粘着シート５０２の下面を吸引しつつ、ピン３３で粘着シート５０２の下面を押し上げている際に、吸引ノズル３２を回動させる。これにより、ピン３３の水平方向位置が、粘着シート５０２やダイ５０３に対して移動するので、ダイ５０３が粘着シート５０２から広範な範囲において剥離される。また、粘着シート５０２と当接しているピン３３が水平方向に移動することにより、粘着シート５０２に振動が付与され、より確実に、ダイ５０３が粘着シート５０２から剥離される。このため、吸引ノズル３２での「吸引負圧」を小さく設定したとしても、十分に、ダイ５０３を粘着シート５０２から剥離させることができる。このように、「吸引負圧」を小さく設定することができるので、吸引ノズル３２での吸引時におけるダイ５０３の破損を、より確実に、防止することができる。

【0063】

また、制御部７０が、吸引ノズル３２に装着されているピン３３のダイ５０３に対する回動位置が適切で無い（図１３の（Ａ）の状態）と判断した場合には（図１２のＳ１８でＹＥＳと判断）、ピン３３のダイ５０３に対する回動位置が適切な位置となるように、吸引ノズル３２を、吸引ノズル３２の軸線回りに回動させたうえで位置決めする。これにより、図１２のＳ４１において、ダイ５０３がピン３３によって適切に押し上げられ、確実に、ダイ５０３を粘着シート５０２から引き剥がすことができる。また、異形のダイ５０３の供給方向が変更された場合であっても、ダイ５０３の供給方向の変更に対応するようなピン３３が装着された吸引ノズル３２を新たに用意する必要が無く、吸引ノズル３２を回動させるだけで、ダイ５０３の供給方向の変更に対応することができる。
（別の実施形態）

【0064】

なお、以上説明した実施形態では、吸引ノズル３２が基台１０に対して回動することにより、吸引ノズル３２が保持テーブル２０に対して相対回動している。しかし、保持テーブル２０が、基台１０に対して回動することにより、吸引ノズル３２が基台１０に対して回動することにより、吸引ノズル３２が保持テーブル２０に対して相対回動する実施形態であっても差し支え無い。この実施形態の場合には、保持テーブル２０に対する吸引ノズル３２の水平方向の相対位置（吸引位置及び押し上げ位置）が変わらないように、保持テーブル２０の回動に連動して、移動装置４３、５３によって吸引ノズル３２が水平方向に移動される。

【0065】

また、以上説明した実施形態では、調圧弁８０によって、吸引ノズル３２の吸引面３２ａでの「吸引負圧」を調整している。しかし、図１４に示すように、「吸引負圧」を制限するレギュレータ８１が設けられた流路と、レギュレータ８１が設けられていない流路の二つの流路を負圧源６０に接続し、制御部７０からの指令に基づいて流路を切り替える切替バルブ８２を吸引ノズル３２に接続する流路に設け、切替バルブ８２によって、吸引ノズル３２に接続する流路を、レギュレータ８１が設けられた流路とレギュレータ８１が設けられていない流路のいずれかに切り替えて接続する実施形態であっても差し支え無い。

【0066】

また、図１０のＳ４２において、制御部７０は、粘着シート５０２と剥離するダイ５０３の情報に基づいて、回動装置３６によって吸引ノズル３２を回動させる際において、回動角度、回動回数、回動速度、回動時間等を適宜変更することにしても差し支え無い。また、制御部７０は、回動装置３６によって吸引ノズル３２を回動させる際において、位置方向のみ回動させても差し支え無く、回動角度を小さくして、回動回数を増やして、ピン３３によって粘着シート５０２に振動をより効果的に付与することにしても差し支え無い。

【0067】

以上説明した実施形態では、吸引ノズル３２を回動させる回動装置３６は、サーボモータであるが、シリンダ等であっても差し支え無い。

【符号の説明】

【0068】

２０…保持テーブル（保持部）、３０…押し上げ部、３２…吸引ノズル、３２ａ…吸着面、３３…ピン、３６…回動装置（回動機構、吸引ノズル回動機構）、７０…制御部（ピン制御手段、プレ剥離実行手段、回動剥離手段）８０…調圧弁（吸引負圧調整部）、
１００…ダイ剥離装置
５００…ダイ集合体、５０１…枠体、５０２…粘着シート、５０３…ダイ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】