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特許6021914ＭＥＭＳキャビティ底からのシリコン残留物の消去
発明の名称 ＭＥＭＳキャビティ底からのシリコン残留物の消去
出願人 キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド （識別番号 511112445）
特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24615 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6021914
公報発行日 2016年11月9
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6021914
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