特許6021909低温試料グループホルダーにおける寸法変化の補正のための方法と装置

発明の名称　低温試料グループホルダーにおける寸法変化の補正のための方法と装置

出願人　ブルックス　オートメーション　インコーポレイテッド　（識別番号 505047094）

　　　　特許公開件数ランキング 31400 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9401 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6021909

公報発行日　2016年11月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6021909

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